薄膜热导率测试仪
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薄膜热导率测试系统（TCT）
Thin-Film Thermal Conductivity Test System
嘉仪通科技
嘉仪通科技成立于2009年，总部位于武汉市东湖开发区未来科技城，拥有研发及办公面积1100多平方米，在北京、上海、成都建有办事处，并与当地科研院所合作建立了联合实验室。
嘉仪通科技是一家研发、生产和销售关于新材料、尤其是薄膜材料物性分析科学仪器的高新技术企业，从而为客户新材料的研发及改进提供理论依据和实验平台。嘉仪通科技秉承技术创新、应用为上的价值理念，遵循“穷理致用”的原则，踏踏实实、认认真真做好每一台科学仪器。嘉仪通科技拥有一批海归研发团队，解决了纳米级薄膜材料物性分析的国际难题，并获得多项荣誉。
作为薄膜材料物性分析领跑者，嘉仪通科技已建立完善的薄膜材料物性分析科学仪器产品线：
●相变温度分析仪（PCA）
●热膨胀系数分析仪（TEA）
●光功率热分析仪（OPA）
●热电参数测试系统（Namicro）
●薄膜热电参数测试系统（MRS）
●薄膜热导率测试系统（TCT）
●薄膜热应力测试系统（TST）
●薄膜变温电阻测试仪（TRT）
●薄膜磁性测试系统（TMT）
●霍尔效应测试系统（HET）
......
部分使用客户
清华大学中科院金属所
中科院电工所中科院上海微系统所
福建省特检院华中科技大学
北京科技大学武汉理工大学
安徽工业大学武汉工程大学
西华大学盐城工学院
Queen Mary of University London,UK
本仪器采用3ω测试方法，利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量，可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括高等院校及科研院所、集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件。
产品优势
●可测量薄膜材料的热导率，尤其是微/纳米薄膜材料热导率的高性能测量；
●不直接测量温度变化，而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为的电信号的变化来实
现微/纳米薄膜材料的热导率，微伏级电压值，保证测量结果的高精确度；
●采用交流电加热方式，同时选择并优化设计加热电极的形状与尺寸，可保证加热均匀性及测试
应用的广泛性、准确性与稳定性；
●待测薄膜样品材料尺寸极小，能有效减小黑体辐射引起的测量误差；
●可在真空及温度可控环境下测试，有效避免因环境温度变化和空气热传导而引起的测量误差；
●友好的软件界面。
软件界面
技术原理
原理示意图
本产品技术方案核心为3ω测试法，其主要原理为在待测薄膜材料表面淀积一层金属电阻条，往金属条两端施加频率为ω的电流，那么在焦耳热的作用下该金属条将产生频率为2ω的温升，由于金属条一般表现出正电阻温度系数，这将导致其电阻值也产生频率为2ω的波动，这个频率为2ω的电阻与频率为ω的电流耦合将产生一个在频率为3ω的小电压信号V3ω。该小信号电压的幅值与待测材料的热导率有关，因而检测该电压信号后通过相关计算，就可求出待测材料的热导率K s。
技术参数
温度范围100K~400K（可拓展到高温）
测量对象绝缘块材，绝缘薄膜，导电薄膜
测定精度（热导率）±10%
适合氛围真空或者大气
长x宽：10x10~20x20mm2
样品尺寸
厚度：10nm~10um
其他注意事项导电薄膜表面要非常光滑，绝缘层不漏电
应用
本测试系统广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括高等院校及科研院所、集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件。
硅热导率测量值与文献值的比较