轴对称非球面平行磨削Y轴向对刀误差补偿

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关键词：非球面；精密磨削；误差补偿；面形精度
中图分类号：ＴＱ１１８７．４６文献标识码：Ａ文章编号：１７－８０（０２３０ｌ－４６２９７２１）０－Ｃ８０６
ＡｎｌｓｓｉＤｉｅｔｎＲｅｍｅｒｒＢａｅｎａｙｉｎＹｒｃｉａｏｒＥｒｏｓｄｏ
在整体上减轻系统质量。本文通过系统分析轴对称非球面元件精密磨削工艺过程中的轴向对刀误差等加工误差因素，建立轴向对刀误差校正方法，并将其运用到轴对称非球面精密磨削与抛光加工过程中。由实验可知：通过误差补偿，加工时间
节省６％以上，ｑ８ｍｍ口径非球面抛光后的面形精度Ｐ０￣０Ｖ值为Ｏ６ｍ（．２）ＭＳ值达到００３．２０９Ｘ，Ｒ８．９ｍ（．７）满足０１Ｘ，４非球面面形精度要求。实验结果验证了理论分析与误差补偿方法的正确性，实现了轴对称非球面光学元件的快速精密加工。
ｓｓｎｒｏｏｅｓｔｎｍｅｈｄｒｖｒｉｄｔｒｕｈｔｅｅｐｒｅｔ，ａｄｔｅｒｓｌｈｗｈａｉｓｈｒｃｒｄｅａｄｅｒｒｃｍｐｎａｉｔｏｓａｅｅｉｅｈｏｇｈｘｅｉｎｓｎｈｅｕｔｓｏｔｅｒｐｄａｐｅｉｏｆｍｓｇｉ — ｎ
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Ｖｏ＿５Ｎｏ３ｌ３．
Ｓｅ２０１ｐ．２
轴对称非球面平行磨削轴向对刀误差补偿
许金凯，于化东，于占江，谢丹
（长春理丁大学制导与对抗技术研究所，长春１０２）３０２
摘
要：在光学系统中应用非球面光学元件能够提高光学系统设计灵活性，改善光学系统成像质量，缩小光学系统尺寸，
Ａｂｔｃ：Ａｓｈｒｏｏｅｔｃｕｄｉｃｅｓｐｉａｅｉｎｌｘｂｌｙｉｒｖｔｅｍａｅｑａｉａｄｐｉａｐｏｅｔｅｓｒｔａｐｅｉｃｍｐｎｎｓｏｌｎｒａｅｏｔｌｄｓｇｆｉｉｔ，ｍｐｏｅｈｉｇｕｌｙｎｏｔｌｒｐｒｉｓｃｃｅｉｔｃａｄｒａｌｄｃｅｓｈｓｚａｄｎｇｅｔｙｅｒａｅｔｅｉｅｎｗｅｇｌｆｏｔａｓｓｅ．ｔｉａｅ，ｔｒｕｈｅｐｙｎｌｚｇｈｍａｈｎｎｅｒｒｉｈｏｐｉｌｙｔｍＩｈｓｐｐｒｈｏｇｄｅｌａａｙｉｔｅｃｎｎｃｉｉｇｒｏ
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ｐｌｈｎ．ｅｘｅｉｎｓｈｗｔａｔｅｏｉｉｇＴｈｅｐｒｍｅｔｓｏｓｈｔｈｍａｈｎｎｔｄｃｅｓｓｙ０．ｅｐｏｉＰＶａｃｒｃ６ｇｃｉｉｇｉｍｅｅｒａｅｂ６￣ＴｈｒｆｅＡｌｃｕａｙ０．２ｍ（）８Ｘ（９２）．
第３卷第３５期
２１年９０２月
长春理工大学学报（自然科学版）
ＪｕｎｌｆｈｎｃｕｉｅｓｔｆＳｉｃｎｅｈｏｏｙ（ｔｌｃｅｃｄｔｎ）ｏｒａＣａｇｈｎＵｎｖｒｉｏｃｅｅａｄＴｃｎｌｇＮａ￣ａｉｎｅＥｉｏｏｙｎＳｉ
ａｄＲＭＳ（０３ｔｎ）９ｂ．ｍ
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（．４Ｘｃｕｄｂａｈｅｅｆｒ８Ｏ１７）ｏｌｅｃｉｖｄａｔＯｍｍｄａｔｒａｐｅｉｓｒａｅｐｌｈｎ．ｅｔｅｒｔａｎｌ— ｅｉｍｅｅｓｈｒｃｕｆｃｏｉｉｇＴｈｈｏｅｉｌａａｙｓｃ