直拉单晶炉 热系统的安装与对中 热场

安装热场
右图为一个典型 的热场剖面图。
热场的安装顺序一 般按右图的标识，自下 向上安装。
安装热场注意事项
按要求正确安装热场。
确保热场的对中、水平；
确保加热器和坩埚之间距离； 确保加热器和保温筒之间距离； 确保石英护套和石墨电极距离； 确保各处石墨纸无误；
确保电极石墨螺丝、中轴螺丝拧紧；
安装电极→炉底碳毡→反射底板→下保温罩→石墨环、石英
环→加热器→中保温罩→石墨托杆→石墨托盘→装三瓣埚→下 降主炉室→上保温罩→导气孔→保温盖板→装导流筒→压环
热场安装顺序Baidu Nhomakorabea意图
(3)对中顺序 在整个安装过程中，要求整个热系统对中良好，同心 度高，需要严格对中： ① 坩埚轴与加热器的对中。将托
直拉单晶硅工艺技术
主讲教师：裴迪 石油化工学院
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热场
单晶硅是在热场中进行拉制的，热场的优劣对单晶硅质量 有很大影响。单晶硅生长过程中，好的热场，能生产出高质量 的单晶。不好的热场容易使单晶变成多晶，甚至根本引不出单 晶。有的热场虽然能生长单晶，但质量较差，有位错和其他结
构缺陷。因此，找到较好的热场条件，配置最佳热场，是非常
质量较差，有位错和其它结构缺陷。因此，找到较好的热
场条件，配置最佳的热场，是非常重要的直拉单晶工艺技 术。 热场有大有小，它是按照所用的石英坩埚的直径大小 来划分的，目前国内热场从￠12″～ ￠28 ″都有，但以
￠18″～ ￠22″居多。
直拉单晶炉的热系统，也就是所谓的热场，是 指为了熔化硅料，并使单晶生长保持在一定温度下 进行的整个系统。 热场一般包括压环、保温盖、上中下保温罩、 石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、 加热器、导流筒、石墨螺栓，且为了防止漏硅，炉 底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
杆稳定的装在下轴上，将下轴转动，
目测是否偏摆。然后将钢板尺平放 在坩埚轴上，观察两者之间的间隙， 间隙是否保持不变，加热器圆心是 否对中。接着装托盘，托盘的中心 也要跟加热器对中。
②加热器与石墨坩埚的 对中：转动托碗，调整埚 位，让石墨坩埚与加热器 口水平（此时的埚位成为 平口埚位），再稍许移动 加热器电极，与托碗对中， 这时石墨坩埚和加热器口 之间的间隙四周都一致。
主要的直拉单晶工艺技术。 热场主要受热系统影响，热系统变化热场一定变化。加热 器是热系统的主体，是热系统的关键部件。因此，了解加热器 内温度分布状况对配制热场非常重要。
热场结构
热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场， 能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成多 晶，或者根本无法引晶。有的热场虽然能够生长单晶，但
热场的安装与对中
(1)安装前 安装热场前，尤其是新热场，应仔细擦拭干净，去 除表面浮尘土，检查部件的质量，整个炉室在进行安装 热场前也必须擦拭完毕。
(2)安装
安装顺序一般是由下而上，由内到外。
石墨电极安装时，左右对齐，处在同一水平面上，
不可倾斜，同时要和托杆对中。 放上加热器之后，加热器的电极孔要与下面的电极 板的两孔对准。
③保温罩和加热器对中：调整保温罩位置，做到保温罩内 壁与加热器外壁之间四周间隙一致。注意可径向移动，不得转
动，否则测温孔就对不准了。
④保温盖和加热器对中：升起托杆，让三瓣锅其与保温盖 水平，调整保温盖的位置，使得四周间隙一致。 此外: ⑤下保温罩和电极之间的间隙前后一致，切不可大意造成 短路打火。 ⑥测温孔对一致。
(4)煅烧 新的热场需要在真空下煅烧，煅烧时间约10小时 左右，煅烧3～5次，方能投入使用。使用后，每拉晶 4～8炉后也要煅烧一次。 煅烧功率不同的热场不一样，一般要比引晶温度 高，CZ1#炉子煅烧最高功率一般在110KW。目前普遍
采用较大的热场，氩气流量比较大，炉膛内壁比较干
净，煅烧的时间和间隔周期可灵活掌握。