集成电路洁净厂房设计工艺要求审批稿
半导体洁净车间建设要求
半导体洁净车间建设要求半导体洁净车间作为半导体制造的重要场所，其建设过程中需要考虑多方面的因素。
博泰我带大家了解半导体洁净车间建设的要求有哪些。
一、半导体洁净车间的需求1、生产环境：半导体洁净车间应满足半导体生产过程中的环境要求，如温度、湿度、气压等。
此外还需保证车间的噪声、振动和电磁干扰等指标符合相关标准。
2、洁净度要求：半导体生产过程中对空气中的微粒和有害气体含量要求高，因此洁净车间需要达到一定的洁净度等级。
一般来说半导体生产要求的洁净度等级为ISO 5级或更高级别。
3、人员健康安全：半导体洁净车间应确保人员的健康安全，包括提供洁净的饮用水、安全的厂内交通和卫生设施等。
还需对员工进行定期的健康检查和培训，确保他们在洁净环境下安全工作。
二、半导体洁净车间建设的准备1、设计规划：在建设前应对车间的使用功能、生产流程和设备布局等进行全面规划，需要考虑人员流动、物料流动和能源流等各方面因素。
2、设备选购：根据设计规划选购合适的生产设备、检测设备和环保设备等，在选购过程中应着重考虑设备的性能、可靠性、节能性等方面的因素。
3、材料质量把控：严格把控建筑材料、装饰材料和生产材料的质量，所有材料应符合防火、防潮、防尘和无毒等要求，以确保车间的稳定性和人员的健康安全。
三、半导体洁净车间建设的技术1、防静电：静电对半导体产品的影响非常大，因此需要采取有效的防静电措施。
这包括使用防静电材料、设置防静电接地系统、提供防静电工作服和工具等。
2、温度控制：半导体生产过程中对温度的稳定性要求高，因此需要采用先进的空调系统来实现精准的温度控制。
一般要求温度波动不超过2℃，以确保产品的稳定性和一致性。
3、空气净化：为实现车间的洁净度要求，需要采用高效空气过滤器、乱流送风等方式，确保空气中的微粒和有害气体含量符合标准。
还需定期清洁设备和地面，以保持良好的环境卫生。
电子工业洁净厂房设计规范完整版2024
电子工业洁净厂房设计规范[附条文说明]GB50472-2008 1总则1.0.1为在电子工业洁净厂房设计中，做到技术先进、经济适用、安全可靠、节约资源、降低能耗、确保质量，并符合劳动卫生和环境保护的要求，制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建的电子工业洁净厂房设计。
1.0.3电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求，并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
1.0.4电子工业洁净厂房的设计应为施工安装、调试检测和安全运行、维护管理创造必要的条件。
1.0.5电子工业洁净厂房设计除应执行本规范外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1洁净室clean room空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。
室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2洁净区clean zone空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。
它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。
空间内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
可以是开放式或封闭式。
2.0.3人员净化用室room for cleaning human body人员在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.4物料净化用室room for cleaning material物料在进入洁净室(区)之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5粒径partical size由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。
对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
2.0.6悬浮粒子airborne particles用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。
