七星电子流量计 D07-60B中文使用手册
电磁流量计操作方法
电磁流量计操作方法
1、检查流量计并调整流量计流量归零，具体步骤为：
1)、将电磁流量计的管道中充满介质（工艺水），关闭电磁流量计两端的阀门，使介质在管道中处于满管静止状态。
2）、进入电磁流量计转换器菜单，参照电磁流量计使用说明书查看各菜单内容是否符合初始设定（不能排除电磁流量计在使用中被其他人员将参数调整），并将流量零点修正为±0.0000。
2、全部开启进水阀门，保证管道中工艺水充满管道和流量计。
3、半开进入反应釜内出水阀，保证工艺水经过管道和流量计流速正常。
4、观察瞬时流量计量变化，如果平稳可以逐步开大出水阀。
5、每月对流量计计量进行核准，如出现偏差较大应通知机修清洁电极，并检查电极有没有损伤。
本操作手册包含重要的流量计使用和操作信息请仔细阅读以
本操作手册包含重要的流量计使用和操作信息，请仔细阅读以使你的流量计发挥最佳性能，防止流量计损坏和不正当使用。
本操作手册将以循序渐进的方式介绍如何使用流量计，由流量计的产品组成开始，安装、接线、快速设置，让你很容易的使用流量计。
通过了解更多的菜单设置，让流量计强大的功能选项和输出功能满足你的更高要求。
警告本手册上及流量计上带有“警告标志”或“警告”是指：如果不遵守有关要求、不采取相应措施，就存在着造成人身伤害或损坏流量计的潜在危险。
注意本手册上及流量计上带有“注意标志”或“注意”是指：如果不遵守有关要求、不采取相应措施，就存在着损坏流量计或导致流量计不能正常测量的潜在危险。
本说明书中的一些内容可能与你购买的流量计不同，取决于选购时的配置要求；另一方面由于产品的设计更改和升级需要，在说明书中没有注明，请留意版本号以及增加的附页说明。
产品组成请在安装流量计之前检查备件是否与装箱清单内容相符，确保不存在潜在的损坏、螺丝脱落等，如有任何疑问，请及时与供应商联系。
目录1.变送器的安装和接线 (5)1.1.检查变送器安装 (5)1.2.电源接线 (5)1.2.1. 电源类型 (5)1.2.2. 变送器接线 (6)1.3.通电 (6)1.4.键盘 (7)1.5.键盘操作方法 (7)1.6.流量计菜单简介 (8)2.快速设定菜单说明 (8)3.选择测量点 (10)4.传感器安装 (11)4.1.传感器安装注意事项 (11)4.1.1. 安装间距 (11)4.1.2. 传感器的安装类型 (11)4.1.3. V 型 (11)4.1.4. Z 型 (11)4.1.5. N 型（不常用） (12)4.1.6. W 型（很少用） (12)4.2.安装检查 (12)4.2.1. 信号强度 (12)4.2.2. 信号质量（Q 值） (13)4.2.3. 总传输时间、时差 (13)4.2.4. 传输时间比 (13)4.2.5 安装时需注意的问题 (13)5.操作说明 (14)5.1.系统工作状态判断 (14)5.2.零点切除 (14)5.3.零点设置 (14)5.4.仪表系数 (14)5.5.密码保护 (14)5.6.4~20M A电流环输出（可选） (15)5.7.频率输出 (15)5.8.恢复出厂设置 (15)5.9.4-20M A电流环输出校准 (15)5.10.序列号 (16)6.菜单菜单介绍 (17)6.1.菜单一览表 (17)6.2.菜单详解 (17)7.故障分析 (27)7.1.表1.上电自检信息、原因及对策 (27)7.2.表2.工作错误代码原因及对策 (27)7.3.问题回答 (28)8.产品概述 (29)8.1.产品介绍 (29)8.2.产品特点 (29)8.3.技术指标 (29)附录–联网使用及通讯协议 (31)1.概述 (31)2.RS-485连接 (31)3.通讯协议及其使用 (31)3.1.基本命令 (31)3.2.功能前缀和符号 (32)更新信息：_________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________ _________________________________________________________________________________________1.变送器的安装和接线你能发现包装中有一张“安装图”用5.5mm的钻头，钻4个安装孔（如右图）。
质量流量计简明使用手册
P/N2007年7月简明使用手册目录第一章传感器安装 (3)1.1概述 (3)1.2安装注意事项 (3)1.3传感器的安装方向 (4)1.4电气连接注意事项 (5)第二章仪表接线与上电 (6)2.1概述 (6)2.2变送器的型号识别。
(6)2.3变送器与传感器连接 (7)2.4最大布线距离 (8)2.5电源规格 (9)2.6变送器、显示组件方向调整 (10)2.7变送器输出 (12)第三章流量计组态 (15)3.1概述 (15)3.2组态项目 (15)3.3变送器的显示器面板结构 (16)3.4组态过程变量的测量单位 (16)3.5组态变送器的毫安输出 (17)3.6组态变送器的脉冲/频率输出 (17)3.7变送器的回路测试 (18)3.8 显示器菜单功能 (3)3.9流量计调零 (27)第四章流量计投用及报警状态 (28)4.1流量计投用 (28)4.2获取报警 (28)附录1报警代码含义表 (29)附录2核心处理器检查 (34)附录3传感器检查 (35)附录4软件版本4.x变送器的显示器菜单 (37)第一章传感器安装1.1 概述相对于其他类型的流量计，质量流量计具有安装简便、易于使用、测量精度高以及直接质量测量等优点，尤其是没有直管段要求的特点，用户可因地制宜的选择安装位置，节约安装成本。
1.2 安装注意事项1.2.1 安装位置应避免电磁干扰。
传感器、变送器的安装位置以及电缆铺设应尽量远离易产生强电磁场的设备，如大功率马达、变压器设施、变频设备等。
1.2.2 工艺管道应对中，两侧法兰应平行。
严禁用传感器硬行拉直上、下游工艺管道，否则将影响测量甚至损坏传感器。
另外在两侧的工艺管道近法兰处（约2～10倍管径处）应有稳固的支撑。
1.2.3 在传感器的上、下游管道上，建议安装截止阀及旁路以方便调零、日常维护及确保传感器在不工作时亦可处于满管状态。
使用流量计下游的调节阀进行流量控制。
1.2.4 在测量易汽化介质时，流量计下游建议安装压力表，供检查下游压力，流量计后建议工艺管与流量计保持同口径一段距离，以及流量计后有阀门可以用以调节适当的背压，防止汽化或气穴发生。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
输入信号
输出信号 零漂 电源 表面化学成分 表面粗糙度
标准接头形式
电源接头形式 重量
CS200-A
CS200
CS200-C
CS200-D
常开(流量规格≤30SLM) 或常闭
无
常开或常 闭
无
常开或常闭
无
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
北京七星华创电子股份有限公司
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1.2 使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
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i）请使产品在安全入口压力下工作 请勿使仪器的入口压力超出最大工作压力（请参阅产品说明书中的最大工作压力） j）请使整个系统远离污染 系统在运行过程中，请勿使用含有污染物的气体。如气体中含有灰尘、污垢、纤维、玻 璃碎片或者铁屑等。 k）请预热仪器后再使用 请预热后再使用，尤其是危险气体，更加应该注意。请使用绝对关闭的阀以确保在预热 过程中不会有错误的流量通过。
1.4 概述
气体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。
北京七星华创电子 D08-2B、D08-3B、D08-4B 型 流量显示仪 说明书
D08-2B、D08-3B、D08-4B型流量显示仪使 用 手 册版号2 0 0 9 . 07目录1 用途和特点............................... 1 5.3 外控信号插座接线 (5)2 主要技术数据............................ 1 6 操作方法 (8)3 前后操作面板............................ 2 6.1 使用前的准备工作 (8)4 结构说明.................................. 3 6.1.1 显示仪各控制钮的状态 (8)4.1 ±15V电源............................... 3 6.1.2 电源线的连接 (8)4.2 +5.00V基准电源........................ 3 6.1.3 控制线的连接 (8)4.3 显示器..................................... 3 6.2 操作使用步骤. (8)4.4 阀控开关.................................. 3 6.2.1 开机 (8)4.5 调零电位器............................... 4 6.2.2 MFC（或MFM）调零 (8)4.6 设定电位器............................... 4 6.2.3 阀控开关置位 (8)4.7 电源开关.................................. 4 6.2.4 设定流量 (8)4.8 电源插座.................................. 4 6.2.5 关机 (8)4.9 保险丝盒.................................. 4 7 参数设置和更改 (9)4.10 内外设转换开关......................... 4 8 注意事项. (9)4.11 控制器信号插座........................... 4 8.1 禁止调整内部电位器 (9)4.12 外控信号插座............................ 5 8.2 接地问题 (9)4.13 铭牌........................................ 5 8.3 产品替换注意 (9)5 安装和接线............................... 5 9 选型与订货规格填写 (10)5.1 外形和安装尺寸......................... 5 9.1 显示仪选型表 (10)5.2 与MFC（或MFM）插座接线......... 5 9.2 标准订单填写格式.. (11)D08 SERIES FLOW READOUT BOXES第 1 页 共 11 页D08-2B 、D08-3B 、D08-4B 型流量显示仪使用手册1. 用途和特点流量显示仪用于为气体质量流量控制器（MFC ）和质量流量计（MFM ）提供工作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。
