超精密切削及金刚石刀具
论述金刚石刀具超精密切削的机理丶条件和应用范围
金刚石刀具超精密切削的机理丶条件和应用范围
金刚石刀具是超精密切削中常用的刀具材料，其切削机理、条件和应用范围如下：
1.切削机理：
⏹金刚石刀具的切削刃非常锋利，在切削过程中能够实现“切入式切削”，
使切削力大大减小。
⏹金刚石的硬度极高，切削时不易被工件材料磨损，能够保持良好的切削刃
形状。
⏹金刚石的传热性能极佳，能够快速地将切削热量传递出去，从而降低切削
温度，减少热损伤。
1.切削条件：
⏹刀具刃口半径：为了实现超精密切削，需要将刀具的刃口半径减小到亚微
米级，以提高切削的精度和表面粗糙度。
⏹切削用量：为了减小切削力和热量，需要选择较小的切削深度和进给速度，
以提高切削效率。
⏹工件材料：金刚石刀具适用于加工各种硬材料，如淬火钢、硬质合金等。
但是，对于一些韧性较大的材料，需要进行预处理或选择其他刀具材料。
1.应用范围：
⏹金刚石刀具广泛应用于超精密切削领域，如光学零件、轴承、硬盘磁头、IC
芯片等高精度、高表面质量的零件加工。
⏹在加工过程中，金刚石刀具还可以用于制作各种微细结构，如微孔、微槽
等。
综上所述，金刚石刀具的超精密切削需要满足一定的条件，并具有广泛的应用范围。
超精密加工中的金刚石刀具及刀具磨损分析
理论与实践经济与社会发展研究超精密加工中的金刚石刀具及刀具磨损分析齐齐哈尔工程学院 武晓迪摘要：各种超精密加工应用中将金刚石用作切削工具已经成为现实，然而其目的与意义并没有得到实质性分析。
据此，本文对超精密加工中应用金刚石作为切削刀具的现实意义进行分析。
关键词：超精密加工；切削工具；刀具磨损一、技术背景分析使用高速超精密车床加工玻璃和硅等脆性材料时，当所施加的切削深度低于临界值时，则认为其处于延性模式，并且可以容易地加工而不会形成裂纹。
因此，对于这些材料的延性至脆性转变具有重要意义，在这些材料中，临界切削深度的大小取决于零件的特性而变化。
通常，单晶硅经常用在微机电系统（ＭＥＭＳ）中，在该系统中，最终将材料加工成优质产品，并进行超精密研磨和抛光操作。
尽管硅材料的行为在室温下很脆，但建议使用金刚石车削工具以延性模式加工硅。
这减少了由陶瓷材料的脆性断裂引起的损坏，并提高了最终零件的生产率。
使用金刚石工具对铜，铝和镍等有色金属材料进行高速加工，以评估工具的磨损，切削力和表面光洁度。
实验针对不同的切割速度进行，例如较低的１５０ｍ／ｍｉｎ的速度和较高的４５００ｍ／ｍｉｎ的速度。
在较低的切削速度下观察到的刀具磨损率大于较高的切削速度。
这可能是由于以较高的速度减少了刀具与工件啮合的时间。
它还降低了工具和工件界面之间的化学亲和力。
具有高负前角的金刚石工具可用于以超精密精度精加工该材料。
二、金刚石作为切削工具的意义制备塑料模具的需求不断增加，而塑料模具是制造ＣＤ光学头的非球面透镜和照相机的智能透镜所必需的。
刀具的切削刃必须锋利且没有不规则形状，以加工高精度非球面。
基于工具的清晰度，单晶金刚石（ＳＣＤ）和多晶金刚石（ＰＣＤ）之间存在主要差异。
ＳＣＤ工具的切削刃是均匀的且没有不规则性，而ＰＣＤ工具的切削刃则显示出微观的不规则性，从而导致金刚石颗粒的去除。
与ＰＣＤ工具相比，ＳＣＤ工具的主要缺点是其磨损寿命短。
它还用于将铝基板加工成精细的镜面涂层，该涂层用于计算机存储系统的硬盘驱动器中。
精密和超精密加工
1、精密和超精密加工的三大领域：超精密切削、精密和超精密磨削研磨、精密特种加工。
2、金刚石刀具进行超精密切削时，适合加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料。
3、最硬的刀具是天然单晶金刚石刀具。
金刚石刀具的的寿命用切削路程的长度计算。
4、超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境条件等直接相关。
5、影响超精密切削极限最小切削厚度最大的参数是切削刃钝圆半径r n。
6、金刚石晶体有3个主要晶面，即（100）、（110）、（111），（100）晶面的摩擦因数曲线有4个波峰和波谷，（110）晶面有2个波峰和波谷，（111）晶面有3个波峰和波谷。
以摩擦因数低的波谷比较，（100）晶面的摩擦因数最低，（111）晶面次之，（110）晶面最高。
比较同一晶面的摩擦因数值变化，（100）晶面的摩擦因数差别最大，（110）次之，（111）晶面最小。
7、实际金刚石晶体的（111）晶面的硬度和耐磨性最高。
推荐金刚石刀具的前面应选（100）晶面。
8、（110）晶面的磨削率最高，最容易磨；（100）晶面的磨削率次之，（111）晶面磨削率最低，最不容易磨。
9、金刚石的3个主要晶面磨削（研磨）方向不同时，磨削率相差很大。
现在习惯上把高磨削率方向称为“好磨方向”，把低磨削率方向称为“难磨方向”。
10、金刚石磨损本质是微观解离的积累；破损主要产生于（111）晶面的解离。
11、金刚石晶体定向方法：人工目测定向、X射线晶体定向、激光晶体定向。
其中激光晶体定向最常用。
12、金刚石的固定方法有：机械夹固、用粉末冶金法固定、使用粘结或钎焊固定。
