CCD和CMOS光电图像传感器量子效率测试系统介绍
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MV-IS 光学系统，光斑大小 30 mm × 30 mm，针对主流 CCD， CMOS 芯片大小设计 光斑均匀度≥ 99% 光均面位置：距离均光系统出口 150 mm 光均面光强：>5 uw/cm2 辐射功率连续可调 单像素 QE 测量：可以（光强足够） 发散角度（半角）：<5 度 (可订制)
4 寸积分球，均匀性 99 %。
三轴精密微调台、样品载具、激光定位功能
系统各部件控制功能整合软件 各部件控制功能开发工具:
(1) 单光仪控制 (2)滤镜转轮控制 (3) 电流计控制 (4) 自动化载台控制 客制化量测软件
Enli TecBaidu Nhomakorabeanology Co., Ltd.
光焱科技股份有限公司
MV-IS Image Sensor Characterization System
图 3 一般工业级相机实测于 300 nm 至 1100 nm
图 4 光焱均光系统与传统均光系统之照度比较
图 5 光焱科技专利均光系统与传统均光系统之光 通量比较
系统特点
◆ 独家的均匀光系统，超高单 色光光强
◆ 实现全阵列像素测量 ◆ 发散角度小于 5 度的准直单
色光 ◆ 丰富的相机接口 ◆ 灵活的硬件扩展和升级能力 ◆ 激光定位
系统应用
◆ CCD 相机 ◆ CMOS 相机 ◆ 紫外光传感器 ◆ 红外光传感器 ◆ 摄像头 ◆ 其他类型光电器件
图 1-1 系统可产生高均匀度与高光强度的单色光光斑，
图 6 光焱专利均光系统于不同单色光下，均可达到高 于 99%均匀度
430 nm 均匀度 99.04%
530 nm 均匀度 99.06%
630 nm 均匀度 99.05%
Enli Technology Co., Ltd.
光焱科技股份有限公司
MV-IS Image Sensor Characterization System
Enli Technology Co., Ltd.
光焱科技股份有限公司
CCD 和 CMOS 光电图像传感器量子效率测试系统介绍
光电图像传感器量子效率测试系统是针对 CCD 和 CMOS 影像传感器和摄像头开发的评价系统。利用 专利的均匀光技术比传统积分器提供更强的光强，独家的单色仪分光技术，可以测试波长分辨率达到 0.1nm，大大提高了测试的准确性。测量的波长范围可扩展到 300 nm~1100 nm，是一高性能传感器综 合测试系统。
主要技术指标
1. 单色光光源系统:
2. 均光系统-A:
2. 均光系统-B: 3. 标准光强能量校正器:
4. 控制系统: 5. 测量暗室: 6. 图像采集: 7. 样品台: 8. 软件与开发工具:
不稳定度 <1% 强制散热系统 臭氧消除功能 300 nm ~ 1100 nm (可扩展) 光栅式单色光产生 辐射功率连续可调: 0~100% 波长分辨率可达 0.1 nm 波长准确度± 1 nm 波长重复性± 0.5 nm
具备绝佳的讯噪比，可精确测出感光组件的量子效率等 相关光学特性
(a)专利均光系统发散 角示意图
(b)传统积分球系统光发 散角示意图
图 1-2 市售工业级相机实测于 470 nm 波长各项 参数之测量结果
測量参数
量子效率
61.84
系统增益
0.04584
暗噪声
0.230
暗电流响应不均匀性 光电流响应不均匀性
最大讯噪比
0.256 4.09 35.11
非线性误差
0.093
最小可侦测照射光子数 饱和照射光子数 动态范围
8.93 5363.49
55.57
暗电流
3.57
% DN/e-
DN DN % dB % photons photons dB DN/s
(c)光斑投射在样品之 实际样貌
(d)系统可产生连续不同光 波长之单色光源
整合方案
系统可满足使用 Photon Transfer Method 量测图像传感器之各项参数所需的光学平台： ◆ 量子效率/光谱响应 ◆ 灵敏度 ◆ 动态范围 ◆ 暗电流/噪声 ◆ 线性误差 LE ◆ 暗电流响应不均匀性 ◆ 光电流响应不均匀性 ◆ 主光线角度测量（Chief Ray Angle，CRA）
BNC 接口 感应波长范围 190 nm ~ 1100 nm 标定证书 面积 10 × 10cm2,不均匀度为千分之五 电流计最小解析能力: 10 fA
最新配置工控机，LCD ，4GB RAM，DVD，Windows7 系统
具涂层隔离环境杂散光
图像采集卡接口： USB、IEEE 1394、以太网卡等
4 寸积分球，均匀性 99 %。
三轴精密微调台、样品载具、激光定位功能
系统各部件控制功能整合软件 各部件控制功能开发工具:
(1) 单光仪控制 (2)滤镜转轮控制 (3) 电流计控制 (4) 自动化载台控制 客制化量测软件
Enli TecBaidu Nhomakorabeanology Co., Ltd.
