四种微加速度计传感器异同
MEMS加速度计和MEMS陀螺仪区别 常见MEMS加速度传感器介绍
MEMS 加速度计和MEMS 陀螺仪区别常见MEMS
加速度传感器介绍
MEMS 加速度计和MEMS 陀螺仪区别
最大的区别就是：工作原理和应用的区别（具体概念看下百科），前者是利用加速度，后者是利用惯性；前者是用在测斜调平，后者是知道通过知道角速率，可以知道物体的姿态，以便进行姿态控制。
两种东西通常是结合到一起应用。
比如IMU（惯性测量单元）：就是由三轴陀螺仪和三轴加速度计组合而成。
结合一起的原因就是：加速度计多用在静态或者匀慢速运动中，而陀螺仪应多用在动态中，而惯性器件随着时间的延长，会有零漂。
所以加速度计会给出一定的修正。
现在为了满足各种需要，有组合导航，即卫星导航和惯导组合
（GNSS/INS）。
微加速度计的技术现状和发展趋势
微加速度计的技术现状和发展趋势微加速度计是一种用于测量微小加速度的仪器。
它通常由一个微加速度传感器和一个信号处理单元组成。
微加速度计可以广泛应用于工业、航天、医疗等领域，在这些领域中具有重要的应用价值。
下面将重点介绍微加速度计的技术现状和发展趋势。
技术现状：1.传感器技术：传感器是微加速度计的核心部件，直接影响着仪器的性能。
目前，常用的微加速度传感器技术有压电、电容、激光干涉等。
其中，压电传感器具有体积小、灵敏度高、稳定性好等优点，广泛应用于微加速度计中。
2.信号处理技术：微加速度计产生的信号较小，需要经过放大、滤波等处理才能得到可靠的结果。
目前，常用的信号处理技术包括模拟信号处理和数字信号处理。
模拟信号处理一般采用放大器、滤波器等电路来处理信号，而数字信号处理则通过模数转换、滤波、数字滤波器等算法来实现。
3.精度和灵敏度：微加速度计要求具有高精度和高灵敏度的特点。
目前，微加速度计的精度一般能达到0.001g，灵敏度可达到0.0001g。
但是，随着科技的不断发展，人们对微加速度计的精度和灵敏度的要求也越来越高。
4.非线性和温度稳定性：微加速度计的非线性和温度稳定性也是技术现状中需要解决的问题。
非线性误差一般用百分比来表示，目前常用的微加速度计的非线性误差在1%以内。
而温度稳定性是指在不同温度下测量精度是否得到保证，目前主要解决方案是采用温度补偿技术，使得微加速度计在不同温度下仍能保持较好的性能。
发展趋势：1.小型化：随着科技的不断发展，人们对微加速度计的需求越来越高。
在航天、医疗等领域，对微加速度计的要求是体积小、重量轻。
因此，微加速度计的小型化将是未来的发展趋势。
2.高精度：微加速度计的精度一直是人们关注的焦点。
未来的发展方向是通过改进传感器的设计、提高信号处理的技术水平，使得微加速度计的精度进一步提高。
3.多功能化：随着应用领域的不断扩大，微加速度计的需求也在不断增加。
未来的发展方向是通过增加传感器的功能，实现多种物理量的测量。
加速度计、角度传感器知识整理与解析
加速度计、角度传感器知识整理与解析1、传感器基础知识 (2)2、比力 (2)3、加速度传感器测量倾角原理 (3)4、Question and answer (3)5、电子罗盘 (3)7、陀螺仪和加速度计的区别与联系 (4)8、常用芯片介绍 (4)交流QQ：10021007601、传感器基础知识陀螺和加速度计是惯性器件，是用来测量相对惯性空间的角速度（或对于积分类型的陀螺来说是角增量）和加速度。
在三维空间中，描述一个刚体运动要六轴，三轴加速度，三轴角速度。
加速度传感器：测量加速度的值，是指直线运动，一般以重力加速度g为单位。
角度传感器：测量角度的传感器，范围比较广泛各种角度与倾角传感器有些不一样。
角度传感器可以是垂直的，各种安装方式都行，是指相对角度。
多数的角度传感器是以加速计为基础，通过重力加速度分量估算角度，通常也会要求在静态下测量。
