真空镀膜机操作程序

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真空镀膜机操作方法

真空镀膜机操作方法
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，主要用于在物体表面形成薄膜。

以下是一般的真空镀膜机操作方法的简要步骤：
1. 准备物体：将需要进行镀膜的物体清洁干净，确保表面没有灰尘、油脂或其它污染物。

2. 准备镀膜材料：根据需要的薄膜材料类型，准备相应的镀膜材料，一般为金属或者陶瓷材料。

3. 设置真空环境：将物体放置在真空镀膜室中，并确保室内的真空度达到所需的要求。

这通常需要使用真空泵和其他辅助设备。

4. 启动真空系统：打开真空系统的开关，开始抽取室内空气，直到达到设定的真空度。

5. 加热：在达到所需真空度后，加热镀膜材料使其蒸发。

加热的温度和时间取决于材料的性质和所需的薄膜厚度。

6. 沉积：薄膜材料从加热源蒸发出来后，会沉积在物体的表面。

这个过程需要一定的时间，以确保薄膜厚度均匀。

7. 冷却：在薄膜沉积完毕后，将镀膜室冷却至室温，以固化薄膜并使其附着在物体表面。

8. 释放真空：关闭加热源和真空系统，并逐渐恢复大气压力，最终打开镀膜室门让物体取出。

请注意，以上步骤是一个大致的操作流程，不同型号的真空镀膜机可能会有些差异。

在使用真空镀膜机之前，请务必详细阅读设备的操作手册，并根据实际情况进行操作。

真空镀膜机安全操作规程

真空镀膜机安全操作规程
1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。

2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。

3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。

4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。

5.开启放气阀，打开箱门。

6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。

7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到 1.0-0Pa 时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。

8.逐步调试增加蒸发室内温度。

9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。

10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。

11.逐步降低蒸发室内温度。

12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。

13.关总电源，关总水源，关总气源。

吉林真空镀膜机操作规程

吉林真空镀膜机操作规程1. 引言本操作规程旨在规范吉林真空镀膜机的操作流程，确保操作过程的安全性和效果，保证设备正常运转和镀膜质量。

2. 适用范围本操作规程适用于吉林真空镀膜机的操作人员，要求操作人员必须接受相关培训并熟悉设备的结构、性能和操作方法。

3. 设备描述吉林真空镀膜机是一种用于制备薄膜材料的设备，由真空腔体、镀膜装置、控制系统等部分组成。

本设备可用于陶瓷、玻璃、金属等材料的镀膜处理。

4. 安全注意事项在操作吉林真空镀膜机之前，操作人员需注意以下事项：- 确保设备接地良好，防止静电积累； - 使用设备时，必须穿戴好相关个人防护设备，包括手套、防护眼镜等； - 操作过程中，严禁将手指或其他物体伸入真空腔体； - 镀膜材料必须存放在指定的位置，避免在操作过程中发生意外。

5. 操作流程5.1 准备工作•确认设备的电源已接通，并检查控制系统是否正常；•检查真空腔体内是否有杂质或残留物，如有需要清理；•检查镀膜装置的工作状态，确保无损坏或松动的部分；•检查镀膜材料是否充足，准备足够的镀膜材料。

5.2 开机操作•按照设备的说明书，打开电源开关；•启动真空泵，使真空腔体内的空气逐渐抽空；•设定所需的真空度和镀膜时间等参数，根据需要设置镀膜装置的转速和温度；•等待真空度达到设定值后，进行下一步操作。

5.3 镀膜操作•将待镀膜的材料放置在镀膜装置中，并确保牢固固定；•设定镀膜装置的运动轨迹、速度等参数，启动镀膜过程；•根据需要，可调节镀膜装置的角度、喷涂速度等参数，以控制镀膜厚度和均匀性；•镀膜过程中，注意观察镀膜质量，如出现异常情况，应及时停机检查并调整参数；•镀膜时间到达设定值后，进行下一步操作。

5.4 关机操作•关闭镀膜装置和真空泵，将设备恢复到正常待机状态；•关闭电源开关，断开电源。

6. 常见问题及解决方法6.1 镀膜厚度不均匀可能原因： - 镀膜装置工作不正常； - 镀膜材料分布不均匀；解决方法： - 检查镀膜装置是否有损坏或松动的部分，并进行维修或调整； - 调整镀膜装置的角度、喷涂速度等参数。

