光刻间的安全操作

• 储存 盐酸储藏于密封容器内，放置于有通风的阴 凉地方，远离有禁忌物和工作场所。 • 危险特性 与强碱类（如氢氧化钠）起激烈反应，与硫 化物、磷化物、氰化物、乙酯基化合物、氟 化物、硅化物和碳化物起反应，释放出易燃 和有毒的气体，与氧化剂（如过氧化物）能 起激烈反应。
硫酸
• 理化特性 无色油状腐蚀性液体，有强烈的吸湿性。密度：1.8，熔 点10.4℃，沸点： 280℃。属中等毒类。对皮肤粘膜具有 很强的腐蚀性。 • 毒性和危害 吸入高浓度的硫酸酸雾能上呼吸道刺激症状，严重者发生 喉头水肿、支气管炎甚至肺水肿。硫酸溅入眼睛后能引起 结膜炎及水肿，角膜浑浊以至穿孔。皮肤接触有局部刺痛， 皮肤由潮红转为暗褐色。误服硫酸后，口腔、咽部、胸部 和腹部立即有剧烈的灼热痛，唇、口腔、咽部均见灼伤以 致形成溃肠，呕吐物及腹泻物呈黑色血性，胃肠道穿孔。 口服浓硫酸致死量约为5毫升。
安全操作及防护
• 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 • 配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。 • 皮肤沾染盐酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲 洗。 •Βιβλιοθήκη Baidu盐酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳 酸氢钠溶液彻底冲洗。 • 误入消化道时，用水充分漱口，不可催吐，如可能给患者 饮水约50毫升。 • 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸 道畅通。 • 初步处理后立即送医院治疗。
2. 毒理学简介 • 对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。 • 氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用， 而氟是最活泼的非金属元素之一，与氢离子结合较 牢(电离常数K=3.5×10^-4)。皮肤与氢氟酸接触后， 非离子状态的HF不断解离而渗透到深层组织，溶 解细胞膜，造成表皮、真皮、皮下组织乃至肌层液 化坏死。氟离子与组织中的钙和镁离子结合形成难 溶性盐。钙离子的减少使细胞膜对钾离子的通透性 增加，钾离子从细胞内到细胞外导致神经细胞的去 极化而引起剧痛。
硝酸
• 理化特性 无色液体，易挥发有刺激性，对皮肤、粘膜有强 烈的刺激作用。 • 毒性和危害： 吸入硝酸气雾引起呼吸道刺激症状。大量吸入可 引起肺水肿。硝酸液溅入眼内，可产生化学灼伤。 硝酸液接触皮肤，可引起化学灼伤。皮肤灼伤后 呈黄色逐渐变为褐色最后呈黑色。
安全操作及防护
• 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 • 皮肤沾染硝酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大 量清水冲洗。 • 硝酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水 或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。 • 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处， 保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。 • 初步处理后立即送医院治疗。
安全操作及防护
• 正确佩戴防护用具后再去通风柜内进行操作。 • 皮肤沾染氢氟酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水 冲洗。 • 附近无水源时，立即用软布或吸水纸轻轻吸去酸液，并迅 速寻找水源冲洗。 • 氢氟酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或生理 盐水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。 • 误入消化道时，严禁催吐，应大量口服清水、牛奶或一杯 镁乳，亦可服用静脉注射用的葡萄糖酸钙。 • 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，松解衣服、 腰带，保持呼吸道畅通，如呼吸困难给予输氧气等急救措 施。 • 初步处理后立即送医院治疗。
光刻间的安全操作，各种易燃化 学溶液和易腐蚀酸碱溶液的特性 及安全防护措施
一.光刻间现用的化学药品
• 有机类: • 丙酮 乙醇 剥离液 四甲基氢氧化铵 正性光刻胶 负性光刻胶 • 无机类： • 盐酸 氢氟酸 氟化铵 硫酸 硝酸 氢氧化钾
氢氟酸和氟化铵
• 1.理化性质：氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，为无 色透明至淡黄色冒烟液体。有刺激性气味。分子 式 HF-H2O。相对密度1.15～1.18。 沸点 112.2℃(按重量百分比计为38.2 %)。我们现用的 是40%的氢氟酸. • 氟化铵为无色透明呈微酸性液体,分子式 NH4F。 相对密度1.05。我们现用浓度是40%. • 特征：具有刺激气味及剧毒性，属于中等强度偏 弱的酸 • 存放：氢氟酸和氟化铵的水溶液存放在塑料瓶中, 严禁与玻璃制品存装和接触.
