S 扫描电镜操作说明书
扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程
1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。
将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。
利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。
打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
扫描电镜ZeissSupra55简明操作指南
扫描电镜ZeissSupra55简明操作指南Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南一、开机启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss2、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：无3、检查真空值。
二、换样品(换样或加高压观察样品)1、装试样。
在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。
注意：各样品观察点高度基本一致。
确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。
2、关高压。
3、检查插入式探测器状态打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。
4、放气。
点Vent等待3-5 分钟。
注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。
5、拉开舱门。
注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。
6、更换样品座注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。
7、关上舱门。
注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。
8、抽真空。
点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun On），左下角Ready。
等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。
9、换样完成。
加高压，观察样品台TV三、成像过程1、定位样品。
打开TV，移动样品台。
升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。
可打开stage navigation帮助定位。
2、开高压。
根据检测要求和样品特性，设定加速电压；3、观察样品，定位观察区。
全屏快速扫描（点击工具栏上）；选择Inlens或SE2探头；缩小放大倍数至最小；聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；读取WD数值；必要时升降样品台，WD常用8-10mm；移动样品台X、Y，或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位；聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；4、##必要时，调光阑对中。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
S扫描电镜操作步骤
S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
SEM扫描电镜操作规程
SEM扫描电镜操作规程
JSM-6390
一．开机前检查实验室电源、温度和湿度等环境条件，当电压稳定，室温为21±5℃左右，湿度≤65％才能开机。
二．开机时，首先打开地下室循环水器电源，稳定半小时，使得仪器能量达到最佳状态。
在X射线衍射仪室开启稳压电源，
再开启仪器电源，然后打开电脑，并打开仪器操作平台××
×软件，在采集菜单中/实验设置/运行诊断/准直，检查最大
值是否在6左右、最小值是否在3左右。
三．制样。
根据样品特性以及状态，制定相应的制样方法并制样。
四．测试红外光谱图时，先扫描空光路背景信号，再扫描样品文件信号，经傅立叶变换得到样品红外光谱图。
根据需要，打
印或者保存红外光谱图。
五．保持实验室安静和整洁，不得在实验室内进行样品化学处理，实验完毕即取出样品室内的样品。