真空镀膜机安全操作规程(3篇)

第1篇一、前言真空镀膜机是一种精密设备，用于在各种材料表面镀制薄膜，广泛应用于光学、电子、精密仪器等领域。

为确保操作人员的人身安全和设备正常运行，特制定本安全操作规程。

二、适用范围本规程适用于所有真空镀膜机的操作人员。

三、操作前的准备1. 熟悉真空镀膜机的结构、性能、操作方法和注意事项。

2. 检查设备外观，确保无损坏、无松动。

3. 检查电源、水源、气源等是否正常，并确保各连接部件牢固可靠。

4. 检查真空系统是否完好，确保真空度达到要求。

5. 检查设备内是否有残留物质，如有，应清理干净。

四、操作步骤1. 开启设备电源，启动真空泵，确保真空度达到要求。

2. 将工件放置在镀膜腔内，注意工件放置平稳，避免碰撞。

3. 根据镀膜要求，调整温度、压力、功率等参数。

4. 启动工件转动装置，确保工件转动平稳。

5. 启动电子枪，调节束偏转角、阳极电压、束流等参数。

6. 观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作，查找原因并排除故障。

五、注意事项1. 操作人员必须穿戴好防护用品，如防静电手套、防护眼镜等。

2. 操作过程中，严禁触摸高温部件，避免烫伤。

3. 严禁将金属物体带入设备内部，以防损坏设备。

4. 避免在设备附近吸烟、使用明火，防止火灾发生。

5. 操作过程中，注意观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作。

6. 严禁在设备运行过程中进行维修、调整等操作。

六、操作后的维护1. 关闭设备电源，停止真空泵运行。

2. 清理设备内部，清除残留物质。

3. 检查设备各部件是否完好，如有损坏，及时更换。

4. 定期对设备进行保养、维护，确保设备正常运行。

七、紧急情况处理1. 发生火灾时，立即切断电源，使用灭火器进行灭火。

2. 发生触电事故时，立即切断电源，进行急救。

3. 发生设备故障时，立即停止操作，查找原因并排除故障。

八、附则1. 本规程由设备管理部门负责解释。

2. 本规程自发布之日起实施。

通过以上真空镀膜机安全操作规程，可以有效保障操作人员的人身安全和设备正常运行，提高生产效率。

真空镀膜机操作规程

真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。

下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。

2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。

二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。

2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。

3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。

三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。

2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。

四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。

2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。

3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。

4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。

5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。

五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。

2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。

3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。

4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。

六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。

2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。

3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。

镀膜机操作规程(3篇)

