PI工艺流程京东方

多段加热炉内一直保持负压状态 它的目的及优点是 ①能制造出层流的Gas Flow ②提高seal的性能 ③能强制排除shutter打开时进入的外气 ④能强制排除制程上产生的升华物
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一、工艺设备相关——Unloader
cooling
团队 速度 品质
Air Cooling 方式 (空冷式:CDA Purge和水 冷)
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一、工艺设备相关---Loader EUV
团队 速度 品质
EUV清洗是指在一个封闭的chamber内用UV lamp照射，生成O3及O，利用其强 大的氧化能力以去除玻璃基板上的有机物将其转化成CO,CO2,H2O的一种清洗方 式.具有杀菌，去除油脂，除去有机物的作用。目的是提高PI印刷的适印性。适 合在清洗后，印刷前使用。
新清洗转为备用状态，而备用的tank转为使用状态。
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洗剂存放位置，通过电机把 存放在该处的洗剂按照一定 的比例抽取出来，供给到tank 里面形成一定浓度的溶剂以 便于用来清洗玻璃基板。两 桶洗剂其中一桶使用，另外 一桶备用。洗剂型号为LH540.
和ECB868
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一、工艺设备相关---Loader
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一、工艺设备相关—— Coater
画像对位系统
图1，APR版上的 对位mark，转印 到dummy上。先 进行camera set
图2，摄像机镜头 自动捕捉normal glass上的对位mark
图3，摄像机镜头自动捕捉 normal glass上的对位mark与 APR版上的对位mark出现偏
2.工艺设备相关—PI Rework
PI REWORK用化学洗剂来去除GLASS表面的PI膜
团队 速度 品质
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2.工艺设备相关—PI Thickness
1、用来测量GLASS的PI膜厚
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二、PI主要不良
1. Pinhole
移的情况
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图4，摄像机镜头自动捕 捉normal glass上的对位 mark与APR版上的对位
mark重合的情况
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一、工艺设备相关—— Coater
工作台
图5，6， alignment pin自动 前后左右调整， 使玻璃基板上的 对位标记与APR 版上的对位mark
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一、工艺设备相关---Loader CPO
团队 速度 品质
CPO（cooling process offer）主要是对从上游流出来玻璃基板 进行冷却使其达到常温状态。其吹出的是cool dry air。
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一、工艺设备相关—— Coater
基板上的污渍，杂质，灰尘等脏东西。为涂布出良好的取向膜做好准备。 如果涂布之前清洗机清洗效果不好或者残留有Particle的话，在Coater处就 会有不良品出现。 <2>Cleaner部分主要分为Wet wash（湿洗）部和Dry wash（干洗）部。
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一、工艺设备相关---Loader
Hyper-Mix（混合）
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纯水和高压空气在Hyper Mix的管道内形成气液混合体（2流体），2流体被 高压喷射在基板表面上时，利用高压水的冲刷力和2流体内气泡破裂时产生的 剥离力除去基板上的异物粒子。因为2流体内水与空气的混合更均匀，产生的 气泡更多也更小因此洗净效果也更好。它的洗净对象是小粒径的异物粒子
PI工艺学习
团队 速度 品质
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工艺设备相关
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PI工序主要是在TFT & CF基板上涂上一层取向膜,从而为液晶分子在取向膜上形 成取向打下基础。 PI工序的工艺流程如下：
玻璃基板从loader处流入，先经过cleaner对玻璃基板进行清洗，清洗完后 在coater处涂布PI液，在PRE CURE处挥发部分溶剂，在Inspection处检 测涂布效果，在MAC/MIC处宏观抽检印刷涂布效果（主要用肉眼观 察检查看有没有白点，黑点，Pinhole，Mura等），微观抽检并测量印 刷涂布效果（主要用光学镜头测量Edge Margin（板边距离）来检查对 位情况）。检查后的良品进入MAINCURE处进行挥发溶剂使PI固化， 固化后的玻璃基板流入Unloader.