样品室窗门应轻开轻关，
避免仪器振动受损。
六．关机时，先关闭EZ OMNIC软件，再关闭仪器电源，盖上仪器防尘罩。
七．离开实验室前，须注意关灯，关空调，最后拉开总闸刀。
扫描电镜操作手册
SEM操作手册一、开机在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一图一a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。
b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。
c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入系统。
d 双击SmartSEM并登陆。
二、放置样品（1）从样品室放入样品a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。
该窗口包括六个控制版面（如图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。
b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。
图二c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。
图三（2）用Airlock放置样品图四a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。
b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。
c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。
（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）三、观察样品（1）移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离a如果已经勾选了Joystick disable，在stage中取消Joystick disable选项。
PS: 在SmartSEM 5.06中，增加了Stage Disabe选项，此选项也需要取消勾选。
扫描电镜操作说明书
扫描电镜操作说明书一、准备工作1.1 准备扫描电镜操作所需的材料和设备，包括扫描电镜主机、计算机、样品支架、镊子、电镜屏幕清洁布等。
1.2 确保扫描电镜主机已接通电源，并处于待机状态。
1.3 打开计算机，并确保与扫描电镜主机连接正常。
二、样品处理2.1 确保样品已按照预定的方法进行制备，并处理掉可能对扫描电镜操作产生干扰的杂质。
2.2 将样品放置在样品支架上，并通过镊子轻轻固定。
三、开始扫描3.1 打开扫描电镜软件，并在计算机上进行相应的设置。
3.2 将样品支架插入扫描电镜主机，确保插入深度适当。
3.3 根据样品特性和所需观察的区域，选择适当的扫描电镜模式和参数。
3.4 等待扫描电镜主机进行自检，确保操作正常。
四、调整参数4.1 通过软件界面调整所需观察的放大倍数。
4.2 调整电子束的加速电压和亮度，以获得清晰的图像。
4.3 根据样品的导电性和形态，选择合适的工作模式和探针电流。
五、观察与记录5.1 在电镜屏幕上观察样品表面的图像。
5.2 根据需要，可以通过扫描电镜软件对图像进行操作，如调整对比度、亮度、灰度等。
5.3 如需记录图像，可以使用截屏工具保存图像到计算机中。
同时，应对图像进行必要的标注和注释。
六、操作注意事项6.1 在进行扫描电镜操作时，要小心谨慎，避免对设备和样品造成损坏。
6.2 避免触摸或碰撞扫描电镜主机，以免影响其正常工作。
6.3 在更换样品或进行其他操作前，应先关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
七、操作结束7.1 在使用完扫描电镜后，将样品从样品支架上取下，并妥善保存。
7.2 关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
7.3 清洁电镜屏幕和设备表面，确保无灰尘、指纹等污染。
7.4 检查设备和周围环境，确保没留下个人物品和其他杂物。
以上为扫描电镜操作说明书的内容，仅供参考。
实际操作时，请遵循设备和软件的使用说明，并严格遵守相关安全规定。
操作手册扫描电镜使用方法说明书
操作手册扫描电镜使用方法说明书为了帮助用户准确并便捷地使用操作手册扫描电镜（以下简称SEM），本说明书详细介绍了SEM的使用方法。
请用户在使用前仔细阅读并按照说明书的步骤进行操作，以充分发挥SEM的功能和性能。
