掩膜板的制造.
掩膜版制作工艺流程
掩膜版制作工艺流程掩膜版制作，是一种利用光学蒙版图案投射到线路板上，以形成芯片元件和相连所需的电路图形的集成制造过程。
掩膜版制作流程如下：一、掩膜版设计1、进行原理图设计，通过原理图分析元件需接线方向，设计需要在掩膜版上印制的图案。
2、编制掩膜版设计报告，明确掩膜版的基本原理、结构及各部位的图案。
3、编写掩膜版制版图，制定掩膜版制作规范，明确需要制版和贴标的图表。
4、根据设计要求，利用照相机或投影仪将图案投射到掩膜片杆材上，形成适用的蒙版设计图案。
1、将掩膜版设计报告中的图案应用于掩膜版制作，经热压，将丝印图案转移到掩膜版材上，形成掩膜版。
2、将掩膜版在仪器上分析，确认掩膜版的正确性，将比例尺印制在掩模材料表面上，以确定具体制版尺寸。
4、制版完成后，在一般情况下，需要进行理化检测及清洗，以确定其电气性能是否符合要求。
三、掩膜版安装1、安装掩膜版前应将线路板清洗干净，以确保线路板的表面没有污渍或其它外界因素的干扰。
2、将掩膜版印制好的图案安装在要装联的元件上，将两个部件连接起来，以确保掩膜版能满足贴入要求。
3、安装好的掩膜版，要复查掩膜图案，以确保图案完整无误，且位置连接准确。
4、掩膜版安装完成后，经过检查确认，如果接点牢固，则可进入下一步测试。
四、掩膜版贴标1、掩膜版安装完成后，便可以进行掩膜版贴标，贴标的内容通常包括型号、品牌、铁控制码和图案等。
2、根据掩膜版设计报告，按照贴标要求进行贴标操作，以确保贴标正确性。
3、在贴标后，还需要进行清洁处理，去除贴标标签剩余的胶垢，以及掩膜版外的杂质和灰尘等。
4、最后对整个掩膜版制作过程做综合检查，以确认工艺收尾。
完成了掩膜版制作流程，整个掩膜版制作工艺就完成了。
下一步可以进入线路板加工制造流程，完成线路板的制作。
光刻掩膜版制作流程
光刻掩膜版制作流程《光刻掩膜版制作流程》嗨，小伙伴们！今天我想和大家聊聊一个超酷的东西——光刻掩膜版制作流程。
这听起来是不是有点高大上？其实呀，只要我给你们一一道来，你们就会发现很有趣的。
我先来说说光刻掩膜版是干啥的吧。
光刻掩膜版就像是一个超级精确的模板，在制造芯片等微小又精密的东西时，可重要啦。
就好比我们画画的时候，先有个草图的轮廓，光刻掩膜版就是这个轮廓的超级精确版本，能让那些超小的电路图案准确地被印到硅片上。
那光刻掩膜版是怎么制作出来的呢？首先呀，得有一块超级平整光滑的基板。
这个基板就像是盖房子的地基一样重要。
如果基板不平整，那后面做出来的掩膜版肯定就会出问题，就像地基歪了房子肯定也盖不好一样。
这基板的材料可都是精心挑选的呢，得有合适的透明度、硬度等性能。
接下来就是涂光刻胶啦。
光刻胶这个东西可神奇了。
把它涂在基板上，就像给基板穿上了一层特殊的衣服。
这光刻胶可不是随便乱涂的哦。
就像我们涂指甲油，要涂得均匀又漂亮，光刻胶也要涂得非常均匀，不能这儿厚那儿薄的。
要是涂得不均匀，在后面曝光的时候就会出现有的地方曝光过度，有的地方曝光不足的情况。
这时候呀，我就会想，这光刻胶的涂抹是不是就像给蛋糕抹奶油一样，得小心翼翼呢？涂好光刻胶之后，就要进行曝光啦。
曝光这个过程就像是用一个超级精确的投影仪把设计好的电路图案投射到光刻胶上。
不过这个投影仪可比我们看电影的投影仪厉害多啦。
它投射的图案超级精细，一点点误差都不能有。
我就好奇地问过在做这个工作的叔叔：“叔叔，这个曝光怎么能这么精确呢？”叔叔就笑着说：“小朋友，这是有专门的设备和复杂的光学系统的，可不是那么简单的。
