扫描电镜操作手册
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到 焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯 不亮） (b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
观测条件的选择
1、加速电压的选择 从电子光学的角度讲，随着加速电压的升 高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐 照损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类 及所要得到的信息，适当地选择加速电压。对 于导电性好的样品，可以选择较高的加速电压； 相反，对于导电性较差的样品，则应选择较低 的加速电压。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
TESCAN扫描电镜使用说明书
Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。
（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
（4）系统自动进行硬件、软件自检。
（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。
（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。
2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。
（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。
（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。
（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。
（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。
（6）确认BSE探头已摇出。
3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20kv (100±5) μA ），进行观察。
（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。
（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储。
（4）如果对样品进行成分分析，应该将WD调至15mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。
（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整BI，检测计数率。
（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万）。
S-4100扫描电镜操作手册
S-4100 扫描电镜操作手册1 名称：Scanning Electron Microscope S-4100 Operation Manual2 目的：为操作 S-4100机台之依据3 范围：3.1适用机台：S-4100 Scanning Electron Microscope3.2机台结构与外观3.3机台位置: SEM/EDX 分析实验室4 名词定义：SEM: Scanning Electron Microscope扫描式电子显微镜S.C.: Specimen Chamber试片真空室S.E.C.: Specimen Exchange Chamber试片转换室HV: High Voltage高压EDX: Energy Dispersive X-ray Spectrum5负责单位：5.1 接受各部门委托, 操作电子显微镜的工作。
5.2 操作S-4100之人员, 需经过FA负责工程师的资格鉴定, 方可操作机台。
5.3 严禁FA以外人员操作S-4100.6 操作步骤6.1正常操作流程图：6.2 开机预备操作6.2.1检查真空。
在开始操作之前，必须检查机台前端控制面板，符合以下条件：6.2.1.1 IP1，IP2及IP3灯亮。
6.2.1.2 IP(离子泵)读数必须小于以下数字：IP-1……………………………1.5E-7PaIP-2……………………………1E-6PaIP-3……………………………1E-5PaS.C………………………………5E-3Pa(Pe)6.2.1.3 “EVAC POWER”处于“ON”。