海尔电子H17075液氧流量计操作指南说明书
56Scaling With Known Loads (Continued)6.Press MENU to store I N!1. The unit displays:7.Press ᮣ/TARE. The unit displays the last setting for R D!1.8.Change R D!1as necessary:•Press ᮣ/TARE to scroll to the digit(s) you want to change(it flashes on the display).•Press ᮡ/MAX to change the value of the flashing digit. Valuescan range from 0 to 9. For the first digit, you can also enter aminus sign (–) or –1.9.Press MENU to store the value shown for R D!1.The unit displays:To identify the maximum known load (I N!2and R D!2):1.Apply the maximum known load (100%).2.Repeat steps 4–9 above, for I N!2and R D!2.Once you've completed all steps, the unit displays:To begin operation:Reinitialize the unit (press RESET twice orpress MENU until RST flashes on the display).When a numeric reading appears, the unit isoperational.Scaling Without Known LoadsFor 4-20 mA sensors, the values for the minimum and maximuminput loads are always as follows:•Minimum load (I N!1)— 2000•Maximum load (I N!2)— 9999.If your installation uses a different sensor type, you must calculatethe values for I N!1and I N!2before proceeding with the stepsbelow. Use the formula provided in the Operator's Manual.To define the minimum load (I N!1and R D!1):1.If it's not already shown, press MENU untilthe unit displays:2.Press ᮣ/TARE. The unit displays:It is the policy of OMEGA to comply with all worldwide safety and EMC/EMI regulations that apply.OMEGA is constantly pursuing certification of its products to the European New Approach Directives.OMEGA will add the CE mark to every appropriate device upon certification.The information contained in this document is believed to be correct, but OMEGA Engineering,Inc.accepts no liability for any errors it contains, and reserves the right to alter specifications withoutnotice.WARRANTY/DISCLAIMEROMEGA ENGINEERING, INC. warrants this unit to be free of defectsin materials and workmanship for a period of 61 months fromdate of purchase. OMEGA’s WARRANTY adds an additional one (1)month grace period to the normal five (5) year product warrantyto cover handling and shipping time. T his ensures that OMEGA’scustomers receive maximum coverage on each product.If the unit malfunctions, it must be returned to the factory for evalua-tion. OMEGA’s Customer Service Department will issue an AuthorizedReturn (AR) number immediately upon phone or written request.Upon examination by OMEGA, if the unit is found to be defective, itwill be repaired or replaced at no charge. OMEGA’s WARRANTY doesnot apply to defects resulting from any action of the purchaser, includ-ing but not limited to mishandling, improper interfacing, operationoutside of design limits, improper repair, or unauthorized modifica-tion. This WARRANTY is VOID if the unit shows evidence of havingbeen tampered with or shows evidence of having been damaged as aresult of excessive corrosion; or current, heat, moisture or vibration;improper specification; misapplication; misuse or other operatingconditions outside of OMEGA’s control. Components in which wearis not warranted, include but are not limited to contact points, fuses,and triacs.OMEGA is pleased to offer suggestions on the use of its vari-ous products. However, OMEGA neither assumes responsibil-ity for any omissions or errors nor assumes liability for anydamages that result from the use if its products in accordancewith information provided by OMEGA, either verbal or writ-ten. OMEGA warrants only that the parts manufactured bythe company will be as specified and free of defects. OMEGAMAKES NO OTHER WARRANTIES OR REPRESENTATIONS OFANY KIND WHATSOEVER, EXPRESSED OR IMPLIED, EXCEPTTHAT OF TITLE, AND ALL IMPLIED WARRANTIES INCLUDINGANY WARRANTY OF MERCHANTABILITY AND FITNESSFOR A PARTICULAR PURPOSE ARE HEREBY DISCLAIMED.LIMITATION OF LIABILITY: The remedies of purchaser