高速精密运动平台研制

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基于DRLink运动平台系统的数控模型与实验研究

基于DRLink运动平台系统的数控模型与实验研究杨咸启;阚石;宋鹏;郭红兵【摘要】控制工程综合实验系统(DRLink控制系统)具有软硬件控制系统模块化、开放式设计,具有很好的可重组性,可进行二次开发.平台集机械、电子、通讯、计算机等多种技术,其控制软件具有仿真技术、网络管理和远程控制功能.该平台适用于学生进行试验、创新与竞赛、课程设计和毕业设计,对于学生实践能力的提高有较大帮助.通过深入研究平台的运动模型,由传递函数出发,利用MATLAB进行时域分析,再通过调整运动平台的各组成部分的参数来得到相应稳定的控制系统模型.最后基于DRlink控制系统的仿真实验则通过铅笔画在纸上的图案记录下了二维平台在相应特定指令下的工作轨迹.【期刊名称】《黄山学院学报》【年(卷),期】2016(018)003【总页数】5页(P11-15)【关键词】控制工程综合实验;运动图形;数控技术;工程应用【作者】杨咸启;阚石;宋鹏;郭红兵【作者单位】黄山学院机电工程学院,安徽黄山245041;黄山学院机电工程学院,安徽黄山245041;黄山学院机电工程学院,安徽黄山245041;黄山学院机电工程学院,安徽黄山245041【正文语种】中文【中图分类】TH126运动平台被广泛应用于IC制造以及MEMS制造以及生物医学等行业。

随着IC制造中芯片光刻与封装、MEMS器件封装及组装、生物医学中的点样移液、精密工程中的超精加工以及精密测量等领域的发展，人们对运动平台的定位精度提出了越来越高的要求。

近年来，我国大力发展信息产业，IC制造也得到了迅猛的发展，但芯片产业的装备难以达到世界先进水平。

因此，应用于IC制造过程中的硅片制造、芯片制造、芯片封装等关键环节的精密运动平台就成为当前IC制造装备中的关键部件。

由于IC制造业发展迅速，IC集成度日益增高，芯片尺寸、引线间距、焊盘直径持续减小，内部结构越来越复杂，因此对平台的定位精度也提出了极高的要求，目前要求的定位精度已经达到微米级甚至纳米级。

微振动环境下Stewart平台系统研究的开题报告

微振动环境下Stewart平台系统研究的开题报告一、研究背景随着现代工业技术的发展，越来越多的机械装置需要在微振动环境下工作。

例如轨道交通、军事装备、航天器等都需要在微弱振动环境下工作。

在这些情况下，机械系统的高精度运动控制就尤为重要。

Stewart平台是高精度运动控制的常用装置之一，其在飞行模拟器，运动仿真和精密加工机床等领域得到了广泛应用。

然而，在微振动环境下，Stewart平台的运动精度可能会受到影响，因此有必要进行相关研究，以进一步提高Stewart平台的运动精度与稳定性。

二、研究对象Stewart平台是由6个可变杆长的杆件和6个支撑平面组成的并联机构，其精度与机械稳定性直接影响到系统的性能。

本研究选择Stewart平台作为研究对象，探究在微振动环境下Stewart平台的运动精度与机械稳定性是否受到影响，并寻求相应的解决方案。

三、研究内容本研究将从以下几个方面进行探究：1. 分析微振动环境对Stewart平台运动精度的影响，探究其原因。

2. 分析微振动环境对Stewart平台机械稳定性的影响，探究其原因。

3. 针对微振动环境下Stewart平台的问题，提出相应的解决方案。

4. 根据解决方案，设计相应的实验进行验证。

四、研究意义本研究将为Stewart平台的高精度运动控制提供有意义的实验数据，有助于解决在微振动环境中运动控制存在的问题，提高Stewart平台的运动精度与机械稳定性。