第1篇一、前言镀膜机是一种用于在物体表面形成均匀薄膜的设备，广泛应用于光学、电子、建材等行业。

为确保操作安全、设备正常运行以及产品质量，特制定本操作规程。

二、操作前准备1. 检查镀膜机各部件是否完好，包括电源、控制系统、真空系统、喷枪、泵等。

2. 确认设备处于关闭状态，并进行安全防护措施，如关闭电源、切断水源等。

3. 检查工作环境，确保无易燃易爆物品，通风良好。

4. 检查并调整真空系统，确保真空度达到要求。

5. 准备好所需材料，如镀膜液、清洗液、擦拭布等。

三、操作步骤1. 开启电源，启动控制系统，预热设备至设定温度。

2. 检查喷枪是否清洁，如有污垢，需用清洗液清洗干净。

3. 调整喷枪位置，确保喷枪与被镀物体表面保持适当距离。

4. 打开真空泵，逐渐降低设备内部压力，达到所需真空度。

5. 按照工艺要求，调整喷枪速度、角度、压力等参数。

6. 开始喷镀，控制喷镀时间，确保镀膜均匀。

7. 镀膜完成后，关闭喷枪，逐渐提高设备内部压力，使被镀物体缓慢回到常压状态。

8. 检查镀膜质量，如需进一步处理，可进行清洗、烘烤等操作。

四、注意事项1. 操作过程中，严禁触摸高温部件，以免烫伤。

2. 操作时，严禁将手或任何物品伸入喷枪射流范围内，以免受伤。

3. 操作过程中，严禁关闭真空泵，以免损坏设备。

4. 操作结束后，关闭电源，切断水源，清理工作区域。

5. 定期检查设备各部件，确保设备正常运行。

6. 如遇设备故障，立即停止操作，并及时报修。

五、维护保养1. 定期检查真空系统，确保真空度达到要求。

2. 定期清洗喷枪，保持喷枪清洁。

3. 定期检查控制系统，确保控制系统稳定可靠。

4. 定期检查设备各部件，确保设备无松动、损坏等情况。

六、结束本规程为镀膜机操作的基本要求，具体操作需根据实际情况和工艺要求进行调整。

操作人员应严格遵守本规程，确保操作安全、设备正常运行及产品质量。

第2篇一、概述镀膜机是一种用于在物体表面形成均匀薄膜的设备，广泛应用于电子、光学、化工等领域。

真空镀膜机操作流程

真空镀膜机操作流程
真空镀膜机是一种非常重要的设备，它能够将金属薄膜均匀地沉
积在不同的基材上。

这种设备广泛应用于电子领域、医疗领域、航空
领域和化学领域等众多领域中。

本文将会为大家讲述真空镀膜机的操
作流程。

一、设备准备
在使用真空镀膜机之前，我们需要检查设备的运行状态，并检查
真空室内部是否存在瑕疵或污垢。

接着，清洁真空室内的所有夹具和
样品，并确保样品表面没有杂质和气泡。

二、真空抽气
将已经准备好的样品夹具放入真空室中，打开机器上的电源开关。

接下来，需要将真空室抽气直到其内部真空度达到所需的水平。

通常，我们将需要达到 1*10^-6 Torr 的真空度，这些都需要根据具体的样
品和需求而定。

三、样品镀膜
当真空度达到预定水平后，可启动样品镀膜程序。

在这个阶段，
你需要调整设备上的参数，例如反应气体、沉积速率以及沉积时间等等。

这些参数都需要根据样品的材料和形状进行调节。

最终目的是均
匀地沉积薄膜层。

四、停止反应
沉积时间用完后，需要切断电源并停止气体反应。

然后将真空室
压力调整为标准的大气压。

最后取出已经完成镀膜过程的样品，在放
回原位之前清洁表面上的杂质和污垢。

总结
以上为真空镀膜机的操作流程。

在进行操作时，我们必须保证设
备运行的正常和安全。

特别需要注意的是在各个阶段需要调整设备上
的参数，以保证样品能够得到最佳的效果。

有了这些基本的操作步骤，你可以轻松操作真空镀膜机，并为你的研究和生产工作创造更加优秀
的成果。

山东真空镀膜机操作规程

山东真空镀膜机操作规程一、引言山东真空镀膜机是一种用于将薄膜材料均匀镀覆在基板上的设备，适用于电子、光学、化工等领域。

为了确保设备的正常运行以及操作人员的安全，制定了本操作规程。

二、操作环境要求1.操作场所应通风良好，避免高温、潮湿等环境；2.操作面积应保持整洁，并备有灭火器等消防设备；3.操作面积应无杂物堆放，废弃物应及时清理。

三、操作人员要求1.操作人员需熟悉设备的结构、原理以及操作步骤，并经过培训合格后方可操作设备；2.操作人员应穿戴良好的防静电服装，并佩戴防护眼镜、手套等防护用具；3.操作人员应保持专注，避免分心操作。

四、设备操作步骤1.打开设备电源，确保所有指示灯正常亮起；2.打开真空泵，将设备的真空度调整至要求的范围内；3.打开底部喷涂系统，将待镀膜的基板平放在喷涂位置；4.调整镀膜机的加热功率和镀膜材料的喷涂速度，确保均匀喷涂；5.确保基板完成镀膜后，关闭喷涂系统；6.关闭真空泵，并等待真空度恢复至安全范围内；7.关闭设备电源。

五、设备维护1.每日使用后，对设备进行清洁，特别是镀膜室及其周围；2.定期检查镀膜机的各项传感器和阀门是否正常工作，并及时更换损坏的零件；3.定期对设备进行润滑维护，保持设备的正常运行；4.设备的大修、维护应委托专业技术人员进行，严禁非专业人员随意操作。

