核反应分析Nuclear Reaction Analysis(NRA)
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[注] 它们共同的缺点是：对轻元素分析失效，深度分辨差。 注 它们共同的缺点是：对轻元素分析失效，深度分辨差。
3. NRA分析轻元素特别有效，且深度分辨好，干扰小， 分析轻元素特别有效， 分析轻元素特别有效 且深度分辨好，干扰小， 但对重元素分析效果交差。 但对重元素分析效果交差。 若把以上的分析手段相结合， 若把以上的分析手段相结合，则可以做到全元素 分析。 分析。在具体的应用时大家可根据实际情况采用相关 的分析手段。 的分析手段。
为x' 粒子分宽度，决定于反应几率
详细推导请参见《原子核物理》教材 详细推导请参见《原子核物理》教材P229-P232。 。
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
4. 深度分布： 深度分布：
• 对于共振反应，在共振能量 R附近，改变入射能量 0。测量 对于共振反应，在共振能量E 附近，改变入射能量E 反应产额随E 的关系，可以给出深度分布的信息： 反应产额随 0的关系，可以给出深度分布的信息： 如果 E0=ER 则只在表面处发生共振反应 则离子能量在靶物质中慢化到共振能量ER时 如果 E0>ER 则离子能量在靶物质中慢化到共振能量 时， 发生共振反应，因此， 发生共振反应，因此，产额曲线的形状就反映 出深度分布的信息
4.获取的谱线实例（如图） 获取的谱线实例（如图） 获取的谱线实例
X轴对应于靶的深度，Y轴对应 轴对应于靶的深度， 轴对应 轴对应于靶的深度 于反应产额的强度， 于反应产额的强度，即出射的反 应物质如γ射线和带电粒子的强 应物质如 射线和带电粒子的强 度。
4.4 实验技术和设备
5. 试验用仪器
（1）NIM插件 ） 插件 （2）电子计算机 ） （3）加速器 ）
Z1Z 2 E ≥ 1.44 ( MeV ) r r相互作用半径，单位为费米（fm）
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
带电粒子引起的核反应的反应式可写为： 带电粒子引起的核反应的反应式可写为：
x + X → x '+ X '+Q 其中： x、X、x'、X' 分别代表入射粒子、 靶原子核、发射粒子和 剩余核
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
用带电粒子引起的核反应来进行材料的分析 工作，起始于上世纪五十年代后期， 工作，起始于上世纪五十年代后期，目前已发展 成为一种较为成熟的材料分析手段。 成为一种较为成熟的材料分析手段。特别对于轻 元素，不仅能给出元素含量， 元素，不仅能给出元素含量，而且能给出元素的 深度分布。 深度分布。 入射粒子和靶和发生核反应的条件是两者的 相对动能必须满足： 相对动能必须满足：
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
5. 含量的测定： 含量的测定：
含量测定方法可分为绝对测定和相对测定两种
• 绝对测量： 利用产额公式，并求出或测量出入射粒子的 绝对测量： 利用产额公式， 总数、探测器的立体角、反应截面和探测效率等量。因此， 总数、探测器的立体角、反应截面和探测效率等量。因此， 绝对测量结果精度不高，而且计算繁琐（三重积分）。 绝对测量结果精度不高，而且计算繁琐（三重积分）。 • 相对测量： 利用已知元素含量和均匀分布的标样，如果待 相对测量： 利用已知元素含量和均匀分布的标样， 测样品的含量也是均匀分布的， 测样品的含量也是均匀分布的，则产额积分中的两项积分就 可以省略， 可以省略，即：
Y (E0 ) = K
∫
R0
0
C ( x )σ ( E ) dx = KC
∫
0
σ (E )
S (E )
E0
dE
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
5. 含量的测定： 含量的测定：
对于共振反应： 对于共振反应：S(E)=S(ER)=Const，即只在一小薄层内 ，