乙醇
• 理化特性: 无色有酒味，易挥发的澄清液体。密度：0.79℃； 沸点：78.5℃：闪点：13℃；自燃点：363℃。 爆炸极限：3.3~19%。 • 毒性和危害： 属微毒类。本品为麻醉剂，开始时导致神经系统 兴奋，继而使之麻醉。 对眼睛黏膜有轻微刺激作用。 长期受大剂量作用时，可使神经系统、消化器官 等发生严重的器质性疾病。
四甲基氢氧化铵
• 理化特性: 显影液 微碱性 无色透明液体，有特 殊的臭味 • 毒性和危害： 蒸气对眼、鼻有刺激性。溅入眼内可造成 灼伤；皮肤接触可致灼伤。口服损害口腔 和消化道。
• 储存： 放置于干净、阴凉的地方，与工作场所和禁 忌物隔离。 • 危险特性： 与强酸（如硫酸）产生强烈反应。与水反应 产生热，形成腐蚀性溶液。
丙酮
• 理化特性: 透明、无色、易挥发辛辣气味的液体。沸点：56℃；蒸气 密度：2.0；闪点：－18℃；自燃点：538℃。爆炸极限： 2.5～13%。蒸气有甜味，似薄荷香味。 • 毒性和危害： 属于微毒性，对神经系统有麻醉作用，并对黏膜有刺激作 用。浓度在500ppm以下无影响，500～1000ppm之间会 刺激鼻、喉，1000ppm以上可致头痛并有头晕出现。 2000～10000 ppm时可产生头晕、醉感、倦睡、恶心和呕 吐。眼睛接触；浓度在500ppm会产生刺激，1000ppm会 有轻度、暂时性刺激。液体对皮肤会有轻度刺激，通过完 好的皮肤吸收造成的危险很小。误入食道对喉和胃有刺激 作用，服进大量会产生和吸入高浓度相同的症状。
• 储存： 将硝酸储存于密闭的容器内，放置于有通风 设备的阴凉地方，远离禁忌物和工作场所。 • 危险特性： 硝酸是强氧化剂，火灾危险性极大，与还原 剂反应时可引起火灾和爆炸。能与多种物质 如金属粉、电石、硫化氢、松节油等猛烈反 应，甚至发生爆炸；可使许多有机物如糖、 木屑、棉花和废纱头等接触氧化而焦化，引 起燃烧并散发出剧毒的棕色烟雾。
• 危险特性： 易燃，高热或遇明火有燃烧爆炸危险，燃烧 时，发出兰色火焰。蒸气能与空气形成爆炸 性混合物，在火场中，受热的容器有爆炸的 危险。着火时，用二氧化碳、雾状水或抗溶 泡沫灭火。用水冷却火场中的容器，驱散蒸 气，赶出溢出液体，使其稀释成为不燃性混 合物。 与氧化剂接触发生反应或引起燃烧危险。
安全操作及防护
• • • • 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 皮肤沾染时，尽快用大量清水冲洗。 溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用彻底冲洗。 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处， 保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。 • 误入消化道时，用水充分漱口，给患者饮水约 250ml。
剥离液
• 剥离液的主要成分是乙醇胺(2-氨基乙醇;2羟基乙胺) • 理化特性: 无色液体，有氨的气味 ,熔点 10.5℃, 沸点： 170.5℃,密度 相对密度(水=1)1.02 • 毒性和危害： 蒸气对眼、鼻有刺激性。眼接触液状本品， 造成眼损害；皮肤接触引起刺痛和灼伤。 口服损害口腔和消化道。
安全操作及防护
• • • • 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 皮肤沾染时，尽快用大量清水冲洗。 溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用彻底冲洗。 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处， 保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。 • 误入消化道时，用水充分漱口，给饮牛奶或蛋清。 就医。
• 危险特性： 遇高热、明火或与氧化剂接触，有引起燃烧 的危险。与硫酸、硝酸、盐酸等强酸发生剧 烈反应。
安全操作及防护
• 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 • 皮肤沾染时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清 水冲洗。 • 溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或生 理盐水彻底冲洗。 • 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处， 保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。 • 误入消化道时，用水充分漱口，如需要用鸡蛋清 灌胃（10~15个鸡蛋）或给患者饮水约250ml。 • 初步处理后立即送医院治疗。