一、SEM简介操作手册扫描电镜（Scanning Electron Microscope）是一种常见的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米技术等领域。
SEM通过扫描样品表面，并利用透射电子显微镜产生的信号进行成像，可以获得高分辨率的显微图像。
二、SEM的基本组成SEM主要由以下部件组成：电子枪、感应线圈、轴向磁透镜、扫描线圈、二次电子检测器、成像系统、显示器和控制系统等。
下面将逐一介绍各部件的作用和使用方法。
1. 电子枪电子枪是SEM的核心部件，负责产生高能的电子束。
在使用SEM 前，请确保电子枪处于正常工作状态。
操作时应避免碰触电子枪，以免造成损坏或伤害。
2. 感应线圈感应线圈用于控制电子束的尺寸和聚焦，用户可通过控制系统调整线圈来获得所需的电子束性能。
在操作过程中，需要根据实际要求进行相应的调节，以获得清晰的图像。
3. 轴向磁透镜轴向磁透镜用于进一步聚焦电子束，它可以通过控制磁场强度来改变电子束的聚焦效果。
用户可以通过控制系统进行调节，以提高图像的分辨率和对比度。
4. 扫描线圈扫描线圈负责控制电子束在样品表面上的扫描范围，用户可以通过控制系统设置扫描参数，如扫描速度和扫描线数等。
请确保设置合理的扫描范围，以充分观察样品的细节。
5. 二次电子检测器二次电子检测器用于检测被电子束激发后的次级电子，它能提供样品表面形貌信息。
在使用二次电子检测器时，保持探测器清洁，并根据需要进行灵敏度调节，以获取清晰的形貌图像。
6. 成像系统成像系统负责将电子束激发的信号转化为图像，用户可以通过控制系统来实时观察样品表面的形态。
在观察过程中，可以调整对比度、亮度和放大倍数等参数，以获得所需的图像效果。
SEM扫描电子显微镜操作规范说明文
SEM扫描电子显微镜操作规范说明文SEM（扫描电子显微镜）是一种常见的高分辨率显微镜，广泛应用于材料科学、生物学、地质学等领域。
本文将为您介绍SEM的操作规范，帮助您正确使用SEM，获得高质量的样品图像。
一、安全操作1.佩戴个人防护装备：在操作SEM之前，应佩戴实验室规定的个人防护装备，例如实验服、手套、护目镜等，以确保安全。
2.保持干燥环境：SEM是高真空设备，使用时需要保持室内环境干燥，避免水分对设备产生不良影响。
3.勿使用金属工具：在样品处理和放置过程中，勿使用金属工具接触样品或设备内部，以避免对设备或样品造成损坏。
4.定期检查连接线缆：定期检查SEM的连接线缆，确保连接牢固，避免因松动或接触不良导致设备故障。
二、SEM操作流程1.准备样品a) 样品准备：选择合适的样品，并将其切割成适当大小，确保样品表面光洁、无杂质。
b) 抗静电处理：对于易产生静电的样品，应进行抗静电处理，例如使用离子风枪等设备进行处理。
2.样品安装a) 选择合适的支持物：选择适当的样品支持物，例如SEM样品台、电子传导胶带等，确保样品牢固固定在支持物上。
b) 样品安装：将样品小心地放置在样品台上，确保样品与支持物之间无间隙，避免样品在观察过程中的移动。
3.真空系统a) 真空抽取：打开真空阀门及抽气泵，将SEM内部建立所需真空度，一般情况下需抽取至10^-5 Pa 左右。
b) 真空监测：SEM操作过程中，要定期监测真空度，确保操作条件符合要求，并及时进行调整。
4.操作参数设置a) 电子束参数：根据样品类型和所需观察效果，设置适当的电子束电流、加速电压等参数，以获得清晰的样品表面图像。
b) 工作距离：根据样品类型和所需观察效果，调整电子枪的工作距离，以获得所需的焦距和深度。
5.观察与图像获取a) 标定：在开始观察前，进行系统标定，以保证SEM的精确度和准确度。
b) 焦点调整：调整样品的焦点位置，确保所观察到的图像清晰、细节丰富。
扫描电镜操作指南及注意事项
扫描电镜操作指南及注意事项
扫描电镜操作指南及注意事项
1、开机：打开循环水泵，开启主机DISPLAY。
刷卡上机，
进入系统后，打开电镜软件。
2、上样：按AIR，拔开进样仓，将样品台插在样品杆上，
旋转锁定。
再关闭进样仓，按EVAC抽真空，等到“嘀”
声响后，按OPEN，等到“嘀”声响后，将样品杆推到底，旋转放开，拔出样品杆，然后按CLOSE，关闭舱门。
3、观察：首先每天第一次使用需要进行FLASH操作，然后
调整电压，再低倍下找到样品，转换到高倍进行观察，选取好放大倍数和位置后，进行合轴校准。
调整焦距，再调整像散。
最后切换到慢扫模式进行拍照。
4、下样：归中样品，改为低倍，关闭电压。
然后按照上样
的反向进行下样。
5、关机：刷卡下机，将样品仓抽真空。
然后按顺序关闭软
件、关闭电脑，关闭DISPLAY，关闭循环水泵。
负责人：许碧超。
SEM扫描电镜操作规程