六、安全注意事项1.镀膜机在工作时会产生高温、高压等危险，请严禁触碰设备；2.镀膜机运行时，禁止将手、衣物等物品靠近设备；3.操作人员在操作设备时应保持冷静，避免突发情况发生；4.镀膜材料可能含有有害物质，请操作人员佩戴防护用具。

七、紧急处置措施1.在发生火灾时，及时启动灭火器进行灭火，并立即报警；2.在设备发生故障或意外停机时，应立即关闭电源，并通知技术人员进行维修；3.在操作过程中，如果发生急情况，应立即停止操作，并通知上级处理。

以上便是山东真空镀膜机的操作规程，希望每一位操作人员都能严格按照规程进行操作，确保设备的正常运行和人员的安全。

真空镀膜机操作程序

真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

②打开总电源开关，设备送电。

③低压阀拉出。

开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

④安装固定钨螺旋加热子。

把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。

把铝丝穿放在螺旋加热子内。

清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

⑤落下钟罩。

⑥启动抽真空机械泵。

⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。

a 、左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

b 、低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6、7Pa时，低压阀推入。

这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

⑩低压阀拉出。

重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。

低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6、7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

⑪等低真空表“2”内指针右移动至0、1Pa时，开规管灯丝开关。

a 、发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

b 、左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。

⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。

⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。

⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。

⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。

⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。

⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6、7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。

⑲开蒸发钮开关。

把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。

山东真空镀膜机操作规程

山东真空镀膜机操作规程
《山东真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确认设备及工具完好无损，必要时进行维修及更换。

