MEMS技术及其应用整理版课件

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《光电检测技术》课件-mems传感器第二节

《光电检测技术》课件-mems传感器第二节
S4-14. mems器件
mems已经在光衰减器、光学开关、光电力学、 光学系统调谐及集成、光学扫描、光电图像传感 器方面获得了越来越多的应用。
2023/4/26
1
(MEMS)机械式光开关
MEMS:Micro Electronic and Mechanical System 利用硅材料和微电子加工技术制作的微机械装置
•驱动结构极为复杂
4
基于微镜式MEMS(二维)
2023/4/26
4×4
4×4组成的8×8
5
基于微镜式MEMS
2023/4/26
6
其它方式MEMS
2023/4/26
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(MEMS)微机电系统型
微机电系统型光衰减器是利用MEMS技术制造光 衰减器的精密部分,然后再将他们精密的组装起 来。它实际上也是一种机械式的光衰减器。
于永磁铁形成的磁场中,正面的驱动线圈通过位于绝缘层下的连接线和 Rogowski线圈串联成回路,背面的反射镜面与双光纤准直器相对且初始偏角为 零度,mems扭转微镜与双光纤准直器封装在一起并加以电磁屏蔽。
2023/4/26
9
mems-OCS工作过程包括电磁感应-机械振动-光学检测 三个步骤。根据电磁感应原理,Rogowski线圈将交变大电 流信号转变为低电压信号,再以交变小电流的形式引入到 与之串联的mems驱动线圈内,驱动线圈在永磁铁的磁场力 矩作用下使微镜绕扭转梁振动,双光纤准直器与mems扭转 微镜背面的镜面形成反射光路,镜面扭转使反射光束的方 向发生改变,从而对耦合到光纤中的能量进行调制,因此 通过对输出光损耗峰值的检测可以确定镜面转角幅度,继 而获取电流幅值信息。
优点:在硅基体上制造,使用相当标准的半导体 工艺 ,因此可以低成本大批量自动化生产

MEMS传感器及其应用 ppt课件

MEMS传感器及其应用  ppt课件


微机电系统(Microelectromechanical Systems,MEMS)是将微电子技术与机械 工程融合到一起的一种工业技术,它的操 作范围在微米范围内。比它更小的,在纳 米范围的类似的技术被称为纳机电系统。 MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、 执行器以及信号处理和控制电路、接口电 路、通信和电源于一体的微型机电系统。
典型的MEMS压力传感器

典型的MEMS压力传感器管芯(die)结构和电原理如 图7所示,左是电原理图,即由电阻应变片组成的惠斯顿 电桥,右是管芯内部结构图。典型的MEMS压力传感器管 芯可以用来生产各种压力传感器产品,如图8所示。 MEMS压力传感器管芯可以与仪表放大器和ADC管芯封装 在一个封装内(MCM),使产品设计师很容易使用这个 高度集成的产品设计最终产品。
MEMS压力传感器

MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子:如 TPMS(轮胎压力监测系统)、发动机机油压力传 感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动 机进气歧管压力传感器(TMAP)、柴油机共轨 压力传感器;消费电子,如胎压计、血压计、橱用 秤、健康秤,洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、 烤箱、吸尘器用压力传感器、洗衣机、饮水机、 洗碗机、太阳能热水器用液位控制压力传感器;工 业电子,如数字压力表、数字流量表、工业配料 称重等。


1)影像传感器 简单说就是相机镜头,由于只牵涉到微光学与微电子,没有机械 成份在里头,即便加入马达、机械驱动的镜头,这类的机械零件 也过大,不到「微」的地步,所以此属于光电半导体,属于光 学、 光电传感器。 2)亮度传感器

外界并不清楚iPhone4用何种方式感应环境光亮度,而最简单的实现方式 是用一个光敏电阻,或者,iPhone4直接用影像传感器充当亮度侦测,也 是可行。无论如此,此亦不带机械成份,属于光电类传感器,甚至可能 不是微型的,只是一般光学、光电传感器。