SEM扫描电镜操作规程1.准备工作在操作SEM之前，需要进行以下准备工作：-检查SEM设备的状态，确保设备正常运行。
-检查设备所需的辅助设备(如真空泵、电荷耦合器件等)是否处于正常工作状态。
-检查SEM的样品台是否干净，并根据需要进行清洁。
-准备好所需的SEM样品，确保样品质量符合要求。
2.SEM样品的处理SEM样品处理可以采用不同的方法，具体操作如下：-根据需要，可以采用不同的样品处理方法，如金属表面的腐蚀、材料的抛光或切片等。
-准备样品时，应尽量避免使用导电性差的材料，或者使用导电涂层来增加样品的导电性。
-在样品准备过程中，应注意不要引入尘埃或污染物，以免对SEM观察产生干扰。
3.SEM的真空和电子束的调节SEM操作需要在真空环境下进行，保持真空状态非常重要。
具体操作如下：-打开真空泵，将SEM系统的压力降低到所需的范围。
-启动SEM系统，让系统进入正常工作状态。
-调节加速电压和电子束的聚焦，以获得所需的分辨率和对比度。
4.SEM扫描参数的设置-运行SEM的控制软件，并登录到系统。
-在软件界面上，设置加速电压、扫描速度、扫描区域等参数，以获得所需的SEM图像。
-确定SEM图像的亮度和对比度调节数值，并根据需要进行调整。
5.SEM的样品安装和定位将样品安装到SEM样品台上，并进行定位。
具体操作如下：-将样品放置在样品台上，并将样品台插入SEM系统中。
-使用样品台的移动功能将样品定位到所需的区域。
-在需要的区域上对样品进行缩放和调整，以获得所需的SEM图像。
6.SEM图像的获取和分析通过SEM可以获取高分辨率的图像，并可以对图像进行分析和处理。
具体操作如下：-在SEM软件中，点击开始扫描按钮，开始获取SEM图像。
-SEM图像获取后，可以使用软件提供的工具对图像进行测量、粒度分析等操作。
-根据需要，可以对图像进行处理，如调整亮度和对比度，进行图像增强等。
7.SEM的维护和保养SEM是一种精密仪器，需要进行定期的维护和保养，以确保其正常工作。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程
开机操作：
1.开变压器电源
2.开主电源
3.开真空（VACSW1键点亮）
4.开水箱电源
5.开操作系统（右手OPESW1键点亮）
6.开电脑（账户和密码均为SEMUSer）
7.开软件（桌面PjSEM）GUeSt账户，无密码
8.仪器进行自检，等待5分钟后，所有自检变绿通过，初
始化样品台，主机上EXCHPoSN灯亮起。
9.推入样品，EXCHPoSN以及H1DR灯亮起
10.开电子枪Maintance-Gun-Starup 电源会持续增加
Fi1amentCurrent至2.29ExtractVo1tage至3.0
11.半个小时后电子枪稳定，SIP-1<9E-8,SIP-2<2E-6
12.若真空读数稳定低于至5.0E∙4后，则可进行实验
关机操作：
1.关闭主屏上观察OBSERATIONOFF
2.关电子枪M AINTANENCE-G UN-S HUTDOWN等待
Fi1amentCUrrent慢慢变为0
3.打开Camera,确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或
退到准备舱
4.关软件操作系统Fi1e-exit-exit
5.关闭电脑
6.关闭电镜操作系统（控制台右下方OPESW上0键点击变
亮其中I键为开启）
7.关闭真空系统（控制台左下方VACSW。
键）
8.关水箱（控制台右后方的白色箱子MAIN阀门拉下）
9.5分钟后，关闭主电源（控制台左下方M1ANSWo键
点亮）
10∙确定备用电源处于工作状态（控制台面上左上方，白色盒子,工作时绿灯亮起，电流超过20UA）
I1关闭变压器（机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。
它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。
本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。
二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。
当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。
这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。
三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。
首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。