6.2.1.4 “DP/TMP”、“WATER”、“AIR PRES”灯都亮。
6.2.1.5“S.C VACUUM HIGH”和“S.E.C VACUUM HIGH”指示灯亮。
6.2.1.6 真空转换开关“S.C/S.E.C”置于S.E.C位置。
6.2.1.7 镜筒隔离阀“S.C AIR LOCK VALVE”置于“CLOSE”位置。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
SEM操作手册
扫描电镜基本操作步骤和注意事项一、基本操作步骤：1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。
2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。
实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正常。
测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。
每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。
4. 未测试前系统处于“P ump”状态（黄色），按“V ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），约2分钟后“V ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。
5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。
放置样品时切忌对着样品室说话，并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。
（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。
鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。
等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设置好高压和Spot的值，方可点击“High Voltage”加上高压。
扫描电镜ZeissSupra55简明操作指南
扫描电镜ZeissSupra55简明操作指南Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南一、开机启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss2、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：无3、检查真空值。
二、换样品(换样或加高压观察样品)1、装试样。
在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。
注意：各样品观察点高度基本一致。
确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。
2、关高压。
3、检查插入式探测器状态打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。
4、放气。
点Vent等待3-5 分钟。
注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。
5、拉开舱门。
注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。
6、更换样品座注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。
7、关上舱门。
注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。
8、抽真空。
点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun On），左下角Ready。
等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。
9、换样完成。
加高压，观察样品台TV三、成像过程1、定位样品。
打开TV，移动样品台。
升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。
可打开stage navigation帮助定位。
2、开高压。
根据检测要求和样品特性，设定加速电压；3、观察样品，定位观察区。