2. 检查真空镀膜机的电源及周围环境，确保安全使用。

3. 穿戴好防护用具，如手套、护目镜等。

二、操作步骤
1. 打开真空镀膜机的电源，根据设备要求设定好相应的工作参数。

2. 将待处理材料放置于真空镀膜机的工作台上，注意放置位置及稳定度。

3. 启动真空镀膜机，观察真空度及工作状态，确保正常运行。

4. 根据需要，进行镀膜的预处理，如清洗、打磨等。

5. 将镀膜材料放置于真空镀膜机内，注意操作时避免碰触到内部设备。

6. 根据具体要求，进行镀膜操作，注意控制镀膜层厚度及均匀度。

7. 镀膜完成后，关闭真空镀膜机，将待处理材料取出，进行必要的后续处理。

三、操作注意事项
1. 操作人员需熟悉真空镀膜机的工作原理及操作要点，严格按
照规程进行操作。

2. 避免在真空镀膜机运行过程中对设备进行擅自操作，以免造成意外伤害。

3. 定期进行真空镀膜机的维护保养，确保设备的正常运行。

4. 操作结束后，做好设备清洁及安全关闭工作，及时进行设备及工具的归位整理。

以上即为《山东真空镀膜机操作规程》，希望操作人员严格遵守并按规定进行操作，确保设备的正常使用及工作安全。

真空镀膜操作流程

真空镀膜操作流程一、准备工作在进行真空镀膜操作之前，首先需要进行一系列的准备工作。

包括准备好需要被镀膜的基材，清洁基材表面，确保表面没有杂质和污垢。

同时，还需要准备好镀膜材料，根据不同的需求选择合适的镀膜材料。

二、装载基材将准备好的基材装载到真空镀膜设备中。

装载时要注意避免基材的表面受到损伤或污染。

装载后，需要将设备密封好，确保设备内部形成一个相对封闭的空间。

三、抽真空在装载好基材后，需要对设备进行抽真空操作。

抽真空的目的是将设备内部的气体抽除，创造一个真空环境。

抽真空的过程中，需要逐渐降低设备内的压力，直到达到所需的真空度。

抽真空时要注意控制抽气速度和抽气量，以免对基材造成不良影响。

四、加热处理在达到所需真空度后，需要对装载的基材进行加热处理。

加热的目的是提高基材的温度，使其在镀膜过程中更容易与镀膜材料反应。

加热的温度和时间要根据具体的镀膜材料和要求进行调整。

五、镀膜在基材加热到适当温度后，可以开始进行镀膜操作。

镀膜主要是将镀膜材料蒸发并沉积在基材表面。

镀膜材料通常放置在镀膜源中，通过加热或其他方式使其蒸发。

蒸发的镀膜材料会在真空中扩散，并最终沉积在基材表面上。

镀膜的厚度可以根据需要进行调整，通过控制镀膜材料的蒸发时间和速度来实现。

六、冷却与卸载在完成镀膜后，需要对基材进行冷却处理。

冷却的目的是使镀膜材料固化，并增强附着力。

冷却的时间和方式可以根据具体的镀膜材料和要求进行调整。

冷却完成后，可以将镀膜好的基材从设备中取出，并进行后续的处理和检测。

七、清洁与维护在完成真空镀膜操作后，需要对设备进行清洁和维护工作。

清洁设备的目的是去除设备内的残留杂质和污垢，保持设备的工作效率和稳定性。

维护设备的目的是修复和更换设备中的损坏部件，确保设备的正常运行。

总结：真空镀膜操作流程包括准备工作、装载基材、抽真空、加热处理、镀膜、冷却与卸载、清洁与维护等步骤。

每一步骤都需要仔细操作，确保镀膜的质量和效果。

通过正确的操作流程，可以实现对基材表面的镀膜，提高其光学、电学、机械等性能，满足不同领域的需求。

真空镀膜机操作流程

真空镀膜机操作流程
一、准备工作。

1. 确认真空镀膜机的工作状态，检查设备是否完好。

2. 准备好需要镀膜的材料和目标物体。

3. 清洁目标物体表面，确保表面干净无尘。

二、开机操作。

1. 打开真空镀膜机的电源开关，待设备启动完成后进入下一步操作。

2. 启动真空泵，将系统抽真空至所需的工作压力。

三、镀膜操作。

1. 将待镀膜的材料放置在镀膜室内，注意安放位置和方向。

2. 打开镀膜室的加热系统，使其达到所需的温度。

3. 启动镀膜源，将镀膜材料加热至蒸发状态。

4. 控制镀膜源的蒸发速度和时间，确保均匀的镀膜层厚度。

5. 监控镀膜过程中的真空度和温度变化，及时调整参数以保证镀膜质量。

四、结束操作。

1. 关闭镀膜源和加热系统，停止镀膜操作。

2. 等待镀膜室内压力恢复至大气压，然后打开镀膜室门。

3. 将镀膜完成的物体取出，放置在通风处冷却。

4. 关闭真空泵和真空镀膜机的电源开关，完成操作。

五、清洁和维护。

1. 清洁镀膜室内表面和镀膜源，确保设备清洁。

2. 定期检查和维护真空镀膜机的各项部件，保证设备正常运转。

六、安全注意事项。

1. 在操作真空镀膜机时，要注意防止镀膜材料的挥发物对人体
的伤害，做好防护措施。

2. 注意设备的电气安全，避免触电和短路等事故发生。

3. 在操作过程中要严格遵守设备操作规程，确保人身和设备安全。

以上即是真空镀膜机的操作流程，希望能够对您的工作有所帮助。

如有任何疑问，请及时咨询设备厂家或专业人士。

真空镀膜仪操作方法

真空镀膜仪操作方法
以下为真空镀膜仪的操作方法：
1. 准备工作：打开真空镀膜仪的主电源，确保设备正常启动。

检查真空仓内是否有杂质，如果有需要清理干净。

准备好需要镀膜的基板和所需的镀膜材料。

2. 将基板安装：将需要镀膜的基板固定在镀膜夹具上，确保基板与夹具之间没有杂质和空隙。

3. 真空抽气：打开真空泵，开始抽取镀膜仓内的空气，使真空度逐渐提高。