《MEMS设计技术》课件

《MEMS设计技术》课件

案例二:MEMS陀螺仪在导航系统中的应用
总结词
MEMS陀螺仪是导航系统中的关键传感 器,具有高精度、小型化和低成本等特 点。
VS
详细描述
MEMS陀螺仪采用微机械加工技术,将陀 螺仪的机械部分和电路部分集成在一个芯 片上,具有体积小、重量轻、成本低等优 点。它能够测量和保持方向信息,广泛应 用于航空、航天、军事等领域。在导航系 统中,MEMS陀螺仪可以提供高精度的角 度信息,用于计算航向、姿态和位置等参 数。
可靠性测试
进行全面的可靠性测试和评估,确保 MEMS器件的稳定性和可靠性。
06
MEMS设计案例分析
案例一:MEMS压力传感器在汽车中的应用
总结词
汽车压力传感器是MEMS技术的重要应用之一,具有高精度、可靠性和稳定性等特点。
详细描述
汽车压力传感器主要用于监测发动机进气歧管压力、燃油压力、气瓶压力等,以确保发动机正常工作 和提高燃油经济性。MEMS压力传感器采用微型机械加工技术,具有体积小、重量轻、功耗低等优点 ,能够实现高精度、快速响应和长期稳定性。
惯性传感器的设计需要综合考 虑材料、工艺和信号处理等因 素,以确保其性能和可靠性。
化学传感器设计
01
化学传感器是用于检测气体或 液体的化学成分的传感器,其 设计需要考虑选择性、灵敏度 、稳定性等因素。
02
常用的化学传感器类型包括电 化学式、光学式和热导式等, 其工作原理和结构各不相同。
03
化学传感器的设计需要综合考 虑材料、工艺和信号处理等因 素,以确保其性能和可靠性。
MEMS的发展历程与趋势
要点一
总结词
MEMS的发展经历了萌芽期、发展期和成熟期三个阶段, 未来将向更小尺寸、更高精度和智能化方向发展。

MEMS技术PPT课件

MEMS技术PPT课件
• 应用研究:如何应用这些MEMS系统也是一门非常重要的学问。人们不仅要开 发各种制造MEMS的技术,更重要的是如何将MEMS器件用于实际系统,并从 中受益。
第17页/共67页
MEMS的分类
• 微传感器:
• 机械类:力学、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、 位置、流量传感器
• 磁学类:磁通计、磁场计 • 热学类:温度计 • 化学类:气体成分、湿度、PH值和离子浓度传感器 • 生物学类:DNA芯片
第42页/共67页
DMD——应用
第43页/共67页
DMD——应用
第44页/共67页
光开关
微机械1X4光开关
微机械1X8光开关
第45页/共67页
光开关
微机械22光开关
微机械2 2光开关
第46页/共67页
光纤固定结构
• V形槽 • 各种卡紧结构
第47页/共67页
光栅及光栅光谱仪
• 原理 • 不同类型的光栅
外腔激光器、光编码器等
第19页/共67页
MEMS的分类
• 真空微电子器件:它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物,具有极快的开关速度、非常好 的抗辐照能力和极佳的温度特性。主要包括场发射显示器、场发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真 空微电子传感器等
• 电力电子器件:包括利用MEMS技术制作的垂直导电型MOS(VMOS)器件、V型槽垂直导电型 MOS(VVMOS)器件等各类高压大电流器件
• 微惯性传Байду номын сангаас器及微型惯性测量组合能应用于制导、 卫星控制、汽车自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车 防抱死系统(ABS)、稳定控制和玩具
• 微流量系统和微分析仪可用于微推进、伤员救护 • MEMS系统还可以用于医疗、高密度存储和显示、