全屏快速扫描（点击工具栏上）；选择Inlens或SE2探头；缩小放大倍数至最小；聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；读取WD数值；必要时升降样品台，WD常用8-10mm；移动样品台X、Y，或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位；聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；4、##必要时，调光阑对中。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
4、调节电子光学系统
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。
（1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置， 卸下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点
击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和
1、启动操作程序PC－SEM
打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－
SEM自动启动，要求输入程序的用户名和 密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到
焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电镜操作指导书ZF-EI-QA-008
一开机1. 开循环水电源；开启机械泵、变压器、空气压缩机及仪器总电源；2. 开真空电源（V ACUUM POWER），并打开“STAND BY”准备开关；3. 将主机背后真空系统控制面板上的自动、手动开关置于AUTO自动状态，这时只有V2和D.P开始工作；4. 30 min后，关闭“STAND BY”，数分钟后D.P、V2、V5、V4全部打开，系统自动进入抽高真空状态；5. 10 min后，系统内真空抽好，即可开始工作；6. 打开电器柜电源（CONSOLE POWER）。
二制样（针对粉末状导电样品）1. 导电带粘在样品杯上；2. 蘸取少量的样品均匀的涂在导电带上；3. 用吸耳球吹掉没有固定好的样品。
三样品安装1. 关闭灯丝电流，关闭高压，推入V1阀，打开样品放气开关（CHAMB VENT）2. 待镜筒完全放气后把样品台的Z向逆时针旋转几圈，拉出样品架，松开样品台固定锣丝，更换制备好的样品，推入样品架；3. 关闭样品室放气开关（CHAMB VENT），系统开始自动抽真空，V5自动打开10 min后，即可开始工作。
四扫描图像观察1. 打开KYKY-EM3200软件；拉出镜筒V1阀；加高压（选择10～30 KV）；2. 缓慢增加灯丝电压，至束流饱和为止（灯丝电压6～7之间）；3. 调节对比度、亮度，调节电对中X、Y使得图像最亮；4. 移动样品，选择合适的观察视野，在选区扫描模式下进行聚焦，在中慢扫描模式下观察图像。
5. 点击冻结按钮，点击照相按钮，或者点击同步按钮，然后对生成图像右键单击保存，即可得到图像。
五合轴和消像散1. 调出图像后，将光阑杆旋到要选光阑的刻度处，在屏幕上看到图像；2. 通过移动物镜光阑的X、Y方向进行合轴；3. 在高倍下用自动或手动消像散器进行消像散操作。
六换灯丝1. 关闭灯丝电流，关闭高压，对比度退到0，推入V1，打开电子枪放气开关“GUN VENT”；2. 取下电子枪盖帽，卸下灯丝组件，将旧灯丝拆下，用氨气清洗栅帽孔周围，并换上新灯丝，灯丝组件重新装好，同时检查密封圈的好坏，是否在槽内，然后将盖帽装好3. 关闭电子枪放气开关“GUN VENT”，系统开始自动抽真空，V5自动打开10 min后，即可开始工作。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作 1、进样后，等待电镜抽真空，当真空读数小于5E-04，开启电子枪，打开观察Observation （点击按钮ON 变绿色），点击操作台上ACB （自动白平衡），WD 调到10.0mm （CL 要调到14.1mm ），移动操作球（X,Y ， 或使用鼠标右键选取点击位置到屏幕中心），找到观察样品表面，将放大倍数调大，旋转操作球的旋钮调整Z 轴到合适的观察距离使得画面清楚（注意Z 轴动态，不要超过2mm ，操作球旋钮调整Z 轴的速率跟放大倍数成反比）。
2放大倍率旋钮顺时针可将样品放大至需要的倍数，反复调整焦距，使样品表面尽量清楚（可找到样品表面的裂缝或突起作为参照物）。
若画面还不清楚，可先放大到较高倍率（1万倍以上）反复调整像散x 、y 及焦距至影像清楚，直至影像清晰后再切回所需倍率。