其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。
注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。
2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。
在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。
预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。
3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。
然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。
4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。
主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。
调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。
5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。
选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。
在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。
6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。
首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。
等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。
清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。
扫描电镜 S-4800操作规程
4. 盖好相应的传感器的罩子；
5. 通过面板处选择Bake设定内外烘烤的时间， 根据自己的时间情况设定如Ou12，In8；Ou 24 ，In12；等等（注意Ou≥In）之后点击 Start 开始烘烤；
6. 烘烤的冷却时间是结束后需要自然冷却6 小时； 7. 冷却后清洗电子枪和镜筒后再将电子枪装 入镜筒； 8. 开机执行Flashing，先F1 0～10uA、F2 30 ～40uA、 F3 50～60uA最后再调回到 F2。
取样品步骤
1. 关掉高压，并样品台归位；
2. 关闭Aperture 从Heat到Off，等待30分钟；
3. 关闭Display 和 Stage 的开关，按住面板处 Air键2～5秒钟；
4. 等待破真空后，取下固定样品室的4个内六 角螺丝； I型：拆下相连接的信号线，小心的取下样品 台；
II型：接上轨道延长杆将样品台缓缓滑出；
5. 戴上手套进入样品室取出样品；
6. 将样品台和线等复原，点击Evac抽真空， 待真空抽好后将Aperture再开始加热；
日常维护保养
1. 清洗冷却循环水过滤网；
2. 空压机放水；
3. 检测RP泵油液面；
关机步骤
1. 点击Stage Home样品归位后，取出样品； 点软件右上角X ，退出软件，正常关机显示 器出现黑屏后关闭Display开关。
烘烤步骤
1. 关掉高压，取下电子枪上的两个固定螺丝；
2. 轻轻的取下高压电缆，将取下的枪头放于 侧面的支架上；
3. 检查镜筒是否干净，安装内外烘烤的电源 线；
二：取样品步骤：
1. 样品检测结束后，关闭高压，点击Stage菜 单的Home 图标使样品归位；
2. 点击样品交换室处的Open键，推进样品杆 将香蕉头插入至样品基座，旋转手柄至Lock 位置；
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、引言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种高分辨率的显微镜，通过扫描样品表面并测量电子束与样品之间的相互作用来获取显微图像。
SEM具有广泛的应用领域，如材料科学、生物学、地质学等。
本操作手册将介绍如何正确地使用扫描电镜并获取高质量的图像。
二、安全注意事项在操作扫描电镜之前，必须了解并遵守以下安全注意事项：1. 确保操作室的通风良好，以避免可能的有毒气体积聚；2. 戴上适当的个人防护设备，如手套、防护眼镜和防护服；3. 使用扫描电镜时务必遵循厂商提供的操作指南和安全规程；4. 确保在扫描电镜操作室中无可燃物或易爆物。