2.0.7含尘浓度particle concentration单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.8洁净度cleanliness以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。
浅析半导体集成电路芯片厂房建筑设计
浅析半导体集成电路芯片厂房建筑设计摘要：对某大功率半导体集成电路芯片生产厂房的设计，必须要在相关工艺的配合下完成。
在具体设计中，相关人员需要熟练掌握各个生产工艺的原理和技术特点，以此保证相关工作有序进行。
基于此，本文着重探究半导体集成电路芯片厂房建筑设计，以期能够保证厂房建筑设计效果达到相关要求。
关键词：半导体；电路芯片；厂房建筑；设计半导体集成电路装置和半导体集成电路芯片，在具体应用中可在不降低温度的基础上，实现整个冷却结构的小型轻量化。
为充分发挥作用，则应做好对相关厂房的设计，加强对这方面的生产和应用。
一、项目背景与设计要求结合具体项目，某大功率半导体集成电路芯片生产厂房，是来自某工业集团开发的项目。
通过对项目任务书的规定了解到本次建筑规模、生产产品的类型等。
对于半导体集成电路芯片生产房在整个工业建筑中，属于洁净建筑，与其他工业建筑相比，其设计难度会更大[1]。
若缺少相关工艺的有效配合，势必会增加设计者难度。
在此背景下，作为建筑设计者，应深入了解当前电子类产品厂房常见的做法和发展趋势，深入分析存在的原理和技术特点，从而对其进行设计提供重要的指导作用。
二、电子类洁净厂房的技术特征通过深入了解，关于电子类洁净厂房具有的技术特征，多表现在四个方面，分别是：电子类生产厂房所生产的产品对空间环境要求比较高、集成电路芯片生产过程中工艺流程会出现多次交叉反复、电子产品更新换代比较快及建筑空间布局方面的自由度高[2]。
（一）电子类生产厂房所生产的产品对空间环境要求比较高在建筑平剖面空间和技术措施方面，必须要对这一要求予以重视，确保生产空间处于良好的洁净状态。
另外，对需要进入到生产空间的人流、物流和设备等，必须要严格按照要求，对其进行净化和无尘处理。
对这环节中涉及到的流程和空间组成，如图1所示。
图 1 流程和空间简图（二）集成电路芯片生产过程中工艺流程会出现多次交叉反复一般来说，集成电路芯片在生产期间的工艺流程并不是单向的，需要进行多次的交叉和重复。
上海半导体集成电路电子洁净车间建设要点
统及隧道系统，上静压箱与周围环境的压差很大，极易发
生空气泄漏，因此对上静压箱的气密性要求很高，基本上 不允许管线进人。而FFU系统的上静压箱相对于周围环境只 是微正压，上静压箱内可以布置或穿越诸如排风和排烟等 管道，使空间得到合理利用。
半导体集成电路电子洁净车间的空压气体工程主要由
相对于其他工业洁净室，集成电路制造洁净车间有面积大、洁净
等级高、温湿度控制精度高等特点。除此之外，为了满足半导体 制造工艺的需求刨除上面所说的特点，还对振动、ESD(静电控制)、 AMC(气态分子级污染物)控制等专业技术内容都有特殊的要求。 CEIDI西递总承包建设的该集成电路项目厂房建筑面积约4000平米， 为满足集成电路产品的特殊生产属性，CEIDI西递设计师按照半导
上海半导体集成电路电子 洁净车间建设要点
CEIDI西递
半导体工业是极精密的工业，集成电路制造的工厂投资 金额巨大，电路板上一颗颗小小的 IC 都有数百万颗甚至 数千万颗的晶体管。 尘粒容易使芯片失效或可靠度降
低 ，所以半导体集成电路制造的过程必须在净化车间内
进行。本文以EPC工程（总承包）集成服务商CEIDI西递 某项目为例，具体谈谈半导体集成电路电子洁净车间建 设要点。
成电路制造技术的不断升级，主流大型工厂已成熟地接入 物联网、5G、人工智能等技术。如何在厂房洁净工程建设 的同时与这些智能化科技做完美衔接，是许多行业外工装 公司的盲区。专注于洁净工程领域的EPC集成服务商CEIDI 西递在集成电路无尘车间设计、施工和智能化、节能创新 方面一直不断完善，为企业生产提供保障。
以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷 却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆 式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进 气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、 单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设 备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气 干燥器。
