ESD静电防护基础知识

【棚架、桌子的接地方法】
注意不要过于拉 扯避免脱落。
接地
【接続方法①】 使用有固定夹子的电线来接续
【接続方法②】 从静电胶皮直接接地
＊移动棚架、台车与手能触摸到的场所 ＊手触摸不到的狭窄的地方(看不见的地
【接地点的管理方法】
接地点的入口处配电盘
贴接地标签进行管理
『接地接续点管理』 ・对工程进行静电对策时、基础接地点处贴上示标签、定期测试确认接地是否连
●表面電位（静電気）測定②
『注意事項』 测定绝缘物表面电位时、不能放在接地场所进行测定。
表面电位为0 （可看出来･･･）
带电 （表面電位为４００V）
磨损后的目视检查胶片 （或者绝缘物）
在接地场所测定表面电位的 话会变低、已被除电･･･
提起来测定的 话･･･
抬起来测定的话表面电位会变 高。（可看出没被除电。）
静电手腕固定用 的铜线
接地
ＯＫ！
穿静电鞋
接地
接地
ＯＫ！
地板铺好经典胶皮 接地
《静电对策不充分事例》
只有基板（部品） 接地。
只有人体接地
静电服
ＮＧ！
＊人体→向基板放电
静电服
ＮＧ！
＊基板→向人体放电
静电鞋
静电鞋
静电胶皮
＊虽然穿着静电鞋、静电服、但因为没有接地
人体就会带电、接触基板后产生放电。wenku.baidu.com
静电胶皮
托盘与台车
必须放置在接地的场所除电之后････
接触部品。 （作业员佩带静电手腕、
或静电鞋＋静电地板）
【静电手腕的使用方法、接地方法】
ＯＫ！
ＮＧ！
ＯＫ！
牢固地佩带在 手腕上
ＮＧ！
没有牢固地佩带 （被拉长）
ＮＧ！
铜线等 桌子
与接地的金属 连接
与导电箱连接
连接静电胶皮
【台車接地方法】 『接地方法①』
铺静电胶皮
『接地方法②』
３、部品间的摩擦、或者部品与其它绝缘体 的摩擦而造成带电。
如果与人体或其它导体接触会发生放电破坏部品。
塑料袋或劣化的静电
由于部品间的摩 擦造成半导体直
接带电
放电造成
由于摩擦发生静电（搬运等）
部品靠近绝缘体（易发生静电的材料）或部品间摩擦产生带电
【对策－１】 附近有绝缘物的情况下、
＊手插作业的情况下
３．静电防护基础知识
【对策基准】
・从事基板单组组装的作业员→穿静电服。
・直接用手接触基板单组,电气部品的作业者、管理者→佩带静电手腕。 ＊由于作业性原因，无法佩带静电手腕的情况下、地板要铺静电胶皮＋穿静电鞋
・直接用手触摸基板单组,电气部品的作业场所→桌子、棚架要铺静电胶皮、然后在上面进行作业。
【对策例１】
【棉手套、指套的评价方法】
【使用漏洩电阻计】
印加電圧１００V以下。 （因为对人体有影响、不要印加过高电压、 不要使用绝缘电阻计）
戴好棉手套、指套以后 再触摸端子。
戴好棉手套（或者指套） 之后再触摸电极。
『評価方法』 ＊对将要使用的棉手套、或者指套戴好后、测定其漏洩电阻。
地
部品取出 （在ＥＰＡ内实施）
静电胶皮 （接地）
纸箱
静电箱 铜线等
基板的拿取、修理 （在ＥＰＡ内实施）
静电手腕
静电服
【接地】 要导通到地下
（GND）。
桌子 地板
静电胶皮
静电鞋
●什么是EPA？
＊(ＥＳＤ Ｐｒｏｔｅｃｔｅｄ Ａｒｅａ）的简写。
【破坏要因１】
●人体带电造成静电破坏
没有采取任何静电 对策的作业员
加 导 等， 测
＊因为托盘与台车带电故向人体放电
只对人体或基板进行对策，也有破坏部品的可能性。
【对策－１】
●直接触摸基板（部品）时、人体、基板（部品）双方接地之后再接触部品。
人体、部品都接地之后触摸部品可以。
如果没有接地不要直接触摸基板（部品）
ＯＫ！
●将箱子放置于静电 胶皮上、佩带好静电 手腕后可以开始触摸 基板。
【静電測定、導電胶皮測定】
●導電胶皮电阻值测定
●测定导电胶皮所用电极（有的电阻计 附带有、如果没有可作成） ・（重）２.５±０.５㎏ ・（直径）φ６０～７５ ・（材質）鉄、钢、銅、真鍮等 ＊要进行电镀处理防止生锈
导电胶皮
漏洩电阻計
【注意】
或
由于绝缘电阻计在使用时会印加
绝缘电阻计
较高电压、所以使用时请确认导
铺静电胶皮
静电胶皮与
将静电胶皮加工后 接地