同时，该研究也有助于提高在微振动环境下其他机械系统的运动控制精度。

五、研究方法本研究将采用理论模型分析与实验方法相结合的方式进行，具体研究方法包括：1. 对Stewart平台的运动原理进行动力学建模，分析微振动环境对机构的影响。

2. 使用基于有限元分析的计算机软件模拟Stewart平台在微振动环境下的工作情况，验证理论模型的正确性，并提取实验数据。

3. 设计实验工具，模拟微振动环境下的运动控制情况，测试Stewart 平台的精度与稳定性，并获取实验结果。

高精度运动控制系统的关键技术及综合运用ppt课件

公司自主研制的0.1微米级精密运动平台及集成控制系统是微电子制造和测试设备的核心部件，也是生物医疗设备和精密制造业发展的关键部件，这些产品在以上领域的应用可以极大提高我国的制造水平，缩小和先进国家的差距。
3
公司简介（二）
此外公司还与秦皇岛海纳科技公司合作研发了国内首款可驱动直线电机和旋转电机的通用型伺服驱动器。该驱动器具有高阶轨迹生成、支持用户编程等高端功能，产品性能已达到国际先进水平，可广泛用于高精密运动控制系统的驱动和控制。
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总结
❖ 运动控制技术是多学科复合技术：机械与电子、硬件和软件、算法和分析
❖ 运动控制应用范围广：开环控制或闭环控制、半闭环或全闭环控制 ❖ 采用闭环控制首要考虑的是系统稳定性 ❖ 运动控制的性能不仅要考核时域响应，还要考核频域特性 ❖ 运动控制系统由控制平台、功率放大器/驱动器、执行机构/电机/
安装误差的影响
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实例：编码器安装对信号质量及精度的影响（续）信号质量对误差影响
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运动控制系统的保护
软件级 •计算错误保护 •位置误差保护 •饱和保护 •震荡保护 •RMS功率保护 •电源故障保护 •急停保护
机械级 •机械限位装置 •机械刹车/卡紧装置 •机械防撞装置 •… …
硬件级 •限位传感器保护 •看门狗保护 •电源故障保护 •过功率保护 •驱动器短路保护 •驱动器过压/欠压保护 •驱动器过温保护 •驱动器RMS电流保护 •… …
➢ 光栅尺的精度
➢ 线距，或信号周期(每毫米线数，或每圈线)
➢ 光栅尺的热敏系数
➢ 差值技术
➢ 信号质量
➢ 频率响应与最高速度
旋转编码器最大速度 = [工作频率 (Hz) / (每转线数) ]*60 [RPM]

基于高速精密运动平台的自动化智能控制系统

基于高速精密运动平台的自动化智能控制系统随着科技的不断发展，自动化智能控制系统已经越来越成为工业生产领域中不可或缺的一部分。

而高速精密运动平台，作为工业自动化中的重要组成部分，同样也承担着越来越重要的角色。

本文将从高速精密运动平台的基本概念和特点入手，进一步探讨如何建立自动化智能控制系统，并在实践中充分利用高速精密运动平台的优势，实现高效、精准、智能的生产。

一、高速精密运动平台的基本概念和特点高速精密运动平台（High-Speed Precision Motion Platform，HSPMP）是指一种可实现高速、高精度、高精密的运动控制平台。