setforth herein are exclusive, and the total liability of OMEGAwith respect to this order, whether based on contract, warran-ty, negligence, indemnification, strict liability or otherwise,shall not exceed the purchase price of the component uponwhich liability is based. In no event shall OMEGA be liable forconsequential, incidental or special damages.CONDITIONS: Equipment sold by OMEGA is not intended to be used,nor shall it be used: (1) as a “Basic Component” under 10 CFR 21 (NRC),used in or with any nuclear installation or activity; or (2) in medical appli-cations or used on humans. Should any Product(s) be used in or withany nuclear installation or activity, medical application, used on humans,or misused in any way, OMEGA assumes no responsibility as set forthin our basic WARRANT Y/DISCLAIMER language, and, additionally,purchaser will indemnify OMEGA and hold OMEGA harmless from anyliability or damage whatsoever arising out of the use of the Product(s)in such a manner.RETURN REQUESTS/INQUIRIESDirect all warranty and repair requests/inquiries to the OMEGACustomer Service Department. BEFORE RE URNING ANYPRODUC(S) O OMEGA, PURCHASER MUS OB AIN ANAUTHORIZED RETURN (AR) NUMBER FROM OMEGA’S CUSTOMERSERVICE DEPART MENT (IN ORDER T O AVOID PROCESSINGDELAYS). T he assigned AR number should then be marked on theoutside of the return package and on any correspondence.FOR WARRANTY RETURNS,please have the followinginformation available BEFOREcontacting OMEGA:1. Purchase Order numberunder which the productwas PURCHASED,2.3.Model and serial number of theproduct under warranty, andRepair instructions and/orspecific problems relativeto the product.FOR NON-WARRANTY REPAIRS,consult OMEGA for current repaircharges. Have the followinginformation available BEFOREcontacting OMEGA:1.P urchase Order number to coverthe COST of the repair orcalibration,2.3.Model and serial number of theproduct, andR epair instructions and/or specificproblems relative to the product.OMEGA’s policy is to make running changes, not model changes,whenever an improvement is possible. This affords our customersthe latest in technology and engineering.OMEGA is a trademark of OMEGA ENGINEERING, INC.© Copyright 2018 OMEGA ENGINEERING, INC. All rights reserved.T his document may not be copied, photocopied, reproduced,translated, or reduced to any electronic medium or machine-readableform, in whole or in part, without the prior written consent of OMEGAENGINEERING, INC.MQS3597/0918DP25B-EProcess Panel Meter***********************The information contained in this document is believed to be correct, butOMEGA accepts no liability for any errors it contains, and reserves the right toalter specifications without notice.Servicing North America:U.S.A. Omega Engineering, Inc.Headquarters: Toll-Free: 1-800-826-6342 (USA & Canada only)Customer Service: 1-800-622-2378 (USA & Canada only)Engineering Service: 1-800-872-9436 (USA & Canada only)Tel: (203) 359-1660 Fax: (203) 359-7700e-mail:**************For Other Locations Visit /worldwideFor complete product manual:/manuals/manualpdf/M3597.pdfUsing This Quick Start ManualUse this Quick Start Manual to set up your Process Meter and begin operation. Information is provided on how to:•Connect ac power •Set basic options for operation Connect the sensor •Scale the meter.Features with are for the “B” version which has three-colorthe “B” version.This Quick Start Manual includes specific configurationparameters for transducers with an output range of 4–20 mA and 24 V excitation. Other sensor types may require different parameters or additional ones. When this is the case, we refer you to the Operator's Manual for detailed instructions.1.Remove the panel at the back of the unit.2.Locate the TB1 connector.3.Insert the correct wire in each terminal as shown in the following figure and tighten the lockdown screws.4.Tug gently on the wires to verify the connections.External Fuse Required:Time-delay, UL 248-14 listed Time-lag, IEC 127-3 recognized175 mA (115 Vac line)125 mA (115 Vac line)80 mA (230 Vac line)63 mA (230 Vac line)AC Powered Unit Connections234To Set the Input Type1.Press MENU until the unit displays:2.Press ᮣ/TARE . The unit displays:3.For this application you want 0-20. If 0-20is not displayed,press ᮡ/MAX until it appears. Other choices are 100M , 50M ,10V and 5V .Refer to the Operator's Manual for more information on changing ranges.4.Press MENU to select the sensor shown. The meter displays the next menu item. If you changed input type, the meter displays:To Set the Decimal Point1.If it's not already shown, press MENU until the unit displays:2.Press ᮣ/TARE . The unit displays:。