13、精密磨削机理包括：微刃的微切削作用，微刃的等高切削作用，微刃的滑挤、摩擦、抛光作用。
14、超硬磨料砂轮修整的方法有：车削法、磨削法、滚压挤轧法、喷射法、电加工法、超声波振动修整法。
电解在线修锐法（ELID—electrolytic in—process dressing），原理是利用电化学腐蚀作用蚀出金属结合剂。
精密和超精密加工技术
1、通常将加工精度在0.1-1um、加工表面粗糙度R在0.02-0.1um之间的加工方法称为精密加工。
而将加工精度高于0.1um、加工表面粗糙度R小于0.01um的加工方法称为超精密加工。
2、提高加工精度的原因：提高制造精度后可提高产品的性能和质量，提高其稳定性和可靠性；促进产品的小型化；增强零件的互换性，提高装配生产率，并促进自动化装配。
3、精密和超精密加工目前包含三个领域：超精密切削；精密和超精密磨削研磨‘精密特种加工。
4、金刚石刀具的超精密切削加工技术，主要应用于两个方面：单件的大型超精密零件的切削加工和大量生产的中小型零件的超精密切削加工技术。
5、金刚石刀具有两个比较重要的问题：晶面的选择；切削刃钝圆半径。
6、超稳定环境条件主要是指恒温、防振、超净和恒湿五个方面的条件。
7、我国应开展超精密加工技术基础的研究，其主要内容包括以下四个方面：1）超精密切削、磨削的基本理论和工艺。
2）超精密设备的关键技术、精度、动特性和热稳定性。
3）超精密加工的精度检测、在线检测和误差补偿。
4）超精密加工的环境条件。
5）超精密加工的材料。
8、超精密切削实际选择的切削速度，经常是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最小的转速。
9、超精密切削实际能达到的最小切削厚度和金刚石刀具的锋锐度、使用的超精密机床的性能状态、切削时的环境等都直接有关。
10、为实现超精密切削，刀具应具有如下性能：1）极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量，以保证刀具有很长的寿命和很高的尺寸耐用度。
2）切削刃钝圆能磨得极其锋锐，切削刃钝圆半径r值极小，能实现超薄切削厚度。
3）切削刃无缺陷，切削时刃形将复印在加工表面上，能得到超光滑的镜面。
4）和工件材料的抗粘结性好、化学亲和性小、摩擦因素低，能得到极好的加工表面完整性。
11、SPDT——金刚石刀具切削和超精密切削。
12、晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于某个平面平整地劈开的现象称为解理现象。
LECTURE2-超精密车削
超精密加工技术广东工业大学机电工程学院魏昕一、概述¾超精密加工技术的内涵¾超精密加工技术的地位与作用¾超精密加工技术所涉及的技术领域¾超精密加工技术的现状与发展趋势一、概述1. 超精密加工技术的内涵精密加工技术：加工精度1—0.1μm，表面粗糙度Ra <0.1 μm的加工技术；超精密加工技术：加工精度<0.1μm，表面粗糙度Ra <0.02μm的加工技术；纳米加工技术：加工精度达0.001μm(1nm)，表面粗糙度Ra <0.005 μm的加工技术。
随着加工技术的不断发展，超精密加工的技术一、概述2、超精密加工技术的地位与作用（1）超精密加工技术是实现现代制造业发展目标（提高机电产品的性能、质量和发展高新技术）的重要手段。
例如，集成电路的集成度。
（2）超精密加工技术已成为国际竞争中取得成功的关键技术。
所能达到的精度水平代表了一个国家的制造业能力和水平。
（3）精密工程、微细工程和纳米技术是现代制造技术的前沿。
/序超精密机械精度要求1导弹、飞机的惯性导航系统中的气浮陀及其马达轴承尺寸精度、圆度、圆柱度要求达到亚微米级2人造卫星仪表轴承表面粗糙度达到1纳米，圆度、圆柱度达纳米级3激光陀螺反光镜表面粗糙度达纳米，平面度达0.05微米4精确制导仪表零件精度达纳米级，若其陀螺转子轴线偏离0.5纳米,就会引起100米左右射程误差5计算机硬盘驱动器、光盘、复印机的精密零件精度达100纳米6微电子芯片刻线机刻线宽度在50纳米以下7基因操作机械移动距离在纳米级，移动精度在0.1纳米(原子尺度)现代超精密机械对精度的要求超精密加工是尖端技术产品发展不可缺少的关键加工手段关系到现代飞机、潜艇、导弹性能和命中率的惯性陀螺框架；激光核聚变用的反射镜；大规模集成电路的各种基片；计算机磁盘基底及复印机磁鼓；各种高精度的光学元器件；各种硬盘及记忆体的衬底等。
×一、概述3、超精密加工技术所涉及的技术领域（1）加工技术即加工方法与加工机理。
第二章 金刚石刀具精密切削加工
复习晶体结构
晶格模型
面心结构
晶体结构指晶体内部原子规则排列的方式.晶体结构不同， 其性能往往相差很大。为了便于分析研究各种晶体中原子 或分子的排列情况，通常把原子抽象为几何点，并用许多 假想的直线连接起来，这样得到的三维空间几何格架称为 晶格。
晶胞
Z
晶胞
c
b Y
a
X
晶格常数 a ， b， c
人造单晶金刚石刀具 金刚石刀具 PCD刀具
