文献检索作业论文

中北大学

2013研究生《文献检索》考核作业

课题名称

中文MEMS传感器应用

英文MEMS sensor application

姓名学号s1*******

所在院、系仪器与电子学院仪器仪表专业

研究方向传感器与执行器导师

联系方式

成绩________

一、检索课题

MEMS传感器应用

二、课题说明

本课题主要研究MEMS传感器的发展现状，总结已有的研究成果，对其未来的发展方向进行预测。

检索类型：文献检索，科技类

三、制定检索策略

1、课题名称

中文：MEMS传感器应用

英文：MEMS sensor application

2、课题背景资料

MEMS传感器是利用微机械加工技术制造的新型传感器，是MEMS器件的一个重要分支。作为微机电系统的重要组成部分，MEMS传感器发展速度之快，受到了各国的广泛关注与重视。现阶段MEMS传感器的典型应用主要有压力传感器、加速度传感器、MEMS陀螺仪等。基于MEMS技术而生产出的传感器，由于具有体积小、重量轻、功耗低、可大批量生产、成本低、可靠性高等一系列的优点而被广泛应用于航空、航天、汽车工业、工业监控、机器人及消费类电子产品中。

3、所属学科

本课题的学科范围是工业技术/自动化技术领域。从课题的题名和主要的技术内容上来看，该课题涉及MEMS技术、传感器技术、微加工技术、封装技术、测试技术等。课题需要查找相关科学技术要点在国内外研究情况，并根据社会需求不断发展和研究现状预计MEMS传感器的发展趋势。课题要求查找相关科学技术要点在国内外的研究情况，因会议论文、学位论文往往能够反应一些前沿技术，因而会议论文数据库和学位论文数据库也应该在检索之列。由以上种种可以确定磁性检索既要选择专业的数据库，也要选择综合数据库。

4、制定检索策略

1)检索词

中文检索词：微机电系统，微传感器，发展现状，前景展望，微加工技术，

微惯性器件

英文关键词：MEMS, micro sensor, current situation, prospect forecast，micromachine technology , micro inertial device

2）检索式

（微机电系统OR微惯性器件）AND （发展现状OR 前景展望）、MEMS 传感器、MEMS AND发展现状、MEMS传感器AND 前景展望、微传感器AND （发展现状OR前景展望）、（MEMS OR MEMS）sensor (trend OR frontier)

5、数据库选择

中文科技期刊全文数据库；中国学术期刊全文数据库；万方数字化期刊数据库；重庆维普中文科技期刊数据库；Engineering Index; AIAA datebase；Springer electronic journals datebase；Science Citation Index; Index to Scientific & Technical Proceedings; IEEE/IEE Electronic Library (IEL)

6、检索时限

各被选数据库最近十年。

7、检索结果

摘抄篇名、作者、摘要及出处

1）【篇名】MEMS封装技术进展与趋势

【作者】田斌，胡明

【摘要】介绍了MEMS（micro eIectromechanicaI systems）封装技术的研究现状和存在的问题，重点介绍了倒装芯片技术（fIip-chip technoIogy简称FCT）、上下球栅阵列封装技术和多芯片模块封装技术三种很有前景的封装技术的特点及其在MEMS领域的应用实例，并且对MEMS封装有可能的发展趋势进行了分析。

【出处】《传感器技术学报》

2）【篇名】MEMS研究与发展前景

【作者】赵晓峰，温殿忠

【摘要】在阐述MEMS技术的基本概念、意义、传感MEMS的基本模型和国内外研究状况的基础上。重点阐述MEMS技术的加工工艺及在未来的发展景前

景。

【出处】《黑龙江大学自然科学学报》

3）【篇名】基于MEMS的微传感技术

【作者】胡学斌

【摘要】微电子机械系统(Micro Electro Mechanical systems．简称MEMS)技术是建立在微米纳米技术基础上的21世纪前沿技术。它用微电子技术和微加工技术相结合的制造工艺．制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。本文首先介绍MEMS工艺与传统机械加工工艺的区别，阐明只有MEMS工艺才能满足制作微传感器的要求。而传统机械加工已无能为力：其次介绍目前比较成熟的和发展中的MEMS工艺；最后介绍基于MEMS技术的成熟微传感器的原理和应用情况。基于MEMS的微传感器具有十分广阔的应用前景。应该引起科研结构相关政府部门的足够重视。

【出处】《大科技——科技天地》

4）【篇名】基于MEMS技术的微型传感器

【作者】李学东，余志伟，杨明忠

【摘要】和传统的传感器相比，微型传感器具有许多新特性，它们能够弥补传统传感器的不足，具有广泛的应用前景，越来越受到重视。文中详细介绍了一些微型传感器件的结构和原理，说明了微型传感器的基本性能特点和微型传感器的发展趋势。

【出处】《仪表技术与传感器》

5）【篇名】微机电系统（MEMS）技术的研究与应用

【作者】高士桥，曲大成

【摘要】微机电系统是源于微电子加工技术，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小，学科交叉广泛；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。

【出处】《科技导报》