HANMI分选机测试原理

二.HANMI分选机现存问题 分选机现存问题
1.崩边中边缘片无法检测的原因？ 1.崩边中边缘片无法检测的原因？ 崩边中边缘片无法检测的原因 目前照相机只拍摄硅片上下两表面的图像， 目前照相机只拍摄硅片上下两表面的图像， 无法检测硅片的边缘；如需检测，可在边上增加1 无法检测硅片的边缘；如需检测，可在边上增加1 个反射镜测量粘胶面即可（此技术HANMI HANMI正设法研 个反射镜测量粘胶面即可（此技术HANMI正设法研 究中）。 究中）。 2.密集性线痕无法检测 密集性线痕无法检测。 2.密集性线痕无法检测。 两束镭激光以30um光束扫描的硅片表面成像， 30um光束扫描的硅片表面成像 两束镭激光以30um光束扫描的硅片表面成像， 3mm为区间 后面一次比前一次增加0.5mm 为区间， 0.5mm连续 以3mm为区间，后面一次比前一次增加0.5mm连续 扫描硅片，因此密集型线痕无法判定。 扫描硅片，因此密集型线痕无法判定。根据公司 标准， h>15um时 判定该硅片为线痕片。 标准，当h>15um时，判定该硅片为线痕片。
中有TTV不良。 不良。 （1）TTV:A中有 ） 中有 不良 措施：继续测试跟踪结果。 措施：继续测试跟踪结果。 厚度取均值： （2）HANMI厚度取均值： ） 厚度取均值 要求：按移动平均取值。 要求：按移动平均取值。
4.污片：MSA不合格 污片： 污片 不合格 5.隐裂：MSA不合格 隐裂： 隐裂 不合格
二.HANMI分选机现存问题 分选机现存问题
5.不能区分 和B2级片？ 不能区分B1和 级片 级片？ 不能区分 目前分选机判断方法只能按照“ 目前分选机判断方法只能按照“个数标 进行分级，不能按照“崩边大小” 准”进行分级，不能按照“崩边大小”进行 分级；现设置的参数为公司标准， 分级；现设置的参数为公司标准，设置为 1000um*500um。如需改进，韩国工程师回 如需改进， 如需改进 国修正程序。 国修正程序。
二.HANMI分选机现存问题 分选机现存问题
3.花片的无法检测的原因？ 花片的无法检测的原因？ 花片的无法检测的原因 按TOPD键，参数设置路径 键 参数设置路径MONO MURA section选项 选项 设置值为30， 中MU-SBIMAGE ADD-VALUE设置值为 ，将数值减小 设置值为 即可测量花片。 为25即可测量花片。由于正常片与花片表面的对比度部分 即可测量花片 由于正常片与花片表面的对比度部分 重合，修改设置后，部分A级片会误判成花片 级片会误判成花片。 重合，修改设置后，部分 级片会误判成花片。 硅片表面的划痕对比度接近黑色， 硅片表面的划痕对比度接近黑色，清洗后硅片直接插入 片盒可减少硅片的污片误判率。 片盒可减少硅片的污片误判率。
4.翘曲 翘曲
图为上下两束镭激光以30um光束 光束 图为上下两束镭激光以 扫描的硅片表面成像。 扫描的硅片表面成像。以4mm为 为 区间连续扫描硅片， 区间连续扫描硅片，根据公司标 准，当h>50um时，判定该硅片 时 为翘曲片。 为翘曲片。
5.弯曲 弯曲
图为上下两束镭激光以30um 图为上下两束镭激光以 光束扫描的硅片表面成像。 光束扫描的硅片表面成像。 LTM为上下两表面的平均厚度， 为上下两表面的平均厚度， 为上下两表面的平均厚度 h1，h2，h3，h4为所测量的 ， ， ， 为所测量的 弯曲值， 弯曲值，取MAX（ h1，h2， （ ， ， h3，h4）作为弯曲度的显示 ， ） 根据公司标准， 值。根据公司标准，当 h>50um，判定该硅片为弯曲 ， 片。
2.崩边测量 崩边测量
判断依据:根据硅片表面的对比度不同来判定。 判断依据 根据硅片表面的对比度不同来判定。 根据硅片表面的对比度不同来判定
左图为崩边片， 左图为崩边片，其中 崩边对比度颜色较暗。 崩边对比度颜色较暗。对 比度设置值为13。 比度设置值为13。
左图为崩边片， 左图为崩边片，其中 崩边对比度颜色较亮。 崩边对比度颜色较亮。对 比度设置值为100. 比度设置值为 HANMI崩边测量范围 崩边测量范围:≥100um*100um;符合公司标准（1000um*500um） 符合公司标准（ 崩边测量范围 符合公司标准 ）
厚度精度： 厚度精度：±1.5um；符合公司标准 ； 厚度： （厚度：200±20um） ± ）
2.TTV
TTV为厚度测量最大值与最小值之差 为厚度测量最大值与最小值之差
厚度精度： 厚度精度：±1.5um；符合公司标准（TTV：≤30um） ；符合公司标准（ ： ）
3.线痕 线痕
图为上下两束镭激光以 30um光束扫描的硅片表面成 光束扫描的硅片表面成 像，以3mm为区间，后面一 为区间， 为区间 次比前一次增加0.5mm连续 次比前一次增加 连续 扫描硅片， 扫描硅片，因此密集型线痕 无法判定。根据公司标准， 无法判定。根据公司标准， 当h>15um时，判定该硅片 时 为线痕片。 为线痕片。
