平面干涉仪使用说明

1 用途

XQ15-GI型激光平面干涉仪主要用于精密光学平面的平面度测量，光学平板的微小楔角测量，光学材料均匀性测量。仪器配有激光光源（波长为6328Å）对于干涉条纹可目视读取。工作时对防震要求一般。该仪器可应用于光学车间。

2 工作原理

本仪器工作基于双光束等厚原理。

根据近代光学的研究结果,光兼有波动与微粒俩重特性。光的干涉现象是光的波动性的特性。波长为λ的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波Mo(如图所示),经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和M。M1﹑M即为两相干光波,重叠后即产生等后干涉条纹。

3 仪器使用说明

3.1 干涉条纹的判定

3.1.1用手轻轻按住器中的微调手轮，此时从视场中能看到条纹的移动。

3.1.2如要条纹间弧度外扩散，则零件的面形为高光圈；条纹的弧度内收则零件为低光圈。

3.2 测量平面度方法

3.2.1 如果被测零件为一平行板，则用凡士林涂到非测试面上，防止该面的反射光波干涉。

3.2.2 把被测的零件放在工作台上，被测面朝上。

3.2.3 目视时，眼睛距观察孔约200mm左右观察，可以看到两个分开的星点，中

央的一点为仪器的标准面形成的，另一点是被测零件形成的，调节工作台上的两个手轮，使两个星点重合。

3.2.4 眼睛与星点在同一直线上靠近观察孔，可以目视到细而密的干涉条纹，调节干涉仪的微动手轮，干涉条纹由密到疏直到出现3-5条为止再判断零件的高低光圈，参照标准光圈判断零件面形。

3.3 测量微小楔角方法

3.3.1 把被测零件放在工作台上，被测面朝上。

3.3.2 在距离目镜200mm的地方进行观察，可以看到两个星点，把两个星点调节至重合。

3.3.3 眼睛顺着光点靠近观察孔可以看见细密的干涉条纹，与零件两个面反射后自身出的干射条纹。

3.3.4 数出零件自身引出干涉条纹有多少条，依下列公式进行计算，即为工件的楔角：β=43.5*B/D

β表示零件的楔角，单位为秒；B表示条纹数；D表示零件直径，单位为毫米。3.4 电源箱的使用

激光电源采用新式反馈控制气体激光器的稳流电流，从而保证氦氖激光器能在稳定电流下工作，延长激光管的使用寿命，并有较宽的电流调节范围。使用时接通电源与激光器的正负输出线，当确认正确无误后，开启面板上的电源调节开关，面板上有五～七只发光二极管组成显示器，此时如激光器尚未点燃，即右旋电源调节电位器，使之激光器点燃，在激光点燃后，立即左旋电流调节电位器，使电源处于维持激光稳定的最小电流约4.5～5.5mA发光二极管点亮的状态。

4 注意事项

4.1仪器在使用时环境温度25±2℃，且环境须保清洁。

4.2仪器的光学原件须用脱脂棉花沾酒精与乙醚的溶液进行擦拭，不可将原件或组合件进行折卸，仪器任何部分不可随意折卸。

4.3仪器的干涉箱不允许存放除光学零件以外的其它对象。

4.4仪器存放时须干涉箱及机器须保持干燥。（放置干燥剂）

4.5仪器使用时须垂直于工作台面上放置使用，不能倾斜或倒放。

4.6使用时手放测试零件时应注意手不要接触于是到主镜。

4.7非指定使用者不允许操作或使用本机台。