KC E0 − ∆E KC σ R E − E R E0 Y ( E0 ) = ∫E0 σ ( E )dE = 2 S ( E R ) [arctg Γ / 2 ]E0 − ∆E S (ER )
3. 核反应截面： 核反应截面：
• 反应截面与能量的关系 反应截面与能量的关系(B-W公式）： 公式）： 公式
Γ σR
σ (E ) =
Γx : Γx ' :
(E − ERБайду номын сангаас) Γ / 2 +1 为x粒子分宽度，决定于弹性散射几率
2
σR
Γx Γx ' σ R = 4πD Γ
2
ER
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
2. 核反应的产额： 核反应的产额：
• 产额与能量的关系：受到两种条件的制约。 产额与能量的关系：受到两种条件的制约。
a)加速器束流的品质有一定的能量分布 0, Ei)， 加速器束流的品质有一定的能量分布g(E 加速器束流的品质有一定的能量分布 ， 代表具有能量在E 代表具有能量在 i到Ei+dEi之间的粒子数占总数 的份额，也就是粒子具有能量为E 的几率。 的份额，也就是粒子具有能量为 i的几率。 dEg
反应前后总电荷值和能量守恒， 反应前后总电荷值和能量守恒，反应规律遵 从微观量子力学的运动规律， 从微观量子力学的运动规律，一般情况下发射粒 子为γ光子 中子、质子和α粒子 光子、 粒子。 子为 光子、中子、质子和 粒子。
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
1. 核反应中的能量关系： 核反应中的能量关系：
式中已对截面项进行了积分，截面公式采用前面的 公式。 式中已对截面项进行了积分，截面公式采用前面的Breit-Wigner公式。 公式
相对测量方法，误差主要来源于样品的制备， 相对测量方法，误差主要来源于样品的制备，其他的系统误 差和测量误差都可以减小到最小。 差和测量误差都可以减小到最小。因此建议精确测量时采用 相对法。 相对法。
4.4 实验技术和设备
1. 加速器是该试验的一个重要组成部分，对于他提供的束流有 加速器是该试验的一个重要组成部分， 如下要求： 如下要求：
束流强度： 束流强度：几个微安 能量离散： 能量离散：≤1keV 能量步长： 能量步长：≈100eV，特别对于窄共振峰 ， 束斑大小： 束斑大小：4mm2
4.4 实验技术和设备
2. 样品和靶室的安置
该安置如测量带电粒子与背散射 测量的情形相同（如上面左图）； 测量的情形相同（如上面左图）； 如测量γ射线则应与 射线则应与PIXE分析相 如测量 射线则应与 分析相 如上面右图）。 同（如上面右图）。
4.4 实验技术和设备
3. 谱线的获取装置
射线装置（ 讲稿的叙述） （1）探测 射线装置（参见 ）探测γ射线装置 参见PIXE讲稿的叙述） 讲稿的叙述 讲稿的叙述） （2）探测带电粒子的装置（参见 ）探测带电粒子的装置（参见RBS讲稿的叙述） 讲稿的叙述
E0
b)粒子穿透一定的深度后会产生一定的能量歧离 i, E, x)，表示 粒子穿透一定的深度后会产生一定的能量歧离f(E 粒子穿透一定的深度后会产生一定的能量歧离 ， 能量为E 的粒子在进入深度为x处时 由于能损，使其能量变为E 处时， 能量为 i的粒子在进入深度为 处时，由于能损，使其能量变为 之间的几率。 到E+dE之间的几率。 之间的几率 所以，深度 处 待测元素含量为C(x)的反应产额为： 的反应产额为： 所以，深度x处，待测元素含量为 的反应产额为
Y ( E0 ) = K ∫
∞
0
∫0 ∫0 C ( x ) g ( E0 , Ei ) f ( Ei , E , x )σ ( E ) dE i dxdE
∞
∞
K是与待测核素有关的常数，上式称为反应产额公式。 是与待测核素有关的常数，上式称为反应产额公式。 是与待测核素有关的常数
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
• 阈能
E
x
=
m
x
+ m mX
X
Q
Q < 0 Q > 0
E x 任意值
该方程可由能量守恒和动量守恒得出，详细推导请参见 该方程可由能量守恒和动量守恒得出， 原子核物理》教材P197和P200。 《原子核物理》教材 和 。