2.崩边： 崩边： 崩边
（1）软件问题：只能以个数分级，不能Βιβλιοθήκη Baidu大小分级。 ）软件问题：只能以个数分级，不能以大小分级。 措施：回韩国处理。 措施：回韩国处理。 （2）硬件问题：硅片边缘侧棱处崩边无法检测。 ）硬件问题：硅片边缘侧棱处崩边无法检测。 措施： 措施：回韩国处理
四.HANMI来访的讨论问题 来访的讨论问题 3.厚度： 厚度： 厚度
四.HANMI来访的讨论问题 来访的讨论问题 6.红外线检测不到片盒。 红外线检测不到片盒。 红外线检测不到片盒 要求：后序改进。 要求：后序改进。 7.硅片进入前，90度转向不能 硅片进入前， 度转向不能 度转向不能100%顺利完成。 顺利完成。 硅片进入前 顺利完成 要求：后序改进。 要求：后序改进。
二.HANMI分选机现存问题 分选机现存问题
4.关于分选机与 关于分选机与MS203测量厚度对比异常的 关于分选机与 测量厚度对比异常的 问题？ 问题？ 分选机测试厚度的原理为激光扫描， 分选机测试厚度的原理为激光扫描，光斑 大小为30um；MS203测试厚度的与原理为 大小为 ； 测试厚度的与原理为 电容法，探头大小约为10mm左右。以至于， 左右。 电容法，探头大小约为 左右 以至于， 分选机与MS203测试位置存在较大差异， 测试位置存在较大差异， 分选机与 测试位置存在较大差异 两者无对比性。 两者无对比性。
HANMI分选机测试评估报告 分选机测试评估报告
2010-10-21
一.HANMI分选机测试原理 分选机测试原理
（一）崩边、尺寸原理 崩边、
1.尺寸测量 尺寸测量
上下表面各两束光投射到 硅片表面， 硅片表面，测量硅片的边 对角线， 长，对角线，垂直度等参 数。
尺寸精度： 尺寸精度：±100um 垂直度精度： 垂直度精度：±0.05° ° 符合公司标准(边长 边长： 符合公司标准 边长： 156±0.5cm；对角线： ± ；对角线： 219.2±0.8cm；垂直度： ± ；垂直度： 90°± °±0.2°） °± °
（三）厚度、TTV、线痕、翘曲测量 厚度、 、线痕、
1.厚度测量 厚度测量
图为厚度测量的两种模式,图 图为厚度测量的两种模式 图 1为三条线每条 为三条线每条7800点的连续测 为三条线每条 点的连续测 量模式， 量模式，光斑距离硅片边缘为 1cm；图2为硅片的 点测量模式， 为硅片的9点测量模式 ； 为硅片的 点测量模式， 光斑距离上边缘为1cm，距离右 光斑距离上边缘为 ， 边缘为1.5cm。 边缘为 。
（二）污片检测原理
污片测量方式
通过LED光对硅片表面的成像处理，多晶硅片表面呈现不同的明暗程度。 光对硅片表面的成像处理，多晶硅片表面呈现不同的明暗程度。 通过 光对硅片表面的成像处理 根据对比度不同，判断硅片的污点。 根据对比度不同，判断硅片的污点。 污片精度： 污片精度：≥200um*200um；现对比度设置为 ；现对比度设置为30.
二.HANMI分选机现存问题 分选机现存问题
6.硅片进入前，90度转向有时不能顺利完成 硅片进入前， 度转向有时不能顺利完成 硅片进入前 而造成卡片。 而造成卡片。 7.MS203检测 级片中有 检测A级片中有 片子存在， 检测 级片中有220-240片子存在， 片子存在 标准TTV≤30um；具体为三条线和五点法 标准 ； 不匹配，分选机检测区域小。 不匹配，分选机检测区域小。 8.上料区，红外线对是否已经上料检测常出 上料区， 上料区 现误差。 现误差。
分选机MSA报告 三.HANMI 分选机 报告
MSA报告见右： 报告见右： 报告见右
HANMI分选机MSA
四.HANMI来访的讨论问题 来访的讨论问题 1.线痕：MSA不合格 线痕： 线痕 不合格
片中全为A片 但线痕盒中有部分A片 （1）A片中全为 片，但线痕盒中有部分 片。 ） 片中全为 措施：继续测试跟踪结果。 措施：继续测试跟踪结果。 （2）密集型线痕：完全不能检测。 ）密集型线痕：完全不能检测。 措施：回韩国处理。 措施：回韩国处理。
（四）隐裂原理
隐裂测量
判断依据:根据硅片表面不同的对比度来判定 判断依据 根据硅片表面不同的对比度来判定 1、裂纹：硅片对比度的颜色接近白色光。（接近 。（接近 、裂纹：硅片对比度的颜色接近白色光。（ 白光的5%） 白光的 ） 2、穿孔：硅片对比度的颜色接近白色光。（接近 。（接近 、穿孔：硅片对比度的颜色接近白色光。（ 白光的10%） 白光的 ） 3、杂质：硅片对比度的颜色接近黑色。（接近黑 。（接近黑 、杂质：硅片对比度的颜色接近黑色。（ 色的15%） 色的 ） 4、隐裂；硅片对比度的颜色接近黑色。 、隐裂；硅片对比度的颜色接近黑色。 接近黑色的10%） （接近黑色的 ）