它通过电机、传动机构、控制器等多种器件实现精准的位置和速度控制，并且可以进行多自由度控制。

高速精密运动平台在多种生产场景中都能发挥重要作用，例如电子制造、设备生产、医疗影像等。

其主要特点如下：1. 高速。

高速精密运动平台的控制器具备高速信号采集和传输能力，可实现高速运动控制。

在高速条件下，它通常需要具备高强度、高刚性的结构，以确保其稳定性和安全性。

2. 高精度。

高速精密运动平台的控制器必须具备高精度的位置和速度控制能力，以确保其在高速运动下达到预期的控制效果。

此外，高精度还包括高精密度的机械结构设计和高精度的传感器信号采集。

3. 多自由度。

高速精密运动平台常用于多自由度控制场景，例如三轴、五轴、六轴等。

这意味着其控制器需要能够同时控制多个轴，实现高效的多轴协同运动控制。

二、建立自动化智能控制系统建立自动化智能控制系统有助于提高工业生产效率和质量。

自动化智能控制系统不仅能够降低人工操作的风险，还可以实现高效、可靠的生产线。

下面将分别从硬件和软件两个方面探讨如何建立自动化智能控制系统。

1. 硬件方面：（1）选用合适的高速精密运动平台。

在选择高速精密运动平台时，应根据实际需要选择不同的轴数、控制精度等参数，以确保其能够满足生产需求。

（2）选用合适的参数采集设备。

压电薄膜型精密运动平台研究

维普资讯
第１４卷第４期
２００６年８月
光学精密工程
ａｅｉｉｎｄＰｒｃｓｏｎＥｎｇｎｅｉｇｉｅｒｎ
Ｖ０１１ＮＯ４．４．
Ａｕ２００ｇ．６
文章编号１０２Ｘ（０６０ — ６５００４９４２０）４０３６
．
０．ｆｒ．Ｔｈｅｒｎｂｉｉｙｏｈｔｇｅｉｐｏｍａｅｙ７～８ｔｍｅｔｗｎｍａｓ５ｅｉｅｂａｉｇａｌｔｆｔｅｓａｓａｐｒｘｉｔｌｉｓｉｓｏｓ
．
Ｋｅｒｓ：ｐｅｏｌｃｒｃｂｉｏｐｈ；ｐｅｉｅｐｓｔｏｎｎｇｓａｙｗｏｄｉｚｅｅｔｉｍｒｒｃｓｏｉｉｉｔｇｅ；ｓｉｋｓｉｆｅｔ；ｍｉｒ — ｎｉｕｌｔｏｎ；ｍｉｔｃ — ｌｐｅｆｃｃｏｍａｐａｉ — ＣｏｒＯｒｏｂｔ
（ｏｌｇ，Ｍｅｈｎ￣ｌ５ ’ ｍ’ ａｄＥｎｉｅｒｎ，ＪｌｎＵｎｖｒｉｙ，Ｃｈｎｃｕ３０５。Ｃｈｎ）Ｃｌｅｅ０ｃａｉａ（ｅｅｎｇｎｅｉｇ ’ ｉｉｉｉｅｓｔａｇｈｎ１０２ｉａ
Ａｂｔａｔ：Ｄｒｖｎｂｅｏｅｅｔｉｉｓｒｃｉｅｙｐｉｚｌｃｒｃｂｍｏｒｈａｔｔｒ，ａｎｅｐｒｃｓｏｓｔｏｎｎｇｓａｕｎｉｔｉｅ — ｐｃｕａｏｗｅｉｅｐｉｉｉｔｇｅｒｎＷＯｄｒｃ