3、进行上述操作后，若图像仍不清楚，可点击操作面板上的WORB 模式进行对中操作，此时面板上的WORB 和ALIGN 灯会持续闪烁，此时画面应像心脏一样跳动，若左右或上下晃动需调整像散的X ，Y ，调好后点STIG 会取消对中模式，反复切换对中模式和像散模式，结合焦距进行图像调整。
4、扫描模式：快速扫描模式QUICK VIEW （QUICK 1移动快, 再点一下显示屏上可看到变成QUICK 2），在LED （二次电子图像）模式下，移动或者调焦距需在QUICK 1模式下。
慢速扫描模式FINE VIEW （FINE 1移动慢但成像较好，FINE 2照相的速度），在BED-C （背散射模式）或CL(阴极发光模式)下可切换到FINE 1模式下观察或移动。
5、LED （二次电子图像）模式是观察样品的表面形貌；BED-C （背散射）模式代表了样品的成分，颜色不同成分不同。
鼠标左键点LED 可在下拉列表中切换。
切换前，需在右下角SRBE 前点对号把背散射探头送进去。
在BED-C （背散射模式）下可慢慢旋转BRIGHTNESS 和CONTRAST 来调节亮度和对比度，若图像模糊可把对比度和亮度调大，若图像中亮的太亮看不清内部结构可把对比度和亮度同时稍调低。
扫描电镜操作说明书
扫描电镜操作说明书一、准备工作1.1 准备扫描电镜操作所需的材料和设备，包括扫描电镜主机、计算机、样品支架、镊子、电镜屏幕清洁布等。
1.2 确保扫描电镜主机已接通电源，并处于待机状态。
1.3 打开计算机，并确保与扫描电镜主机连接正常。
二、样品处理2.1 确保样品已按照预定的方法进行制备，并处理掉可能对扫描电镜操作产生干扰的杂质。
2.2 将样品放置在样品支架上，并通过镊子轻轻固定。
三、开始扫描3.1 打开扫描电镜软件，并在计算机上进行相应的设置。
3.2 将样品支架插入扫描电镜主机，确保插入深度适当。
3.3 根据样品特性和所需观察的区域，选择适当的扫描电镜模式和参数。
3.4 等待扫描电镜主机进行自检，确保操作正常。
四、调整参数4.1 通过软件界面调整所需观察的放大倍数。
4.2 调整电子束的加速电压和亮度，以获得清晰的图像。
4.3 根据样品的导电性和形态，选择合适的工作模式和探针电流。
五、观察与记录5.1 在电镜屏幕上观察样品表面的图像。
5.2 根据需要，可以通过扫描电镜软件对图像进行操作，如调整对比度、亮度、灰度等。
5.3 如需记录图像，可以使用截屏工具保存图像到计算机中。
同时，应对图像进行必要的标注和注释。
六、操作注意事项6.1 在进行扫描电镜操作时，要小心谨慎，避免对设备和样品造成损坏。
6.2 避免触摸或碰撞扫描电镜主机，以免影响其正常工作。
6.3 在更换样品或进行其他操作前，应先关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
七、操作结束7.1 在使用完扫描电镜后，将样品从样品支架上取下，并妥善保存。
7.2 关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
7.3 清洁电镜屏幕和设备表面，确保无灰尘、指纹等污染。
7.4 检查设备和周围环境，确保没留下个人物品和其他杂物。
以上为扫描电镜操作说明书的内容，仅供参考。
实际操作时，请遵循设备和软件的使用说明，并严格遵守相关安全规定。
扫描电镜操作
[1]把key从off转到start，之后会自动转换到on[2]EVAV抽真空，该键前的绿灯闪则 wait，不闪则start [3]放样品：点air（如上图），wait[4]量尺寸：在如图刻度处测量尺寸。
Attention：应该输入稍高的尺寸，如测量为10，输入12[5]放样品按如图左侧白色按钮，然后插入样品，一定要插到底，否则尺寸会有误差。
样品放好后会自动旋转90度。
（样品越矮，照的越清楚）[6]输尺寸放入样品后按白色按钮，会自动在页面上出现一个对话框，点取消cancel，之后出现stage界面。
点set，输入高度，点OK。
注：圆盘尺寸为51，32，26[7]image设置把PROTTATIOW设置为0[8]抽真空点右上角EVAV键，等响一声后点左上角on[9]设置stage界面Z值一般用10-15照相，越近分辨率越好，断口要远点一般先调20，没有问题后调15或者直接调10. 注：最小为6[10]聚焦先聚焦再调倍数，先看1000倍左下角（大）：放大倍数旁边（两个）：相散。
（聚焦不成功时，调使图像清楚）右侧上边（两个）：颜色对比度右侧下边（左）：粗调（放大倍数）右侧下边（右）：微调（放大倍数）右侧下边（两个）：聚焦[11]小图调用Redf键调，先调高倍，再看低倍[12]调亮度如上图，用ABCC自动调亮度[13]照相先在D盘建一个文件夹。
点1280键照相。