《MEMS应用三轴》课件

《MEMS应用三轴》课件

可与其他系统集成
传感器可以集成到已有系统中, 较为灵活,增加系统的自主性和 独立性。
适应广泛应用场景
MEMS三轴传感器适合于包括运 动追踪、虚拟现实和医疗检测等 多种场景。
MEMS三轴的优势和不足
优势
• 小型化和便于集成 • 可广泛应用于各种领域 • 高度精密,成本低廉 • 生产制造成本低
不足
• 灵敏度和稳定性依赖于环境和外部因素 • 噪点和模型误差存在 • 部分应用领域已被其他技术替代
MEMS三轴的市场前景
各领域快速应用
汽车、手机、医疗等应用领域日 趋成熟,MEMS市场规模快速技术,提高 产品质量和性能,同时开拓更开 阔的应用市场。
投资热潮引发市场高涨
新兴企业、产业基金等不断涌现, 市场竞争日趋激烈,但MEMS三 轴的前景乐观。
MEMS三轴的发展趋势
MEMS应用三轴
欢迎来到本次PPT课件,我们将介绍MEMS三轴的基本原理、应用领域、主要 功能和特点、优势和不足、市场前景以及发展趋势。
MEMS的定义
定义
MEMS是微电子机械系统的缩写,是利用微加工技术和集成电子学技术制造微米或亚微米尺度的机械结构和与 之相配合的电气系统,从而把机械和电气功能集成在单一晶片上的微小系统。
1
功能多样性增强
未来MEMS三轴传感器将增加更多的功能,如气压计、GPS、光传感器等。
2
精度和性能不断提升
该技术领域在精度、稳定性、灵敏度等方面不断提升,应用范围将进一步扩大。
3
领域拓展和应用场景增多
MEMS技术将被广泛应用于市政工程、工业监控、安防、环保等领域,未来有望 成为一类普及型传感器。
MEMS三轴的基本原理
1
加速度传感器

第十五章MEMS传感器讲述课件

第十五章MEMS传感器讲述课件

感谢您的观看
THANKS
应用范围
体微加工技术适用于制造 一些特殊类型的MEMS传 感器,如流体传感器、生 物传感器等。
键合与封装技术
定义
键合与封装技术是将MEMS传感 器与外部电路和保护壳体进行连
接和封装的过程。
工艺流程
键合与封装技术包括芯片粘接、引 线键合、密封填充等步骤,以确保 MEMS传感器能够在实际应用中稳 定工作。

集成化
MEMS传感器通常与其 他电子器件集成在一起 ,形成一个完整的系统

高精度
MEMS传感器的精度非 常高,能够实现高精度
的测量。
低功耗
MEMS传感器的功耗非 常低,能够延长设备的
续航时间。
材料选择
单晶硅
单晶硅是MEMS传感器的主要材料之一,具 有高强度、高刚度和良好的热稳定性。
多晶硅
多晶硅材料具有较好的塑性和韧性,适合用 于制造柔性MEMS传感器。
未来发展趋势
01
新材料应用
随着新材料的发展,MEMS传 感器的性能将得到进一步提升 。
02
智能化
未来MEMS传感器将更加智能 化,能够自适应调整参数以提 高性能。
03
网络化
随着物联网技术的发展, MEMS传感器将更加网络化, 实现远程监控和管理。
04
个性化与定制化
随着需求的多样化,MEMS传 感器的设计和应用将更加个性 化与定制化。
分辨率与精度
分辨率
分辨率是指传感器能够检测到的 最小输入信号变化量。分辨率越 高,传感器能够检测到的信号变 化越细微。
精度
精度是指传感器测量结果的准确 性。高精度的传感器能够提供更 接近真实值的测量结果。