多晶金刚石刀具
CVD金刚石薄膜涂层刀具
CVD金刚石刀具 金刚石厚度膜焊接刀具
金刚石刀具的性能特点
极高的硬度和耐磨性：硬度达HV10000，是自然界最硬的物质， 具有极高的耐磨性，天然金刚石耐磨性为硬质合金80-120倍，人 造金刚石耐磨性为硬质合金60-80倍。 各向异性能：单晶金刚石晶体不同晶面及晶向的硬度、耐磨性能 、微观强度、研磨加工的难易程度以及与工件材料之间的摩擦系 数等相差很大，因此，设计和制造单晶金刚石刀具时，必须进行 晶体定向。
二、典型机床简介
Pneumo 公司的MSG-325超精密车床
采用T形布局，机床空气主轴的径向圆跳动和轴向 跳动均小于等于0.05μm。床身溜板用花岗岩制造，导 轨为气浮导轨；机床用滚珠丝杠和分辨率为0.01μm的 双坐标精密数控系统驱动，用HP5501A双频激光干涉仪 精密检测位移。
DTM-3大型超精密车床
分为：液体静压和空气静压
供油压力恒定的液体静压轴承
主轴始终悬浮 在高压油膜上
液体静压轴承与气压轴承
1、液体静压轴承主轴
优点
回转稳定性好 刚度高 无振动
缺点
回转运动有温升 回油时有空气进入油源 注：空气静压轴承原理与静
超精密切削加工与金刚石刀具(精密加工
2.5 切削刃锋锐度对切削变形、加工表面质量的影 响
三、切削刃锋锐度对切削变形和切削力的影响
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锋锐车刀切削变形系数明显低于 较钝的车刀。 刀刃锋锐度不同，切削力明显不 同。刃口半径增大，切削力增大， 即切削变形大。背吃刀量很小时， 切削力显著增大。因为背吃刀量很 小时，刃口半径造成的附加切削变 形已占总切削变形的很大比例，刃 口的微小变化将使切削变形产生很 大的变化。所以在背吃刀量很小的 精切时，应采用刃口半径很小的锋 锐金刚石车刀。
(FN ) Ff cos FP sin
A点为极限临界点，极限最小切削厚度 hDmin 应为
hDmin rn(1 cos ) rn1
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第2章 超精密切削与金刚石刀具
2.1超精密切削时刀具的切削速度、磨损和耐用度 2.2超精密切削时积屑瘤的生成规律 2.3切削参数变化对加工表面质量的影响 2.4刀刃锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响 2.5超精密切削时的最小切削厚度 2.6金刚石刀具晶面选择对切削变形和加工表面质
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2.2 超精密切削时刀具的磨损和寿命
后刀面 前刀面
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图2-2：切削刃正常磨损；
图 2-3 ： 图 a 是 刀 刃 磨 损 的 正常情况，图b是剧烈磨损 情况，可以看到磨损后成 层状，即刀具磨损为层状 微小剥落；
图2-4：图中所示沿切削速 度方向出现磨损沟槽，由 于金刚石和铁、镍的化学 和物理亲和性而产生的腐 蚀沟槽；
2.3 超精密切削时积屑瘤的生成规律
2、进给量f和背吃刀量 p的影响
• 由图2-7可以看出在进给量很小时，积屑瘤的高度很大，在 f＝5μm/r时，h0值最小，f值再增大时，h0值稍有增加。
金刚石刀具超精密车削技术研究
金刚石刀具超精密车削技术研究作者：杨震来源：《科学与财富》2018年第27期摘要：通过对超精密车床、超精密加工材料特性、超精密加工刀具、超精密切削用量、加工冷却液及超精密检测技术等进行分析研究，总结出超精密车削技术研究的工程化加工技术，提高现有的加工水平，扩展了金刚石刀具加工的空白领域，为公司的研制产品和批产提供技术保障和技术储备。
关键词：铜铝合金；超精密加工；金刚石刀具；切削用量1引言为了适应国内外发展形势，目前，我公司产品正由精密型向超精密型转化，产品零件的精度、加工难度、复杂性等都在向更高层次发展。
公司研制产品中，铜铝合金零件的精度要求越来越高，现有的加工水平已经不能满足公司的需求。
因此，对超精密车削技术进行研究，充分应用高精密车床设备的各项功能，试验摸索合理的切削参数、刀具材料及冷却液，有效提高刀具的加工效率和使用寿命，实现超精密零件车削加工尤为重要。
2超精密车床的应用研究超精密车床是实现超精密加工的首要条件，根据公司研制产品的需求，新购置的超精密车床HLV，主轴的径、轴向跳动量为0.0004mm、加工零件的圆度为0.5um、圆柱度为5um/100mm、表面粗糙度为Ra0.2um。
为了更好发挥该车床各项功能，在加工试验中，依据加工检测零件的实际尺寸，对机床主轴进行微调，将机床的各参数调整到最佳状态。
依据车床最小进刀刻度尺及光栅供数显用的最小尺寸精度0.008mm，做了两个表架，并安装精度为0.001mm的表以便控制切削深度，提高零件加工尺寸精度和稳定性。
同时，摸索机床的各项参数，依据加工材料的特性，选择最佳的机床转速，尽量减少机床内部所有振动，提高机床工作时的平衡性。