Attention：1.导电性差的用fast，后面选8或者16 frames2.slow分辨率高，一般选择20或者40 s[14]保存电压右边扭TV1为打开图像键，all为全存，或者选择图像之后点save，设名字[15]再照相再照相按1280重新选择别的地方照，按run，转换成freeze（如图）换样品步骤：[1]点左上角off[2]点右上角homez65（前为紫色）[3]点右上角air（前为桔黄色）出样品响三声后OK[4]放样品Attention：[1]高电压，低电流图像分辨率高，电流一般60左右，看能谱，电流高点[2]当看到视场中的相上下左右动时，considered相散questions，按盘上相散按钮[3]如果还动，按screen的alight键，准确调。
扫描电镜操作方法
扫描电镜操作方法1、接通电源，打开电镜主机上的开关（开关有三个档，第一档为关闭，第二档开启，第三档为启动）启动的时候把钥匙放在第三档大约两秒钟松手，电镜启动，钥匙自动回到第二档（回到第二档的原因是防止突然断电，又突然来电）。
2、打开电脑。
3、打开电脑桌面上的电镜操作软件（打开软件电镜真空泵会自动工作，开始抽电子枪与样品室内的空气。
此时软件上的“HT”为灰色，真空抽完之后，“HT”会变成蓝色）4、点操作界面的Sample，选择“Vent”（此时电镜主机上的“放气”指示灯开始闪烁，停止闪烁为工作完成），调正“Staqe”中的“Z”轴为40mm以上（“Z”轴最大位置为80mm），打开样品室，取出样品台（注意：在取样品台时手不得接触二次电子探头和背散射探头），固定样品（样品要确保良好的导电性），完成后再抽真空，点击Sample中的“Evac”，真空泵开始工作，当“HT”变为蓝色，抽真空完成。
5、确定工作电压与工作距离（工作电压“Acc.volt”一般为30KV，工作距离“WD”一般为10mm，束斑Spotsize一般为30，工作模式Signal：二次电子SEI和背散射BEW，真空模式Vac.mode：HV和LV）在确定工作电压和工作距离时，不用看原来的数值是多少都要重新指定。
6、点击“HT”打开高压，“HT”变为绿色。
7、打开“Staqe”通过调正“X、Y、T、R”四个轴向找到样品的位置，再调正“Z”轴确定样品台的位置（注意：在确定工作位置的时候要确定样品的高度。
如：样品为2mm，那么Z轴的数值应调正为15mm），放大样品到模糊看不清的倍数，通过对“Z”轴的上、下位置调正样品为最清淅的位置，再放大样品到模糊看不清的倍数，再用同样的方法调正到最清淅的位置。
8、点击“Vlew”使放大倍数回到30X，9、先放大到一个合适选择最佳拍照位置的倍数，选择一个最佳的拍照位置（样品表面尽量平整）10、旋转操作台上的放大旋钮到样品合适的放大倍数（此数值的确定跟据样品的不同而不同），氧化锌的适合放大倍数为15000X，软件上操作窗口的Soan2为被选择状态。
操作手册扫描电镜使用方法说明书
操作手册扫描电镜使用方法说明书为了帮助用户准确并便捷地使用操作手册扫描电镜（以下简称SEM），本说明书详细介绍了SEM的使用方法。
请用户在使用前仔细阅读并按照说明书的步骤进行操作，以充分发挥SEM的功能和性能。
一、SEM简介操作手册扫描电镜（Scanning Electron Microscope）是一种常见的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米技术等领域。
SEM通过扫描样品表面，并利用透射电子显微镜产生的信号进行成像，可以获得高分辨率的显微图像。
二、SEM的基本组成SEM主要由以下部件组成：电子枪、感应线圈、轴向磁透镜、扫描线圈、二次电子检测器、成像系统、显示器和控制系统等。
下面将逐一介绍各部件的作用和使用方法。
1. 电子枪电子枪是SEM的核心部件，负责产生高能的电子束。
在使用SEM 前，请确保电子枪处于正常工作状态。
操作时应避免碰触电子枪，以免造成损坏或伤害。
2. 感应线圈感应线圈用于控制电子束的尺寸和聚焦，用户可通过控制系统调整线圈来获得所需的电子束性能。
在操作过程中，需要根据实际要求进行相应的调节，以获得清晰的图像。
3. 轴向磁透镜轴向磁透镜用于进一步聚焦电子束，它可以通过控制磁场强度来改变电子束的聚焦效果。
用户可以通过控制系统进行调节，以提高图像的分辨率和对比度。
4. 扫描线圈扫描线圈负责控制电子束在样品表面上的扫描范围，用户可以通过控制系统设置扫描参数，如扫描速度和扫描线数等。
请确保设置合理的扫描范围，以充分观察样品的细节。
5. 二次电子检测器二次电子检测器用于检测被电子束激发后的次级电子，它能提供样品表面形貌信息。
在使用二次电子检测器时，保持探测器清洁，并根据需要进行灵敏度调节，以获取清晰的形貌图像。
6. 成像系统成像系统负责将电子束激发的信号转化为图像，用户可以通过控制系统来实时观察样品表面的形态。
在观察过程中，可以调整对比度、亮度和放大倍数等参数，以获得所需的图像效果。
扫描电镜操作指南及注意事项
扫描电镜操作指南及注意事项
扫描电镜操作指南及注意事项
1、开机：打开循环水泵，开启主机DISPLAY。
刷卡上机，
进入系统后，打开电镜软件。