《MEMS技术及其应用》课件

《MEMS技术及其应用》课件
MEMS技术及其应用
欢迎来到《MEMS技术及其应用》PPT课件,我们将介绍MEMS技术的基本原 理和应用领域,以及其未来发展趋势。
什么是MEMS技术
MEMS技术是微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的简称。它是一种将微尺寸机械系统、电子 元器件和集成电路技术结合在一起的技术。 MEMS技术的发展历程经历了多年的研究和创新,目前已在许多领域得到广泛应用。 MEMS技术主要应用于传感器、执行器、生物医学、无线通信等领域,为现代科技带来了巨大的进步。
MEMS执行器的应用
MEMS执行器是一种能够通过控制电信号产生机械运动的微小器件,具有高精 度和高响应速度的特点。
MEMS执行器在光学、声学、微流控等领域发挥着重要作用,例如光学开关、 喷墨打印头和微型马达等。
MEMS执行器的典型应用还包括振动马达、微型阀门和微钳等,为各种微机电 系统提供动力和控制。
MEMS感器的应用
MEMS传感器是一种能够转换感知参数为电信号的微小器件,具有体积小、功 耗低和高灵敏度的特点。
MEMS传感器广泛应用于汽车、智能手机、医疗设备等领域,为实时监测、精 确测量和智能控制提供了关键支持。
典型的MEMS传感器应用包括加速度计、陀螺仪、压力传感器等,在自动驾驶、 健康监测等方面具有重要作用。
MEMS技术未来发展趋势
MEMS技术未来的发展方向包括更小尺寸、更低功耗、更高性能、更多功能的 微型器件和系统。
MEMS技术在人工智能、物联网、无人驾驶等领域具有极大的应用前景,将为 社会带来更多便利和创新。
随着MEMS技术的进一步发展,我们可以期待更多智能、高效和可靠的微型设 备的出现。
MEMS技术的基本原理
MEMS技术利用微纳加工艺制造微小的机械结构,并将其与电子元器件集成在一起,形成复杂的功能器件。

MEMS压力传感器原理与应用简介 ppt课件

MEMS压力传感器原理与应用简介  ppt课件

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9
硅压阻式压力传感器结构如图3所示,上下二层是玻璃体,中间是硅 片,硅片中部做成一应力杯,其应力硅薄膜上部有一真空腔,使之成为一 个典型的压力传感器。应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2 的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中,应 力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起,发生弹性变形,四个电阻应变 片因此而发生电阻变化,破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡,电桥输出与压 力成正比的电压信号。图4是封装IC的硅压阻式压力传感器实物照片。
硅电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状,上 下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器,上横隔栅受压力作用向下位 移,改变了上下二根横隔栅的间距,也就改变了板间电容量的大小(图 5)。电容式压力传感器实物如图6。
图5 电容式压力传感器结构
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图6 电容式压力传感器实物
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4 MEMS压力传感器的应用
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国内外主要供应商
1) 2) 3) 4) 5)

意法半导体(STM) 博世(bosch) 飞思卡尔(freescale) 敏芯微电子技术有限公司 北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
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结束语

当前 ,MEMS技术正处于高速发展前夕 , 21世纪会展现一个大发展的局面 ,它的广泛应 用和效益将强有力地显示出来 ,它对信息、航 空、航天、自动控制、医学、生物学、力学、 热学、光学、近代物理和工程学等诸领域发 展的影响将是深远的 ,人类的生产和生活方式 也会因此而发生重大改变
17ppt课件18ppt课件19ppt课件国内外主要供应商?1意法半导体stm?2博世bosch?3飞思卡尔freescale?4敏芯微电子技术有限公司?5北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司20ppt课件结束语?当前mems技术正处于高速发展前夕21世纪会展现一个大发展的局面它的广泛应用和效益将强有力地显示出来它对信息航空航天自动控制医学生物学力学热学光学近代物理和工程学等诸领域发展的影响将是深远的人类的生产和生活方式也会因此而发生重大改变21ppt课件22p式压力传 感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅 片上生成的微机械电子传感器。