DO7传感器操作手册说明书
DO7传感器操作手册Ver17.05目录1.综述 (2)1.1原理介绍 (2)1.2优势 (2)1.3应用： (2)1.4测量的影响因素 (2)2.技术规格 (3)3.认证 (4)4尺寸和接线图 (4)4.1尺寸图 (4)4.2接线图 (4)5.安装 (5)5.1安装位置要求 (5)5.2浸没式安装 (5)6维护 (6)6.1概述 (6)6.2膜帽更换 (6)7.故障排除 (7)1.综述1.1原理介绍DO7基于“荧光淬灭”原理来测量水中氧的含量。
暴露在测量介质中的探头荧光指示部分是一种特殊的铂卟啉复合物，将该物质嵌入具有气体透过性的金属薄片中。
外表涂覆一层黑色涂层来保护该复合物远离阳光和介质中的颗粒物。
这种敏感性金属薄片通过螺纹固定板推向蓝宝石窗口。
调制的绿色光源激发敏感盘片产生荧光，返回的红光与激发光源有一定相位差。
荧光的持续时间，强度依赖于环境中的氧含量。
氧气含量越少，响应时间和强度约大。
反过来，较高的氧含量会猝熄荧光，使响应时间和强度变得比较小。
DO7传感器利用相位差值来计算测量介质中的氧含量。
测量信号通过传感器进行连续的检测和分析，在计算中，水温和压力被包含进去。
数字化通讯在传感器和变送器之间提供无故障的通讯，这可以避免在现场常见的电磁噪声干扰。
1.2优势(1)光学技术：DO7使用ASTM D-888-5国际通用冷光源技术，不需要频繁校正且功耗很低。
传感器满足绝大多数的现场使用要求。
测量过程中不消耗氧气，可以精确测量。
特别适合低氧量使用。
(2)数字技术：智能化的DO7将校正和历史数据存储在传感器中，允许用户不用校正就可以即插即用。
由于使用通用的RS485MODBUS协议，此传感器可以与多种通用设备连接。
如数据记录仪，GDC通用变送器，远程系统等。
1.3应用：DO7设计用于连续测量水中的溶解氧，典型应用包括：曝气池氧气的测量和控制污水厂排放中氧含量的监测公共水源地氧含量的测量和控制鱼塘氧含量的测量和控制饮用水的氧含量测量和控制传感器适用于大部分的水质测量。
智能涡街流量计使用说明书(三线制)
智能涡街流量计使用说明书目录一，产品概述二，测量原理三，结构与技术参数四，流量计的选型五，流量计的安装六，流量计的电气连接七，故障排除与日常维护一、 产品概述1． 概述涡街流量仪表是根据卡门涡街理论，利用了流体的自然振动原理，以压电晶体或差动电容作为检测部件而制成的一种速度式流量仪表。
该仪表具有无可动部件、测量范围度大、介质适应性广、测量精度高、检定周期长、传输信号距离远、压力损失小、结构简单、运行可靠、使用寿命长、安装维护方便等许多显著优点。
可广泛应用于石油化工、治金机械、食品、造纸，以及城市管道供热、供水、煤气等行业的各种液体、气体、蒸气等单相流体的工艺计量和节能管理。
2． 产品特点● 采用抗机械震动，抗冲击和抗脏污的结构新设计。
● 采用最先进的集成电路，信号处理精度高，高抗干扰性，可靠性高。
● 可选用加宽量程型号，获得优越的小流量性能和扩宽的流量范围。
● 可选用电容式流量计，抗震性能好，最高测量温度达到400 ℃。
二、 测量原理涡街流量计是由设计在流场中的旋涡发生体、检测探头及相关的电子线路等组成。
当液体流经三角柱形旋涡发生体时，它的两侧就成了交替变化的两排旋涡，这种旋涡被称为卡门涡街（图1）,在此基础上得出了频率与流体的流速的关系： F= St ×V/d式中：f ————————————涡街发生频率（Hz ）V ————————旋涡发生体两测的平均流速（m/s ）St-----------------------斯特罗哈尔系数（常数）这些交替变化的旋涡就形成了一系列替变化的负压力，该压力作用在检测深头上，便产生一系列交变电信号，经过前置放大器转换、整形、放大处理后，输出与旋涡同步成正比的脉冲频率信号（或标准信号）旋涡发生体探头交变力图1三、 结构与技术参数1． 流量计的结构形式流量计是由表体与检测放大器及连接这两部分的连接杆组成，表体及其组成部件和连接杆均由1Cr18Ni9Ti 不锈钢材质制成，具有防腐耐用之优点；仪表根据安装方式不同分三种结构形式，分别是满管式、简易插入式、球阀插入式，结构形式如下图所示：图2 结构示意图2．流量计的外形尺寸流量计表体屏蔽罩检测放大器连接导线图33、流量计的技术参数●测量介质：液体、气体、蒸汽●测量范围：（见表2）●公称通径：（见表2）非标产品可根据用户要求特殊定做●温度范围：压力式 -40℃~350℃电容式 -60℃~400℃●压力规格：PN1.6Mpa; PN2.5Mpa; PN4.0Mpa,更高的压力规格可特殊定做●范围度:正常范围1:10 扩展范围1:15●测量精度: 液体、气体示值±1%蒸汽示值±1.5%插入式流量计示值±2.5%参数公称通径（mm）H L15 290 6520 290 6525 290 6532 290 7040 293 7550 299 7565 307 7580 315 90100 325 90125 338 100150 351 120200 376 150250 400 160300 425 160●供电: 24VDC，6.14v锂电池●输出信号: 脉冲信号 4~20mA电流信号●充许振动加速度:电压式≤0.2g 电容式≤1.0g●环境温度: -40℃~55℃(非防爆场所) -20℃~55℃(防爆场所) ●环境湿度:相对湿度5~85%●大气压力:86~106Kpa●信号远传距离: ≤500m●信号线接口:内螺纹M20×1.5●防爆等级(ia)ⅡCT2-T5●防护等级：数量级IP65 潜水型IP68仪表材质：仪表外壳采用铝合金，表体部分采用1Cr18Ni9Ti不锈钢结构形式通径（mm）工况流量范围（m3/h）液体气体蒸汽满管式25 0．9-10 10-100 12-120 40 2．5-26 25-250 30-300 50 3．5-38 40-400 50-500 65 5．2-65 68-680 85-850 80 8-100 100-100 120-1200 100 12-150 160-1600 190-1900 125 20-250 230-2300 280-2800 150 32-380 380-3800 440-4400 200 50-620 670-6700 790-7900 250 80-1150 1060-10600 1200-12000 300 120-1300 1540-15400 1780-17800插入式400 180-2700 2700-27000 3200-32000 500 280-4200 4240-42400 4950-49500 600 410-6100 6100-61000 7100-71000 800 720-10800 10850-108500 12660-126600 1000 1130-16900 17000-170000 20000-200000 1200 1630-24400 24400-244000 28500-285000 1500 2550-38000 38200-382000 44500-445000四、流量计的选型1、选型表LUGB（E）□□-□-□□-□压电式/电容式涡街流量计型谱安装方式2 法兰卡装式3 简易插入式直径≥250mm可做插入式流量计4 球阀插入式被测介质2 液体3 气体4 蒸气（250℃以下）5 高温（350℃以下）高压蒸汽6 特高温（400℃以下）蒸汽（电容式）公称通径（mm）-02 25 -04 40 -05 50 -06 65 -08 80 -10 100 -12 125 -15 150 -20 200 -25 250 -30 300 -40 400 ：：-150 1500介质压力1．6Mpa-2 2．5Mpa-4 4．0Mpa以上输出信号脉冲频率信号D 4-20mADC标准信号特殊规格-F 分体式-B 本安防爆型-N 耐腐蚀型-Q 潜水型-X 现场显示型型谱举例：125口径压电式法兰卡装型涡街流量变送器，测量介质蒸汽，温度220度，压力0.8Mpa,仪表型号为LUGB24-12-D2、选型的方法仪表的选型是仪表应用中非常重要的工作，选型的正确与否直接影响仪表的计量精度。
《流量计说明书》word版
一、概述1、简介冲板式散状固体流量计（以下简称冲板流量计）由测量部分（一次表），显示输出部分（二次表）以及连接壳体组成。
它经常与螺旋给料机、叶轮给料机、斗式提升机、传送带等配合使用。
2、测量原则物料下落到检测板上产生水平分力，此水平分力作用于冲板流量计一次表内部的测力传感器使之产生电信号并传送给二次表，由二次表显示并输出与之对应的瞬时流量。
二、主要配置——冲板流量计一次表（含测量本体，传感器，检测板）一台——冲板流量计连接壳体——冲板流量计显示表一台三、技术规格一次表防尘：自身结构防尘耐电压：端子与箱体之间1分钟1000VAC。
绝缘：500VDC,100M以上。
涂饰：银色。
材质：一次表主体用铝铸件。
传感器：测力传感器适用温度: -10℃—+50℃安全载荷: 150%接线说明: 红15VDC或12VDC+ 黑—;输出绿0~20mVDC+ 白—（颜色以实际发货说明为准）四、操作（一）、安装使用注意事项1、模拟输入与输出信号对电子噪声敏感，请将这些线远离交流电源，并尽量缩短屏蔽电缆的长度，如现场有干扰，请将屏蔽电缆的屏蔽线良好接地。
2、冲板流量计测量的数据受以下三个因素影响：冲击角、检测板水平安装角度和物料自由下落高度。