注意，真空度的提升需要一定的时间，一般需要几分钟到几十分钟不等。

4. 反射层镀膜：根据需要选择镀膜材料，将材料放入镀膜仓内的加热器中，并设置合适的加热温度。

当真空度达到设定值后，打开镀膜源的开关，让镀膜材料开始蒸发。

材料的蒸发会形成气体，沉积在基板上形成薄膜。

5. 辅助层镀膜（可选）：如果需要在基板上形成多层镀膜结构，可以在上述步骤完成后，更换镀膜源和镀膜材料，进行下一层的镀膜操作。

每层镀膜前都需要将真空度恢复到设定值。

6. 结束镀膜：当所需的镀膜层数达到要求后，关闭镀膜源的开关。

等待一段时间，让镀膜材料的蒸发停止。

7. 减压恢复：打开气阀，让室内的气体进入真空仓内，逐渐恢复正常气压。

此时可以打开真空仓门，取出镀膜好的基板。

8. 清洁维护：将真空仓内的杂质清理干净，注意避免使用刻蚀性强的清洁剂。

关闭设备主电源，关闭真空泵。

以上就是真空镀膜仪的基本操作方法，具体操作时应注意安全，并按照设备说明书和操作手册进行操作。

真空镀膜操作流程

真空镀膜机操作流程
1打开冷凝水。

2调节好舟，放一颗银粒到舟（4号舟）上，放置石英片（镀银的面朝下）。

3 打开总电源，进入操作界面，将样品和4号舟的挡板复位。

4开电流，看电路是否连通。

5关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。

6关闭机械泵阀门，打开分子泵，打开分子泵阀门，抽真空至6*10-5Pa。

7 开电流加热装置，电流缓慢增大30-40A,70-80A,打开旋转开关，将样品和4号舟的挡板打开，打开样品旋转装置。

8在电流缓慢增大过程中，打开膜厚度检测装置。

加至140A时，此时金属增发，开始镀膜。

等膜厚到达35nm-40nm时关闭电流。

9关闭分子泵阀门，在操作界面关闭分子泵，等转速降为0时，可关闭分子泵电源。

10打开放气阀，放气完毕，取出样品。

11关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。

12关总电源，关冷凝水，实验结束。

真空镀膜机安全操作规程

真空鍍膜机安全操作規程一.开机前作到：1.检查工作环境清洁、干净。

2.检查电线无破损，接地牢固。

3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。

4.机械泵、罗茨泵油位过半。

5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真空脂。

6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。

7.准备相关工位器具，适量J-7乍乌丝、ABOO型99.99% 的铝丝。

&接通水、气、电，气压0.5・0.6Mpa,水压0.3-0.4Mpa o二.操作要点：1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3,开扩散泵，预热1-1.5小时。

2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钩丝，转架进烘箱预热（温度、时间符合工艺）。

3.开阀4,开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转动平稳无异常振动。

4.关闭真空室，关阀4,关阀3,开阀2,开始抽气，开启复合真空计。

5.当真空度达至-0.1 Mpa时，开启罗茨泵。

6.当真空度达到l-1.5Pa （52-64格）时,关阀2,开阀3, 开阀lo7.当真空度达到2Xl（?2pa时，开启转动（转速符合工艺）,分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关复合真空计。

&停止蒸镀0.5・1分钟后关转动，关阀1,关罗茨泵。

9.开阀4,开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待镀产品，装上铝丝，进行下次工作。

10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。

11 .生产中注意产品安装到位牢固。

12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。

13.及时更换断裂、积球、老化的餌丝。

三.关机及保养：1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1・1.5小时，后关阀3, 关机械泵。

2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。

3.每星期检查清洁镀膜转架工装。

4.每三个月检查更换机械泵油。

5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。

制定：王思忠审批：时间：2002.09.10时间:。

真空镀膜机操作规程

真空镀膜机操作规程
《真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确保真空镀膜机各部件状态正常，无故障。