倾角传感器：倾角传感器其实是个绝对角度，原型是加速度传感器，是指被测物体与地球引力（垂直地球）的夹角。
所以它应该是个绝对值。
加速度是测量轴向的力，由F=ma，m已知，就可以知道力(加速度)的大小，所以惯导系统的里都是讲“比力”，因为力是比较出来的。
2、比力比力：单位质量上作用的非引力外力。
通常我们说“用加速度计测量载体的运动加速度”，实际上这个说法并不确切，因为加速度计测量的不是载体的运动加速度，而是载体相对惯性空间的绝对加速度和引力加速度之差，称作“比力”---艾弗里尔B，查特菲尔德著.高精度惯性导航基础.北京：国防工业出版社，2002.在一般线加速度计中测量的是比力(a+g)不能分辨出重力加速度g和运动加速度a。
一个加速度计只能测量一个方向的比力，测量矢量必须使用三个加速度计；测量值与安装方向、姿态有关，且受安装精度影响。
三个加速度计垂直安装可测量比力矢量，进而得到运动加速度。
3、加速度传感器测量倾角原理三轴加速度传感器以重力为输入矢量来决定物体在空间的姿态，把加速度传感器固定在物体的水平面上，当物体姿态改变时，通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。
加速度传感器介绍
加速度传感器介绍加速度传感器的简述北京航空航天⼤学仪器科学与光电⼯程学院夏伟强1.加速度传感器的意义加速度传感器是⼀种能够测量加速⼒的电⼦设备，⼴泛⽤于航空航天、武器系统、汽车、消费电⼦等。
通过加速度的测量，可以了解运动物体的运动状态。
可应⽤在控制，⼿柄振动和摇晃，仪器仪表，汽车制动启动检测，地震检测，报警系统，玩具，结构物、环境监视，⼯程测振、地质勘探、铁路、桥梁、⼤坝的振动测试与分析；⿏标，⾼层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。
2.加速度传感器的⼯作原理根据⽜顿第⼆定律：A(加速度)=F(⼒)/M(质量)。
只需测量作⽤⼒F就可以得到已知质量物体的加速度。
利⽤电磁⼒平衡这个⼒，就可以得到作⽤⼒与电流（电压）的对应关系，通过这个简单的原理来设计加速度传感器。
本质是通过作⽤⼒造成传感器内部敏感元件发⽣变形，通过测量其变形量并⽤相关电路转化成电压输出，得到相应的加速度信号。
3.加速度传感器主要技术指标a）量程。
⽐如测量车辆运动只需⼏⼗个g量程，但是测量武器系统的侵彻指标，就需要传感器的量程达10万g甚⾄更⼤。
b）灵敏度。
⼀般来说，越灵敏越好。
越灵敏的传感器对⼀定范围内的加速度变化更敏感，输出电压的变化也越⼤，这样就⽐较容易测量，从⽽获得更精确的测量值。
c）带宽。
主要指传感器可测量的有效频带。
对于⼀般只要测量倾⾓的应⽤，50HZ的带宽应该⾜够了，但是对于需要进⾏动态性能，⽐如振动，你会需要⼀个具有上百HZ带宽的传感器。
4.加速度传感器发展现状及发展趋势市场上占统治地位的加速度传感器是压电式、压阻式、电容式、谐振式等。
压阻式加速度传感器具有加⼯⼯艺简单，测量⽅法易⾏，等优点。
但是，温度效应严重，⼯作温度范围窄，并且灵敏度低，⼀般只有1mg左右，要继续提⾼灵敏度难度很⼤。
压电式加速度计信噪⽐⾼，灵敏度⾼，结构简单，但是信号处理电路较复杂，存在零漂现象不可避免，并且回零慢，不适宜连续测试。
微电容式加速度计具有结构简单、灵敏度⾼、动态特性好、抗过载能⼒⼤，易于集成，不易受温度影响，功耗低，但是，存在输出特性的⾮线性、寄⽣电容、分布电容对灵敏度的影响，以及信号处理电路复杂等问题。
MEMS加速度计
MEMS加速度计MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）加速度计是一种集成了微电子技术、微机械技术和传感器技术的微型加速度计。
MEMS加速度计以微机电系统技术为基础，利用微型机械结构和微电子技术制作而成的一种传感器。