《MEMS微电感》课件

《MEMS微电感》课件

应用领域
01
通信领域
用于无线通信、卫星通信、雷达等高频信号处理系统。
02
能源领域
用于微型电源、储能系统等。
03
生物医学领域
用于生物传感器、医学诊断和治疗等。
02 MEMS微电感的设计与制造
设计流程
A
需求分析
明确MEMS微电感的应用场景和性能要求,如 工作频率、Q值、尺寸等。
原理图设计
根据需求,设计MEMS微电感的原理图, 包括结构、形状、尺寸等。
B
C
仿真优化
利用仿真软件对设计的MEMS微电感进行性 能分析和优化,提高性能参数。
版图绘制
将原理图转化为制版图,为后续制造提供依 据。
D
材料选择
01
02
03
材料类型
选择适合MEMS微电感制 造的材料,如单晶硅、多 晶硅、氮化硅等。
材料纯度
确保所选材料的纯度,以 满足MEMS微电感的性能 要求。
材料特性
《MEMS微电感》 PPT课件
目录
• MEMS微电感简介 • MEMS微电感的设计与制造 • MEMS微电感的性能测试与评估 • MEMS微电感的发展趋势与挑战 • MEMS微电感的应用案例
01 MEMS微电感简介
定义与特性
定义
MEMS微电感是指利用微电子机械系 统(MEMS)技术制作的微型电感器 。
案例二:MEMS传感器
总结词
MEMS传感器是利用微电感技术实现传感器功能的重要应用,具有高精度、高可靠性、低功耗等优点 。
详细描述
MEMS传感器利用微电感作为敏感元件,可以感知温度、压力、磁场、加速度等物理量,广泛应用于 汽车、医疗、航空航天等领域。MEMS传感器的精度和可靠性高,能够提供准确的测量数据,并且具 有低功耗的特点,能够延长设备的续航时间。

