多晶硅制备中节能降耗技术的研究

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［关键词］多晶硅；良西门子法；改节能降耗
［摘要］探讨改良西门子法多晶硅工艺中副产物的综合利用、优化沉积工艺、优化与开发新型高效节能大型
还原炉和新型高反射涂层等技术对多晶硅生产中节能降耗的影响，出将目前已普遍使用和发展成熟的过程强化指
第４８卷第９期２１０２年９月
氯
碱
工
业
Ｖｏ．８，Ｎｏ．１４９Ｓｐ．，２２ｅ０１
Ｃｈｏ — ｋｌＩｄｔｌｒＡｌａｉｎｕｓｒｙ
【产
品】
多晶硅制备中节能降耗技术的研究
陈其国，钟真武高建于伟华陈文龙江宏富，，，，（．１江苏中能硅业科技发展有限公司，江苏徐州２１０；２０４２南京大学固体微结构物理国家重点实验室，苏南京２０９）．江１０３
２ｔｅＫｙＬｂｒｔｙｏｏｄＭｉｏｔｅｒＰｙｉ，ａｊｇＵｉｅｓｙＮｎｉｇ１０３ｈｎ）．ＳａｅａｏａｒｆｌｃｓｕｔｅｈｓｓＮｎｉｎｖｒｉ，ａｊ０９，ＣｉａｔｏＳｉｒｒｕｃｎｔｎ２
（．ｉｇｕＺｏｇｅｇＳｉｎＩｄｓｙＳｉｃｄＴｃｎｌｙＤｖｌｍｎＣ．Ｌｄ，ｕｈｕ２１４Ｃｉ；１Ｊｎｓｈｎｎｎｉｃｕｔｃｎｅａｅｈｏｇｅｅｐｅｔｏ，ｔ．Ｘｚｏ２０，ｈａａｌｏｎｒｅｎｏｏ０ｎ
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技术应用于多晶硅制备，可进一步降低多晶硅的制备成本。
［中图分类号］Ｔ２．Ｑ１７２
—１３（０２０３Ｘ２１）９—０２００８— ３
Ｓｕｎｅｒｙ－ａｉｇａｏｕｐｉｎ－ｅｃｎｇｔｄｙｏｎｅｇ－ｖｎｎｄｃｎｓｍｔｏ－ｄｕｉｓｒ
近年来，欧洲光伏市场的拉动下，国太阳能在我光伏产业从２００４年起快速发展，年增长率连续５年超过１０。从２００％０７年起至今，我国光伏电池产量连续４年居世界首位，００年我国光伏电池产量超过全２１