其结构通常包括一个质量并且可以在三个不同方向上移动的臂梁，一些感应电极以及一个基座。
当加速度计受到外部加速度作用时，质量会受力发生偏移，从而导致感应电极的电荷和电场发生变化，通过测量这些变化，就可以得到外部加速度的信息。
MEMS加速度计主要有压电加速度计和电容加速度计两种类型。
压电加速度计是利用压电效应实现加速度测量的，当受到外部加速度作用时，压电材料产生电荷，从而产生电压输出。
电容加速度计是基于电容变化原理设计的，当加速度计产生加速度时，微机械结构中的电容会发生变化，通过测量电容变化就可以得到加速度的信息。
由于压电加速度计和电容加速度计都是微型化设计，制作工艺成熟，因此MEMS加速度计具有尺寸小、功耗低、成本低和可靠性高等特点。
MEMS加速度计广泛应用于许多领域，特别是在移动设备、汽车、航空航天、智能穿戴设备和工业自动化等领域。
在移动设备方面，MEMS加速度计可用于屏幕旋转、晃动控制和跌落检测等功能。
在汽车领域，MEMS加速度计能够实现碰撞检测、车身稳定控制和自动泊车等功能。
在航空航天领域，MEMS加速度计可用于姿态测量和导航系统。
在智能穿戴设备方面，MEMS加速度计可用于步数统计、睡眠监测和运动追踪等功能。
在工业自动化领域，MEMS加速度计可用于振动检测和故障诊断等应用。
然而，MEMS加速度计也存在一些问题。
首先，由于其微小尺寸，对温度、湿度和振动等环境因素的影响较大，可能会导致测量误差。
其次，MEMS加速度计的精度和分辨率相对较低，对微小加速度的测量不够敏感。
此外，MEMS加速度计的线性度和漂移等问题也需要进一步优化和改进。
综上所述，MEMS加速度计作为一种集成了微电子技术、微机械技术和传感器技术的微型加速度计，在各个领域有着重要的应用价值。
无人机传感器技术 压电式MEMS加速度计
4.压电式MEMS加速度计压电式MEMS加速度计根据用途分为多种结构，其中最常见的一类为纵向压缩型结构，其他压电加速度计都是在压缩型的基础上改装而来的。
1.结构组成压缩型压电加速度计主要是由压电元件、质量块、弹性元件等组成，如图2-36所示。
质量块作为敏感元件，能够感受外界的信号，通过螺栓、螺母和弹性元件对质量块预先加载，使之压紧在压电元件上。
这种结构既可以保证在作用力变化时，压电元件始终受到压力，也可以保证压电元件的电压与作用力呈线性关系。
施加预压紧力的原因在于，压电元件在加工时，其接触面不可能是绝对平坦，如果没有足够的压力，就不能保证均匀接触。
因此，接触电阻在最初阶段将不是常数，而是随着压力变化的。
需要注意的是，预紧力也不能太大，否则将会影响其灵敏度。
测量时将传感器基座与被测对象牢牢地紧固在一起，输出信号由压电元件产生的电荷在导线的引导下传入到转换电路。
1-基座；2-压电元件；3-质量块；4-弹性元件；5-螺母；6-螺栓；7-外壳；8-导线图2-36 结构组成2.工作原理自然界中某些物质，如石英、陶瓷等，在沿一定方向上受到外力的作用时，不仅会发生变形，且其内部会产生极化现象，同时在它的两个相对表面上产生正负相反的电荷。
当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为压电效应。
在这过程中，机械能转换为电能，此现象也称为正压电效应，如图2-37a 所示。
相反，当在这些物质的极化方向上施加电场，其也会发生变形，电场去掉后，物质的变形随之消失，这种电能转换为机械能现象称为逆压电效应，或称为电致伸缩现象，如图2-37b所示。
图2-37压电效应压电式加速度传感器就是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应工作的，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。
