工艺及器件仿真工具

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初始化命令
➢ Title(…)命令
Title命令是总是出现在DIOS输入文件的最开始的地方， 用来对仿真进行初始化。 必须！
Title(“simple nmos”，MAXV ，NewDiff，SiDiff) 这条 命令对仿真进行了初始化，并把图形窗口命名为“simple nmos”
• 其中MAXV定义仿真中网格点最大数，一般不定义 • NewDiff=1/on（default）表示所有层次都定义网格和掺杂 • SiDiff=1/on（default）表示仅在硅中进行扩散，多晶硅掺杂是均的， 以节约仿真时间 。如果涉及钝化过程中有偏析效应，则应选SiDiff=0/off。
➢ 器件创建与网格优化工具 － MDRAW，MESH，DEVISE，DIP
➢ 器件模拟工具 － DESSIS，Compact Models
➢ 数据输出与显示工具 － INSPECT，Tecplot-ISE
➢ 电磁模拟工具 － EMLAB，TED
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工艺及器件仿真流程
• 器件仿真工具
– 2D&3D器件仿真工具DESISS
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DIOS简介
➢ DIOS能使用各种工艺模型仿真完整的制造工艺步骤，包括 刻蚀、淀积、离子注入、扩散和氧化，既有一维的，也有二 维的。它的有些模块功能还支持三维。
➢ DIOS软件的输入既可以在命令窗口键入命令，也可以写在 一个命令描述文件中。另外一个特殊的输入还包括PROLYT 版层次的文件。其中包括详细的不同版层的几何信息。
➢ 提供一些可以选择的控制命令，比如物理模型、参数、网格 布局和图形输出参数选择。
注： DIOS命令文件的输入语言不区分字母的大小写，不过，
文件名和电极接触点名是区分大小写的。
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DIOS仿真命令
初始化命令
工艺仿真命令
文件保存与输出命令
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END
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运行命令： source /opt/demo/tcad.env
运行命令： GENESISe &
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本章内容
• ISE-TCAD简介 • 工具流程平台GENESISe
• 工艺仿真以及网格优化工具
– 2D工艺仿真工具DIOS – 2D网格优化工具MDRAW
第4章 工艺及器件仿真工具
ISE-TCAD
本章内容
• ISE-TCAD简介 • 工具流程平台GENESISe
• 工艺仿真以及网格优化工具
– 2D工艺仿真工具DIOS – 2D网格优化工具MDRAW
• 器件仿真工具
– 2D&3D器件仿真工具DESISS
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本章内容
➢ ISE-TCAD是一种建立在物理基础上的数值仿真工 具，它既可以进行工艺流程仿真和器件描述，也可 以进行器件仿真、电路性能仿真以及电缺陷仿真等， 其产品包括完整的工艺及器件模拟工具 。
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ISE-TCAD特点
➢ 具有友好的图形交互界面，容易上手；
➢ 可以准确快捷地仿真传统半导体工艺流程和
注：不使用工艺仿真，直接利用MDRAW等工具创建器件结
构（掺杂和网格）也是可以的。
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典型工艺与器件仿真流程图
**_dio.cmd
DIOS **.tl1
Hale Waihona Puke Baidu
**_dio.out **_mdr.cmd **_mdr.bnd **_dio.dat.gz **_dio.grd.gz
典型器件设计流程（GENESISe工具流程平台）：
➢ 利用工艺仿真（DIOS）创建器件结构
➢ 使用MDRAW等软件进行器件网格和掺杂的定义与细化
➢ 使用器件仿真软件（DESSIS）进行器件特性仿真
➢ 使用Tecplot-ISE软件观察仿真输出结果，二维、三维 绘图及参数提取
➢ 使用INSPECT软件显示电学参数曲线绘制与分析
➢ GENESISe是ISE-TCAD模拟工具的用户图形界 面，为设计、组织和运行ISE-TCAD工具模拟项 目提供一个良好的模拟环境 。
➢ 通过GENESISe可以将众多工具良好衔接起来， 然后自动执行参数化的模拟项目，从而免除了用 户进行命令行输入等繁琐步骤。
➢ 运行启动：
用自己的帐号登录到10.13.83.131\134\136 \137
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➢ Grid（）定义器件的结构初始化网格 GRID (X (0.0, 0.4), Y (-10.0, 0.0), Nx=2) 定义网格点和区域，参数Nx=2定义了所包含三角形为2个
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➢ Replace（）对定义的网格进行调整，指定网格的调整标准 Replace (Control (MaxTrl=6, RefineBoundary=-6，
相应器件；
➢ 对于各种新兴及特殊器件（如深亚微米器件、
绝缘硅SOI、SiGe器件、应力硅器件、异质
结、光电子器件、量子器件及纳米器件等）
也可以进行精确有效的仿真模拟。
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➢ 平台整合工具 － GENESISe，OptimISE，LIGAMENT
➢ 工艺仿真工具 － DIOS，FlOOPS-ISE
• ISE-TCAD简介 • 工具流程平台GENESISe
• 工艺仿真以及网格优化工具
– 2D工艺仿真工具DIOS – 2D网格优化工具MDRAW
• 器件仿真工具
– 2D&3D器件仿真工具DESISS
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ISE-TCAD简介
➢ 工艺和器件仿真工具ISE-TCAD是瑞士ISE （Integrated Systems Engineering ）公司 （2004年被Synopsys公司收购）开发的DFM （Design For Manufacturing）软件。
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本章内容
• ISE-TCAD简介 • 工具流程平台GENESISe
• 工艺仿真以及网格优化工具
– 2D工艺仿真工具DIOS – 2D网格优化工具MDRAW
• 器件仿真工具
– 2D&3D器件仿真工具DESISS
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工具平台GENESISe简介