”我当时就觉得好神奇啊。
这曝光的光也不是普通的光，是特定波长的光，就像一把特殊的钥匙，只能打开光刻胶某些特性的锁。
曝光完了之后，就到显影这个步骤啦。
显影就像是把曝光后的光刻胶上该留下的和该去掉的部分区分开来。
这就好比我们玩拼图，要把正确的拼图块留下来，把错误的拿走。
金属掩膜版制作工艺
金属掩膜版制作工艺金属掩膜版制作工艺是一种重要的印刷工艺，该工艺又被称为电蚀掩膜版技术。
它主要是利用金属掩膜板的图案进行电化学刻蚀处理，然后再将刻出来的掩膜图案转移到印刷材料上，以达到印刷的目的。
其特点是高精度、高质量、高灵敏度。
下面我们就详细介绍一下金属掩膜版制作工艺。
一、金属掩膜版制作的主要工艺流程1.图形设计：首先根据需求，利用相关图形软件设计出需要印刷的图案。
2.图形输出：将设计好的图案通过打印机输出到特殊的移印纸上，再将移印纸贴到掩膜材料上。
3.曝光：利用特殊曝光设备对掩膜板进行曝光，使其图案在掩膜板上形成影像。
4.蚀刻：将曝光后形成的图案通过电解蚀刻设备进行蚀刻处理，这样就能将不需要的部分去除，留下需要印刷的图案。
5.镀铜：蚀刻后在掩膜板上形成的图案上，需要用电解镀铜处理，增加其耐用性。
6.修整：对镀铜后的掩膜板进行刀片切割和抛光修整，以提高其精度。
二、金属掩膜板的常见材质1.不锈钢材质：不锈钢掩膜板是应用最广泛的一种掩膜板，其优点是硬度高、抗腐蚀性好、耐磨、加工精度高。
但价格相对较高，制作周期也较长。
2.镍板材质：镍板掩膜板适用于高精度要求的印刷，其表面光洁度好，耐腐蚀性强，而且制作周期短。
3.黄铜材质：黄铜掩膜板主要用于印刷电路板和其他的印刷品。
其优点是硬度适中、加工性能好、成本相对较低。
三、金属掩膜板制作的技术要点1.控制曝光和蚀刻的参数，以保证掩膜板的准确。
2.注意控制铜层的厚度，以使印刷质量更高。
3.定期检查掩膜板的表面状态，保持其表面的光洁度。
4.金属掩膜板制作出来后，要在标准环境下存储，以保证其质量。
总结：金属掩膜板制作是一项非常精细的工艺，需要高精度、高质量的掩膜板，以保证其印刷质量。
除此之外，制作中还有很多细节要注意，比如曝光和蚀刻的参数，黄铜层的厚度等等。
只有控制好这些要点，才能制作出高质量、高精度的金属掩膜板。
掩膜版薄膜工艺
掩膜版薄膜工艺
掩膜版薄膜工艺，也称为掩膜法薄膜工艺，是一种在薄膜制备过程中使用掩膜版进行模板化形状制作的方法。
以下是它的基本步骤：
1.设计模板：根据需要制作的薄膜形状，设计制作相应的掩
膜版。
掩膜版通常由透明或半透明的材料制成，如聚酯薄
膜或玻璃，上面印有所需的图案或形状。
2.准备基材：选择适当的基材进行准备。
常用的基材包括聚
合物薄膜（如聚酯薄膜、聚酰胺薄膜等）、玻璃、金属等。
3.准备薄膜涂料：根据需要制备的薄膜材料，准备相应的薄
膜涂料。
薄膜涂料可以是液态或溶液状，并根据需求可以
添加颜料或其他添加剂。
4.涂覆掩膜版：将准备好的薄膜涂料均匀涂覆在掩膜版上，
可以使用刮刀、喷涂或滚涂等方法。
确保涂料均匀、厚度
合适。
5.掩膜印刷：将涂覆有薄膜涂料的掩膜版与基材接触，轻轻
压在基材上，使薄膜涂料与基材接触并附着。
一般采用平
板印刷的方式进行掩膜印刷，也可以使用其他印刷方法。
6.固化和剥离：经过一定的固化时间，使薄膜涂料在基材上
完全固化。
然后，将掩膜版从基材上剥离，使形成的薄膜
保留在基材上。
7.后处理：根据需要，可以对薄膜进行后处理，如烘干、硬
化、清洗等，以进一步改善薄膜品质和性能。