电子厂房洁净工程方案
电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展，电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。
而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。
因此，洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。
本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。
一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段，将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。
在电子厂房中，洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入，保证生产环境的洁净度，提高生产效率和产品质量。
在实际应用中，洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。
二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定：洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定，保证生产环境的洁净度和安全性。
2.合理布局：根据生产流程和工艺要求，合理布局洁净室和洁净设备，保证生产流畅不受影响。
3.选材节能：选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备，提高能源利用效率。
4.可维护性：洁净设备应容易维护和清洁，保证设备正常运转。
5.系统集成：各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成，保证整个洁净工程系统的协调运行。
三、洁净工程方案设计1.洁净室设计（1）洁净室分类：根据生产需求和洁净度要求，电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。
（2）洁净室布局：根据生产流程和工艺要求，合理设置洁净室的位置和大小，保证生产流畅。
（3）洁净室装修：使用符合洁净环境标准的建筑材料，进行合理的装修设计，保证洁净室的洁净度和安全性。
2.空调系统设计（1）空调系统选型：根据洁净室的面积和洁净度要求，选择适合的空调设备，保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。
（2）空调系统布局：合理设置空调设备的位置和数量，进行合理布局，保证整个厂房内的空气流通和循环。
（3）空调系统调节：对空调系统进行定期调节和维护，保持系统的高效运行，保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。
3.过滤器设计（1）过滤器选择：根据生产环境和洁净度要求，选择适合的过滤器类型和规格，保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。
集成电路洁净厂房设计工艺要求
集成电路洁净厂房设计工艺要求首先，集成电路洁净厂房应具备合理的空气流通和过滤系统。
空气过滤系统应包括初级过滤器、中级过滤器、高效过滤器和超高效过滤器，以确保厂房中的空气清洁度符合要求。
同时，建议采用无尘室或无尘车间的设计，以减少空气中的微粒和杂质。
其次，洁净厂房的地面、墙面和天花板应采用易清洁、耐腐蚀、无尘积和有防静电处理的材料。
地面一般应采用导电性能好的高密度抗静电地板，以防止静电对产品的影响。
墙面和天花板应采用易清洁的表面材料，如防静电涂层或无尘墙面板，以防止灰尘和污染物堆积。
此外，集成电路洁净厂房的工艺要求还包括光照要求、温湿度要求和人员流动要求。
为了保证生产过程的质量和效果，厂房内应有充足的光照，并避免阳光直射。