三、扫描电镜基本操作步骤1. 打开电源：确认设备的电源开关处于关闭状态，然后将电源插头插入电源插座，并按下电源开关将设备打开；2. 仪器预热：根据设备的要求，进行预热操作，通常需要预热几分钟或更长时间；3. 样品准备：将待观察的样品固定在扫描电镜样品台上，确保样品表面平整并去除任何可能的尘埃；4. 进样室准备：打开进样室门，将样品小心地放入进样室中；5. 调整焦距：根据样品的特性，调整合适的工作距离和适当的放大倍数；6. 调节束流强度：根据样品要求和所需的图像质量，调整束流强度，确保图像清晰度和对比度；7. 获取显微图像：通过电镜操作软件，选择合适的参数和扫描模式来获取样品的显微图像；8. 图像处理和分析：将获取的显微图像导入图像处理软件中进行后期处理和分析；9. 关机：关闭设备时，首先关闭电源开关，然后将电源插头从电源插座拔出。
四、扫描电镜维护和保养为了保持扫描电镜的正常运行并延长设备的寿命，应定期进行下列维护和保养操作：1. 清洁样品台和进样室：使用特定的清洁剂和软布清洁样品台和进样室，避免使用含酸性或碱性溶液；2. 清理镜头和探针：使用干净的棉签蘸取少量的清洁剂，轻轻地擦拭镜头和探针表面，注意不要在镜头和探针上留下棉签绒毛；3. 替换耗材：根据设备的使用寿命和厂商的建议，定期更换扫描电镜所需的耗材，如探针和滤光片；4. 定期保养：根据设备的保养手册，定期进行设备内部的保养和维护工作，如清洁电子束发射器和调整光学系统。
S-3000N 扫描式电子显微镜简说明书
電子槍接物孔徑SE偵測器S-3000N外觀圖目 錄Ⅰ、操作面板功能介紹 (2)Ⅱ、操作視窗介紹 (3)Ⅲ、開關機程序 (6)(A)開機程序 (6)(B)關機程序 (7)Ⅳ、樣品的置換 (8)(A)放置樣品於樣品座上 (8)(B)樣品的置入 (8)(C)高真空模式設定 (10)(D)低真空模式設定 (11)Ⅴ、影像的觀察 (12)(A)加速電壓的設定 (12)(B)影像亮度、對比調整 (13)(C)焦距調整 (13)(D)觀察區域的選擇 (14)(E)像差的調整 (14)(F)拍照攝影 (15)Ⅵ、決定影像品質的因素 (16)(A)高真空模式下 (16)(B)低真空模式下 (17)Ⅶ、準位（Alignment）調整 (18)Ⅷ、燈絲電流調整設定與電子槍的軸調整 (19)Ⅰ、操作面板功能介紹號碼轉鈕功能（1）X IMAGE SHIFT/ K1 MULTI-FUNCTIONS（X影像移動/K1多功能鈕）X方向影像移動K1多功能影像調整（2）Y IMAGE SHIFT/ K2 MULTI-FUNCTIONS（Y影像移動/K2多功能鈕）Y方向影像移動K2多功能影像調整（3）X STIGMATOR/ALIGNMENT（X像差調整鈕/軸調整）X方向影像像差調整電子束軸調整（4）Y STIGMATOR/ALIGNMENT（Y像差調整鈕/軸調整）Y方向影像像差調整電子束軸調整（5）MAGNIFICATION（倍率鈕）影像縮小放大（6）CONTRAST（對比鈕）影像對比度調整（7）BRIGHTNESS（明暗度鈕）影像明暗度調整（8）FOCUS（聚焦鈕）影像焦距調整Ⅱ、操作視窗介紹目錄列 工具列加速電壓設定掃描速度模式選擇 自動明亮對比調整自動聚焦調整自動像差調整影像掃描/凍結影像調整視窗放大倍率顯示功能選擇列 分析模式選擇影像擷取電子式影像位移波形顯示真空程度顯示影像掃描視窗 狀態列粗調設在”50”微調設在”0”高解析度、高倍率模式 大聚焦深度或低倍率模式工具列組成像 凹凸像3D 像高解析模式 標準模式 立體影像Ⅲ、開關機程序 （A ） 開機程序(1) 打開冷卻循環水槽。
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冷场发射扫描电子显微镜S4800操作说明（普通用户）燕山大学材料学院材料管A104（场发射，钨灯丝）编写人：李月晴吕益飞普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。
高倍调清晰：局部放大(Red) →聚焦Focus→消像散一、日常开机1，开启冷却循环水电源。
2，按下Display开关至，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
3，打开信号采集开关，位置打到1，为打开。
4，打开电源插排的开关。
5，打开装有EDS软件的主机电源。
6，记录仪器运行参数(右下角Mainte)，即钨灯丝真空度。
如：IP1：0.0×10-8Pa；IP2：0.0×10-8Pa；IP3：9.6×10-7Pa。
PeG-1，<1×10-3；PeG-2，<1×10+2。