2、上样：按AIR，拔开进样仓，将样品台插在样品杆上，
旋转锁定。
再关闭进样仓，按EVAC抽真空，等到“嘀”
声响后，按OPEN，等到“嘀”声响后，将样品杆推到底，旋转放开，拔出样品杆，然后按CLOSE，关闭舱门。
3、观察：首先每天第一次使用需要进行FLASH操作，然后
调整电压，再低倍下找到样品，转换到高倍进行观察，选取好放大倍数和位置后，进行合轴校准。
调整焦距，再调整像散。
最后切换到慢扫模式进行拍照。
4、下样：归中样品，改为低倍，关闭电压。
然后按照上样
的反向进行下样。
5、关机：刷卡下机，将样品仓抽真空。
然后按顺序关闭软
件、关闭电脑，关闭DISPLAY，关闭循环水泵。
负责人：许碧超。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程
开机操作：
1.开变压器电源
2.开主电源
3.开真空（VACSW1键点亮）
4.开水箱电源
5.开操作系统（右手OPESW1键点亮）
6.开电脑（账户和密码均为SEMUSer）
7.开软件（桌面PjSEM）GUeSt账户，无密码
8.仪器进行自检，等待5分钟后，所有自检变绿通过，初
始化样品台，主机上EXCHPoSN灯亮起。
9.推入样品，EXCHPoSN以及H1DR灯亮起
10.开电子枪Maintance-Gun-Starup 电源会持续增加
Fi1amentCurrent至2.29ExtractVo1tage至3.0
11.半个小时后电子枪稳定，SIP-1<9E-8,SIP-2<2E-6
12.若真空读数稳定低于至5.0E∙4后，则可进行实验
关机操作：
1.关闭主屏上观察OBSERATIONOFF
2.关电子枪M AINTANENCE-G UN-S HUTDOWN等待
Fi1amentCUrrent慢慢变为0
3.打开Camera,确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或
退到准备舱
4.关软件操作系统Fi1e-exit-exit
5.关闭电脑
6.关闭电镜操作系统（控制台右下方OPESW上0键点击变
亮其中I键为开启）
7.关闭真空系统（控制台左下方VACSW。
键）
8.关水箱（控制台右后方的白色箱子MAIN阀门拉下）
9.5分钟后，关闭主电源（控制台左下方M1ANSWo键
点亮）
10∙确定备用电源处于工作状态（控制台面上左上方，白色盒子,工作时绿灯亮起，电流超过20UA）
I1关闭变压器（机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、前言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种采用电子束来形成高分辨率图像的仪器。
它可以通过扫描样品表面并检测反射电子的方式，将样品的微观形貌和表面结构进行观察和分析。
本操作手册将向您介绍扫描电镜的基本原理和操作步骤，以及一些常见的技巧和注意事项。
二、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用高能电子束与样品相互作用产生的各种信号来获取样品表面形貌的信息。
当电子束扫描到样品表面时，会产生次级电子、反射电子、散射电子等不同的信号。
这些信号被探测器接收并转换成电压信号，再通过信号处理系统转换成图像。
三、扫描电镜的操作步骤1. 准备工作在操作扫描电镜之前，需要进行一些准备工作。
首先，打开电镜主机，并确保它与电源连接。
其次，检查样品架是否干净，并将待观察的样品放置在样品架上。
注意，样品表面应干净且不含有尘埃和油污等杂质。
2. 开机和预热按下电源按钮，等待电镜主机启动。
在启动过程中，电子枪和样品室会开始预热。
预热时间一般为15-20分钟，以确保电子枪和样品室达到稳定的工作温度。
3. 样品安装当电镜主机预热完成后，打开样品室的门，并将准备好的样品放置在样品架上。
然后，仔细关闭样品室门，并确保它完全密封。
4. 参数调整根据样品的性质和需求，进行相应的参数调整。
主要包括加速电压、放大倍数、扫描速度等参数的选择和调整。
调整参数时，应根据所需的观察效果进行实时调整和反馈。
5. 图像观察和采集在参数调整完成后，可以开始观察和采集图像。
选择观察区域并调整对焦，然后点击图像采集按钮进行图像保存。
在观察和采集图像时，注意保持样品和电子束之间的距离适当，以避免样品受到过度辐照。
6. 关机和清理在使用完毕后，进行关机和清理工作。
首先，将加速电压调至最低，然后按下关机按钮。
等待电镜主机完全关闭后，进行样品架的清理和样品的取出。
清理时，使用压缩空气吹扫样品架和电子束光路，以去除附着在上面的灰尘和杂质。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册一、引言扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种高分辨率的显微镜，通过扫描样品表面并测量电子束与样品之间的相互作用来获取显微图像。