温湿度应保持在适宜的范围内，一般要求温度在20-25摄氏度，湿度在45%-60%。
此外，集成电路洁净厂房需要合理规划人员流动路线，以最大限度地减少对空气和产品的污染。
除了上述要求外，集成电路洁净厂房还需要注意静电防护。
静电可能对电子元件和产品造成损害，因此需要采取一系列措施进行静电防护，如使用防静电地板、工作服和设备，以及设置静电消除装置等。
最后，集成电路洁净厂房应建立完善的洁净管理体系。
这包括施工过程中的质量控制和验收标准，以及生产过程中的清洁和维护计划。
定期对洁净厂房进行清洁和消毒，并定期检测空气质量和洁净度。
综上所述，集成电路洁净厂房设计工艺要求包括空气过滤系统、地面、墙面和天花板的材料选择、光照要求、温湿度要求、人员流动要求、静电防护和洁净管理体系等。
通过合理设计和管理，可以确保洁净厂房达到良好的空气质量和产品质量。
大型电子洁净厂房建筑设计分析
大型电子洁净厂房建筑设计分析发布时间：2022-11-03T05:09:21.281Z 来源：《工程建设标准化》2022年第12期第6月作者：茅琳璐[导读] 建筑行业一直都是一个国家发展当中最为重要的行业之一，不仅仅是电子产品的投入使用茅琳璐中国电子系统工程第二建设有限公司江苏省无锡市 214000摘要：建筑行业一直都是一个国家发展当中最为重要的行业之一，不仅仅是电子产品的投入使用，同时建筑行业本身的智能建筑也发展迅速，大型电子洁净厂房是现如今最常见的建筑之一，电子产品的使用逐渐普及，同时其发展的方向也开始向着高清、轻薄的方向发展，这也使得电子产品的生产难度有所上升，而为了更好地保证电子产品的最终生产效率，我们就需要对电子洁净性以及科学性进行完善。
本文当中就将探讨大型电子洁净厂房当中的建筑设计，以及相关的特点分析。
关键词：电子洁净厂房；建筑设计；特点分析引言：电子产品的生产工艺在近几年来的发展速度极快，往往一两年当中就会出现多次的迭代升级，而这快速的发展所带来的就是电子产品的轻量化以及精密化，而这种情况下电子产品的生产难度有所提升，而为了更好地保证生产的效率和生产质量，洁净厂房生产是必不可少的，洁净厂房能够以最快的速度进行电子元件的生产，其中重点生产对象就是纳米级的集成电路，像是TFT-LCD生产，现如今我国多个厂家已经开展了第五、第六代的生产线，以此来最大程度上的提升电子产品的生产效率和质量。
下文当中我们就将详细的探讨，大型电子洁净厂房的建筑设计，以及相应的特点和共性。
一、电子洁净厂房以及其设计思想（一）电子洁净厂房大型电子洁净厂房实际上指的是在一定空间范围内，对空气当中的有害气体、微粒子以及细菌等可能对电子产品的原件产生影响的物质排除在厂房车间之外，同时洁净厂房本身的温度、湿度和压力等数值也需要根据生产要求进行控制和调整。
而这一目的就是为了最大程度上降低外界生产环境对电子元件造成的影响。
同时在电子洁净厂房的设计过程当中我们需要应对厂区室外的噪音以及灰尘进行处理，保证洁净厂房内部不会出现灰尘。
上海半导体集成电路电子洁净车间建设要点
上海半导体集成电路电子洁净车间建设要点随着半导体技术的不断发展，对洁净车间的要求也越来越高。
上海作为中国半导体产业的重要基地之一，其半导体集成电路电子洁净车间的建设显得尤为重要。
本文将从净化技术、空气净化、设备选型等方面，对上海半导体集成电路电子洁净车间的建设要点进行讨论。
一、净化技术1.空气过滤技术：洁净车间的核心就是空气净化，要通过高效的过滤技术去除空气中的微粒、微生物和有害气体。
建议选择符合适用标准的HEPA和ULPA过滤器，满足车间空气洁净度等级的要求。
2.正压净化：洁净车间要求维持正压状态，以防止外界空气和微尘进入车间。
应采用恒压隔离技术，即通过氛围隔绝技术保持车间内外气压差。
同时，应定期检测气压差，确保正压状态的稳定。
3.风机选型：洁净车间的风机选择要根据车间面积和洁净度等级确定。
一般情况下，建议选择低噪音、低震动、高效能的轴流风机，以保证车间内的空气流通和过滤效果。
4.温湿度控制：洁净车间要求保持一定的温湿度范围，应根据工艺要求选择恒温恒湿设备，并通过自动控制系统实现精准控制和调节。
二、空气净化1.废气处理：洁净车间在生产过程中会产生一定的废气，如有害气体和微尘。
要建立有效的废气处理系统，采用合适的排风设备和过滤装置，确保废气排放符合环保要求。
2.地板和墙面材料：洁净车间的地板和墙面应选用防尘、易清洁的材料，如防静电地板和PVC墙板。
材料表面应无尘、易清洁，并且具有较好的防静电性能。
3.外部空气处理：洁净车间的进风系统应配备合适的预处理设备，如过滤器和活性炭吸附装置，以进一步提高进入车间的空气质量。