掩膜版薄膜工艺适用于许多应用，如柔性显示器、光学薄膜、微电子器件等领域。
它允许制备出具有特定形状和性能的薄膜，具有一定的灵活性和可塑性。
光掩膜版制备流程
光掩膜版制备流程光掩膜版是一种在光刻工艺中使用的重要工具，用于将图形转移到半导体材料上。
光掩膜版的制备过程是一个复杂的过程，涉及到多个步骤和技术。
下面将详细介绍光掩膜版的制备流程。
1.设计图形：首先，需要根据所需制备的器件的设计要求，使用计算机辅助设计软件（CAD）绘制器件的图形。
图形应包含所需的所有细节和尺寸。
2.制作掩膜模板：将设计图形转移到光掩膜版上，通常使用超薄玻璃或石英版作为基板。
将基板涂覆上一层光敏材料，例如光致聚合物。
然后使用直接光刻或电子束刻蚀技术将设计图形转移到光敏材料上。
刻蚀的深浅形成了图形的雕刻。
3.制备光刻胶：选择适当光刻胶，通常为光敏聚合物，它能够在光刻过程中固化并形成图形。
4.准备基板：将待制备器件的基板清洗并加热，以确保其表面干净且与光刻胶粘附性好。
然后在基板上进行背面对准和对准标记的设定。
5.编排版并涂覆光刻胶：在待制备器件的基板上，使用光刻机或喷涂技术对光刻胶进行涂覆。
涂覆厚度和均匀度对光刻的质量至关重要。
6.掩膜对准：将制备好的光掩膜版对准到涂有光刻胶的基板上。
这需要使用显微镜和对准器来确保图形的正确对准。
7.暴光：将对准好的基板放入光刻机中，启动光刻过程。
光源会通过光掩膜版，照射到光刻胶上，在暴光区域固化光刻胶。
8.显影：在暴光后，使用合适的显影液将未固化的光刻胶洗去。
在显影过程中，光刻胶的图形开始显示出来。
9.预烘烤：将图形显示出来的光刻胶进行烘烤，以去除残留的溶剂和使光刻胶固化。
10.补焦修整：使用补焦技术，修整光刻胶的表面，以确保图形的尺寸和形状准确。
11.后烘烤和氧气等离子去除：对光刻胶进行后烘烤来使其固化，并使用氧气等离子处理去除残留的杂质和有机物。
12.检查和测试：使用显微镜或扫描电子显微镜检查光刻胶上的图形是否准确。
然后使用其他测试方法对制备好的光掩膜版进行验证。
以上是光掩膜版制备的大致流程。
每个步骤都需要精确和仔细的操作，并需要高度的技术和经验。
掩膜制造工艺
如何高效制造掩膜？一起来了解掩膜制造工
艺！
掩膜在电子制造行业中扮演着重要的角色，它可以在制造过程中防止光照和化学物质的污染，从而保护电路板上的金属线路不受损坏。
那么，接下来我们就来了解掩膜的制造工艺。
第一步：确定掩膜的尺寸和形状。
在制造掩膜之前，必须先确定它的尺寸和形状，这是制造掩膜的第一步。
通常，我们会使用计算机软件来帮助我们设计掩膜，需要注意的是，设计出来的掩膜必须符合实际制造的要求。
第二步：准备基板材料。
制造掩膜的下一步是准备基板材料，基板通常采用的是聚酰亚胺（PI），聚四氟乙烯（PTFE）等高温材料，能够耐受高温和有机溶剂的腐蚀。
第三步：涂覆光刻胶。
将光刻胶涂覆在基板上，使其均匀分布。
然后，将基板放在紫外灯下，使用模板使光刻胶暴露在光源下。
紫外线照射使光刻胶与基板产生反应，形成固体图案，即为掩膜。
第四步：去除未固化的光刻胶。
去除未固化的光刻胶，这通常使用化学溶剂，如盐酸或高温去离子水，这可以去除未固化的光刻胶，并将图案固定在基板上。
第五步：铜化。
将铜化液体倒入容器中，放入固定的掩膜。
在铜化液体中进行电镀或浸泡，形成需求的金属芯片。
通过以上几个步骤，我们就可以完成掩膜的制造了。
这一工艺需要仔细操作，确保掩膜质量稳定，以保证成品的质量可靠性。