3零件材料的理论分析超精密加工的材料在化学成分、物理机械性能和加工工艺上都有严格的要求，材料应选择质地均匀，不能有杂质，性能要一致、稳定，无外部和内部缺陷，如杂质、砂眼。
铝合金具有密度小、塑性高、热导率高等优点，切削加工性能良好，是达到超精密加工优选材料。
超精密加工技术
超精密加工技术----发展及对策超精密加工技术，是现代机械制造业最主要的发展方向之一。
在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。
超精密加工是指亚微米级(尺寸误差为0.3～0.03μm，表面粗糙度为Ra0.03～0.005μm)和纳米级(精度误差为0.03μm，表面粗糙度小于Ra0.005μm)精度的加工。
实现这些加工所采取的工艺方法和技术措施，则称为超精加工技术。
加之测量技术、环境保障和材料等问题，人们把这种技术总称为超精工程。
超精密加工主要包括三个领域：1、超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面。
它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。
2、超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。
3、超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可达0.1μm。
如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工，线宽可达2～5nm。
国外概况美国是最早研制开发超精密加工技术的国家。
早在1962年，美国就开发出以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密半球车床，其主轴回转精度为0.125μm，加工直径为φ100mm的半球，尺寸精度为±0.6μm，粗糙度为Ra0.025μm。
1984年又研制成功大型光学金刚石车床，可加工重1350kg，φ1625mm的大型零件，工件的圆度和平面度达0.025μm，表面粗糙度为Ra0.042μm。
在该机床上采用多项新技术，如多光路激光测量反馈控制，用静电电容测微仪测量工件变形，32位机的CNC系统，用摩擦式驱动进给和热交换器控制温度等。
美国利用自己已有的成熟单元技术，只用两周的时间便组装成了一台小型的超精密加工车床(BODTM型)，用刀尖半径为5～10nm的单晶金刚石刀具，实现切削厚度为1nm (纳米)的加工。
尽管如此，最近美国政府还是继续把微米级和纳米级的加工技术作为国家的关键技术之一，这足以说明美国对这一技术的重视。
精密和超精密加工
精密和超精密加工一、精密和超精密加工的概念与范畴通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。
目前，精密加工是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度为Ra0.1~0.01μm的加工技术，但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。
精密加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面状况；二是加工效率，有些加工可以取得较好的加工精度，却难以取得高的加工效率。
精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。
传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等，具体如下：a.砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。
b.精密切削，也称金刚石刀具切削(SPDT)，用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工，如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等，比一般切削加工精度要高1~2个等级。
c. 珩磨,用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1μm，最好可到Ra0.025μm，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。
d.精密研磨与抛光是通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。
精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm加工变质层很小，表面质量高，精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。