静电胶皮与
『静电胶皮加工后接地方法』
长度100～150㎜左右
准备一个圆筒形的重物（金 属棒等）
＊因为用锁无效果，ＮＧ！
导电滚轮 （组装2箇场所以上）
上部 组装到台车上
固定 （防止重物落下）
用静电胶皮（绿侧）包 裹
使其能够在地板静 电胶皮上滚动
＊地板如果不铺静电胶皮、或者不是静电地板的话，就根本没意义请注意。
静电服
静电服
ＯＫ！
ＯＫ！
静电手腕
静电胶皮
接地
・穿静电服 ・佩带静电手腕
静电鞋
静电胶皮
接地
・穿静电服 ・穿静电鞋
【对策－２】
●部品开捆时･･･ 根据各工位的作业选择采取以下对策①或②来实施。
【对策①】对策基本形
【对策②】佩带静电手腕作业较困难的情况下的对
静电服
佩带静电手腕
桌子铺静电胶皮接 地
静电服
桌子铺好静电胶皮 接地
不要触摸箱子内 部
ＯＫ！
●将箱子放置于静 电胶皮上、穿好静 电鞋站在静电胶皮 上以后才可以开始 接触基板。
【破坏要因2，3】
【破坏要因2，3】
２、绝缘体（容易产生静电的材料） 附近有部品带电。
塑料袋
产生大量的静电
放置在附近的
如果与人体及其它导体相接触会发生放电而破坏部品。
由于放电造成 部品被破坏
由于静电诱导产 生间接带电
＊要注意绝缘体本身没被除电。
基本来讲绝缘物禁止进入EPA区域内。
【静电吹风器使用方法、管理方法】
●是否变为0电位
『使用方法』 ・部品单品状态下（组装前手持）进行除电。 ・表面电位计效果确认。
因为性能低下、所 以有必要定期点检
『管理方法』
＊如果长期使用的话、电极部分会堆积很多灰尘，性能会低下。
请参考仪器的使用说明书进行定期点检。
ＮＧ！
电线固定在金属板上的方 插入
通过夹子固定电线来接地
ＮＧ！
ＯＫ！
静电胶皮的直列接续
铜线或钢线
导体铺好、上面铺好静电胶皮与其接触。 （静电胶皮表面不能打蜡）
ＮＧ！
利用金属板与地板接地（电阻值较低放电）
【从纸箱中取出的拿取方法】
●拿取方法与静电箱拿取方法相同。
中间加入高电 阻也无效果
纸箱本身可以导电。
（５００V/１０００ 电胶皮上不要放置基板、部品等，
在没有任何东西的状态下才能测
.
接地
『电阻值规格}
接地
１０００MΩ（１×１０９）～７５０KΩ
『注意事項』
测试电阻值１×１０８、或者１×１０８以上的情况下，要接地再确认、避
●表面电位（静电）测定①
●人体接地所使用
●测定器接地使用
＊使用时必须确保测定器、或者人体中的一方必须接地以后才能测
●变更为非带电的材料。
・不使用塑料袋、劣化的静电袋。
・部品放置在接地的场所。
电木板
塑料袋或劣化的静电 袋
【其它对策２】 ＊修理基板的情况下
揭胶带时，发生静电
胶带被直接贴到半导 体上
ＮＧ！
不良内容贴纸
不良内容贴纸不能直接贴到半导体
贴在半导体以外
ＯＫ！
【静电胶皮的接地方法】
ＯＫ！
ＯＫ！
通过铆接固定点接地
作业员专任化。
发泡材料 包装
半导体非手插
确保旁边的 作业员接触 不到的距离
确保旁边的 作业员接触 不到的距离
【对策】
・捆包材使用发泡材或塑料的 部品，手插作业员要专任化（集中化）。
・以上作业员不能插半导体部品。 ・与旁边的半导体部品相距15㎝以上。
发泡材及塑料包装的部品作业员要专任 化（半导体不能手插）
地板与鞋子摩擦而使 人体带电
触摸基板产生放电、部品 被破坏
走动
地板与鞋
放电破
产生静电
接触基板
人体的静电产 生放电
ＮＧ！
人体所携带的静电与基板接触而发生放电、使部品被破坏。
【对策－１】
●拿取基板时は･･･ 根据各工位的作业情况选择采取以下对策①或者②来实施。
【对策①】
对策基本形
【对策②】
佩带静电手腕作业较困难的情况下的对 策
距离太近！
×
【对策－２】
【对策－２】 绝缘物在附近的情况下、
塑料袋
产生静电气
用有密封（遮蔽）效果的物体将半导体覆盖。
ＯＫ！
【对策－３】
●要除电。
＊与塑料组装作业的情况
①组装前要用静电吹风箱除电。
手持除电
②除电后、组装基板。
不受静电气影响 有密封效果的袋
子
③完成。
＊不能边组装基板边除电。
【其他对策１】