光焱科技股份有限公司
MV-IS Image Sensor Characterization System
图 3 一般工业级相机实测于 300 nm 至 1100 nm
图 4 光焱均光系统与传统均光系统之照度比较
图 5 光焱科技专利均光系统与传统均光系统之光 通量比较
系统特点
◆ 独家的均匀光系统，超高单 色光光强
◆ 实现全阵列像素测量 ◆ 发散角度小于 5 度的准直单
色光 ◆ 丰富的相机接口 ◆ 灵活的硬件扩展和升级能力 ◆ 激光定位
系统应用
◆ CCD 相机 ◆ CMOS 相机 ◆ 紫外光传感器 ◆ 红外光传感器 ◆ 摄像头 ◆ 其他类型光电器件
图 1-1 系统可产生高均匀度与高光强度的单色光光斑，
图 6 光焱专利均光系统于不同单色光下，均可达到高 于 99%均匀度
430 nm 均匀度 99.04%
530 nm 均匀度 99.06%
630 nm 均匀度 99.05%
Enli Technology Co., Ltd.
光焱科技股份有限公司
MV-IS Image Sensor Characterization System
Enli Technology Co., Ltd.
光焱科技股份有限公司
CCD 和 CMOS 光电图像传感器量子效率测试系统介绍
光电图像传感器量子效率测试系统是针对 CCD 和 CMOS 影像传感器和摄像头开发的评价系统。利用 专利的均匀光技术比传统积分器提供更强的光强，独家的单色仪分光技术，可以测试波长分辨率达到 0.1nm，大大提高了测试的准确性。测量的波长范围可扩展到 300 nm~1100 nm，是一高性能传感器综 合测试系统。
主要技术指标
1. 单色光光源系统:
2. 均光系统-A:
2. 均光系统-B: 3. 标准光强能量校正器:
4. 控制系统: 5. 测量暗室: 6. 图像采集: 7. 样品台: 8. 软件与开发工具:
不稳定度 <1% 强制散热系统 臭氧消除功能 300 nm ~ 1100 nm (可扩展) 光栅式单色光产生 辐射功率连续可调: 0~100% 波长分辨率可达 0.1 nm 波长准确度± 1 nm 波长重复性± 0.5 nm
具备绝佳的讯噪比，可精确测出感光组件的量子效率等 相关光学特性
(a)专利均光系统发散 角示意图
(b)传统积分球系统光发 散角示意图
图 1-2 市售工业级相机实测于 470 nm 波长各项 参数之测量结果
測量参数
量子效率
61.84
系统增益
0.04584
暗噪声
0.230
暗电流响应不均匀性 光电流响应不均匀性
最大讯噪比
0.256 4.09 35.11
非线性误差
0.093
最小可侦测照射光子数 饱和照射光子数 动态范围
8.93 5363.49
55.57
暗电流
3.57
% DN/e-
DN DN % dB % photons photons dB DN/s
(c)光斑投射在样品之 实际样貌
(d)系统可产生连续不同光 波长之单色光源
整合方案
系统可满足使用 Photon Transfer Method 量测图像传感器之各项参数所需的光学平台： ◆ 量子效率/光谱响应 ◆ 灵敏度 ◆ 动态范围 ◆ 暗电流/噪声 ◆ 线性误差 LE ◆ 暗电流响应不均匀性 ◆ 光电流响应不均匀性 ◆ 主光线角度测量（Chief Ray Angle，CRA）
BNC 接口 感应波长范围 190 nm ~ 1100 nm 标定证书 面积 10 × 10cm2,不均匀度为千分之五 电流计最小解析能力: 10 fA
最新配置工控机，LCD ，4GB RAM，DVD，Windows7 系统
具涂层隔离环境杂散光
图像采集卡接口： USB、IEEE 1394、以太网卡等