注意：PeG≤1×10-3Pa时才能加高压测量。
记录的参数：①点Flashing时会显示：In2(Ie)Flashing时电流最大值，如32.9μA；②加上高压后会显示，V ext=3.4kV。
二、轰击（点flashing，即在阴极加额外电压）目的：高温去除针尖表面吸附的气体1，最好在每天开始观察样品前一时做flashing；2，选择flashing intensity为2 ；3，若flashing运行时Ie小于20µA，则反复执行直至Ie值超过20µA且不再增加。
4，若flashing后超过8个小时仍继续使用，重新执行flshing 。
三、加液氮容积不要超过1L，能维持4~6h。
四、样品制备及装入样品制备简单，对样品要求较低，只要能放进样品室，都可进行观察。
1，化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。
2，样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。
3，带有磁性的样品，由于物镜有强磁性，制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中，工作距离(WD) 要大于8.0mm。
操作过程：(1) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。
（非导电样品可以用双面胶。
）(2) 把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。
（3）样品若不导电，需要喷镀金膜。
喷镀金膜：真空6~8Pa，电流调到10mA左右（通过降低真空度来调节电流，点按检验按钮可以查看电流值），喷金时间一共30s（习惯先20s后10s）。
五、样品装入放样品是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视1，粘好样品后，用标准高度规（8mm高度）检测样品高度，使样品的最高处和高度规的下边缘精确对齐，误差在1mm范围内。
如图1所示。
同时确认样品台和调节螺杆固定好，紧固盘片已固定。
图12，在样品交换室上按Air键，放空气进入该交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。
如图2所示图23，Air→装样品→EV AC→Open→推入到底→Close→HOME最后在软件操作界面上点击Home键，等绿色显示条停止闪烁后，说明腔室内样品座已完全回归原位。
如图3所示：图3确认样品杆在unlock位置，稍微推样品杆使样品杆前端可见，然后将图1中的样品台装入样品杆前端，lock样品杆后，将样品杆拉回到底。
合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空，等听到“滴”的声音后，再按Open键，可以打开交换室和主机腔室之间的阀门，可以清楚的看到阀门打开，听到“滴”的提示声音。
确认阀门打开后，将样品杆轻推入到底，然后旋转样品杆至unlock位置，抽出样品杆到底，这样样品就已经放在主机腔室中了。
按close键关闭阀门，听到“滴”的提示声音后，说明已关闭。
下面即可开始样品观察了。
[注]: 以上放样品步骤，2分钟左右即可完成，所以不要着急，要一步步来。
六、样品观察及拍照1，样品放好后，在软件界面上选择合适的高压和发射电流，然后点击”ON”加高压，如图4所示。
在加高压时会弹出样品台大小、高度确认对话框，如图5所示。
高度前面已确认是8mm 标准高度，如果样品台大小（平面尺寸）和对话框中数值不相符，则要点击cancel，在软件面板中的Stage部分，选择合适的样品台大小，如图6所示图4图5（注：该提示为15mm，但在本台仪器上显示为5 inch，属于正常情况。
15毫米=0.59inch。
）图62，在L/M（低放大倍率）下找到要看的样品，使用stage里面的导航图，在上图6中点击Disp，弹出导航图，找到要观察的样品后，点击Reg，即可在导航图中记录相应的位置。
观察中发现图象过亮或过暗，用鼠标点击，自动调节对比度和亮度。
3，然后切换到H/M模式。
单击操作界面上的Align键，如图7所示，点击其中的Beam Align，做电子束对中调整，调整好后点击off。
图74，在要观察样品区域，旋转Magnification旋钮，把图象调到合适放大倍数，然后调节Focus旋钮中的Coarse (粗调)旋钮将图象大致调清楚，滚动轨迹球对所要观察的细节进行搜索。
Focus 调焦发现图像移动，需要做Aperture Align ，点击图7界面上的Aperture Align ，使图像象心脏一般跳动，然后点击off 。