双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究

Ｏ引言
随着半导体产业的高速发展，ｃ芯片集成度越Ｉ
５采用自适应控制策略来协调双电机运动达到提高］
同步精度的目的文献［ — ］由旋转电机＋滚珠６７对
丝杠组成的具有强机械耦合对称平台同步运动控制进行了研究。文献［］直线电机与横梁通过铰链８对
ｗａｅｏｍｅｓｒｈｎｅａｔｏｓＢｅｉｅ，ｈｅｏｐｌｏｐｅｓｔｒａｄｏｔｔｔａｆｒｔｏｓｕｓｄｔａｕｅｔｅｉｔｒｃｉｎ．ｓｄｓｔｅｄｃｕｉｃｍｎｇｎａｏｎｕｐｕｒｎｓｏｍａｉｎｍａｔｉｕｔｂｅｐａａｔｒｖｒｎｔｓｔｏｆｘｓｉｅＴｈｅｒｓｌｏｈｉａｉｎｓｏｓｔｔｔｅｏｒｍｓｒｍｅｅ－ａｙｉｇｗｉｈｐｏｉｉｎｏ－ｌ．ｘｄｅｕｔｆｔｅｓｍｕｌｔｏｈｗｈａｈｅｄｃｕ－ｐｌｇｃｎｒｔｕｃｕｅｃｎａｑｒｏｄｔａｋｎｐｅｔｎｆｅｔｖｅｙｒｓｒｉｈｏｃｉｔｒｎｅｏｎｏｔｏｌｓｒｔｒａｃｕｉｅｇｏｒｃｉｇｐｒｙａｄｅｆｃｉｌｅｔａｎｔｅｆｒｅｄｓｕｂａｃｆｉｏｒｔｅＨ－ｒｖ．ｈｄｉｅＫｅｏｄｓＨ－ｒｖ；ｅｉｉｎＸＹｔｇ；ｄｃｕｉｇｃｎｔｏ；ｒｍｅｅ — ｒｎｙｓｅｙｗｒ：ｄｉｅｐｒｃｓｏｓａｅｅｏｐｌｏｒｌｐａａｔｒｖａｙｉｇｓｔｍｎ

生瓷带冲孔工艺设备的开发与研制

ＵＳ（ｌａＬｒｅＳａｔｇａｏ）芯片组装要求的ＬＩＵｔａｃｌＩｅｒｔｎｒｇｅｎｉ低温共烧陶瓷基板，简称ＬＣ（ｏｅｐｒｕｅＣ — ＴＣＬｗＴｍｅａｒｏｔｉｄＣｒ）ｆｅｅａｃｒｍｉ基板。所￣ＬＣ基板，就是将低温烧结ＴＣ陶瓷粉制成厚度精确而且致密的生瓷带，在生瓷带
ＹＡＮＧＷｅ ’ ＡＮＧＨ１ｈｎＷＵＪｇｉ ’ ＨＮＧｎ．ｏ，ＨＮｏｇｏｇｉＷａ．ｅ ’ ｉ．ｎ．ＥｅｇａＺＡＧＹｎ．ｎ ’ ｚｎｊｇＳｙｃ
．，
ｌ。ＥＣＮ．ｅｅｒｈＩｓｉｔａｙａ３０４Ｃｉａ１ＣＴｏ２ＲｓａｃｔｕｅＴｉｕｎ００２，ｈｎｎｔ
ｓｏｌｈｖｉｈａｃｒｃｆｐｃｍｎ，ｉｄｅｐｅｉｏｎａｔｖｌｃｙａｃｒｉｏＬＣｒｃｓｅｕｒｎｓｈｕｄａｅａｈｃｕａｙｏｌｅｅｔａｈｇｅｇｒｃｉｎａｄａｆｓｅｉｃｏｄｎｔＴＣｐｏｅｓｒｑｉｍｅｔ．ｇａｈｓｏｔｇｅ
结构特点，包括高速精密运动平台的设计、冲孔单元的设计和无位移夹持工艺。
关键字：ＬＣＴＣ；生瓷带；冲孔
中图分类号：Ｎ０Ｔ６５文献标识码：文章编号：Ｏ１３７（００６０６ — ３Ａｌ０ — ４４２１） — ３２００
ＤｖｌｐｎｆＬＣｕｃｉｇＭａｈｎｅｅｏｍｅｔｏＴＣＰｎｈｎｃ共烧陶瓷）的发展、现状和生瓷带冲孔工艺特性。根据Ｌｃ工艺要求，ＴＣ（Ｔｃ