当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。
压电效应产生的放电电荷q 与作用力F 成正比例关系，即（2-63） 式中，α为压电材料的压电系数，C/N 。
加速度传感器参数说明【详解】
参数说明及工作原理：1.电荷灵敏度加速度计一般采用PZT压电陶瓷材料，利用晶体材料在承受一定方向的应力或形变时，其极化面会产生与应力相应的电荷，压电元件表面产生的电荷正比于作用力，因此有Q=dF其中，Q为电荷量，d为压电元件的压电常数，F为作用力。
加速度计的电荷灵敏度则是加速度计输出的电荷量与其输入的加速度值之比。
电荷量的单位取pC，加速度单位为m/s2。
（1g=9.8m/s2）2.电压灵敏度如果要换算加速度计的电压灵敏度，则可用下面公式得到SqSa = （v/ms-2）CaSq为电荷灵敏度，单位pC/ms-2；Ca为电容量，单位pF。
Sa电压灵敏度单位V。
3.频率响应（1）谐振频率，为加速度计安装时的共振频率，随产品附有谐振频率曲线（低频传感器不附图）。
（2）频率响应一般采用谐振频率的1/3—1/5。
加速度计频响在1/3谐振频率时，频响与参考灵敏度偏差≤1dB，（误差<10%）。
频响在1/5谐振频率时，频响与参考灵敏度≤ 0.5dB （误差<5%）。
我公司传感器频响均以1/3谐振频率计算。
4.最大横向灵敏度比加速度计受到垂直于安装轴线的振动时，仍有信号输出，即垂直于轴线的加速度灵敏度与轴线加速度之比称横向灵敏度。
5. 电荷输出的压电式加速度计配合电荷放大器，其系统的低频响应下限主要取决于放大器的频响。
二、安装技术及注意事项：（一）安装方式用加速度计进行测量，为使数据准确和使用方便，可使用多种方法安装，现介绍几种供选用。
1.螺钉安装RC6000系列加速度计有M5、M3安装孔及传感器自带螺栓等形式，以M5孔居多。
加速度计随产品附有安装螺钉。
使用螺钉安装，它的使用频率响应可近似原标定的频率响应，且称刚性安装。
螺钉安装是在允许打孔的被测物上沿振源轴线方向打孔攻丝。
2.粘接安装在被测物体不允许钻孔时，可使用各种粘接剂，如“502”、环氧树脂胶、双面粘胶带、橡皮泥。
应注意，前二种方法的使用频率接近刚性安装方法，后两种一般用于低频现场，且会使被测频率大大降低。
mems加速度计原理
mems加速度计原理
MEMS加速度计是一种利用微电子机械系统技术制造的加速
度传感器。
它采用微小的质量偏转来测量物体的加速度。
MEMS加速度计的原理基于牛顿第二定律，即力等于质量乘
以加速度。
它包括一个微小的质量块，在加速度作用下会偏转。
具体原理如下：
1. 弹性梁原理：MEMS加速度计的核心部件是微小的弹簧梁
结构。
当加速度作用于传感器时，其内部的弹簧梁会受到力的作用而发生形变。
通过测量形变量的变化，可以计算出加速度大小。
2. 微机电系统技术：MEMS加速度计通过微电子加工工艺制
造出微小的机械结构，这些结构可以识别并测量加速度。
常见的结构包括悬臂梁、微型质量块等。
当加速度发生改变时，这些微小结构会产生微小位移，通过测量位移的变化，可以得到加速度的值。
3. 电容变化原理：MEMS加速度计中的微小结构内部设置了
电容，当加速度发生变化时，结构的位移会导致电容发生改变。
通过测量电容的变化，可以得到加速度的值。
总之，MEMS加速度计利用微小结构的位移或形变来测量加
速度，具有体积小、功耗低和响应速度快等优势，广泛应用于移动设备、汽车电子系统和航空航天等领域。
加速度传感器
•输出偏压： 8-12VDC
•恒定电流： 2-20mA， 典型值：4mA
•输出阻抗： ＜150Ω
•激励电压： 18-30VDC 典型值：24VDC
•温度范围： - 40～+120℃
•放电时间常数：≥0.2秒
•壳绝缘电阻： ＞ Ω
•安装力矩： 约20-30Kgf.cm(M5螺纹)