2. 根据需要选择合适的膜材料和工艺参数。

3. 做好个人防护措施，穿戴好工作服、手套和防护眼镜等。

二、开机操作
1. 按照机器说明书进行正确的电源连接和开机操作。

2. 检查真空镀膜机的真空泵及抽气装置是否正常运转。

3. 启动控制面板，设置相关参数并进行预热。

三、装载工件
1. 选择适当的工件夹具，将工件放置在夹具上。

2. 将工件夹具安装到真空室内的装载平台上。

四、真空镀膜过程
1. 关闭真空室门，启动真空抽气系统。

2. 当真空度达到要求后，开始进行镀膜过程。

3. 根据工艺要求，控制镀层的厚度和均匀度。

五、结束操作
1. 镀膜完成后，停止镀膜系统的工作，等待真空室内气压恢复至正常压力。

2. 打开真空室门，将工件夹具取出，检查镀膜质量。

3. 关闭真空镀膜机，进行清洁和维护工作。

六、安全注意事项
1. 操作人员需熟悉机器的性能和操作流程，严格按照规程操作。

2. 操作过程中要注意保持机器和周围环境的清洁整洁。

3. 遵守相关安全标准和操作规范，确保人身和设备安全。

七、其他
1. 出现紧急情况时，应立即停止操作并报告相关人员。

2. 遵守环保法规，妥善处理废弃的膜材料和废气废水等。

3. 对真空镀膜机进行定期的维护保养，确保设备的长期稳定运转。

以上就是《真空镀膜机操作规程》，希望操作人员能够严格按照规程进行操作，确保镀膜工艺的质量和安全。

ZZS1100-8型箱式真空镀膜机操作手册

箱式真空镀膜机A01操作手册操作规程一、开机前检查水、电、气。

依次接通总水源、总气源、总电源。

1水：水塔储水充足，水压约0.2~0.25MPa,水流约20~30 L/min 水温≤20℃。

2电：总功率约50KW，220V/380V，50HZ。

3气：气压0.6Mpa。

二、开机。

打开总电源开关(总电源信号灯亮）—→真空自动→开机。

扩散泵温度必须大于250℃（约预热1小时）。

打开高压电源及高压开关，氧气阀打开，氧气总压力必须大于2MPa，氧气输出压力控制阀必须小于0.5MPa（一般在0.2MPa左右）。

打开监控系统电源，打开坩埚电源。

三、蒸发室清洁。

按下取件按钮打开室门。

用吸尘器吸掉室体内部表面灰尘，活动挡板和坩埚清洁，电子枪清洁及保养，检查晶振片更换。

四、材料添加。

首先检查坩埚号是否与制程相对应；坩埚是否转换到位。

不同材料有不同的添加方法，某些材料首次添加需按层次添加（每添加一层都要进行融药），材料每次不可添加的过多，材料的添加与消耗成正比。

五、蒸镀前。

以上步骤完成后卡伞方可上架，关闭蒸发室门（检查制程）—→真空六、加温烘烤。

当真空度达到低真空（低真空信号灯亮，真空度为3.0E-0）方可开烘烤，同时真空镀必须高于10-2Pa。

按下按钮烘烤1—→烘烤2—→烘烤3—→工转（工转的电压为1V，烘烤温度达到设定值320℃时.必须稳定10分钟。

）七、融药。

真空度达到高真空（高真空信号灯亮，真空度为5.0E-3。

）坩埚转换到手动打下控制开关自动—→手动。

电子枪转换到手动打下控制开关EXT—→INT。

打开外控选择按钮ACC—→FIL。

融料时需注意事项：1、挡板是否在关闭状态。

1、电子枪功率逐渐上升，要高于镀膜时的设定值。

2、高功率时电子枪斑点不可在坩埚边上融料。

3、高功率时电子枪斑点不可过小，融好后需在坩埚中心位置停留10秒。

融完后按下外控按钮OFF。

电子枪转换到自动INT—→EXT，同时EMN —→SCAM—→POS转换到自动。

真空电镀机操作规程书

真空电镀机操作规程书真空电镀机操作规程书一、设备概述真空电镀机是一种常用于金属材料表面电镀的设备，通过在真空环境下进行电镀处理，可以使金属表面具有更高的光泽度和硬度。