所以当技术人员协助安装调试后不要轻易改动以上因素。
（二）校准1、初次使用（1）整流壳体和流路对接之后，将冲板流量计安装在整流壳体的基座上，将密封橡胶的法兰和地脚螺栓紧固，进行简单的水平调节。
（2）打开整流壳体门，先将轴插入轴套内，将轴套内的紧固顶丝紧固。
（3）将冲击板通过瓦座穿在轴上，将冲击板调整到合适的角度后（对地角度：60-90度），将冲击板固定在轴上。
（4）将阻尼油注入阻尼器，使阻尼器中充满油且无气泡。
填充阻尼油检查阻尼器中有无气泡（5）传感器输出红、黑端电源10-15VDC；绿、白端输入0~20mVDC。
（6）接线图：（以实际发货为准）绿传感器输出白-红传感器供电黑-现场变送器（7）标定冲板流量计现场校正主要采用实物校正的形式。
旋进旋涡流量计操作说明书
旋进旋涡流量计使用说明目录一、概述二、结构与工作原理三、主要技术参数与功能四、选性与安装五、使用方法六、接线七、故障现象及排除方法八、包装、运输及贮存九、开箱及检查附录（一）天然气真实相对密度Gr的确定附录（二）天然气物理性质表智能旋进旋涡流量计一、概述智能旋进旋涡流量计是我公司开发研制的具有国内领先水平的新型气体流量仪表。
该流量计集流量、温度、压力检测功能于一体，并能进行温度、压力、压缩因子自动补偿，是石油、化工、电力、冶金等行业用于气体计量的理想仪表。
1.1产品主要特点●无机械可动部件，不易腐蚀，稳定可靠，寿命长，长期运行无须特殊维护；●采用16位电脑芯片，集成度高，体积小，性能好，整机功能强；●智能型流量计集流量探头、微处理器、压力、温度传感器于一体, 采取内置式组合,使结构更加紧凑，可直接测量流体的流量、压力和温度，并自动实时跟踪补偿和压缩因子修正；●采用双检测技术可有效地提高检测信号强度，并抑制由管线振动引起的干扰；●采用国内领先的智能抗震技术，有效的抑制了震动和压力波动造成的干扰信号；●采用汉字点阵显示屏，显示位数多，读数直观方便，可直接显示工作状态下的体积流量、标准状态下的体积流量、总量，以及介质压力、温度等参数；●采用EEPROM技术，参数设置方便，可永久保存，并可保存最长达一年的历史数据；●转换器可输出频率脉冲、4～20mA模拟信号，并具有RS485接口，可直接与微机联网，传输距离可达1.2km；●多物理量参数报警输出，可由用户任选其中之一；●流量计表头可360度旋转，安装使用简单方便；●配合本公司的FM型数据采集器，可通过因特网或者电话网络进行远程数据传输●压力、温度信号为传感器输入方式，互换性强；●整机功耗低，可用内电池供电，也可外接电源。
1.2主要用途智能旋进旋涡流量计可广泛应用于石油、化工、电力、冶金、城市供气等行业测量各种气体流量，是目前油田和城市天然气输配计量和贸易计量的首选产品。
七星电子流量计 D08-2F-3F-4F 使用手册
比显示，它与任何规格的 MFC（或 MFM）配合使用时，满量程均显示“100.0%”。各通道 显示的数值、小数点可通过改变设置和适当调整而满足使用的不同要求。
4.4 阀控开关 阀控开关用于改变 MFC 的调节阀的工作状态。MFC 正常工作时，该钮子开关置于“阀
控”位；需要通气吹洗气路时，置于“清洗”位，此时阀完全打开；MFC 不用时，应将该 开关置于“关闭”位。此项功能通常只对我公司生产的 D07 系列 MFC 有效，如果不使用我 公司产品，不要对相关引脚（控制线中的“阀控”脚）接线。
显示器用来显示流量，采用三位半数字面板表直读，最大显示数为 1999。流量显示的 单位有“SCCM”、“SLM”、“%”三种。通常，流量显示仪与 MFC（或 MFM）配套出 厂时，将显示器显示的量值和单位与其对应的 MFC（或 MFM）通道的量值和单位调整成一 致。如果用户订货时没有注明 MFC（或 MFM）的流量规格，则出厂调整为按满量程的百分
7 流量检测Ⅰ
8 流量检测Ⅱ
9 流量检测Ⅲ
10 流量检测Ⅳ
11
阀控Ⅰ
12
阀控Ⅱ
13
阀控Ⅲ
14
阀控Ⅳ
15
第 7 页 共 12 页
表 3 中各信号说明如下： a. 外设Ⅰ～Ⅳ分别对应 MFC1～4 路 MFC 的外设输入。设定时从“外设”
与“信号地”之间引入设定信号即可。如果用户外接电位器设定，可以 用一个 3.3K 左右的多圈电位器，将两端连接到此插座的“+5.00V”和 “信号地”上，将中间抽头接到“外设”上即可。也可直接与计算机的 数模转换器连接，实现自动控制。注意：流量设定的输入阻抗大于 10KΩ。 b. 流量检测Ⅰ～Ⅳ分别输出各路 MFC（或 MFM）的流量检测信号，该信 号为 0～+5V 电压信号。 c. 阀控Ⅰ～Ⅳ仅对我公司生产的 MFC 适用。当阀控线接+15V 时，阀门关 闭；当阀控线接-15V 时，阀门开到最大，处于清洗状态；当阀控线悬 空时，阀门处于自动控制状态。注意：如果用户要使用外部（计算机控 制）的阀控线功能时, 需要将显示仪前面板上的“阀控”开关置于中间 的“阀控”位。
七星电子流量计 D07-60B中文使用手册
D07 – 60B/60BM 型质量流量控制器/流量计使 用 手 册2013 .6目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (16)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (16)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (16)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (16)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (17)4. 安装和接线 ...........................4 6.5 安装位置问题 (17)4.1 外形及安装尺寸........................4 6.6 注意工作压差 (17)4.2 气路接头形式...........................9 6.7 标定和不同气体的换算 (17)4.3 连接电缆插头...........................10 6.8 D07-60B、60BM标准订单填写格式 (18)4.4 与计算机信号的连接..................117. 故障判断和处理 (21)4.5 调零和外调零...........................138. 保证、保修与服务 (23)5. 使用方法和操作步骤..................148.1 产品保证和保修.. (23)5.1 质量流量控制器的操作...............148.2 保修对使用的要求.. (23)5.1.1 开机操作..............................148.3 服务.. (23)5.1.2 清洗功能..............................159. 附录.. (25)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......159.1 气体质量流量转换系数 (25)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........159.2 转换系数使用说明 (27)5.1.5 阀控功能 (15)5.1.6 关机操作 (15)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共27页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计使用说明书
仪表通径
测量围(Kg/h)
工作压力(MPa)
连接形式(mm)
-1-A
3
4～40
0～32
焊接式活接头 Φ6×1.5
-1-B
6
10～100
0～25
焊接式活接头 Φ10×2
-2-A
8
20～200
0～20
焊接史活接头 Φ12×2
-2-B
10
40～400
0～25
焊接式活接头 Φ14×2
1.2.3中流量系列
390
230
320
372
415
100
0～4
20
380
230
320
360
400
100
0～25
大型流量传感器外形图
-5
-6-A -6-B-6-C-6-D
型号
DN （口径）
L
L1
H
H1
H2
W
-5
25
410
300
440
500
540
120
-6A
50
550
372
545
670
718
170
-6B
80
660
470
700
1.1工作原理 ：
当一个位于以P点为旋转中心做旋转运动的管子的质点做朝向或远离旋转中心的运动时，将产生一贯性力，原理如图1:
图1
图中质量为δm的质点以匀速v围绕一个固定点P并以角速度ω旋转的管道移动时，这个质点将获得两个加速度分量：
1.法向加速度αr（向心加速度），其量值值等于ω2r，方向朝向P点；
2.3送器的接线21
2.4仪表的通电和检查22
北京七星华创电子
D07系列质量流量控制器安装与接线 D07系列质量流量控制器安装与接线
1、为确保质量流量控制器计量精度，在用户 没有特殊要求情况下，我公司按水平方向 进行标定，也可根据用户需要进行垂直或 平趴标定，质量流量控制器应安装在无射 频源干扰、无振动的环境中。如果工作环 境有射频干扰，则需要采取必要的屏蔽措 施，干扰有传导和辐射两种。
D07系列质量流量计操作事项 D07系列质量流量计操作事项
1、质量流量控制器输出信号与流过通道的气体的 流量是成正比例的，在满量程时流量检测电压信 号是+5V，我公司生产的D07系列的质量流量控 号是+5V，我公司生产的D07系列的质量流量控 制器的量程比为50 制器的量程比为50 ：1，在量程比范围内，质量 流量控制器流量呈线性变化，低于或超出量程比， 流量是非线性的，甚至流量显示仪所显示的流量 是不准确的。其流量检测电压输出值可能达到 +10V，所以当质量流量控制器的阀控开关置于 +10V，所以当质量流量控制器的阀控开关置于 清洗位置时，显示流量不准确，而且可能出现流 量增大显示反而减小的异常现象。但是这种现象 不会对流量控制器本身造成损害。