浸没式光刻机精密运动平台设计

【摘要】针对浸没式光刻机光刻头高速度、高加速度的运动特点，设计了一种短行程、超精密的运动定位平台，以直线交流伺服电机驱动。设计了直线运动平台的机械结构，立了直线运动平台的数建
学模型，按部分模型匹配法设计了直线交流伺服电机ＰＤ控制器，Ｉ实现了ＰＤ参数自Ｉ适应的在线调整，
进行了多次参数分析和实验验证。实验表明：开发的定位平台，瞬间速度和加速度大，具有理想的动态性能和高稳态精度；制器的同步控制精度较高，控速度同步精度得到了较大提高，可对强机械耦合的多
电机实现同步控制，适用于浸没式光刻机等精密仪器领域。源自ＨＥｅｇ＿Ｃｈｎ
（ＯｔａＥｇｅｒｇｎｔｕｅＵｉｅｓｙｏＳａｇａｆｃｅｃｎｅｈｏｇ，ｈｎｈｉ００３Ｃｉａｐｉｌｎｉｅｉｓｔｔ，ｎｖｒｉｆｈｎｈｉｏＳｉｅａｄＴｃｎｌｙＳａｇａ２０９，ｈｎ）ｃｎｎＩｉｔｒｎｏ
何成
（上海理工大学光电学院，上海２０９）００３
（上海第二工业大学机电学院，ｚ上海２１０）０２９
Ａｎｌｓｓｏｈｎａｃｓｒｏｃｎｒｌｏｈｒｓｒｋｒｃｓｏｎｓａｅａｙｉｆｅｌｅｒａｅｖｏｔｏｒｏｔｔｏｅｐｅｉｉｒｇｔｉｆｓ
ｏｏｉ．ｉａｍｉｌｆｒｄｓｔｅｈｎｃｌｔｔｒ，ｈｓｂｉｍｎｏａａｅａｃｍｔｒｒｅＡｌｅｔｎｐａｏｍｅｉｅｍｃａｉａｓｒｃｕｅｔｅｅｔｌｈｅｔｍｈｍｉｄｖｎｒｏｏｔｎｇｈｕａｓｔｆｔａｌ

一种高精度六轴运动平台设计

一种高精度六轴运动平台设计潘绍飞;肖世德【摘要】A high precision six-axis motion platform has been studied on the design of overall structure and control scheme. Details of hardware components, control system, control strategy and software design of the motion platform have been de-scribed. The six-axis motion platform could meet the requirements of high precision movement control.%以一种高精度六轴运动平台为对象，对其进行了总体方案和结构设计，对其运动控制方案进行了研究，比较详细地介绍了该运动平台的硬件组成、控制方案、控制策略和软件设计，使得该六轴运动平台能够满足高精度运动控制要求。

【期刊名称】《机械研究与应用》【年(卷),期】2015(000)003【总页数】3页(P121-123)【关键词】六轴运动平台;运动控制;控制系统;控制策略【作者】潘绍飞;肖世德【作者单位】西南交通大学机械工程学院，四川成都 610000;西南交通大学机械工程学院，四川成都 610000【正文语种】中文【中图分类】TH1220 引言多轴运动平台可以按照需求在给定运动范围内，实现多自由度运动，达到预计位姿，在工业生产和生活领域中应用比较广泛，尤其在汽车、飞机、船舶和娱乐设施等运动模拟方面，多轴运动平台已经成为必不可少的动态仿真设备。

运动平台结构及运动形式的种类繁多，根据不同标准可对运动平台进行不同的分类。

按运动平台具有的自由度个数，可分为单自由度、二自由度、三自由度、四自由度、五自由度、六白由度运动平台;按运动平台的结构形式，可分为串联式和并联式两种[1]。

晶圆级倒装装备运动平台的鲁棒控制与模糊细调

晶圆级倒装装备运动平台的鲁棒控制与模糊细调随着倒装封装器件向微小化、高密度化、标准化和模组化的方向发展,这对晶圆级倒装装备运动平台的动态响应、稳定性和定位精度提出了更高的要求。

高速高精度的精密运动平台具有典型的模型不确定性和扰动不确定性,传统的PID 控制方法比较难获得满意的性能,而鲁棒控制算法就是针对被控系统存在的不确定性和扰动来进行定量设计,可以解决系统的动态响应和稳定性问题。