三、设备选型1.清洁设备：洁净车间的清洁设备要选择符合要求的高性能设备，如超声波清洗机、自动喷淋设备等。
设备应具备自动控制和监控功能，方便操作和管理。
2.除尘设备：洁净车间应配置合适的除尘设备，如静电除尘器和集尘器等，以去除空气中的微尘和污染物。
设备选型要考虑处理能力、过滤效果和噪音等因素。
半导体制造洁净厂房设计案例
半导体制造洁净厂房设计案例一、引言半导体制造是一项精密的工艺，对洁净厂房的要求非常高。
洁净厂房的设计需要考虑到空气质量、温湿度控制、静电控制等方面，以确保半导体制造过程中的品质和可靠性。
本文将介绍一个半导体制造洁净厂房的设计案例，主要包括建筑结构、空气处理系统、设备布置等方面。
二、建筑结构设计1.地板：使用防静电地板，材料要求具有良好的导电性和抗腐蚀性。
2.墙壁：采用无灰封闭式墙体结构，材料需要耐高温、防静电、防尘，且易于清洁。
3.天花板：选择防静电的天花板材料，以减少静电对产品的损害。
4.门窗：采用无灰封闭式门窗，确保室内外压差的控制，避免环境污染。
三、空气处理系统设计空气处理系统是半导体洁净厂房中最重要的组成部分，主要功能是清除空气中的颗粒污染物、维持压差和温湿度控制等。
设计要点包括：1.过滤系统：采用多级过滤器，确保洁净厂房内的空气质量符合要求。
常用的过滤器有初效过滤器、细效过滤器和高效过滤器。
2.送风系统：送风系统需要保证恒定的风速和风量，通过调节风量控制洁净区域的正压差。
3.排风系统：排风系统需要及时排除洁净区域内产生的异味和有害气体。
排风系统的设计需要合理布置出风口和排风设备。
4.温湿度控制：设计空气处理系统时需要考虑温湿度控制的需求，采用适当的加湿和降温设备。
四、设备布置设计设备布置设计是半导体洁净厂房中的另一个重要方面，主要目标是最大限度地减少空气中的颗粒污染物。
常见的设计要点包括：1.设备间隔：设备之间的间隔需要足够大，以确保操作人员和设备之间的正常工作，同时便于清洗和维护。
2.设备密封：设备需要良好的密封性，避免空气中的颗粒进入设备内部。
3.净化设备：在设备周围设置净化设备，如空气净化器、静电除尘装置等，以进一步减少空气中的颗粒污染物。
4.指引气流：通过合理设计设备的出风口和进风口，指引气流流动方向，减少污染物的扩散。
五、安全管理综上所述，半导体制造洁净厂房的设计需要考虑建筑结构、空气处理系统、设备布置和安全管理等方面。
电子工业洁净厂房设计规范标准
电子工业洁净厂房设计规范标准
引言
近年来，电子工业在全球范围内快速发展。
随之而来的是不断增长的需求量以及更高的洁净度要求。
因此，本文针对电子工业洁净厂房的设计规范进行了详细介绍和说明，以期为此类厂房的建造者和使用者提供可靠的参考标准。
适用范围
本文所提到的规范标准，适用于在电子工业领域内建造、改造和扩建洁净厂房等工程项目。
环境要求
洁净厂房的建造必须在干燥、清洁和不含有有害气体的环境下进行。
厂房内外的温度、湿度、气流等参数均需符合规定的标准，以确保产品的质量和工人的身体健康和安全。
设计要求
布局设计
洁净厂房的布局设计应该合理，避免不必要的人员流动以及杂
物进入。
通常建议采用线性布局，避免过多的转弯和分支。
同时，
为了保证作业区域的洁净度，必须设立过渡区、缓冲区和气闸室等。
设备和工艺
洁净厂房的设备必须具备防尘、防静电和易清洗等特点。
同时，也必须采用适合的工艺技术，防止产生微粒和有害气体。
环境控制
洁净厂房的环境应该由专门的人员进行控制和管理，确保温度、湿度、风速等参数符合规定标准。
此外，也需要设置相应的报警系
统和备用设备，以防突发状况。
检测设施
洁净厂房应该设有相应的检测设施，以对空气中的微粒、霉菌
和有害气体进行监测和测试。
在此基础上可对环境进行调整和控制。
结论
洁净厂房的设计规范对保证产品的质量和工人的身体健康和安全至关重要。
因此，在进行此类工程项目时，必须严格按照规范标准进行，以避免不必要的问题和损失。
电装洁净间建设需求
电装洁净间建设需求
1.平面由工艺决定。
电子工业清洁车间的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性，满足产品生产工艺改造和生产规模扩大的需要。
2.主体结构应采用大空间和大跨度柱，内墙承重系统不应采用。
3.大型电子工业清洁车间通常采用上工艺中间层和下工艺中间
层结构。
4.考虑到大型生产工艺设备的安装和维修要求，设置必要的运输通道和安装或维修港口，不影响清洁生产环境。
5.电子无尘车间按耐火等级II级设计。