+ 5 .0 0 V
流量显示仪
设定
(0 ~ + 5 .0 0 V )
1 0 0 .0
流量显示 电源 +15V 0V -15V 内
~220V
外
(0 ~ + 5 .0 0 V ) COM设Βιβλιοθήκη 定流量检测 0 电 平
out
se t
质量流量计
放大器
质量流量 控制器
+15V
关闭 驱动 阀控 清洗
比较器
I
传感器
-1 5 V
流量计操作说明书(用户新)
流量计操作说明书目录一、流量计转换器操作说明1、操作框图2、主界面3、各通道状态界面4、功能选择界面5、用户密码输入界面6、用户密码重输界面7、用户设置选择界面8、报警范围设置界面9、压缩因子参数设置界面10、时钟设置界面11、温压输入量程设置界面12、输出量程选择界面13、用户密码修改界面14、通讯及接口参数设置界面二、流量计转换器MODBUS通讯编程说明1、转换器串口通讯简要说明2、MODBUS 协议简介3、ASCII传输方式4、RTU传输方式5、地址域6、功能域7、数据域一、流量计转换器操作说明流量计转换器面板上共有：上（↑）、下（↓）、左（←）、右（→）、模式（M）和回车（ ）六个键，通过这六个键可以对流量计进行各种操作。
1、操作框图：说明：1、除主界面外，其它任何界面显示时，如在30秒内无按键操作，则程序自动取消该界面，返回至主界面。
2、7个用户设置界面中，选择界面中的确定或取消后返回至上一级的用户设置选择界面，并且7个用户设置界面之间可以用←、→键相互切换。
3、用户设置选择界面通过按模式(M)键返回至功能选择界面。
4、功能选择界面通过按模式(M)键返回至主界面。
2、主界面：（1）主界面中，使用率表示多次采样中数据被正确采用的比例。
（2）主界面状态下，按←、→键可以在主界面和各通道状态界面之间切换。
（3）当瞬时流量、压力或温度的测量值超出设定范围时即报警（相应的汉字字符显示颜色反转）。
如压力超出范围时，界面中对应的“压力”两字显示颜色反转，如下图：（4）当压缩因子参数设置错误（即各组分摩尔百分比含量的累加值≠100%）时即报警，此时，主界面中对应的“累计量”三字显示颜色反转。
（5）当流量计测量的是工况流量时，瞬时流量显示的单位为m3/h，否则，当流量计测量的是换算至标准状态下的标况流量时，瞬时流量的显示单位为Nm3/h。
（6）按M键，出现功能选择界面。
3、各通道状态界面：（1）按←、→键可以在各通道状态界面和主界面之间切换。
杭州米科 涡街流量计使用说明书
User's Manual杭州米科传感技术有限公司更多资讯请扫二维码服务电话：400-163-1718杭州米科传感技术有限公司涡街流量计使用说明书U-MIK-LUGB-YHCN6第6版前言●感谢您购买本公司产品。
●本手册是关于产品的各项功能、接线方法、设置方法、操作方法、故障处理方法等的说明书。
●在操作之前请仔细阅读本手册，正确使用本产品，避免由于错误操作造成不必要的损失。
●在您阅读完后，请妥善保管在便于随时取阅的地方，以便操作时参照。
注意●本手册内容如因功能升级等有修改时，恕不通知。
●本手册内容我们力求正确无误，如果您发现有误，请与我们联系。
●本手册内容严禁转载、复制。
●本产品禁止使用在防爆场合。
版本U-MIK-LUGB-YHCN6第六版2020年12月I确认包装内容打开包装箱后，开始操作之前请先确认包装内容。
如发现型号和数量有误或者外观上有物理损坏时，请与本公司联系。
产品清单产品包装内容II目录第一章产品概述 (1)1.1产品简介 (1)1.2工作原理 (1)1.3技术参数 (2)1.4功能与特点 (5)第二章外形结构尺寸与安装 (7)2.1外形结构与尺寸 (7)2.2安装指南 (8)2.3接线及调试 (10)第三章可测工况流量范围 (12)第四章界面显示 (15)第五章菜单设置 (18)5.1各键功能 (18)5.2主菜单 (18)5.3参数设置菜单 (18)第六章输出形式的设置方法（仅E3使用） (25)第七章线性修正系数的设置方法 (26)第八章维护与检修 (28)8.1故障及排除 (28)第九章质保及售后服务 (29)第十章通讯协议 (30)10.1相关参数 (30)10.2数据格式 (30)10.3数据地址 (30)III10.4特殊传输数据 (31)附录1放大器线路连接图 (32)附录2仪表标定方法 (34)附录3基本公式 (35)IV第一章产品概述-1-第一章产品概述1.1产品简介涡街流量计是一种应用卡门涡街原理的流量计，用于测量液体、气体和蒸汽的流量，也可测量含有微小颗粒、杂质的浑浊液体，广泛应用于石油、化工、制药、造纸、冶金、电力、环保、食品等行业。
七星华创-质量流量计-D07-11C
D07-11C 型质量流量控制器
特 点: ★高耐压性 ★橡胶密封、模拟电路的 MFC ★采用 DB15 型电插头，国际标准机械接头 ★CE 认证，国际兼容 用 途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。 标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度………………0℃（273.15K） 标准压强………………101325Pa 输入和输出: 输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA 输入设定电压…………0～+5.00V 输出电压检测…………0～+5V 技术性能指标:
外形和安装尺寸
外形和安装尺寸
线性
电信号插座接线图
工作温度范围 工作压差 耐压 漏气率 通道湿材料 静密封材料 动密封材料 接头选择 重量 ≤10SLM ＞10SLM
设定(0~+5V) 阀电压
-15V +15V
8 7 6 5 4 3 2 1
15 14 13 12 11 10 9
地 阀控 阀控 公共地 电源地
满量程流量范围（N2） 控制范围 阀类型（及阀初始状态） 准确度 ≤10SLM ＞10SLM ≤10SLM ＞10SLM 重复精度 响应时间 气特性 电特性 5SCCM～30SLM 2～100％F.S. 电磁调节阀（常闭） ±1％F.S. ±2％F.S. ±0.5～1％F.S. ±2％F.S. ±0.2％F.S. 1～4sec 12sec 5～45℃ 0.2～0.8MPa 0.2～0.6MPa 10MPa 1×10-9SCCSHe 316L 不锈钢、密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
流量计安装、运行与维护手册说明书
Flow Meters Installation,Operation & Maintenance Manual1.End Porting 8.Flowing Sharp-Edged Orifice Disk 2.Body Casing 9.Tapered Center Shaft 3.Magnet Follower 10.Transfer Magnet 4.Window Tube 11.Scale 5.Window Seal 12.Return Spring 6.Seal Assembly 13.Retainer Ring7.Pilot Disk * Cartridge contains: 7, 8, 9, 10, 12 & 13Reading the MeterNotice the black reference line which runs 360° around the white12111087913654321F l o w D i r ec t i o n F l o w D i r ec t i o n FLOW METER(CROSS SECTION)Illustration 1Measuring ranges cover 1.5-12 SCFM through 150-1300 SCFM.Twenty-four port sizes from 1/8" through 2" in NPT, SAE and BSP can be ordered to meet specific plumbing requirements. Lake’s pneumatic meters are also available in alarm and transmitter configurations for electronic monitoring applications.Standard Cubic FeetLake’s meter are calibrated to measure theflow of compressible media (gases) in SCFM– standard cubic feet per minute. A “standard”cubic foot is defined as a cubic foot of dry airat standard atmospheric conditions: 70ºF and14.7 PSIA (0 PSIG) measured at sea level.When a standard cubic foot of air is com-pressed, its actual volume will decrease pro-portionally as absolute pressure increases.For example, a standard cubic foot of air’sactual volume will decrease by 50% and den-sity will increase by 100% as the air is com-pressed from atmospheric pressure 14.7 PSIA(0 PSIG) to 29.4 PSIA (14.7 PSIG). SeeIllustration 2.There are three factors that affect the FlowMeter Calibration: specific