863项目申请书

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项目类型：前沿探索研究类（A）□申请编号：面向应用研究类（B）□

国家高技术研究发展计划（863计划）

项目申请书

领域名称：

主题（重大专项）名称：

所属专题名称：

项目名称：

申请人：

申请人单位：

通讯地址：

邮编：

联系电话：传真：

电子邮箱：

中华人民共和国科学技术部

二ΟΟ年月日

填写要求

一、请严格按表中要求填写各项；

二、对于第一部分中的多选栏目，采用在所选项编号上划勾的方式确定；

三、申请书文本中外文名词第一次出现时，要写清全称和缩写，再出现同一

词时可以使用缩写；

四、申请书文本采用A4幅面纸，可以自行以同样幅面纸复制，填写内容需打

印填入,对于篇幅不够的栏目可自行加页；

五、专利查新结论及其他附件需与本申请书装订成一册,一并报送；

六、表中单位性质、所在地区和所属部门代码请查阅863计划网站

()：《863计划项目信息有关代码对照表》。

一、基本信息

Participating Researchers from CMNS of CUHK:

二、项目组主要研究人员情况

三、项目情况

体的快速、有效控制成为可能，并导致生物操作的新应用。

图3 微Nafion执行器在Hirox显微镜下的3D照片。电压为3V。气泡由水电解产

生。由于衬底表面反光，器件的倒影可见。

图4. 释放了的器件(a)在酸中（b）加入DI水，使溶液的pH值升高，梁开始弯曲（c）溶液的pH值溶液的pH值继续升高，在DI水中，梁完全弯曲。(d) 弯曲过程图解。图中

梁尺寸为w=200 m, l=500 m, t=200 nm.

Parylene 热微执行器

基于Parylene 的热微执行器是一个三膜结构，铂金属加热层被Parylene C 聚合物薄膜封裹。当执行器工作在液体环境时，该膜用来保护金属加热层并防止散热。在我们的结果中，仅需5V 输入电压就可实现完全的弯曲（尖端与固定端角度发生90度变化）。加热层电阻约2K Ω。执行器尺寸为2mmx158mx0.45μm 。该结构的优化模型和制备讨论如下。在此基础上，我们将研制本项目中提出的用于细胞抓取和操纵的多指热微执行器。

1.设计与建模

基于聚合物的热执行器在此简化为三层膜悬臂梁模型。在我们的现有设计中，中间层是铂金属，上下为parylene 。当电流流经铂时，整个结构被加热。由于parylene 和 Pt 的热延展系数不同，各层将不同程度地伸展使整个梁卷曲。考虑膜间的互作用力和动量，由温度变化T ∆引起的曲率半径r 由(1)-(5)式来计算。

T B AD C

AD r ∆--

=

--1121

1 T g ∆⋅⋅=1)( (1)

其中

⎥⎦

⎤⎢⎣⎡+

++

=

∑=22

21

321211

31

t t t t t t I E A i i i (2)

四、审核意见