无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度如何确定详细分析

一、净化车间的规格

净化车间的规格一般适用于美国联邦规格NO.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要

是以洁净度进行分类。最新版已成为NO209E，名称也进行了变更。NO.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒

数为10x个/m3,把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规

格NO.209B，表8表示的是美国联邦规格NO.209E。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是

把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用丫表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。

表

级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示

*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。

**针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。

粒子直径/m3=10M（0.5/d）2.2，其中，M : SI单位里的级别名称， D :粒径（um）

*** 国际单位（Systeme International d 'Unites 的缩写）

图1 , 209E的洁净度级别（图略）图中的•标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。

（）内数值是用English unit表示级别。

图2，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度

表9，JIS B 9920主要内容

如前所述，净化间的级别一般分成M3.5 （100 ）、M4.5 （1000）、M5.5 （10000 ）、M6.5 （100000）4 个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根

据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，

需有从M3.5到M6.5 （100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的

洁净度是不同的。就一般级别而言，表11可以作为参考

作为净化间的分类方法，一般都是根据室内气流形状来划分的。按这个方法，净化间可大致分为如下三大类。

1，垂直层流型（降下流方式）

这是一种将HEPA或ULPA过滤器安装在天花板上，从顶板上往下直对地面，能以同样的速度向净化间提供洁净空气的方式。这种设备体积庞大，造价也很昂贵，但作为净化间的性能，无论是从什么方面讲, 它都是最好的。

2，水平层流型（交叉流方式）

这是将HEPA或ULPA过滤器安装在壁板上，从墙壁上向对面墙壁以同样的速度提供洁净空气的一种方式。由于是水平层流，所以，与气流的上流侧相比，下流侧的洁净程度要低一些。但它与垂直层流方式相比的话，具有设备较小，费用较低的特点。

3，非层流型（常规型）

与上述几种层流形式相比，其设备费用要低廉很多，但由于岀现了非层流部分，室

内气流发生紊乱，微粒子浮游在空中，很难保证高的洁净度。

M3.5 级（100 ）及M4.5 级（1000）的场合

在洁净度要求达到M3.5级及M4.5级的场合，其大部分都能达到层流型。

垂直层流型（降下气流方式）范例图3

HEPA过滤器---------------

概要

特点

吹出口、过滤器位置 天花板（80以上）（图3） 优点：

•不会被室内的作业人 数、作业状态

左右，能 保证高度的洁净度。 • 由于是垂直层流，换气 次数多，所

以，在短时 间内得到高水准的洁净 度。

•几乎不会发生尘埃堆 积，即便是被

污染，也 能很快恢复。 缺点 •设备费高 •运转成本咼

•净化间面积很难扩建

吹入口位置 筛条或孔板（图 3） 气流状态

垂直层流

换气次数（气流速度） 250 — 650 次/h0.25m/s 左右 温度范围 22 °C

士 1 — 3 °C

湿度范围 RH45% 士 5-10% 室内外压力差 5-25Pa(0.5 — 2.5mmH 20)

所需机械至 大 建筑内装材料 有规定

工程的难易程度 需要很高的技术水平 房间大小的限制 没有特别的要求 房间有效作业面积 能得到很大的面积 作业性 好 运转经费 高

管理

实施高水平的管理

表13 ,

概要

特点

吹出口、过滤器位置 房间一侧的墙壁上（图 4） 优点

吹入口位置 吹岀口对面的墙壁（图 4）

•因涡流、死角等引起的

气流状态

虽是水平层流，但下侧风流 粉尘的堆积、再游离现

处会逐渐被污染。

象很少

换气次数（气流速度） 30 — 650 次/H(0.45m/s) • 室内的洁净度不大被作

温度范围 22 C

士 1 — 3 C

业人员数、作业状态左 湿度范围 RH45% 士 5-10%

右。 室内外压力差 5--25Pa(0.5 — 2.5mmH 2O)

缺点

所需机械至 中等

•在距吹岀层面较近的地

建筑内装材料 有相当部分受限制 方可以保证有高水平的 工程的难易程度 需水平稍高的技术 洁净度，但在距吸引层 房间大小的限制 受限制 面较近的地方，洁净度 房间有效作业面积

受到限制

会有所降低。

表12

外气

预过滤

滤器

I 粗尘过:滤器

■ /外气

舌性炭过滤

在净化间 垂直层流

外气被气体污染的场合下使用 度

的控制也非常

重耍。建议使 「土的概要及特点 f 特龙公司产的

热交换器

活性炭过滤器

显器I

2,水平层流型（交叉流方式）

热交换器

PA

滤器

/活性炭

预

图注: 严格控制的 蒸汽式加湿器。

湿 勺阿姆斯

HEPA 过滤器

档粗大尘埃过滤器

Z

加湿器