gravity, pressureand temperature. Lake meters are calibratedfor air (specific gravity of 1.0) at 70ºF and 100PSIG. Most low pressure rotameters are cali-brated at 0 PSIG and require corrections foruse at any other ke products are designed for pneumaticsystems where pressures between 90 -110PSIG are used. In these common applica-tions, a Lake monitor with a standard calibration can be read directly without applying corrections.29.4 PSIA (14.7 PSIG)58.8 PSIA (44.1 PSIG)Illustration 2Correction FactorsIf a Lake meter is installed in a system where conditions differ from the standard listed above, correction factors will need to be applied to retain the design accuracy of the meter. The appropriate correction factor equations are detailed above. To assure the best monitoring accuracy, pressure and temperature measurements should be taken directly at the meter’s inlet port.Special ScalesSpecial calibrations can be performed by Lake Monitors to correct for the following system characteristics:system pressuresystem temperaturemedia specific gravityvarious measuring units (i.e. LPM, LPS, m3/hr, etc.)any combination of the aboveConsult Lake’s factory or your distributor for details and prices.Selecting the Proper MeterTo order a pneumatic flow meter the following information is required: pipe size and port stylemedia (air, nitrogen, argon,etc.) – for material compatibility and specific gravity considerationsapproximate flow range required1system pressure: nominal, maximum, minimumsystem temperatureFlow Range1Estimating the flow rate in a compressed gas system may seem complicated, but with some research and a few simple equationsan educated guess can be made.Two suggested methods are:Method 1A compressor is typically rated in SCFM output at a certain pressure and efficiency. If the rating cannot be located or is unknown, an esti-mate of compressor output can be obtained by the following formulas:1-stage compressors:motor HP/0.179 = SCFM @ 100 PSIG2-stage compressors:motor HP/0.164 = SCFM @ 100 PSIG3-stage compressors:motor HP/0.159 = SCFM @ 100 PSIGMethod 2If all of the potential of a compressor is not being used (the unit cycles on and off) or if flow rate in excess of compressor capacity is being consumed (the compressor cannot meet the demand), a sum-mation of machine usages can be totaled to determine the maximum flow rate. Most machine tools that use compressed air specify the maximum consumption of the tool.Illustration 3end porting when securing the meter in the vice.wrench or tighten vice on Lexan tube. Install a wrench across the flats of the outlet end porting and turn counterclockwise to loosen assembly. Do not remove end portingRemove meter from vice. Hold the meter so the end port that is loose, is on top. Remove loose end porting.Illustration 4 not slide out, insert a wooden dowel in opposite end of meter and push or lightly tap on dowel until cartridge comes loose.Illustration 5Illustration 6Illustration 7Always use new retainer clips for reassembly. 3/8" and 1/2" = Waldes No. 5105-12H. 3/4 and 1" and 1-1/4" and 1-1/2" = Waldes No. 5105-18H, or obtain at no charge from the factory.。
水流量计使用说明(中文)
水流量计使用说明操作说明（参见图表1）z接通水流量计的电源开关。
z使用和设定所需的水量。
设定数值将会显示在显示屏上（1）。
有3种方式可调节数值大小。
1.逐步的调节：按一下和2.连续的调节：持续按和3.快速的调节：持续按和3秒钟z按START键（3）z按STOP/C（5）键可以随时停止进水。
进水量将在（11）上显示。
按START键可继续进水。
按STOP/C键，原有设定的数值将会再次在显示屏上显示。
再一次按STOP/C键可清楚存储的数据。
z通过旋转温度调节扭（7）可以选择水温：温度将在电子温度计上显示（2）。
当使用旋转扭调节水温时请适当停顿一些时间这样可以使温度较稳定。
z最终的水流量数据将会被保存在流量计内，如果再一次需要相同的流量只要按START键即可。
断开电源后所存记忆将消失；当接通电源后按START键即可重新设置流量。
z为了确保设备运行正常，温水温度必须比要求的水温高，至少为10℃，冷水温度要求低于5℃。
低温（低于10℃-15℃）只有在使用冷藏设备时才适用。
设备维护说明z为了确保内部配件能长期有效的运行，请经常清洁过滤器（9）特别是那些水质较硬的地区。
此外，请同样经常清洁出水管过滤器（如果有另外装配该装置）。
z请使用海绵、清水或柔和的清洁剂清洁设备表面。
水流量计配件表（参见图表2）配件编号 编号 名称230V 50Hz 110V 60Hz1 设备界面 44012012 电子板 3811532 38115333 单向1/2＂阀门 44003024 混合单元 38013085 温度调节装置探头 44003526 旋转钮 44005047 过滤器1/2＂ 44003118 计流量器 38010089 探头 381252310 电磁阀 3801140 380114111 电磁阀线圈 4400405 440040612 电磁阀内部连接装置 440045113 直径为16mm出水软管 3801209。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
北京七星华创电子股份有限公司
第 1 页 共 30 页
1.2 使Leabharlann 须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
1.3 安全注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担。
a）请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或 维修的时候必须保证安全标签完好无损。
≤ 1sec
≤ 0.8sec
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM