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
2. 核反应的产额： 核反应的产额：
•定义： 入射粒子在靶中引起的核反应数于入射粒子数之比。 定义： 入射粒子在靶中引起的核反应数于入射粒子数之比。 定义 即一个入射粒子在靶中引起核反应的几率称为核反应的产额 • 产额与截面的关系：截面大产额高。他们的不同之处在 产额与截面的关系：截面大产额高。 截面仅仅与反应本身有关，而与靶的状态无关， 于，截面仅仅与反应本身有关，而与靶的状态无关，即靶 核的多少，截面都相同。产额除了与截面有关外， 核的多少，截面都相同。产额除了与截面有关外，还与靶 核的多少及物理状态有关。在核反应分析方法中， 核的多少及物理状态有关。在核反应分析方法中，为了能 定量的测量，产额是一个很重要的量。 定量的测量，产额是一个很重要的量。
Lanzhou University
核反应分析
Nuclear Reaction Analysis (NRA)
主讲：Zhang Xiaodong
Department of Modern Physics in Lanzhou University
4.1.引言： 引言： 引言
1. RBS分析轻基体中的重元素含量，简便易行。 分析轻基体中的重元素含量， 分析轻基体中的重元素含量 简便易行。 2. PIXE分析中重元素，灵敏且精度较高，方便易行， 分析中重元素， 分析中重元素 灵敏且精度较高，方便易行， 用途广泛。 用途广泛。
4.2.综述： 综述： 综述
核反应作为一种分析手段，可分为三类： 核反应作为一种分析手段，可分为三类： (i)带电粒子活化分析 带电粒子活化分析(CPAA-Charged Particle 带电粒子活化分析 Activation Analysis)，即粒子束进用作产生特定的 ， 反射性原子核，通过探测放射性核的衰变， 反射性原子核，通过探测放射性核的衰变，来给出 材料组分的分析。 材料组分的分析。 (ii)瞬发辐射分析 瞬发辐射分析(PRA)，用固定能量轰击靶时测量 瞬发辐射分析 ， 特征反应产物，来给出材料组分的分析。 特征反应产物，来给出材料组分的分析。 (iii)共振反应分析 共振反应分析(RRA-Resonance Reaction 共振反应分析 Analysis)，复合核共振截面能量位移和展宽可提供 ， 元素在物质中的深度分布信息。 元素在物质中的深度分布信息。
• Q方程 方程
E x'
1/ 2 ( A A Ex )1 / 2 A X ' − Ax AX ' Ax Ax ' = x x' cos θ ± + cos 2 θ E x + Q 2 A X ' + Ax ' A X ' + A x (A X ' + A x ' ) AX ' + Ax' 2
7. 常见的干扰反应
19F(P,αγ)16O 15N(P,αγ)12C 13C(α, 17O(α, 18O(α, 10B(α, 19F(α,
n)16O n)20Ne n)21Ne P)13C P)22Ne
4.4 实验技术和设备
8. 实验中的技术问题： 实验中的技术问题：
（1）带电粒子的探测：采用金硅面垒探测器（Surface ）带电粒子的探测：采用金硅面垒探测器（ Barrier Detector Au-Si）,能量分辨对轻粒子较好，可达 能量分辨对轻粒子较好， ） 能量分辨对轻粒子较好 15-20keV，但该探测器怕光，应避光保存，避免光线直 ，但该探测器怕光，应避光保存， 接照射。对于轻粒子，一般接受剂量为10 个粒子， 接照射。对于轻粒子，一般接受剂量为 8个粒子，而对 于中粒子则要更少，重离子的辐照损伤很厉害， 于中粒子则要更少，重离子的辐照损伤很厉害，使用时 应特别注意。 应特别注意。 （2）粒子甄别：a. 采用吸收膜，膜厚要根据试验情况具 ）粒子甄别： 采用吸收膜， 体选择。 控制探测器的耗尽层，去除轻粒子。 体选择。b. 控制探测器的耗尽层，去除轻粒子。
4.4 实验技术和设备
6. 减小干扰的方法： 减小干扰的方法：
