镀膜机常见故障及分析解决预防措施

镀膜机常见故障及分析解决预防措施

一.常见故障,问题及解决方法

下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,

3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关

3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关

3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关

4.灯丝问题

4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝

4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟

4.3.灯丝安装

a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造

成光斑能量太散,不易蒸发

b.栅极片应略低于阳极片

c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良

d.打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”

5.轰击

条件：真空度4.0Pa到8.0Pa之间时间:20到30分钟

轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室

轰击完后关闭轰击开关,取轰击棒时应带手套或用包住轰击棒以免被烫伤

6.换机械泵油

将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别注意死角地方),擦干净后倒点新油盖住出气口开机械泵运行20秒将油放出,这样反复做两到三次,

7.

),

.设关分钟后