＜0.02 MPa
零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM
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D07 – 60B/60BM 型质量流量控制器/流量计使 用 手 册2013 .6目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (16)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (16)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (16)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (16)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (17)4. 安装和接线 ...........................4 6.5 安装位置问题 (17)4.1 外形及安装尺寸........................4 6.6 注意工作压差 (17)4.2 气路接头形式...........................9 6.7 标定和不同气体的换算 (17)4.3 连接电缆插头...........................10 6.8 D07-60B、60BM标准订单填写格式 (18)4.4 与计算机信号的连接..................117. 故障判断和处理 (21)4.5 调零和外调零...........................138. 保证、保修与服务 (23)5. 使用方法和操作步骤..................148.1 产品保证和保修.. (23)5.1 质量流量控制器的操作...............148.2 保修对使用的要求.. (23)5.1.1 开机操作..............................148.3 服务.. (23)5.1.2 清洗功能..............................159. 附录.. (25)5.1.3 显示仪与计算机连接的操作......159.1 气体质量流量转换系数 (25)5.1.4 直接与计算机连接的操作.........159.2 转换系数使用说明 (27)5.1.5 阀控功能 (15)5.1.6 关机操作 (15)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共27页质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD 、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07-60B 质量流量控制器一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图1所示)。
图 1. 质量流量计与流量显示仪配套使用第 2 页 共27页2. 主要技术指标： 表1. D07-60B 型MFC 性能指标编号 项 目 D07-60BD07-60BM1 流量规格 300，500，750，1000，1500，2000SLM2 准确度 ± 2% F.S3 线性 ±1% F.S4 重复精度 ±0.2%F.S5 响应时间 ＜ 10 sec6 工作压差范围(0.25 ~ 0.5) MPa （≤1000SLM ） (0.4 ~ 0.6) MPa （＞1000SLM ）＜0.2 MPa7 耐压3 MPa8 工作环境温度 5~ 45 ℃ 9 输入信号 0 ~ 5.00 V (输入阻抗大于 100K)无10 输出信号 0V ~ 5.00 V (输出电流≤3mA) 11 阀的类型 常闭 无12 电源 +15V 50 mA -15V 200 mA+15V 50 mA -15V 50 mA13 外形尺寸 见图3a 、3b 、3c 、3d14 重量6 kg5 kg注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 满量程值第 3 页 共27页3. 结构和工作原理3.1 结构D07-60B 质量流量控制器由流量传感器, 分流器通道、流量控制阀及进出气接头和控制电路板等部件组成。
D07-60BM 与D07-60B 相比无流量控制阀。
3.2工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与之配套的D08流量显示仪上设置有稳压电源, 3位半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
D07-60B 质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图2所示。
图2. 质量流量控制器原理第 4 页 共27页控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V 。
质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S （量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。
注意:当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。
在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V 以上，不过要注意，当流量超过满量程值（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。
控制操作一般在流量显示仪上进行。
当设定开关打到“内”设时, 由设定电位器控制流量; 当打到“外”设时, 由用户提供的设定信号控制流量。
在显示面板上还设置有三位阀门控制开关, 当置为“关闭”位时,阀门关闭; 当置为“清洗”位时,阀门开到最大,以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，质量流量控制器随设定信号自动控制流量。
4 安装和接线4.1 外形及安装尺寸:各型号产品的外形和安装尺寸如图3a 、3b 、3c 、3d 所示:第 5 页 共27页图 3a. D07-60B 质量流量控制器 1/2”双卡套/φ10双卡套接头外形尺寸第 6 页 共27页法兰接头 D K L DIN DN15- PN40 95 65 14 DIN DN20- PN40 105 75 14 DIN DN25- PN401158514图 3b. D07-60B 质量流量控制器法兰接头外形尺寸第 7 页 共27页图 3c. D07-60BM 质量流量计 1/2”双卡套/φ10双卡套接头外形尺寸第 8 页 共27页K 、D 、L 尺寸见图3b 附表图 3d. D07-60BM 质量流量计法兰接头外形尺寸注意:图中的高度152.8 mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加50mm左右。
4.2 气路接头形式可提供下列几种接头类型:表3. 接头规格一览表型号 双卡套接头 法兰接头D07-60B /60BM 1/2"(F.S.≤1000SLM)DINDN15-PN40 RFDINDN20-PN40RFDINDN40-PN40 RF0.5"ASNI150LBS RF0.5"ASNI300LBS RF1"ASNI150LBSRF1"ASNI300LBSRF φ10( F.S.=300SLM):第 10 页 共27页4.3 连接电缆插头质量流量控制器通过专用电缆与配套流量显示仪连接后, 即可通电通气工作。
D07-60B 质量流量控制器的插座接线见图5。
图 5. D07-60B 质量流量控制器接线图D07-60BM 质量流量计的插座接线无设定、阀电压，阀关闭、阀控，。
第 11 页 共27页4.4 与计算机或外部信号的连接a. 质量流量控制器通过流量显示仪与计算机(或其它外部信号)的连接方法, 见图6。
图6. 通过流量显示仪与计算机的连接若用户要检测流量输出信号(0V ～+5V)时, 将线引至显示仪外控信号插座的“流量检测”和“信号地”(0电平)线上即可，也可直接与计算机的模数(A/D)转换器连接，+5.00V 输出电压对应质量流量控制器满量程额定流量值。
注意，流量检测输出电流不大于3mA 。
若流量设定使用外部信号，应将设定选择开关打至“外”，并从显示仪上的外控信号插座送入0V ～+5.00V 外设电压。
若用户外接电位器设定,可以用一个3.3K 左右的多圈电位器, 将两端连接到外控信号插座“+5.00V ”和“信号地”上即可。
也可直接与计算机的数模(D/A)转换器连接，实现自动控制。
注意流量设定的输入阻抗大于100K Ω。
如果还需要计算机实现“阀控”线的关闭和清洗功能，可以用两个继电器的（两组）转换触点来实现。
一个继电器控制“关闭”，一个继电器控制“清洗”，两个继电器都不动作则为自动控制。
注意不能因两个继电器同时动作时引起电源短路, 推荐使用图7的继电器触点接线方式。
第 12 页 共27页b. 质量流量控制器直接与计算机连接的接线方法，见图7。
图7. 直接与计算机连接的接线方法如果是质量流量控制器直接与计算机连接，需要用户自己提供±15V 电源（要求电源抗干扰能力要强）；将“设定”线接计算机D/A 输出；将“流量检测”线接计算机A/D 输入端；“信号地”线接外部信号参考地；小电流地线“公共地”和大电流地线“电源地”，分别引线，一起接在±15V 电源的公共端。
如果需要计算机实现“阀控”、“关闭”和“清洗”功能，推荐使用图7的阀控线与继电器触点之间的接线方式。
第 13 页 共27页4.5 调零和外调零首次使用或工作一段时间后，若发现零点偏移, 可以调整。