5，如果调焦时，发现图像向一个方向变模糊，需要调Stigmator ，进行象散校正。
需对x 和y 进行单独校正，可反复多次校正，同时调节Fine 旋钮聚焦。
4）和5）步的调整总结在下图8中。
图8说明：扫描速度的选择，速度越慢图象质量越高，漂移和荷电现象越严重。
图象调节过程中用TV ，Fast 或Red; 图象观察和确认用CSS 或Slow 。
6，得到清晰的图像后，选择Slow （分辨率高）或CSS （对于轻微荷电样品用）或TV/Fast （对于强荷电样品，不耐高压且慢扫易变形图像）扫描模式，然后点击拍照键，如图9所示，即可拍照片。
图97，在Captured Image 中选择欲保存的照片，点击右下方SA VE 按钮。
选择保存位置、使用者及样品信息后保存。
如图10。
七、EDS（或EMAX）扫描EDS分辨率为133ev选项→电镜控制→电镜设置→感兴趣区→采集图谱→确认元素→定量分析设置(传送，保存)→报告(保存Word)；同时项目另存。
保存完word后可关闭word小窗口。
每个采集的图谱都要进行元素确认。
看含量≤offset的3倍的元素删掉以后，要重新传送保存。
存图：图像光谱结果汇总。
1，EMAX探头限位：到达黑色台。
2，升加速电压Vacc至20KV，电流Probe Current设为High。
,3，聚焦。
（图像大致清晰即可，如2K倍，因为EMAX分辨率低，为μm级）。
能谱范围是微米级（因为电子束光斑是微米级别，即打能谱的区域越大越靠谱）。
4，调节工作距离。
给定工作距离为15mm(与EMAX探头有关)。
场发射SEM工作距离为8mm。
此时，需增加工作距离为15mm（工作距离以扫描图片上的为准）。
如SEM图片距离为9.2mm，此时要想调节工作距离到真实距离15mm的话，需将工作距离设为13.8mm，点按stage导航图里面的go即可。
重新聚焦。
5，打开EMAX软件，以创建新项目。
做完上一个样品的能谱后，EMAX软件都要关闭再重新打开，目的是创建新项目。
（也可以不关闭，直接新建。
关闭的目的是为了防止误操作）6，选项>> 电镜控制。
需要输入和扫描匹配的参数，2000倍，20KV，15mm（扫描图片上的真实值为准）。
按回车以确认参数输入进去，点关闭。
7，电镜设置。
该步骤类似于预扫，参数要看死时间。
死时间可简单理解为无效时间所占百分比，处理时间与死时间基本成正比，处理时间某个参数设为4或者5都行，以保证死时间在20~30%即可。
8，点扫描需要设置为——point&ID线扫描和面扫描需要设置为——Mapping（1）点扫描：感兴趣区>> 采集（点按圆点，鼠标划过时有中文提示）——采集图谱——点扫描——确认元素——图谱1(增删元素)——定量分析设置——传送——保存——定量分析—报告——word 保存，另存项目。
（2）线扫描：感兴趣区——SmartMap，线扫描预扫——添加已知元素——线扫描——等到强度足够的时候，回到SmartMap点按停止扫描——报告SmartMap——word保存，另存项目。
（2）面扫描：以后补充上！！！！！！！！！！！！！！！！！！注意：元素存在的一般判断准则：在未知元素的前提下，测量值超过误差的三倍，一般判断为含有此元素；在已知元素的前提下，可删除不可能存在的元素，而不理会测量得出的数值。
八、取样品取样品也是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视1)需要取样品时，先点击图4中的OFF键关电子束。
然后点击图2中的EXC 键,，直到不闪烁为止。
2)然后点击图3中的”Open”，等隔离阀打开后（听到”滴“的声音），将处于Unlock位置的样品杆轻推入到底，然后Lock样品杆，将样品台拉出到底。
3）点击图3中的“Close”，等隔离阀关闭后（听到”滴“的声音后），点击”Air”，放空气进入交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。
4）打开交换室后，稍微推样品杆使样品杆前端可见，旋转样品杆至”unlock”位置，然后将样品台卸下，将样品杆拉回到底。
合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空。
5）将样品从样品台卸下，并清除导电胶带，保持样品台清洁。
九、关机1，Vacc降为15KV，Probe Current设为Norm。
2，File >> Exit3，EMAX探头归位。
一直旋，旋的同时注意把持住仪器，直到探头露出来，位置在7以上就能看到。
4，关EMAX软件的电脑。
5，关信号采集开关，位置打到0，为关闭。
6，关电源插排的开关，以防雷电击坏。
7，关Display8，关循环水，在隔壁屋，点OFF/ON，cool灯灭即可。