洁净室培训资料

三、混合流洁净室
图3 混合流气流流型
混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一 个洁净室中构成的气流流型。这类洁净室被称作混合流洁 净室。混合流洁净室的特点是将垂直单向流面积压缩到最 小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初投资 和运行费。
四、矢流（对角流）洁净室
▲ 用圆弧型高效过滤器风口送风，对面侧下部回风口回风 的气流流型被称为矢流。
1.2 洁净室的四大技术要素
洁净室的四大技术要素是 一、送风至少经过三级过滤（粗效、中效和高效）， 并且高效过滤器应设臵在系统的末端。 二、洁净室应有足够的净化和空调的送风量。 三、洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负 压梯度）。 四、洁净室应有合理的气流组织。
1.3 洁净室的分类
1.3.1 按气流流型洁净室的分类 按气流流型洁净室可划分为： ▲ 单向流洁净室 ▲ 非单向流洁净室 ▲ 混合流洁净室 ▲ 矢流洁净室
一、单向流洁净室
1、单向流（层流）洁净室，其中又分垂直单向流洁 净室和水平单向流洁净室。
图1 单向流气流流型
2、单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把尘埃粒子 从一端向另一端挤压出去，用洁净气流臵换污染气流。包 括有垂直单向流和水平单向流两种气流流型。 垂直单向流是洁净的气流以一定的速度（0.25m/s~0.5m/s） 从顶部流向地面的气流流型。这种气流能创造100级、10级、 1级或更高洁净度级别。但其初投资很高、运行费很高，工 程中尽量将其面积压缩到最小，应用到关键的必须用的部 位。 水平单向流是洁净的气流以一定的速度（0.3m/s~0.5m/s） 从送风墙流向对面的回风墙的气流流型。该气流可创造100 级的洁净度级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型。
2. 洁净室的消防、节能和环保 2.1 洁净室的消防 2.1.1 洁净室的建筑消防 2.1.2 洁净室的水消防 2.1.3 洁净室的电气消防 2.1.4 洁净室的防排烟

2.2 洁净室的节能 2.2.1 洁净室的空调负荷 2.2.2 洁净室的空调负荷特点 2.2.3 洁净室净化空调系统的节能措施 2.3 洁净室的环保工程 2.3.1 洁净室的废水处理 2.3.2 洁净室的废气处理
3 洁净室设计（案例）
3.1 洁净室净化空调设计的程序步骤 3.1.1 设计前的准备工作及应收集的数据和资料 3.1.2 工艺平面和建筑平面的规划 3.1.3 净化空调系统和排风系统的划分原则 3.1.4 洁净室的负荷计算（热湿、风量、水力三大 平衡计算） 3.1.5 七个典型的空气处理系统即空气处理过程的 优化 3.1.6 洁净室净化空调系统的冷、热源 3.1.7 空调和净化设备选择 3.1.8 施工图的绘制 3.1.9 施工现场的工地工作 3.1.10 洁净室竣工验收调试和测试
3.2 三个净化工程的典型案例
3.2.1 大面积ISO 6级顶送顶回非单向流洁净室的工程 案例 3.2.2 深圳清溢精密光电有限公司的ISO 2级洁净室工 程案例 3.2.3 北京航天光学遥感特殊高大实验室矢流洁净室 的设计
1. 洁净室的基础知识
1.1 洁净室的定义 洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和 使用方式可最大限度减少房间进入的、产生的和滞 留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关 参数均按要求受控（ISO 14644-6）。
耗电指标 （Kw/m2） 1.25~1.35 0.9~1.0 0.25~0.33 0.22~0.26 0.13~0.16
单向流
1000 非单向 流 10000 100000
注：表中的送风量、单向流以断面风速表示， 非单向流以换气次数表示。 表中冷量指标一般指电子工业洁净厂房。 表中的初投资包括洁净厂房的围护、 冷冻供应系统、空调净化系统， 不含土建结构和自动控制的投资。 表中的耗电量系指制冷系统和 空调送风系统耗电， 不含电加热和电加湿的耗电量。
气流流 型 洁净级别 （级） 垂 直 水 平 10 100 100
送风量 （m/s）( 次/h）
>0.25m/s >0.3m/s 50~60次 /h 25~30次 /h 15~20次 /h
耗冷指标 （W/m2） 1300~1500 800~1000 600~700 500~600 350~400
投资指标 （元/ m2） 10000~13000 5000~6000 2800~3000 2000~2200 1400~1600
图4 矢流气流流型
矢流洁净室的气流是以放射型的流线流出，流线之间没有 竖向交叉，可用相对少量的送风获得较高级别的洁净度。 多用在医药、医疗和电子等行业的小洁净室中。在某些特 殊的实验室中也得到广泛的应用。
五、各种气流流型洁净室的风量、冷量、初投资 和运行费的比较（仅供参考） 不同洁净级别洁净厂房的送风量、冷量投资耗电的指标
1.3.2 按洁净室主要的控制对象洁净 室的分类
按洁净室主要控制对象划分洁净室又可划分为： ▲ 工业洁净室 ▲ 生物洁净室
一、工业洁净室
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1、工业洁净室主要的控制对象是灰尘粒子（不分有 生命的、无生命的）。 2、工业洁净室主要应用在电子、航天、航空、机械、 化工、化学制药、能源、纳米等工业中。尤其是电 子工业中的微电子和光电子工业更是离不开洁净室 和洁净技术。
二、非单向流洁净室 1、非单向流洁净室的气流流型又可分 为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等气 流流型。
图2 非单向流气流流型
2、非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效 过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部 回风和顶部回风等。用不同送风换气次数，可实现不同的 洁净度级别，其初投资和运行费用对于不同的洁净度级别 也不相同。
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洁净室设计 １. 洁净室基础知识 1.1 洁净室的定义 1.2 洁净室的四大技术要素 1.3 洁净室的分类 1.3.1 按洁净室气流流型洁净室的分类 1.3.2 按洁净室主要的控制对象洁净室的分类 1.4 洁净室洁净度的等级标准（ISO 14644-1）