MEMS传感器技术 ppt课件

MEMS传感器技术  ppt课件

几种常见的MEMS传感器
微机械位移控制器
微机械位移控制器的主要应用是计算机 硬盘的磁头定位系统, 硬盘的磁道密度很 快将达到0. 25μm/ 道,此时对应的移动定 位精度是0. 025μm ,这时解决磁头移动控 制的办法是在现有位置控制系统上附加 一个微机械次级控制系统。
MEMS的基本介绍
MEMS(微机电系统),同时也是一门技术, 是在一个硅基板上,微米范围内集成了 微型传感器、执行器以及信号处理和控 制电路、接口电路、通信和电源于一体 的微型机电系统的高新技术。
MEMS的基本介绍
MEMS又是一种产业,采用ME空微电子器件、电 力电子器件等在航空、航天、汽车、农 业、生物医学、环境监控、军事以及几 乎人们所接触到的所有领域中都有着十 分广阔的应用前景。
MEMS的基本分类
MEMS一般可以以其核心元件分为两类: 传感型MEMS、致动型MEMS。
传感型MEMS
能量供给
输入信号
微传感元件
传输单元
输出信号
致动型MEMS
能量供给
输出动作
微致动元件
传输单元
几种常见的MEMS传感器
微压力传感器
微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产 品,也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化 的产品。从信号检测方式来看, 微压力传感器 可分为压阻式和电容式两类, 分别以体微机械 加工技术和牺牲层技术为主制造;从敏感膜结构 来看,微压力传感器可分为圆形、方形、矩形、 E 形等多种结构。
MEMS的加工方法
微机械加工方法LIGA 微机械加工方法LIGA以德国为代表,LIGA~IY法 是指采用同步x射线深层光刻、注塑复制和微 电铸制模等主要工艺步骤组成的一种综合性微 机械加工技术。LIGA技术首先采用同步X射线 光刻技术光刻出所要生产的图形,然后采用电 铸的方法加工出与光刻图形相反的金属模具撮 后采用微塑注来制备微机械结构。
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由于MEMS是微电子同微机械的结合,如果把微电子电路比作人 的大脑,微机械比作人的五官(传感器)和手脚(执行器),两者的 紧密结合,就是一个功能齐全而强大的微系统。
微电子机械系统是以微电子、微机械及材料科学为基础,研究、设计 和制造具有特定功能的微型装置(包括微结构器件、微传感器、微执行器 和微系统等方面)的一门科学。
生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如:将微型传感器用口服或皮 下注射法送入人体 ,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测 。 将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物 ,除去体内的胆固醇 , 可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机器人放入眼球内 , 在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送药等方面应用甚广。 MEMS的微小 可进入很小的器官和组织 和智能 能自动地进行细微精确的操作 的特 点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风险。 同微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试,MEMS时 ,可进行基因分析和遗传诊 断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、微器皿和微流量计的器 件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以 ,微机械在现代医疗技术中的应用潜力巨 大 ,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来了希望。
在汽车上的应用
MEMS传感器及其组成的微型惯性测量组合在汽车 自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统 (ABS)、减震系统、防盗系统等。GPS定位系统. *在汽车里作为加速表来控制碰撞时安全气囊防护 系统的施用 * 在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜,控制动态 稳定控制系统 * 在轮胎里作为压力传感器,
航空航天的应用
在 1995年的国际会议上已有人正式提出研制全硅卫星的概念 。 即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组 合而成 ,这样 ,可使整个卫星的质量缩小到以 kg计算 ,从而使卫 星的成本大幅度降低 。
美国提出的硅固态 卫星的概念图,这 个卫星除了蓄电池 外,全由硅片构成 ,直径仅15cm。
MEMS的应用
Application Fields of MEMS
由于MEMS器件和系统具有体积小、重量 轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、 功能强大、可以批量生产等传统传感器无法比 拟的优点,因此在航空、航天、汽车、生物医 学、环境监测、军事以及几乎人们接触到的所 有领域中都有着十分广阔的应用前景。
1959年就有科学家提出微型机械的设想,但直到1962年 才出现属于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其 后尺寸为50~500微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮及联 接件等微型机构相继问世。而1987年由华裔留美学生冯 龙生等人研制出转子直径为60微米和100微米的硅微型 静电电机,显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构 并与集成电路兼容制造微小系统的潜力,在国际上引起 轰动,科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居 室或心脏中去的场景将要成为现实展现在人们面前。同 时,也标志着微电子机械系统(MEMS)的诞生。
MEMS定义
早在二十世纪六十年代,在硅集成电路制造技术发明不久,研究人 员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性,制造微型机械部件, 如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块
硅片上,就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫星是证明空基防 御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因其飞行寿命短 ,所以 ,暴 露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基于硅的 RF开关在太空应用中表 现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺寸。作为一个在海上应用的实例 ,MEMS 引信 /保险和引爆半导体,微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试, F/SA 装 置已成功地用于潜艇鱼雷对抗武器上。引信 /保险和引爆装置的工作包括 3个独 立步骤:发射鱼雷后 ,解除炸药保险、引爆 引信 和防止在不正确时间爆炸 保险 。 使用镀有金属层的硅结合巧妙的封装技术 ,MEMS F/SA器件要比传统的装置小 1 个数量级 ,可安装在 15. 88 cm的鱼雷上 ,这是其他方法做不到的 .
国外MEMS 技术在引信中的应用
MEMS 技术在精确打击弹药引信中的应用
美国FMU2159/ B 硬目标侵彻灵巧引信及加速度计
MEMS 技术在灵巧弹药引信中的应用
采用MEMS 技术的弹道修正引信
装有弹道修正引信的MK64 制导炮弹
MEMS 技术在轻武器面杀伤弹药引信中的应用
单兵20 mm 高爆 榴弹微机电引信
世界上第一个微静电马达
What is the peculiarity of MEMS technology?
MEMS是受到集成电路工艺的启发而发展起来的,它不仅具有集 成电路系统的许多优点,同时集约了多种学科发展的尖端成果。
1、微型化特点 2、多样化特点6、广义化特点
MEMS技术及其应用 (整理版)
主要内容
MEMS技术简介 MEMS技术应用 微机械制造技术 MEMS器件
MEMS简介
What is MEMS Technology?
MEMS (microelectromechanical systems) are devices that involve integrated micro-devices or systems, usually comprised of electrical and mechanical components, produced using microelectronics-compatible batch-processing techniques. These systems merge computation with sensing and actuation to perceive the physical world at a miniaturized level.
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