Table
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一、工艺设备相关—— Coater
-Anilox Roll
团队 速度 品质
陶瓷
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60度
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一、工艺设备相关—— Coater
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印刷原理：
Blade
版酮
GLASS
TABLE
印刷原理： DISPENSER把PI液滴在刮刀上，然后流到 刮刀与ANILOX ROLL的夹缝里。 ANILOX ROLL旋转把PI液带走，与此同时刮刀把 ANILOX ROLL上多余的PI液刮掉，保持 ANILOX ROLL上的PI液均匀。印刷前 ANILOX ROLL与版酮上的APR版相捏合， 通过捏合力APR版把ANILOX ROLL上的PI 液挤压出来并带走，开始印刷时版酮移动， 把APR版上的PI液转印到GLASS基板上。
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一、工艺设备相关---Loader
HPS（ high pressure shower）
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把水已高压的形式对基板表面进行喷淋
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一、工艺设备相关---Loader
IR
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IR干燥是利用高温加热的方式将残留在基板表面的水分彻底除去。IR干燥 只能用于除去少量水分，干燥效果与加热温度和时间有关
Pre-cure主要是对前面coater涂布的取向膜进行预固化.去除取向 膜的一部分溶剂。使取向膜与玻璃基板有一定的粘合力。另外 配向膜在未干燥时易吸附异物，为了防止粘附异物，需要进行 预干燥处理。
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一、工艺设备相关——Inspection
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Inspection工作原理： 当glass流过时camera对基板进行扫描。camera对流过的glass进行连续拍照，计算机记 录拍下的数据，然后把数据进行分析，以一个点为基准和相邻的点进行对比，当有 异常时计算机自动记录下坐标位置，并以红点的形式显示在屏幕上，当点击异常 PANEL上的坐标时，显微镜自动找到异常位置，可以在显示器上观看是什么不良。
重合
团队 速度 品质
Alignment system工作原理 : 先在Dummy 基板上印刷出图形（见图1）移动机台,使对位标记位于摄像机镜头中心,固定机台位置
并保存数据。生产时，摄像机镜头自动捕捉normal glass上的对位mark（见图2），使normal glass上mark 与APR版上的对位mark重合。那样就能保证涂布PI液时的准确性。当两个mark出现偏移时，alignment pin 自动前后左右调整，使玻璃基板上的对位标记与APR版上的对位mark重合，此时能够确定玻璃基板在table 上的准确位置。（见图3，4，5，6）这样能够确保每次印刷在同一位置。Pin不动，开始真空吸附并固定 玻璃基板于table上。松开pin可以开始涂布PI液。
Coater （涂布机）作用: 是通过转印的方式在已经清洗好的玻璃基板上涂布出一层良好的取向膜
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版胴: 用于安装APR Plate.
Blade
版酮
Table : 印刷时托放Glass，要求平坦度在 20㎛以内.
GLASS
TABLE
Blade : 目的是使Anilox Roll 上的PI液均匀, 分Roll Type和Blade Type.中文译作 刮胶辊或刮刀.
Main-cure作用： 通过高温加热的方式把glass基板上的PI膜完全转化成PI膜
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一、工艺设备相关——Main Cure
团队 速度 品质
IR (Infrared Ray) Heater 方式 由Air Pre-Heater向Chamber 内部逐步通入 N2 Gas预热 方式
-Cell Final Test Βιβλιοθήκη Baiduell Test时有PI斑有地方颜色发白。 Size在 1mm以内的PI斑在TEST不能被看到，是合格品.
Anilox Roll : 均胶辊,用于将PI液涂到APR板上,上有小坑[15㎛深], 成网状排布 Mesh[400 Line/inch], 倾斜角度 [60˚], 目的是使PI液涂布均匀.
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一、工艺设备相关—— Coater
版酮
团队 速度 品质
Blade Page 13
-处理方法 Glass 未能清洗干净，作业区内人员过多、 作业时打开设备门等都可将灰尘带入设备。 设备的齿轮、轴承上的过多的润滑油也是 灰尘的主要来源。
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团队 速度 品质
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一、工艺设备相关
2、 PI斑
-发生主要原因 APR板、或ANILOX ROLL有损伤（凹坑）， 可存入过多的PI液，使PI膜在局部过厚。
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一、工艺设备相关---Loader
团队 速度 品质
Loader处有四个Port口，其中三个Port口为normal口，一个口为Dummy口专 门存放Dummy用。
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一、工艺设备相关---Loader
团队 速度 品质
Cleaner （清洗机）总述： <1>Cleaner（清洗机）作用是在PI涂布之前对玻璃基板进行清洗，清除玻璃
Cooling chamber共有22个冷却腔 冷却温 度：40摄氏度
CDA Pre Filter
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Exhaust
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2.工艺设备相关—PI CF Sorter
1、TFT和CF进行Sortering处理，保证TFT和CF配对的良率
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APP
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APP主要是通过把空气电离后产生带有氧化能力的气体以去除 玻璃基板上的有机物将其转化成碳氢化合物的一种清洗方式 ， 除去有机物的作用。
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一、工艺设备相关---Loader
团队 速度 品质
tank2
tank1
Tank2存放溶剂的地方，该溶剂由水跟洗剂按照一定比例 混合形成。同时tank里有加热器，把tank里的混合溶剂加 热到40度才可使用。其中一个tank使用，另一个tank为 备用。备用tank是准备好了的。随时可以投入使用。当 使用的tank清洗了500张玻璃基板后，停止使用并开始重
-主要发生原因 Glass 表面一小块区域没有涂布PI液，或仅 涂有较薄一层PI液。
主要由灰尘引起。灰尘落在ANILOX ROLL、 DOCTOR ROLL或APR板上，使PI液不能 正常转印到Glass上，形成Pinhole。另一个 原因是Glass未被清洗干净或Glass自身特 性，PI液不能正常涂布。
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一、工艺设备相关—— Coater
PI膜厚度控制
印刷要素
Doctor roll压入量 Table speed
D/R和A/R 回转比（％） PI液滴下量
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一、工艺设备相关—— Pre cure
Pre-cure
团队 速度 品质
一、工艺设备相关——Inspection
团队 速度 品质
Inspection：检出配向膜印刷缺陷及印刷膜外观、膜厚均一性 主要不良：配向膜漏印、膜厚不均、印刷位置、异物、划伤、基板
裂纹等
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一、工艺设备相关——Main Cure
UNLOADER设备原理
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一、工艺设备相关——Inspection
Scan Camera
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source of parallel light
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一、工艺设备相关——Inspection
Review Camera
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