6.特殊气体储存配电室与无尘车间(区)用防火隔墙隔开，耐火级限不小于1h。
有毒硅烷或其混合物的圆柱至少三面开放，圆柱与周围结构或围栏之间的距离应大于3米，储存天篷不小于3.5米。
7.电子工业无尘车间的装修材料不得释放影响电子产品的材料。
8.电子洁净室允许设置淋浴室，与一般的生物洁净室不同。
淋浴室毕须靠近干净的工作服更衣室。
单人淋浴室由每班30人设计。
工人超过5人时，应设置侧门。
人太多或为了缩短时间，也可以设置隧道式淋浴室。
9.对于无尘车间，为了不影响空气流动的单向和平行，采用净化泪灯作为照明灯。
10.电子工业的无尘车间往往需要根据生产工艺要求设置防静电环境，以意制静电产生，快速、安.全地消除产生的静电。
11.电子无尘车间需要抗微振，因此在车间环境中应避免振动源。
12.除一般给排水要求外，电子无尘车间还有超大集成电路用水标准。
纳米芯片厂高洁净度洁净室设计与施工技术
水域之 滨等 ， 离 铁 路 、 头 、 场 、 通要 道 以及散 远 码 机 交 发大量 粉尘 、 气 和有 害气体 的工 厂 、 场等 。 烟 堆 武 汉 新 芯 集 成 电 路 厂 位 于 武 汉 东 湖 新 技 术 开 发
武 汉职 业 技 术 学 院学 报 二
０一二年 第 十
一
Ｊｕ ａ Ｏ Ｖ ｎＰＩＯｈｉ Ｏｒ Ｉ ｆ ｈ Ｏ ｔ ｃ ｕａ ｎ ｙ ｃｎ
・建 筑 与 装 饰 ・
纳米芯片厂高洁 净度洁 净室设 计 与施工 技术
熊 鹤 林
（ 武汉花山生态新城投资有限公司 ， 湖北 武汉 ４０ ７ ） ３０ ６
与施 Ｔ技术 进行 论述 。
新 一 代 Ｉ 要 求 高 品 质 的 硅 片 ， 求 硅 片 具 有 高 Ｃ 要
的 面 形 精 度 和 表 面 完 整 性 。 如 ， 用 特 征 ０１ ｍ 的 例 采 ．ｔ ｘ
生 产 技 术 ，要 求 ３０ ０ ｍｍ 硅 片 的 平 整 度 ＜ ． ０１ ｍ ， 在 ２ ｍｍｘ ０ ５ ４ ｍｍ 区 域 内 的 局 部 平 整 度 ＜ ．７， ， 面 粗 ００ １ 表 ￣ ｍ 糙 度 达 到 亚 纳 米 级 ，大 尺 寸 硅 片 的 应 用 对 硅 片 的 超 精 密 加 工 技 术 提 出新 的 挑 战 ，也 对 超 精 密 加 工 的 支
夏 区流芳镇 境 内 ： 离城 市 工业 区 、 离铁 路 、 头 、 远 远 码 机场 以及 散发 大量 粉尘 、 气和有 害气 体 的工 厂 、 烟 堆
场 。 ２ 洁 净 室 的平 面 布 局 ．
高 等 级 、大 面 积 的 洁 净 需 要 ， 对 厂 房 的 总 体 设 计 、 筑 设 计 、 调 系 统 设 计 、 工 安 装 、 行 管 理 等 建 空 施 运
国家标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
第2章消防自动灭火系统、报警系统和检测系统(烟感、可燃气体等); 第3章通风和排风系统,送风和循环风,局部排风,排烟系统； 第4章土建、洁净区与非洁净区的分隔等； 第5章化学品贮存和处理,对危险化学品贮存、分配间的设计、建造要求等； 第6章危险气体钢瓶的存放、分配； 第7章大宗硅烷系统，管式拖车、集装气瓶； 第8章生产与辅助设备、工艺液体加热设备、电气设备、真空泵等； 第9章出入口方式，按NFPA101生命安全规范进行设计； 第10章参照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被认为是标准的一部分。
生产运行
正筹建 正筹建 生产运行
6代，1500×1800
6代，1500×1800 6代，1500×1800 8代，2160×2460
～36000
～34000 ～36000 ～90000
～27
～27 ～27 30.00
1、电子工厂洁净厂房特点
表22 几类电子产品所需气体品种
1、电子工厂洁净厂房特点
送。
对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定 对防静电、电磁兼容等 大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万m2。
1、电子工厂洁净厂房特点
表1
芯片厂1 芯片厂2 芯片厂3 芯片厂4 芯片厂5 芯片厂6 芯片厂7 芯片厂8 芯片厂9 芯片厂10 芯片厂11 芯片厂12 芯片厂13 芯片厂14 芯片厂15 芯片厂16 芯片厂17
7.2 气流流型和送风量
7.3 净化空调系统 7.4 空气净化设备 7.5 采暖通风
5、工艺设计