e.抛光是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，常用的方法有手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。
2.4金刚石刀具解析
4.正确选择金刚石晶体方向
❖ 为了充分发挥金刚石刀具的切削性能和保证 加工质量，设计和制造金刚石刀具时须正确 选择晶体方向。
❖ 金刚石晶体定向方法有： 1.人工目测定向 适于优质规整晶体，方便精度低 2.X射线晶体定向 X光衍射图像精度高价高有害健康 3.激光晶体定向 价格低1/10,操作简便足够的精度
❖ 精研 是制造金刚石刀具的关键工序，主要考虑提
高研磨质量，使切削刃更锋利。研磨盘小圆周处加细 微粉用于精研，采取逆磨，即沿刃口指向刀体内的方 向研磨，切削刃承受压应力，得到锋利完好的刃口。
不重磨精密金刚石刀具
❖ 金刚石刀具的制造研磨及用钝重磨，是一项 保密性很强，难度很大的技术。国外多数使 用厂不自己磨刀，用钝后送回制造厂重磨。
❖ 三个重要晶面的原子排列形式—最小单元
金刚石晶体的面网密度及面网距
❖ 面网的单位面积上的原子数称为面网密度
❖❖ 三(1个00晶)(面11的0)面面网网密的度分之布比是为均:匀的，(111)面网间
距一宽（一1窄00交）替:（看1成10加）厚:（面1网11，）宽=1间:1距.4即14(:11.1)5面4 间距
钎焊法固定较好，钎料配方及工艺处于研究阶段。
金刚石刀具的研磨加工
❖ 粗研 一颗单晶金刚石毛坯，要做成精密刀具，先
要晶体定向，确定前后刀面位置，确定需磨去的部分。 仔细检查内部有无缺陷。采用高速旋转铸铁盘加金刚 石微粉进行粗研磨。费时很长，要研究提高其效率， 找准好磨方向，压力9～12N，先用较粗再用细的微粉
金刚石刀具结构及金刚石固定方法
❖ 金刚石刀具结构
常把金刚石固定在小刀头上，小刀头用螺钉压板固定 在刀杆上，也有将金刚石直接固定在车刀刀杆上。
❖ 金刚石在刀头上的固定方法
超精密切削加工主要指金刚石刀具的超精密切削
超精密切削加⼯主要指⾦刚⽯⼑具的超精密切削超精密切削加⼯主要指⾦刚⽯⼑具的超精密切削。
超精密切削的⼯作机理：普通的切削的切削深度⼀般远⼤于材料晶粒的尺⼨，切削加⼯以数⼗计的晶粒团为加⼯单位，在切削⼒的作⽤下从基体上去除⾦属。
⽽超精密加⼯的切削层很薄或尺⼨很⼩，切削深度和进给量必然很⼩，特别是亚微⽶和纳⽶级的超精密切削，切削深度通常⼩于材料晶粒直径，使的切削只能在晶粒内部进⾏。
超精密切削时的切削⼒的特征为：切削⼒微⼩，单位切削⼒很⼤，切削⼒随着切削深度的减⼩⽽增⼤，⽽在切深很⼩时切削⼒却急剧上升。
超精密切削加⼯的特点与应⽤（1）单位切削⼒⼤实现纳⽶级的超精密加⼯的物理实质是切断材料的分⼦、原⼦间的结合，实现原⼦或者分⼦的去除，因此切削⼒必须超过晶体内部的分⼦、原⼦结合⼒。
（2）切削温度由于超精密切削的切削⽤量极⼩以及⾦刚⽯⼑具和⼯件材料具有的⾼导热性，因此超精密切削温度相当低。
（3）⼑刃圆弧半径对最⼩切削厚度的限制⼑具刃⼝半径限制了其最⼩的切削厚度，⼑具刃⼝越⼩，允许的最⼩切削厚度也越⼩。
超精密切削的应⽤超精密加⼯主要⽤于加⼯软⾦属材料以及光学玻璃、⼤理⽯和碳素纤维板等⾮⾦属材料，主要加⼯对象是精度要求很⾼的镜⾯零件。
（下图是超精密切削球⾯镜的加⼯原理图）球⾯镜的加⼯原理1-主轴；2-凹⾯镜；3-⼑具轴超精密磨削超精密磨削是当代能达到最低磨削表⾯粗糙度值和最⾼加⼯精度的磨削⽅法。
超精密磨削去除量最薄，采⽤较⼩修整导程和吃⼑量来修整砂轮，是靠超微细磨粒等⾼微刃磨削作⽤，并采⽤较⼩的磨削⽤量磨削。
超精密磨削要求严格消除振动，并保证恒温及超净的⼯作环境。
超精密磨削的光磨微细摩擦作⽤带有⼀定的研抛作⽤性质。
1.超精密砂轮磨削的磨削超精密砂轮磨削机理：( 1 ) 超微量切除超精密磨削是⼀种极薄切削，切屑厚度极⼩，磨削深度可能⼩于晶粒的⼤⼩，磨削就在晶粒内进⾏，因此磨削⼒⼀定要超过晶体内部⾮常⼤的原⼦、分⼦结合⼒，从⽽磨粒上所承受的切应⼒就急速地增加并变得⾮常⼤，可能接近被磨削材料的剪切强度的极限。
精密和超精密加工技术
《精密和超精密加工技术》学习总结11机械1班 2011411011070. 引言精密和超精密加工技术不仅直接影响尖端技术和国防工业的发展，还影响着国家的机械制造业的国际竞争力，因此，全球各国对此十分重视！本文就从超精密切削、精密和超精密磨削、精密研磨与抛光、精密加工的机床设备和外部支撑环境、微纳加工技术等相关的超精密加工技术进行研究与总结。
1. 超精密切削超精密切削是国防和尖端技术中的重要部分，受到了各国的重视和发展。
一、超精密切削的切削速度选择超精密切削所使用的刀具是天然单晶金刚石刀具，它是目前自然界硬度最高的物质，具有耐磨性好、热传导系数高和有色金属间摩擦系数小。
因此，在加工有色金属时，切削温度低，刀具寿命很高，亦可使用1000-2000m/min的高速切削。
而这一点（切削速度并不受刀具寿命的制约）是和普通切削规律不同的。