采用前馈控制可以提高系统的响应速度,并运用模糊控制算法对前馈控制器的速度前馈和加速度前馈的参数进行模糊细调,从而寻找最优的前馈控制参数,优化运动平台的定位精度。

设计出一套应用在晶圆级倒装装备运动平台上的控制算法,来提高半导体芯片的焊接质量。

主要研究内容包括:1.通过调研晶圆级倒装装备及控制策略的国内外研究现状,分析晶圆级倒装装备的工作流程,然后针对直线运动平台定位精度对设备的稳定性和封装器件的一致性问题影响因素,深入研究晶圆级倒装装备中高速精密运动平台的控制策略,先采用PID控制器对被控对象进行调试,分析运动平台的运动性能,并提出解决其定位精度的方法;2.通过对电机、运动平台和被控系统进行机理建模,得到被控系统的理论模型。

再通过实验建模的方式对被控系统进行正弦扫频,将正弦扫频过程中的输入输出数据进行傅里叶变换得到被控系统的幅频曲线和相频曲线,再通过系统辨识得到被控系统的标称数学模型。

3.根据被控系统的数学模型进行鲁棒控制器设计,先确定模型存在的不确定性,然后确定加权函数的选择方法,最后运用H∞控制混合灵敏度方法设计得出鲁棒控制器,并在MATLAB的Simulink模块进行仿真分析,验证鲁棒控制器的动态响应品质和抗干扰的稳定性。

4.为确保直线电机运动平台实现高精度定位,并提高运动平台的动态响应速度,在控制系统里引入前馈控制器,并且采用模糊控制来细调前馈控制器的参数,从而保证直线电机运动平台在运动过程中始终保持良好的运动性能,提高运动平台的定位精度。