纳米刻蚀工艺中的掩膜版设计与制作流程
纳米刻蚀工艺中的掩膜版设计与制作流程一、概述纳米刻蚀工艺是制造纳米级结构的重要步骤，而掩膜版的设计与制作则是该工艺的关键环节。
掩膜版作为光刻机的光学模板，将光线精确地投射到待蚀刻的区域，从而实现精确的纳米级加工。
二、设计阶段1. 确定设计目标：根据具体的应用需求，确定所需的纳米结构形状、尺寸和位置。
2. 绘制设计图：根据确定的设计目标，使用CAD软件绘制出精确的掩膜版设计图。
设计图应包括所需的纳米结构形状、尺寸、间距和位置等信息。
3. 审核与修改：对设计图进行审核，如发现有误或需要修改的地方，及时进行调整和修改。
三、制作阶段1. 准备材料：选用适合制作掩膜版的材料，如聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）等。
这些材料具有优异的绝缘性、耐热性和耐化学品性。
2. 制版前处理：清洗材料表面，去除污染物和杂质，保证材料的洁净度。
3. 涂胶：将材料表面的涂胶层涂覆均匀，保证光刻胶的附着力。
4. 曝光：使用激光曝光机将设计图转移到光刻胶上。
这一步骤需要精确控制曝光时间和功率，以保证光刻胶的曝光质量。
5. 显影与去胶：显影是将光刻胶中的透明部分去除，形成与设计图相同的图形。
去胶则是将光刻胶从材料上分离下来。
这一步骤需要严格控制显影时间和温度，以保证掩膜版的完整性。
6. 后处理：对掩膜版进行后处理，如清洗、整形、检验等，保证其质量。
总结：掩膜版的设计与制作是纳米刻蚀工艺中至关重要的一环。
通过对材料的选择和处理，以及对光刻胶的涂覆、曝光、显影和去胶等步骤的精确控制，可以制作出高质量的掩膜版，为纳米刻蚀工艺提供可靠的支撑。
实际操作中还需根据具体情况进行不断的尝试和改进，以实现更高的精度和更优的性能。
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铬 层
在准备好的石英玻璃片之后，在其上淀积一层铬，掩
膜图形就是在铬膜上形成，在铬膜的下方还有一层由铬的
氮化物或氧化物形成的薄膜，其作用是增加铬膜与石英玻 璃之间的黏附力，在铬膜的上方需要有一层20nm厚的三氧 化二铬抗反射层，这些薄膜是通过溅射方法制备的。
选择铬膜形成图形，是因为铬膜的淀积和刻蚀相对比
（三）精缩兼分布重复
将初缩版或者初缩版的复印物作为物，经精缩后得 到满足设计要求的光刻版。 初缩版一般只有一个图形，而精缩版需要在同一块 底版上制作几十到几百个相同的图形，以适应大批量生产 的需要
当代计算机辅助掩膜版制造技术
机械刻图：由坐标刻图仪进行，事先计算好的图形坐标值，
操作刻刀，即可在红膜上刻出分图的轮廓，然后手工剥除 透明区的红膜。
自动刻图：是按照事先编控制平台移动和刻刀的动作，在红 膜上刻出各个分图，经人工揭膜后得到原图。
（二）初缩
初缩是在照相机上进行的，必须保证拍照图面、镜头 和感光底版严格平行，并使象的焦平面与感光底版的药膜 完全重合。
静电放电就会引发问题。这种情况有可能通过掩膜版上微 米尺寸的铬线条放电产生小电涌，熔化电路线条损坏图形。
解决投影掩膜版上颗粒沾污的方法是用一个极薄的透 光膜保护表面，这种薄膜称为保护膜。
这层保护膜的厚度需要达到足够薄，以保证透光性， 同时又保证足够结实，能够耐清洗，此外，还要求保护膜
长时间暴露在UV射线的辐射下，仍能保持它的形状。目前
e. 蚀刻（将曝露处的铬层腐蚀去除）
f.
脱膜（将光刻胶去除）
g.