• 危险特性： 1.不能用玻璃容器装存。 2.由于我们使用的氢氟酸浓度较低，所以使 用时要特别注意不要沾染到皮肤上。
盐酸
• 理化特性 透明或黄色冒烟液体，蒸气有强烈刺激味,现用浓度是 36-38%的HCl。沸点：110℃，蒸气密度：1.3，易溶于水. 盐酸对皮肤和黏膜有较强刺激腐蚀作用。 • 毒性和危害 盐酸蒸气和烟雾能刺激鼻、喉和上呼吸道，导致咳嗽、 鼻和牙龈出血，严重的还能腐蚀鼻、喉和造成肺水肿;眼 睛接触可导致刺激、严重灼伤和失明,皮肤接触浓溶液 （大于38%）导致严重灼伤。误服可使口腔、胃和食道严 重灼伤，导致恶心、呕吐、腹泻、虚脱并可能死亡。
氢氧化钾
• 理化特性 白色、无臭、不易挥发的；易溶于水，同时放热。 • 毒性和危害： 属于强碱，具有腐蚀和刺激作用。 • 吸入：由于腐蚀作用，会对鼻、喉和肺产生刺激。 • 眼睛接触：极严重的腐蚀作用，造成严重的灼伤，严重暴 露会造成疼痛和永久失明。 • 皮肤接触：极严重的腐蚀作用，造成严重的灼伤和深度溃 疡，灼伤可能不会立即产生痛感，而是在数分钟或数小时 后产生。 • 口服：会产生严重疼痛，口、喉和食道灼伤、呕吐、腹泻、 虚脱，可能死亡。
3. 危害：氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害， 其危害途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及 肠胃道摄入，皮肤若接触到50％以上较高浓度的 氢氟酸，会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应，1至 2小时内产生水泡，6至24小时则会坏死及溃烂， 若接触到10％以下较低浓度者，则往往于6小时或 更长时间才发生疼痛等症状，因此常被当事人忽 略而太晚处理，最后造成永久性伤害，一般常见 受伤害的部位为手指。另外，如自呼吸道、肠胃 道等其它途径误用,将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困 难等症狀，或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔 等症狀。氢氟酸对人体的伤害，除了酸性腐蚀伤 害外，进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合， 导致血钙过低、血镁过低和血钾过高，进而影响 神经和心脏血管系统。
安全操作及防护
• 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 • 溅入眼内时，须用清水冲洗，吸入蒸气的患者须 脱离污染区，安置休息并保暖。误入消化道时， 须大量饮水，严重者须就医诊治。 • 储存：储存于阴凉、干燥、通风处，与氧化剂隔 绝，远离火源，炎热气候采取通风降温措施，保 持库温低于30℃。注意轻装轻卸，防止容器破损。
• 储存 与可燃性和还原性及强碱物质分开。 • 危险特性： 硫酸为强氧化剂，与可燃性、还原性物质 激烈反应。硫酸虽不燃，但很多反应却会 起火或爆炸，与金属反应会产生可燃性气 体，与水混合会大量放热，所以，配制溶 液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起 泡。在稀释酸时决不可将水注入酸中，只 能将酸缓慢注入水中。
• 储存： 将丙酮储藏于密封的容器内，置于阴凉干燥 优良好通风的地方，远离热源、火源和有禁 忌的物质。所有容器都应放在地面上。 • 危险特性： 高度易燃性。有严重火灾危险。在室温下蒸 气与空气会形成爆炸性混合物。用抗溶泡沫 灭火剂、卤素灭火剂或二氧化碳来灭火。用 水来冷却暴露于火中的容器，并驱散丙酮蒸 气。 与氧化剂以及氯化剂与碱类混合物（如氯仿 与氢氧化钠）都能产生激烈反应。
安全操作及防护
• 正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。 • 配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。在稀 释酸时决不可将水注入酸中，只能将酸注入水中。 • 皮肤沾染硫酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲 洗。 • 硫酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳 酸氢钠溶液彻底冲洗。 • 误入消化道时，立即用氧化镁悬浮液、牛奶、豆浆等内服 • 呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸 道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。 • 初步处理后立即送医院治疗。