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很有限，且存在运动间隙、惯量大和响应时间较长等
足生瓷带加工的高精度和高速度的要求，是生瓷带
打孔机的技术核心【】２。运动平台通过机械手带动生瓷带在二维空间中作高速精密运动以完成不同需要的特殊运动路径。
径范围０１ｍ～．ｍ．ｍ５０ｍ，因此设备的运动平台必须满
定位精度要达到４１ｍ。－．５
现有的运动平台，常采用电机与丝杠导轨形通式，由于这种驱动方式需要由中间转换机构将电机的旋转运动转为直线运动，无论其速度还是加速度都
ＤＮｏｇｑａ，ＩｉｕｎＺＡＧＺｉａ，ＩＮＦｎＯＧＹｎ・ｉｎＤ－ａ，ＨＮｈ－ｏＴＡａｇＸｙｙ
ｆｈｅｏｄｅｅｒｈＩｓｉｔｆＥＣＴｉａ３０４ＣｉａＴｅＳｃｎｓａｃｔｕｅｏＴ，ａｙｎ００２，ｈｎ）ＲｎｔＣｕ
２１年５０１月
电子工艺技术ＥｅｔｏｉｓＰｏｅｓＴｃｎｌｌｃｒｎｃｒｃｓｅｈｏｏ
１３７
高速精密运动平台研制
董永谦，狄希远，张志耀，田芳
（中国电子科技集团公司第二研究所，太原００２３０４）
摘
要：根据生瓷带打孑机对运动平台的特殊要求，设计了高速精密运动平台方案，分别从高刚度机械结Ｌ
ＭｏｅｎｒｒｏｅｓｔｎＦｎｌ，ｈｅｆｒｎｅｏｈｌｆｒａｉｔｄｗｉｈｅｔｏｓＴｅｐａｆｒａｖｍｅｔＥｒｍｐｎａｉ．ｉａｌｔｅｐｒｏｍａｃｆｅｐａｏｍｉｖｌａｅｔｔｒｅｍｅｈｄ．ｈｌｔｍｃｎｏＣｏｙｔｔｓｄｈｏ
Ａｓｒｃ：ｅｉｎａｈｇｐｅｎｒｃｉｎｍｏｉｎｐａｆｒｃｏｄｇｔａｔｕｒｅｎｆｕｃｉｇｍａｈｅＥｐｕｄｂｔａｔＤｓｇｉｓｅｄａｄｐｅｉｏｔｌｏｍａｃｒｉｐｒｃｌｍａｄｏｎｈｃｉ．ｘｏｎｈｓｏｔｎｏｉａｄｐｎｎｔｅｃｎｒｔｃｅｎｅｓｒｍｅｔｆｍｈｈｓｉｎｓｃａｉｌｅｍｏｏｎｙｃｒｎａｉｎｃｎｒｌａｌａｈｏｃｅｅｓｈｍｅａｄｍａｕｅｎｓｒｉｔｆｅｓｍｅｈｎｓｉｔｒａｄｓｎｈｏｉｔｏｔｏ，ｓｗｅｓｏｇｆｍ，ｎｚｏＩ
计方案。该方案采用天然花岗岩基台作为整个设备的基准，起到减震和增强稳定性的作用；采用空气轴承导向减少摩擦力；采用单运动轴双直线电机同步驱动和高精度直线光栅尺闭环控制的方式，大大
精度、可靠性和效率的关键。生瓷带打孔机打孔速度６０：，ｉ，打孔精度 ±８ｍ，即１０ｍｓ０／／ｎＩｍ０完成一个
ａｈｖｅｙｉｈｃｅｅａｉｎｏｉｏｉｇａｃｒｃ，ｎｅｐｔｈｉｄｓｎｔｒｅ．ｃｉｅｖｒｈｇｃｌｔｎａｄｐｓｉｎｎｃｕａｙａｄｇｔ０ｅｅｉａｇｔｅａｒｏｔｕｔｒｇ
Ｋｙｗｏｄ：ｔｎｐｔｒＬｅｒｏｏ；ｏｉｏｔｉｈｓｅｄａｄｐｅｉｏ；ｙｃｒｎｚｔｎｃｎｒｌｅｒｓＭｏｉｌｆｍ；ｉａｔｒＰｓｉｎｈｈｇｐｅｎｒｃｉｎＳｎｈｏｉｉｏｔｏａｏｎｍｔｗｉｓａｏｏ
ＤｃｍｅｔｏｅＡＡｔｃｅｌ：０１４４２１ｌ３０３０ｏｕｎｄ：ｒｉｌ１０．７（０１－１－４ＣＤ３０７
生瓷带打孔机是低温共烧陶瓷（ｏｅｐｒｔｒＬｗＴｍｅａｅｕＣ — ｉｄＣｒｍｃ，ＬＣｏＦｒｅｉｅａｓＴＣ）多层基板制造的关键设备之一，主要实现生瓷带通孔、定位孔和腔体的冲制成型Ｈ】一片生瓷带通常有几百个至上万个孔，孔。每
中图分类号：Ｔ６５文献标识码：Ａ文章编号：１０ — ４４（０１０ — １３０Ｎ００１３７２１）３０７—４
ＤｖｌｐｎｆＨｉｈＳｅｄａｄＰｅｉｉｎｅｅｏｍｅｔｏｇｐｅｎｒｃｓｏ
ＭｏｉｎＰａｆｒｔｏｌｔｏｍ
不足，限制了其速度和精度的进一步提高，因此因而不能满足生瓷带打孔机的高要求。为了满足生瓷带打孑机的应用需求，拟采用Ｌ
“ 空气轴承＋双直线电机＋光栅尺反馈 ”的平台设
Ｘ、ｙ－－个方向上协调运动的精度和速个方面详细阐述了具体的实施方案及解决措施，并采用三种方法
对平台的性能进行了验证。通过验证证明，平台达到很高的加速度和定位精度，达到了平台设计的预期目标。关键词：运动平台；直线电机；高速精密定位；同步控制
打孔动作。因此要求平台加速度要达到１．ｍｓ平台９６／，２