超精密切削的速度选择是根据所使用的超精密机床的动特性和切削系统的动特性所决定的，即选择振动最小的转速。
换而言之，要高效地切削出高质量的加工表面，就应该选择动特性好，振动小条件下最高转速的超精密机床。
例如沈阳第一机厂圣工场的SI-255液体静压主轴的超精密车床在700-800r/min时振动最大，故要避开该转速范围，选择低于或者高于该速度范围进行切削，则可得到较好的加工表面。
二、超精密切削时刀具的磨损和寿命天然单晶金刚石刀具超精密切削应用于加工铝合金、无氧铜、黄铜、非电解镍等有色金属和某些非金属材料，比如激光反射镜、雷达的波导管内腔、计算机磁盘等。
判断金刚石刀具是否破损或磨损而不能继续使用的标准是根据工件加工的表面粗糙度有无超过规定值。
而金刚石刀具的切削路程的长度则是其寿命长短的标志。
倘若切削条件正常，刀具的耐用度可达数百千米。
但是在实际使用中，金刚石刀具常是达不到这个耐用度，因为加工过程中切削刃会产生微小崩刃而不能继续使用，而这主要是由于切削时的振动或切削刃的碰撞引起的。
因此，金刚石刀具只能使用在机床主轴转动非常平稳的高精度机床上，而刀具的维护对机床的要求亦是如此。
精密加工_第二讲__精密超精密加工
精密与特种加工
HIGH EDUCATION PRESS
2.精密和镜面磨削 磨削时尺寸精度和几何精度主要靠精密磨床保
证，可达亚微米级精度（指精度为1~10-2μm）。在 某些超精密磨床上可磨出十纳米精度的工件。在精
密磨床上使用细粒度磨粒砂轮可磨削出Ra=0.1～ 0.05μm的表面。使用金属结合剂砂轮的在线电解修 整砂轮的镜面磨削技术可得到 Ra0.01～0.002μm的 镜面。
精密与特种加工
加工4.5mm陶瓷球
HIGH EDUCATION PRESS
金刚石车床主要性能指标
最大车削直径和长度 /mm 最高转速 r/min
400×200 5000～10000
最大进给速度mm /min
5000
数控系统分辩率 /μm
0. 1～0.01
重复精度(±2σ) / μ m
≤0. 2/100
精密与特种加工
HIGH EDUCATION PRESS
性质
用途
自然界中存在的最硬物
经仔细琢磨后，成为
质,熔点高。
装饰品——钻石。
无色透明、正八面体形
划玻璃、切割大理石、
状的固体，加工后有夺目光 泽。
加工坚硬的金属，装在钻探 机的钻头钻凿坚硬的岩层。
精密与特种加工
HIGH EDUCATION PRESS
精密与特种加工
HIGH EDUCATION PRESS
精密加工机床 研究方向：提高机床主轴的回转精度、工作台
的直线运动精度以及刀具的微量进给精度。（主轴 轴承和导轨）
超精密级滚动轴承——液体静压或空气静压轴承。
金刚石刀具 金刚石晶面选择、金刚石刀具刃口的圆弧半径。
先进国家达到纳米级，我国0.1~0.3um。
超硬刀具金刚石刀具介绍
超硬刀具金刚石刀具介绍PCD聚晶金刚石刀具;CVD金刚石膜刀具(物理涂层)PVD物理涂层金刚石刀具PCBN聚晶立方氮化硼刀具;一、概述超硬刀具材料是指比陶瓷材料更硬的刀具材料。
包括：单晶金刚石、聚晶金刚石(PCD)、聚晶立方氮化硼(PCBN)和CVD金刚石等。
超硬刀具主要是以金刚石和立方氮化硼为材料制作的刀具，其中以人造金刚石复合片(PCD)刀具及立方氮化硼复合片(PCBN)刀具占主导地位。
许多切削加工概念，如绿色加工、以车代磨、以铣代磨、硬态加工、高速切削、干式切削等都因超硬刀具的应用而起，故超硬刀具已成为切削加工中不可缺少的重要手段。
随着科技的进步，制造业的高速发展，CNC 加工技术的迅猛发展以及数控机床的普遍使用，超硬刀具的生产及应用也越来越广泛。
PCD和PCBN刀具已广泛应用于机械加工的各个行业，如汽车零部件的切削加工，强化木地板的加工等，极大地促进了切削加工及先进制造技术的飞速发展。
二、切削材料及超硬材料发展史3、金刚石、超硬材料的特性与作用众所周知，金刚石材料的成分是碳，金刚石与铁系有亲和力，切削过程中，金刚石的导热性优越，散热快，但是要注意切削热不宜高于700度，否则会发生石墨化现象，工具会很快磨损。
因为金刚石在高温下和W、Ta、Ti、Zr、Fe、Ni、Co、Mn、Cr、Pt等会发生反应，与黑色金属(铁碳合金)在加工中会发生化学磨损，所以，金刚石不能用于加工黑色金属只能用在有色金属和非金属材料上，而CBN即使在1000oC的高温下，切削黑色金属也完全能胜任。
已成为未来难加工材料的主要切削工具材料。
一般超硬材料指的是人造金刚石、人造CBN。
这两种材料的同时存在，起到了互补的作用、可以覆盖当前与今后发展的各种新型材料的加工，对整个切削加工领域极为有利。
1．PCD金刚石烧结体（PCD）的出现，在许多方面代替了天然单晶金刚石。
PCD与天然金刚石比较，价格便宜，且刃磨远比天然金刚石方便，所以其应用、推广特别迅速。
超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构
2.7超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构 晶面指数的例子：