（1）靶室与探测器间的物 ） 质尽可能的减少 （2）对应于强束流的入射 ） 要求有较好的靶冷却系统 （3）采用无油真空系统减小 ）采用无油真空系统减小C 污染 （4）改进法拉第筒，提高束 ）改进法拉第筒， 流测量的精度 （5）采用高 的靶衬底以减小 ）采用高Z的靶衬底以减小 干扰反应 （6）克服绝缘靶衬底上的电 ） 荷积累
3. NRA分析轻元素特别有效，且深度分辨好，干扰小， 分析轻元素特别有效， 分析轻元素特别有效 且深度分辨好，干扰小， 但对重元素分析效果交差。 但对重元素分析效果交差。 若把以上的分析手段相结合， 若把以上的分析手段相结合，则可以做到全元素 分析。 分析。在具体的应用时大家可根据实际情况采用相关 的分析手段。 的分析手段。
为x' 粒子分宽度，决定于反应几率
详细推导请参见《原子核物理》教材 详细推导请参见《原子核物理》教材P229-P232。 。
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
4. 深度分布： 深度分布：
• 对于共振反应，在共振能量 R附近，改变入射能量 0。测量 对于共振反应，在共振能量E 附近，改变入射能量E 反应产额随E 的关系，可以给出深度分布的信息： 反应产额随 0的关系，可以给出深度分布的信息： 如果 E0=ER 则只在表面处发生共振反应 则离子能量在靶物质中慢化到共振能量ER时 如果 E0>ER 则离子能量在靶物质中慢化到共振能量 时， 发生共振反应，因此， 发生共振反应，因此，产额曲线的形状就反映 出深度分布的信息
4.获取的谱线实例（如图） 获取的谱线实例（如图） 获取的谱线实例
X轴对应于靶的深度，Y轴对应 轴对应于靶的深度， 轴对应 轴对应于靶的深度 于反应产额的强度， 于反应产额的强度，即出射的反 应物质如γ射线和带电粒子的强 应物质如 射线和带电粒子的强 度。
4.4 实验技术和设备
5. 试验用仪器
（1）NIM插件 ） 插件 （2）电子计算机 ） （3）加速器 ）
Z1Z 2 E ≥ 1.44 ( MeV ) r r相互作用半径，单位为费米（fm）
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
带电粒子引起的核反应的反应式可写为： 带电粒子引起的核反应的反应式可写为：
x + X → x '+ X '+Q 其中： x、X、x'、X' 分别代表入射粒子、 靶原子核、发射粒子和 剩余核
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
用带电粒子引起的核反应来进行材料的分析 工作，起始于上世纪五十年代后期， 工作，起始于上世纪五十年代后期，目前已发展 成为一种较为成熟的材料分析手段。 成为一种较为成熟的材料分析手段。特别对于轻 元素，不仅能给出元素含量， 元素，不仅能给出元素含量，而且能给出元素的 深度分布。 深度分布。 入射粒子和靶和发生核反应的条件是两者的 相对动能必须满足： 相对动能必须满足：
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
5. 含量的测定： 含量的测定：
含量测定方法可分为绝对测定和相对测定两种
• 绝对测量： 利用产额公式，并求出或测量出入射粒子的 绝对测量： 利用产额公式， 总数、探测器的立体角、反应截面和探测效率等量。因此， 总数、探测器的立体角、反应截面和探测效率等量。因此， 绝对测量结果精度不高，而且计算繁琐（三重积分）。 绝对测量结果精度不高，而且计算繁琐（三重积分）。 • 相对测量： 利用已知元素含量和均匀分布的标样，如果待 相对测量： 利用已知元素含量和均匀分布的标样， 测样品的含量也是均匀分布的， 测样品的含量也是均匀分布的，则产额积分中的两项积分就 可以省略， 可以省略，即：
Y (E0 ) = K
∫
R0
0
C ( x )σ ( E ) dx = KC
∫
0
σ (E )
S (E )
E0
dE
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
5. 含量的测定： 含量的测定：
对于共振反应： 对于共振反应：S(E)=S(ER)=Const，即只在一小薄层内 ，
KC E0 − ∆E KC σ R E − E R E0 Y ( E0 ) = ∫E0 σ ( E )dE = 2 S ( E R ) [arctg Γ / 2 ]E0 − ∆E S (ER )