•几何尺寸： 六方17mm、高度24.5或31mm
电 荷 灵 敏 度 p C / g
率 范 围 ( ± 1 0 ％ ) H z
安 装 谐 振 点 k H z
横 向 灵 敏 度
%
值 线 性 ( ± 1 0 % ）
g
质 量 g m
使 用 温 度 范 围 ℃
安
装内
螺 部 用频
纹 m m
型 号
结 构电 荷 灵 敏 度 p C / g
途率 范 围 ( ± 1 0 ％ ) H
加速度传感器
完整版
综述
加速度传感器在工业生产、科研、航空航天 等领域中有着重要的应用。其中按照被测量 可以被分为角加速度传感器和 线加速度传感 器。根据敏感元件分有应变式 加速度传感器、 压阻式加速度传感器及压电式加速度传感器。 而随着科学技术的发展，智能化加速度传感 器也已经走进了我们的视野。
一 压电式加速度传感器
频率响应特性
►低频响应特性：下限频率一般为-10%左右频 响。主要由压电芯片和传感器的基座应变和 热释电效应等环境特性决定。应变加速度传 感器具有响应静态信号的特性。
►高频响应特性：上限频率一般为10%左右频 响。大约为安装谐振频率的1/3。如果要求上 限频率误差为+5%，大约为安装频率的1/5。 如果采用适当的校正系数，在更高的频率范 围也能够得到可靠的测试数据。
mems加速度计参数
mems加速度计参数
MEMS加速度计是一种微型机电系统，用于测量物体的加速度。
它由微型机械结构、传感器和信号处理器组成。
以下是常见的MEMS 加速度计参数：
1. 测量范围：表示MEMS加速度计可以测量的加速度范围，通常以重力加速度g为单位，例如±2g、±4g、±8g等。
2. 灵敏度：表示MEMS加速度计在单位加速度下输出的电压变化量，通常以mV/g为单位，例如200mV/g。
3. 分辨率：表示MEMS加速度计可以测量的最小加速度变化量，通常以mg为单位，例如1mg。
4. 器件带宽：表示MEMS加速度计可以测量加速度信号的频率范围，通常以Hz为单位，例如100Hz。
5. 器件噪声：表示MEMS加速度计在无加速度信号时输出的电压噪声水平，通常以mg为单位，例如0.1mg。
6. 线性度：表示MEMS加速度计输出与实际加速度之间的误差程度，通常以百分数或mg为单位，例如±0.2%FS或±2mg。
MEMS加速度计是一种常见的传感器，广泛应用于汽车、手机、游戏机、医疗器械等领域。
了解其参数可以帮助工程师选择适合的加速度计，以满足不同应用的需求。
- 1 -。
mems传感器分类
mems传感器分类MEMS传感器分类MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是指微电子机械系统，是一种由微米级别的电子元器件和微机械元器件组成的集成系统。
MEMS传感器作为其中的一种，具有小型化、低功耗、高精度等特点，广泛应用于各个领域。
本文将对MEMS传感器进行分类介绍。
一、按测量物理量分类1.加速度传感器加速度传感器是最常见的MEMS传感器之一，用于测量物体在三个轴向上的加速度。
它们通常被用于汽车安全气囊、智能手机屏幕旋转功能以及运动追踪设备等领域。
2.压力传感器压力传感器用于测量气体或液体的压力。
它们通常被用于汽车轮胎压力检测、医疗设备以及工业自动化等领域。
3.温度传感器温度传感器用于测量环境或物体的温度。
它们通常被用于智能家居设备、医疗设备以及工业自动化等领域。
4.湿度传感器湿度传感器用于测量环境中的湿度。
它们通常被用于智能家居设备、农业设备以及工业自动化等领域。
5.光学传感器光学传感器用于测量光线的强度、颜色和方向。
它们通常被用于摄像头、智能家居设备以及工业自动化等领域。
二、按传感器结构分类1.微机械加速度传感器微机械加速度传感器是由一块硅芯片制成的，芯片上有微小的弹簧和质量块。
当芯片受到加速度时，质量块会移动，从而导致弹簧产生振动。