晶面指数的意义： 晶面指数所代表的不仅是 某一晶面，而是代表着 一组相互平行的晶面。 在晶体内凡晶面间距和晶 面上原子的分布完全相同， 只是空间位向不同的晶面 可以归并为同一晶面族， 以{h k l}表示。
2.7超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构
2.7超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构
2.7超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体构
4、金刚石的晶面（面网）、致密度、面网距
晶面（面网） （100） （110） （111）
面网的最小单元
面积 原子数
D2
2 D2
3D2 / 2
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ3x1/6+3x1/2=2
4x1/4+1=2
4x1/4+2x1/2+2=4
3、金刚石晶体的晶面（面网）和晶轴
根据晶体学原理，金刚石属于六方晶系，主要有三个主要的晶面 （100）、（111）、（110）， 与（100）垂直的晶轴为4次对称轴， 与（111）垂直的晶轴为3次对称轴， 与（100）垂直的晶轴为2次对称轴。 规整的单晶金刚石晶体有八面体、十二面体和六面体，八面体、 十二面体和六面体中均有3根4次对称轴、4根3次对称轴、6根2 次对称轴。 八面体有八个（111）晶面围成的外表面, 菱形十二面体有十二个（110）晶面围成外表面， 六面立方体有六个（100）晶面围成外表面。
2.7超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构
2、晶体中的晶面和晶轴
晶面：通过原子中心的平面，即晶体中各种方位上的原子面。 晶轴：与晶面垂直的轴。
Z
Y
X
2.7超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构 晶体中的晶面指数: 晶体中原子排列的规律性，可以从晶面上反映出来。许多性 能都和晶体中的特定晶面密切联系，为了便于研究和表述不同晶 面上原子排列情况与特征，给各种晶面规定一定的符号，这种符 号叫做“晶面指数”。 确定晶面指数的步骤如下： （1）设晶格中某一原子为原点，通过该点平行于晶胞的三棱边 作OX、OY、OZ三坐标轴，以晶格常数a、b、c分别作为相应的三 个坐标轴上的度量单位，求出所需确定的晶面在三坐标轴上的 截距。 （2）将所得三截距之值变为倒数。 （3）再将这三个倒数按比例化为最小整数，并加上一圆括号， 即为晶面指数，一般表示为（hkl）。
精密特种加工
3. 表面由微切削和微挤压作用形成，以微切削为主 4. 表面一般为残余压应力
切削时，工件表层产生塑性变形，内层产生弹性变形。切削 后，内层弹性恢复，受到表层阻碍，使表层产生残余压应力。 此外，由于微挤压作用，使工件表层也有残余压应力。 5. 最小切削厚度主要取决于刀具刃口半径
最小切削深度apmin,
第2章 超精密切削技术
13 概述 2 超精密切削机理 3 金刚石刀具
13 概述
1. 超精密加工技术（Single-point Diamond Turning,
SPDT）是美国在20世纪60年代初用单刃金刚石车刀 镜面切削铝合金和无氧铜开始的。
2. 超精密切削，在符合条件的机床和环境条件下，可以
得到超光滑表面，表面粗糙度Ra可达0.02～0.005μm，
33 金刚石刀具
3. 金刚石晶体的结构
➢ 金刚石晶体的最小单元
33 金刚石刀具
33 金刚石刀具
➢ 金刚石晶体的晶轴和晶面
晶面：通过原子中心的平面，即晶体中各种方位上的原子面。 晶轴：与晶面垂直的轴ZBiblioteka cb aY
c
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X
33 金刚石刀具
根据晶体学原理，金刚石属于六方晶系，主要有 三个主要的晶面（100）、（111）、（110），与（100） 垂直的晶轴为4次对称轴，与（111）垂直的晶轴为3次 对称轴，与（100）垂直的晶轴为2次对称轴。
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3）实际切削厚度超过名 义值，切削厚度增加 hD-hDu，切削力增加。
2、积屑瘤对加工表面粗糙度的影响
积屑瘤大表面粗糙度大，积屑瘤小表面粗糙度小
切削液可减小积屑瘤，减小加工表面粗糙度
三、切削参数变化对加工表面
质量的影响
一）切削速度、进给量、修光刃和背吃刀量的影响 1、切削速度的影响
切削速度对加工表面粗糙度的影响很小，不同切削速度下均
以实现纳米级连续稳定的切削。
最小切削厚度与刀具锋锐度、工件材料、机床特 性、切削环境等因素有关。
刃口半径和最小切削厚度的关系
简略
极限临界点A
水平力Fx
垂直力Fy 法向力N 切向力µ N
N Fy cos Fx sin
N Fx cos Fy sin
tan Fx Fy