3. 核反应截面： 核反应截面：
• 反应截面与能量的关系 反应截面与能量的关系(B-W公式）： 公式）： 公式
Γ σR
σ (E ) =
Γx : Γx ' :
(E − ERБайду номын сангаас) Γ / 2 +1 为x粒子分宽度，决定于弹性散射几率
2
σR
Γx Γx ' σ R = 4πD Γ
2
ER
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
2. 核反应的产额： 核反应的产额：
• 产额与能量的关系：受到两种条件的制约。 产额与能量的关系：受到两种条件的制约。
a)加速器束流的品质有一定的能量分布 0, Ei)， 加速器束流的品质有一定的能量分布g(E 加速器束流的品质有一定的能量分布 ， 代表具有能量在E 代表具有能量在 i到Ei+dEi之间的粒子数占总数 的份额，也就是粒子具有能量为E 的几率。 的份额，也就是粒子具有能量为 i的几率。 dEg
反应前后总电荷值和能量守恒， 反应前后总电荷值和能量守恒，反应规律遵 从微观量子力学的运动规律， 从微观量子力学的运动规律，一般情况下发射粒 子为γ光子 中子、质子和α粒子 光子、 粒子。 子为 光子、中子、质子和 粒子。
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
1. 核反应中的能量关系： 核反应中的能量关系：
式中已对截面项进行了积分，截面公式采用前面的 公式。 式中已对截面项进行了积分，截面公式采用前面的Breit-Wigner公式。 公式
相对测量方法，误差主要来源于样品的制备， 相对测量方法，误差主要来源于样品的制备，其他的系统误 差和测量误差都可以减小到最小。 差和测量误差都可以减小到最小。因此建议精确测量时采用 相对法。 相对法。
4.4 实验技术和设备
1. 加速器是该试验的一个重要组成部分，对于他提供的束流有 加速器是该试验的一个重要组成部分， 如下要求： 如下要求：
束流强度： 束流强度：几个微安 能量离散： 能量离散：≤1keV 能量步长： 能量步长：≈100eV，特别对于窄共振峰 ， 束斑大小： 束斑大小：4mm2
4.4 实验技术和设备
2. 样品和靶室的安置
该安置如测量带电粒子与背散射 测量的情形相同（如上面左图）； 测量的情形相同（如上面左图）； 如测量γ射线则应与 射线则应与PIXE分析相 如测量 射线则应与 分析相 如上面右图）。 同（如上面右图）。
4.4 实验技术和设备
3. 谱线的获取装置
射线装置（ 讲稿的叙述） （1）探测 射线装置（参见 ）探测γ射线装置 参见PIXE讲稿的叙述） 讲稿的叙述 讲稿的叙述） （2）探测带电粒子的装置（参见 ）探测带电粒子的装置（参见RBS讲稿的叙述） 讲稿的叙述
E0
b)粒子穿透一定的深度后会产生一定的能量歧离 i, E, x)，表示 粒子穿透一定的深度后会产生一定的能量歧离f(E 粒子穿透一定的深度后会产生一定的能量歧离 ， 能量为E 的粒子在进入深度为x处时 由于能损，使其能量变为E 处时， 能量为 i的粒子在进入深度为 处时，由于能损，使其能量变为 之间的几率。 到E+dE之间的几率。 之间的几率 所以，深度 处 待测元素含量为C(x)的反应产额为： 的反应产额为： 所以，深度x处，待测元素含量为 的反应产额为
Y ( E0 ) = K ∫
∞
0
∫0 ∫0 C ( x ) g ( E0 , Ei ) f ( Ei , E , x )σ ( E ) dE i dxdE
∞
∞
K是与待测核素有关的常数，上式称为反应产额公式。 是与待测核素有关的常数，上式称为反应产额公式。 是与待测核素有关的常数
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
• 阈能
E
x
=
m
x
+ m mX
X
Q
Q < 0 Q > 0
E x 任意值
该方程可由能量守恒和动量守恒得出，详细推导请参见 该方程可由能量守恒和动量守恒得出， 原子核物理》教材P197和P200。 《原子核物理》教材 和 。
4.3.核反应分析原理 核反应分析原理
2. 核反应的产额： 核反应的产额：