SEM具有广泛的应用领域，如材料科学、生物学、地质学等。
本操作手册将介绍如何正确地使用扫描电镜并获取高质量的图像。
二、安全注意事项在操作扫描电镜之前，必须了解并遵守以下安全注意事项：1. 确保操作室的通风良好，以避免可能的有毒气体积聚；2. 戴上适当的个人防护设备，如手套、防护眼镜和防护服；3. 使用扫描电镜时务必遵循厂商提供的操作指南和安全规程；4. 确保在扫描电镜操作室中无可燃物或易爆物。
三、扫描电镜基本操作步骤1. 打开电源：确认设备的电源开关处于关闭状态，然后将电源插头插入电源插座，并按下电源开关将设备打开；2. 仪器预热：根据设备的要求，进行预热操作，通常需要预热几分钟或更长时间；3. 样品准备：将待观察的样品固定在扫描电镜样品台上，确保样品表面平整并去除任何可能的尘埃；4. 进样室准备：打开进样室门，将样品小心地放入进样室中；5. 调整焦距：根据样品的特性，调整合适的工作距离和适当的放大倍数；6. 调节束流强度：根据样品要求和所需的图像质量，调整束流强度，确保图像清晰度和对比度；7. 获取显微图像：通过电镜操作软件，选择合适的参数和扫描模式来获取样品的显微图像；8. 图像处理和分析：将获取的显微图像导入图像处理软件中进行后期处理和分析；9. 关机：关闭设备时，首先关闭电源开关，然后将电源插头从电源插座拔出。
四、扫描电镜维护和保养为了保持扫描电镜的正常运行并延长设备的寿命，应定期进行下列维护和保养操作：1. 清洁样品台和进样室：使用特定的清洁剂和软布清洁样品台和进样室，避免使用含酸性或碱性溶液；2. 清理镜头和探针：使用干净的棉签蘸取少量的清洁剂，轻轻地擦拭镜头和探针表面，注意不要在镜头和探针上留下棉签绒毛；3. 替换耗材：根据设备的使用寿命和厂商的建议，定期更换扫描电镜所需的耗材，如探针和滤光片；4. 定期保养：根据设备的保养手册，定期进行设备内部的保养和维护工作，如清洁电子束发射器和调整光学系统。
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SEM操作手册
一、开机
在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一
图一
a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。
b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。
c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入
系统。
d 双击SmartSEM并登陆。
二、放置样品
（1）从样品室放入样品
a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。
该窗口包括六个控制版面（如
图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。
b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。
图二
c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。
图三
（2）用Airlock放置样品
图四
a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。
b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。
c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。
（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）
三、观察样品
（1）移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离
a如果已经勾选了Joystick disable，在stage中取消Joystick disable选项。
PS: 在SmartSEM 5.06中，增加了Stage Disabe选项，此选项也需要取消勾选。
且取消后，右下角有个对话框弹出，必须点击OK后才能进行其他操作！
b通过切换到CCD观察模式。
图五
c 通过样品台控制器将样品移到合适的位置，如图五所示：
当2号操纵杆上下移动，控制样品台的上下移动。
当2号操纵杆左右移动，控制样品台的左右倾斜。
当1号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右(X &Y axis)移动。