三）刀刃锋锐度对切削表面层的冷硬和组织位错的影响
1、对加工表面冷硬的影响
实验：LY12铝合金原始材料的显微硬度为105HV。使用＝0.3µ m
的金刚石车刀切削，得到的加工表面显微硬度为167HV；使用
＝0.6µ m的金刚石车刀切削，得到的加工表面显微硬度为 205HV。
刃口半径不同，加工表面变质层的冷硬和显微硬度明 显不同。刃口半径越小，变质层的冷硬度越小。
二）积屑瘤对切削力和加工表面粗糙度的影响 1、积屑瘤对切削力的影响 积屑瘤高时切削力也大，积屑瘤小时切削力也小。 与普通切削规律正好相反。
分析：
切削模型分析
1）积屑瘤前端实际切削 力由刃口半径R起作用， 切削力明显增加。 2）积屑瘤与切削层和已 加工表面间的摩擦力 增大，切削力增大。
实际切削厚度
一、超精密切削时刀具切削速度、 磨损和耐用度
一般，切削速度是影响刀具耐用度最主要因素。 但对金刚石刀具切削，切削速度的高低对金刚石
刀具的磨损影响较小，刀具的耐用度极高。原因：
金刚石硬度极高，耐磨性好，热传导系数高，摩擦系数低。
金刚石刀具的寿命一般以切削路程（Km）表示。
加工有色金属，刀具寿命可达到数百公里。但实 际使用中常常由于切削振动或刀刃碰撞引起切削
刃产生微小崩刃而不能继续使用。
常平稳的高精度车床上，否则由于振动金刚石
天然单晶金刚石刀具只能用在机床主轴转动非 刀具将会很快产生刀刃微观崩刃。
超精密切削速度的选择是根据所使用的超精密ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ床
的动特性和切削系统的动特性选取，即选择振动最
小的转速。
金刚石刀具用于超精密切削，破损或磨损而不能继
续使用的标志为加工表面粗糙度超过规定值。
Fx Fy
在实际摩擦力(µ N)' > µ N 时，被切材料和刀刃刃口 圆弧无相对滑移，才能形成切屑被切除，即
(N ) Fx cos Fy sin
A点为极限临界点，极限最小切削厚度hDmin应为
hD min 1 (1 cos ) 1 1 1 tan 2 Fy Fx Fy 2 1 1 2 F x
第二章 超精密切削与金刚石刀具
使用高精度机床和精密天然单晶金刚石刀具进行 的切削称为单点金刚石刀具切削（Single
Turning，SPDT）。
Point Diamond
SPDT主要用于有色金属（铜、铝及其合金）和非 金属材料的精密/超精密加工，可直接切出超光滑 表面，Ra0.02~0.05µ m。
2、对加工表面组织位错的影响
刃口半径越小，位错密度越小，切削变形越小，表 面质量越高。
四）刀刃锋锐度对加工表面残留应力的影响
刃口半径越小，残留应力越低。 背吃刀量越小，残留应力越小，但当背吃刀量减小到临界 值时，背吃刀量减小，残留应力增大。
五、超精密切削的最小切削厚度
使用极其锋利的金刚石刀具在机床最佳条件下可
得到表面粗糙度极小的加工表面—镜面。
2、进给量的影响
进给量越大，表面
粗糙度越大。
进给量f<5µ m/r时，
均达到Rmax<0.05µ m
的加工表面粗糙度。
3、修光刃的影响
修光刃有利于减小表面粗糙度，修光刃长度常取0.05～0.20mm。
4、背吃刀量的影响
在刀具刃口半径足够小时，超精密切削范围内，背吃刀量
刃口半径
实验用金刚石刀具：
两把，刃口半径为0.6µ m、0.3µ m，其余参数相同
刃口锋锐度对加工表面粗糙度有明显影响，越小加工表 面粗糙度越小。
二）刃口锋锐度对切削变形和切削力的影响
刀刃锋锐度不同，切削力 明显不同。越小，切削 变形越小，切削力越小。
背吃刀量很小时，切削力 显著增大。
变化对加工表面粗糙度影响很小。
背吃刀量减少，表面残留应力也减少，但超过某临界值时，
背吃刀量减少反而使加工表面残留应力增加。
四、刀刃锋锐度对切削变形和 加工表面质量的影响
一）刃口锋锐度对加工表面粗糙度的影响
刃口半径(钝园半径)，前后刀面之间，刀刃锋利程度
刀尖圆弧半径，主副切削刃之间，刀尖锋利程度
二、超精密切削积屑瘤的生成规律
一）切削参数对积屑瘤的影响 1、切削速度的影响
不同的切削速度下都产生积屑瘤。切削速度较低，积屑瘤高 度较高，当切削速度达到一定值时，积屑瘤趋于稳定。
2、进给量 f 的影响
在实验的切削参数范围内都有积屑瘤产生。规律见图。
3、背吃刀量 ap 的影响
在背吃刀量<25µ m时，积屑瘤的高度变化不大，但在背 吃刀量> 25µ m后， h0值将随着背吃刀量的增加而增加。
SPDT 切削也服从金属切削的普遍规律，但同 时也有不少特殊规律。这是由金刚石刀具的特 殊物理化学性能和切削层极薄等因素造成的。
目 录
一、超精密切削时刀具切削速度、磨损和耐用度 二、超精密切削积屑瘤的生成规律
三、切削参数变化对加工表面质量的影响 四、刀刃锋锐度对切削变形和加工表面质量的影响
五、超精密切削的最小切削厚度 六、超精密切削对刀具的要求及金刚石性能和晶体结构 七、金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向 八、单晶金刚石刀具的磨损破损机理 九、金刚石晶体的定向 十、金刚石刀具的设计与制造