二、操作前准备1. 确认真空电镀机的设备运行正常，检查电源是否稳定。

2. 检查电镀槽中是否有足够的电镀液，并确保电镀液的浓度符合要求。

3. 检查工作台面的清洁状况，确保工作环境整洁。

三、操作步骤1. 打开真空电镀机的外控面板，将其设置为待机状态。

2. 打开真空泵开关，启动真空泵，待压力达到设定值后，关闭真空泵开关。

3. 打开电镀槽的排液阀门，将槽内的电镀液排空。

4. 打开电镀槽的充液阀门，将符合要求的电镀液充注到电镀槽中，同时观察电镀液的液位是否在合适范围内。

5. 调整电源参数，如电压、电流等，根据所需的电镀效果进行设置。

6. 打开电镀槽的加热装置，将电镀槽的温度调整到适宜的范围内。

7. 将待电镀的金属材料放置到电镀槽内，注意避免不同金属材料接触。

8. 打开真空电镀机的真空开关，启动真空泵并开启真空阀门，等待设定的真空度达到要求后，关闭真空开关和真空阀门。

9. 开始电镀过程，按照设定的电源参数和电镀时间进行操作。

10. 结束电镀后，关闭电镀槽的加热装置，同时打开电镀槽的排液阀门，将电镀液排空。

11. 清洗电镀槽和电镀机，彻底清除电镀液和残留物。

12. 关闭真空电镀机的外控面板和电源开关，彻底停机。

四、安全注意事项1. 操作时需穿戴好个人防护装备，如手套、口罩、护目镜等。

2. 在操作过程中避免直接接触电镀槽和电镀液。

3. 调整电源参数时需小心操作，避免触摸导电部件。

4. 严禁操作人员未经培训和未取得操作资格的人员进行操作。

5. 若发现设备异常或故障，应立即停机并及时报修。

五、操作记录1. 每次操作结束后，应当记录电镀槽的使用时间和电镀液的使用量。

2. 若发现电镀效果不理想，应及时记录和调整相应的参数。

六、设备维护1. 定期清洁和保养真空电镀机，保持其正常运行。

真空镀膜机操作程序

真空镀膜机操作程序真空镀膜机操作程序，是参照北京仪器厂生产的DM-450C型说明书修改编写。

具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。

①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。

②打开总电源开关，设备送电。

③低压阀拉出。

开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。

④安装固定钨螺旋加热子。

把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。

把铝丝穿放在螺旋加热子内。

清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。

⑤落下钟罩。

⑥启动抽真空机械泵。

⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。

a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。

b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。

⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。

这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。

⑩低压阀拉出。

重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。

低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。

⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。

a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。

b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。

⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。

⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。

⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。

⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。

⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。

⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。

⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。

江西真空镀膜机操作规程

江西真空镀膜机操作规程1. 引言本文档旨在详细说明江西真空镀膜机的操作规程。

真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，用于在不同材料表面形成镀层，提高材料的耐磨性、耐腐蚀性和外观质量。

正确的操作和维护能够确保设备的稳定运行，并且可以获得理想的镀层效果。

2. 设备概述江西真空镀膜机是一种高真空设备，包括真空室、镀膜源、抽气系统、温度控制系统等部分。

在操作之前，需要确保设备正常运行并具备以下条件： - 真空室内无杂质、水分和油脂； - 抽气系统正常工作； - 温度控制系统稳定。

3. 操作流程3.1 准备工作1.穿戴防护服、手套和护目镜，确保人身安全。

2.检查真空室内是否有杂质、水分和油脂，清洁内部表面。

3.打开抽气系统，排除真空室内的气体，待抽气系统达到所需真空度后关闭。

4.打开温度控制系统，设定所需温度。

3.2 将待处理材料装载至真空室1.将待处理材料放置于真空室内，并确保材料表面清洁。

2.关闭真空室门，并确保密封完好。

3.3 开始真空镀膜1.打开镀膜源，并将膜材料放置于源上。

2.通过控制镀膜源的加热功率和温度，使膜材料升华，形成蒸气。

3.控制真空室内的气压，将蒸气沉积在待处理材料表面，形成镀层。

4.根据材料类型和所需镀层厚度，设定合适的镀膜时间。

3.4 结束操作1.关闭镀膜源，并等待蒸气完全停止。

2.打开抽气系统，排除真空室内气体，降低气压至大气压。

3.打开真空室门，取出已处理材料。

4.清洁真空室内表面，并关闭设备。

4. 操作注意事项1.操作人员应接受必要的培训，并了解设备的正常操作方法。

2.操作人员应遵守相关安全操作规范，佩戴个人防护装备。

3.在操作之前，必须确保真空室内无杂质、水分和油脂，以免影响镀层质量。

4.镀膜源使用过程中要小心，避免碰撞和损坏。

5.温度控制系统应保持稳定，避免过高或过低的温度对材料造成损伤。

6.操作结束后，必须彻底清洁设备，及时检修和维护设备。

5. 维护保养1.定期检查和清洁真空室内的各个部件。