5.1 一般规定 5.2 工艺布局 5.3 人员净化
7.6 排烟
7.7 风管、附件 8、给水排水设计 8.1 一般规定 8.2 给水
浅述某超大规模集成电路后工序洁净厂房的设计
浅述某超大规模集成电路后工序洁净厂房的设计
张利群
【期刊名称】《洁净与空调技术》
【年(卷),期】1998(000)001
【摘要】一、工程概况该超大规模集成电路(4M位)后工序洁净厂房工程是中外
合资工程,由中国电子工程设计院设计和风险总承包。
洁净厂房总面积为4368平
方米,其中,生产车间(1000级)洁净面积为3840m_2;工艺走廊(100000级)洁净面积为528m_2。
净化送风系统的总送风量为602400米~3/时,大约为50次/时换气。
其中1000级部分的气流组织为顶部送风、顶部回风,100000级的工艺走廊完全处于回风区。
【总页数】4页(P2-5)
【作者】张利群
【作者单位】无
【正文语种】中文
【中图分类】TU834.854
【相关文献】
1.浅述我国公路设计理念发展及国外设计理念对我国公路设计的启示 [J], 李朝晖
2.浅述压装技术在装载机工作装置轴套装配工序中的应用 [J], 李昶
3.隧道复合衬砌"工序延展循环"工法浅述 [J], 李英勇;薛志超;曹佩荣;杨秀生;高钟涛;王培国
4.某后道封装测试洁净厂房的净化空调设计 [J], 周亮
5.浅述氯气处理工序中填料塔的防腐 [J], 胡花云
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
集成电路洁净厂房设计
工艺要求
YKK standardization office【 YKK5AB- YKK08- YKK2C- YKK18】
不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。
?
采用FFU系统的洁净室一般通过FFU的分布率来决定该洁净室的洁净等级，洁净室的正压通过新风量来控制，洁净室温湿度的控制是通过循环空气冷却系统(RCU)和新风空调系统(MAU)完成。
?
ESD也是半导体制造环境控制的重要内容，静电释放可能对产品和生产设备造成损害，还可能引起硅片表面尘粒吸附，影响产品的良率。
静电消除要在洁净室设计上进行总体考虑，除了设备接地(包括洁净墙板和高架地板，办公设备等)外，还要采用防静电墙板、高架地板，人员要求穿着防静电的洁净服、洁净鞋。
对存在ESD危害风险的设备和生产区域应安装静电消除器。
?
AMC是危害生产工艺并导致成品率降低的分子态化学物质。
AMC会在半导体制造的栅底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接触成型、光刻等多个关键工艺上造成各种危害，影响产品质量，是半导体制造面临的越来越严峻的问题，也是生产环境控制中亟待解决的问题。
可以预见，随着半导体制造技术的发展，对AMC的控制标准将越来越严格，而单一的采用化学过滤器去除AMC的控制方法有许多条件限制，并且会大幅提高运行成本。
因此应该从设计选址、设备选型、改进工艺流程等多方面加以考虑。
?
另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。
关键设备必须安装单独的防振基础。
?
洁净系统设计突出节能理念
?
好的洁净室设计不仅能节省能源、降低运行成本、降低人力投入，而且可以给生产提供安全可靠的保证。
在3种洁净系统中，FFU循环系统运行成本最低，洁净度安全性最高，因此集成电路洁净厂房多采用FFU循环系统。
而洁净度要求越高，温湿度控制精度越高则洁净室投资和运行成本越高，因此在大环境洁净度或温湿度要求相对较低的情况下，将一些关键的工艺设备布置在较高洁净度或温湿度控制区域内(比如洁净隧道和微环境)是集成电路制造洁净厂房的设计趋势。
?
MAU是洁净系统运行成本最高的部分，因此在设计上可以考虑通过热回收进行节能。
夏季可以利用新风空调的预热盘管将热回收到再热盘管，节省热水用量;采用喷淋室加湿设计，可以减少热损失，且可以稳定而高效地去除新风中的AMC，延长化学过滤器寿命。
在运行上要有效控制工艺排风量以降低新风用量，降低MAU送风温度，减少加热量和洁净室内冷负荷。
?
集成电路制造是高能耗的产业，而洁净空调系统的能耗则占其中的30%以上，因此节能安全的洁净室设计和各种热能回收设计将是未来的发展方向。
?
随着集成电路制造技术的不断升级，主流大厂已经进入了纳米时代，集成电路制造洁净厂房的设计建造和节能创新也需要不断提升，为先进制程产品生产提供保障。