切割（按生产工艺要求，将一大片拼版成品切割为各自 独立的单个成品）
投影掩膜版的损伤
使用投影掩膜版时确实存在很多可能的损伤来源，例 如投影掩膜版掉铬，表面擦伤，静电放电（ESD）和灰尘
颗粒。如果掩膜版被一个没有正确接地的技术人员触摸，
4:1 100 100 25 25 25
1:1 30 30 30 30 36
在投影掩 膜版上的 视场尺寸
投影掩模版视场 尺寸 (mm) 硅上的曝光视场 (mm)
投影透镜 硅片上的曝光 视场
每个曝光视场芯 片数 (假设芯片 尺寸 5mm 5mm)
投影掩膜版和掩膜版的比较
光刻掩膜板制备方式
掩膜版的制造
掩膜版结构
1) 掩膜版是对匀胶铬版经过光绘加工后的 产品。由玻璃基片、铬层、氧化铬层和 光刻胶层构成的。 2) 当有效波长作用到光刻胶上，发生化学反 应，再经过显影之后，曝光部分的光刻胶层会 被分解、脱掉、直接显露出下层的铬层（阻挡光层） ，形成具体图形。 3) 掩膜的应用 目前掩膜版在电子行业中主要应用于 STN- LCD、TFT -LCD、PDP、以及 PCB 产业BGA、FPC、HDI 等产品。
人工方式
设计掩膜板总图
按比例放大总图
刻掩膜红膜分图
复印生产用套版
精缩与分步重复
制备初缩掩膜板
（一）原图绘制
（1）总图绘制
是将设计好的图选择适当的放大倍数，画在一张标
准的方格坐标纸上，一般选择把器件的实际尺寸放大 100—1000倍，同时放大倍数也不宜过大。
（2）原图刻制 是从总图上描刻出各块光刻板的原图。 手工刻图：将平压在总图上，带有红色塑料涂层的透明薄膜， 描刻出轮廓，再用手工剥去原图透明区的红膜。
投影掩膜版被用在步进光刻机和步进扫描系统中， 需要缩小透镜来减小形成图案时的套准精度。步 进光刻机通常使用的投影掩膜版缩小比例为5︰1 或4︰1，而步进扫描光刻机使用投影掩膜版的缩 小比例为4︰1。
投影掩膜版缩影倍率和曝光场的比较
透镜类型
10:1 100 100 10 10 4
5:1 100 100 20 20 16
投影掩膜版
投影掩膜版图的设计和尺寸
1) STI刻蚀
2) P阱注入
3) N阱注入
4) 多晶硅刻蚀
5) N+ S/D 注入
6) P+ S/D 注入
5 4 6
7) 氧化层接触刻蚀
8) 金属刻蚀
最终层
3 2 1 7 8
剖面图
顶视图
投影掩膜版的材料： 最主要的用于亚微米光刻的投影掩膜版衬底材料 是烧融石英。这种材料始终用在深紫外光刻中，因为 它在深紫外光谱部分（248nm和193nm）有高光学透射。 用做投影掩膜版的烧融石英是最贵的材料并且有非常 低的温度膨胀。低膨胀意味着投影掩膜版在温度改变 时尺寸是相对稳定的。掩膜版材料应具有的其它性能 是高光学透射和在材料表面或内部没有缺陷。
较容易，而且对光线完全不透明。
掩膜版上图形制造
通常在掩膜版上形成图形的方法是使用电子束。这种技术利
用直写把电子存储的原始图形绘制成版图。
电子束光刻：电子束光刻的直写方式把高分辨率的图形转印 到投影掩膜版表面，在电子束光刻中电子源产生许多电子， 这些电子被加速并聚焦成形射到投影掩膜版上。电子束可 以通过磁方式或电方式被聚焦，并在涂有电子束胶的投影
掩膜上扫描形成所需要的图形。电子束可以扫过整个掩膜
版（光栅扫描），也可以只扫过要光刻的区域（矢量扫描） 在投影掩膜上形成图形。
掩膜版（图形）制作
a. CAD（Computer Aided Design） ↓ b. CAM（Computer Aided Manufacture） ↓ c. 光刻（将处理好的图形数据文件传递给激光光绘机，对 匀胶铬版进行非接触式曝光。 ） ↓ d. 显影（将曝光处光刻胶层去除，显露铬层）
投影掩膜版与掩膜版
投影掩膜版是一个石英版，它包含了要在硅片上重 复生成的图形，这种图形可能仅包含一个管芯，也可 能是几个。投影掩膜版指的是对于一个管芯或一组管 芯的图形。 光刻掩膜版：它是一块石英版，包含了对于整个硅 片来说确定一工艺层所需的完整管芯阵列。 掩膜版是的制造工艺是关系到集成电路的质量和集 成度的重要工序。
所使用的材料包括硝化纤维素醋酸盐和炭氟化合物。
有保护膜的掩膜版可以用去离子水清洗，这样可以保 护膜上大多数的颗粒，然后在通过活性剂和手工擦洗，就
可以对掩膜版进行清洗。
保护膜 铬图形 框架 投影掩膜版
保护膜上的颗粒在光学焦距范围 之外. 抗反射涂层 焦深 掩膜版材料 保护膜 铬图形
投影掩膜版的缩影和尺寸