当旋拧1号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。
当按3号按钮，样品台紧急停止。
（2）选择合适的ETH、光阑和探头
图六
a 选择加速电压（EHT），如图六为SEM Control: Gun面板，在EHT target中输入设定的加速电压数值，在Beam State的下拉菜单中选择EHT on。
不同加速电压的适用范围如下表：
b 选择合适的光阑，如图七为SEM Control: Aperture面板，在Aperture size的下拉菜单中选择合适的光阑（一般30µm光阑即可，采集能谱信号需要60µm或120µm的大光阑）。
光阑选择后勾上Focus Wobble，Wobble amplitude调整为50%左右，选择Aperture Align中调节光阑，调至图像不再跑动，原地闪动即可，再勾掉Focus Wobbe（在放大倍数不是很大的情况下，wobble可以不用调节，如果放大倍数一万倍以上，wobbble必须需要调节）。
图七
c 选择合适的探头，二次电子探头包括SE2探头和Inlens探头，SE2探头的最高加速电压为30kV，偏压为300V左右，拍出的图像更具有立体感；InLens探头最高的加速电压为20kV，其拍出的图像分辨率更高一些；背散射探头包括EsB(或Inlens Duo)探头和AsB探头，EsB(或Inlens Duo)探头前加有能量过滤器（0~1500V），可以将一部分二次电子排除，拍出的图像主要反映样品的元素衬度。
AsB 探头是极靴整合的角度选择性背散射探头，在大WD下采集的高角度被散射电子，提供元素衬度信息(BSD 探头效应），在小WD (2~5mm)下选择性地采集低角度的背散射电子，并提供晶体取向信息（通道效应），各个探头的对比如下图八所示。
图八
左上角为SE2图像，右上
角是AsB元素衬度成像，左下角
是AsB图像反映晶体取向衬度
图九
d 两种探头信号混合，在Signal A= 和Signal B= 分别选择不同的探头，在Mixing上打勾（需要License），signal=中填入两种探头的信号比例，就可以得到两种信号混合的图片。
（2）选择感兴趣的区域，获取高质量的图片
找到样品，如果是安置在九孔样品台的样品，可先用Stage Navigation找到对应编号的小T
型台，然后再在电镜上慢慢找到感兴趣区域；如果是不规则的样品，可用FishEye鱼眼模式（需要License）进行样品定位（一般找样品的时候都选用SE2探头，高加速电压，找到感兴趣区域后，再选用合适的探头、电压和光阑）。
a 找到感兴趣的区域后，低倍下聚焦，消像散，调节光阑对中；提高放大倍数，再聚焦，消像散。
如此类推，直至需要的放大倍数。
以下为消像散的方法：
a1点击下拉菜单的消像散图标，拖动鼠标左键分别上下或左右移动，使模糊边尽量减小，再调焦，清晰度有所改善，该过程反复进行，直到图像清晰，见图十。
a2在光阑版面点击消像散（Stigmation），分别拖动XY坐标线的两个方向滑尺，减小模糊量。
a3利用手动操作板上的两个消像散旋钮，分别缓慢转动，消除模糊边。
图十
左边与中间的图片为反复聚焦图像在相互垂直方向上有模糊边，右边的图片为消像散后的图片。
b 图十一为SEM Control: Scanning 面板，选择合适的Scan Speed、Store resolution和Noise Reduction，使去除噪音的效果最好，得到高质量的图片。
一般选择扫描速度为“6”。
噪声去除方式选择线平均：line avg，积分次数选“N=30左右”即可。
然后点击Freeze键（注意Freeze的模式选择End frame）。
图十一
c 保存图片，如图十二至十四所示，在Freeze后的照片上单击鼠标右键，选择sen
d to，选
择图片储存格式。
图十二
图十三
图十四
四、关闭高压，卸真空，取出样品。
图十五
a 在SEM Control面板中选择EHT Off，确认EHT已经关闭，如图十五所示。
b 在软件Stage ->Store/recall ->$exchange 让样品台移动到可以更换样品的位置。
（注意：之前应先用摇杆把样品台降低，以防样品台在复位过程中碰坏镜头）
c 点击Airlock面板上的Transfer按钮，旁边的绿灯停止闪烁，交换仓内隔离门打开，再将样品传输杆伸入样品仓，旋紧样品台并将样品台拉到底，将样品台卡在交换仓燕尾槽中。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭镜筒和样品舱之间的隔离阀。
再按VENT按钮，卸掉交换室中的真空后取出样品。
（注意：换样过程中不能用手接触送样杆，以免杆上的润滑油脂被擦去）
e 可以在stage菜单栏中选择Joystick disable，防止误碰摇杆带来的损坏。
图十六
Zeiss显微镜服务热线：400-6800-720。