•定义： 入射粒子在靶中引起的核反应数于入射粒子数之比。 定义： 入射粒子在靶中引起的核反应数于入射粒子数之比。 定义 即一个入射粒子在靶中引起核反应的几率称为核反应的产额 • 产额与截面的关系：截面大产额高。他们的不同之处在 产额与截面的关系：截面大产额高。 截面仅仅与反应本身有关，而与靶的状态无关， 于，截面仅仅与反应本身有关，而与靶的状态无关，即靶 核的多少，截面都相同。产额除了与截面有关外， 核的多少，截面都相同。产额除了与截面有关外，还与靶 核的多少及物理状态有关。在核反应分析方法中， 核的多少及物理状态有关。在核反应分析方法中，为了能 定量的测量，产额是一个很重要的量。 定量的测量，产额是一个很重要的量。
Lanzhou University
核反应分析
Nuclear Reaction Analysis (NRA)
主讲：Zhang Xiaodong
Department of Modern Physics in Lanzhou University
4.1.引言： 引言： 引言
1. RBS分析轻基体中的重元素含量，简便易行。 分析轻基体中的重元素含量， 分析轻基体中的重元素含量 简便易行。 2. PIXE分析中重元素，灵敏且精度较高，方便易行， 分析中重元素， 分析中重元素 灵敏且精度较高，方便易行， 用途广泛。 用途广泛。
4.2.综述： 综述： 综述
核反应作为一种分析手段，可分为三类： 核反应作为一种分析手段，可分为三类： (i)带电粒子活化分析 带电粒子活化分析(CPAA-Charged Particle 带电粒子活化分析 Activation Analysis)，即粒子束进用作产生特定的 ， 反射性原子核，通过探测放射性核的衰变， 反射性原子核，通过探测放射性核的衰变，来给出 材料组分的分析。 材料组分的分析。 (ii)瞬发辐射分析 瞬发辐射分析(PRA)，用固定能量轰击靶时测量 瞬发辐射分析 ， 特征反应产物，来给出材料组分的分析。 特征反应产物，来给出材料组分的分析。 (iii)共振反应分析 共振反应分析(RRA-Resonance Reaction 共振反应分析 Analysis)，复合核共振截面能量位移和展宽可提供 ， 元素在物质中的深度分布信息。 元素在物质中的深度分布信息。
• Q方程 方程
E x'
1/ 2 ( A A Ex )1 / 2 A X ' − Ax AX ' Ax Ax ' = x x' cos θ ± + cos 2 θ E x + Q 2 A X ' + Ax ' A X ' + A x (A X ' + A x ' ) AX ' + Ax' 2
7. 常见的干扰反应
19F(P,αγ)16O 15N(P,αγ)12C 13C(α, 17O(α, 18O(α, 10B(α, 19F(α,
n)16O n)20Ne n)21Ne P)13C P)22Ne
4.4 实验技术和设备
8. 实验中的技术问题： 实验中的技术问题：
（1）带电粒子的探测：采用金硅面垒探测器（Surface ）带电粒子的探测：采用金硅面垒探测器（ Barrier Detector Au-Si）,能量分辨对轻粒子较好，可达 能量分辨对轻粒子较好， ） 能量分辨对轻粒子较好 15-20keV，但该探测器怕光，应避光保存，避免光线直 ，但该探测器怕光，应避光保存， 接照射。对于轻粒子，一般接受剂量为10 个粒子， 接照射。对于轻粒子，一般接受剂量为 8个粒子，而对 于中粒子则要更少，重离子的辐照损伤很厉害， 于中粒子则要更少，重离子的辐照损伤很厉害，使用时 应特别注意。 应特别注意。 （2）粒子甄别：a. 采用吸收膜，膜厚要根据试验情况具 ）粒子甄别： 采用吸收膜， 体选择。 控制探测器的耗尽层，去除轻粒子。 体选择。b. 控制探测器的耗尽层，去除轻粒子。
4.4 实验技术和设备
6. 减小干扰的方法： 减小干扰的方法：
（1）靶室与探测器间的物 ） 质尽可能的减少 （2）对应于强束流的入射 ） 要求有较好的靶冷却系统 （3）采用无油真空系统减小 ）采用无油真空系统减小C 污染 （4）改进法拉第筒，提高束 ）改进法拉第筒， 流测量的精度 （5）采用高 的靶衬底以减小 ）采用高Z的靶衬底以减小 干扰反应 （6）克服绝缘靶衬底上的电 ） 荷积累