这种振动可以转化为电信号输出。
2.压电式MEMS传感器压电式MEMS传感器是利用压电效应来测量物理量的一种传感器。
当施加电场时，会使得晶体结构变形，并产生电荷分布不均，从而产生电势差。
这种效应可以被用来测量各种物理量。
3.表面等离子共振（SPR）传感器表面等离子共振（SPR）传感器是一种基于金属薄膜表面等离子体共振的传感器。
当有分子吸附在金属薄膜表面时，会导致共振频率发生变化，从而可以测量分子的浓度和性质。
4.微热式MEMS传感器微热式MEMS传感器是利用微小的加热器来测量物理量的一种传感器。
当加热器受到外部物理量影响时，温度会发生变化，从而产生电信号输出。
加速度传感器一、定义
加速度传感器一、定义加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。
通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。
传感器在加速过程中，通过对质量块所受惯性力的测量，利用牛顿第二定律获得加速度值。
根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。
二、分类1、压电式压电式加速度传感器又称压电加速度计，它也属于惯性式传感器。
压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。
当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。
2、压阻式基于世界领先的MEMS硅微加工技术，压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点，易于集成在各种模拟和数字电路中，广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。
3、电容式电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器。
电容式加速度传感器/电容式加速度计是比较通用的加速度传感器在某些领域无可替代，如安全气囊，手机移动设备等。
电容式加速度传感器/电容式加速度计采用了微机电系统（MEMS）工艺，在大量生产时变得经济，从而保证了较低的成本。
4、伺服式伺服式加速度传感器是一种闭环测试系统，具有动态性能好、动态范围大和线性度好等特点。
其工作原理：传感器的振动系统由“m-k”系统组成，与一般加速度计相同，但质量m上还接着一个电磁线圈，当基座上有加速度输入时，质量块偏离平衡位置，该位移大小由位移传感器检测出来，经伺服放大器放大后转换为电流输出，该电流流过电磁线圈，在永久磁铁的磁场中产生电磁恢复力，力图使质量块保持在仪表壳体中原来的平衡位置上，所以伺服加速度传感器在闭环状态下工作。
由于有反馈作用，增强了抗干扰的能力，提高测量精度，扩大了测量范围，伺服加速度测量技术广泛地应用于惯性导航和惯性制导系统中，在高精度的振动测量和标定中也有应用。
PS：微机电系统微机电系统（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。
MEMS加速度计
(3) 多轴加速度计的开发成为新的方向。已经有文献报道开发出三 轴微硅加速度计，但是其性能离实用还有一段距离，多轴加速度计 的解耦是结构设计中的难点。
五、MEMS加速度计的发展趋势
导航
集成的全球定位系统（GPS）或基站的三角网能用来确定移 动电话的位置。但是利用现有的这种小显示屏。对于用来 完整显示用户前面的环境是非常有利的。正常情况下采用 电子式指南针确定机首方位，但是指南针必须与地球表面 保持平行以便使机首方位误差小。这种误差依赖于到地球 的地磁赤道的距离变化。例如在北京，指南针与地球表面 平行方向每偏离1度，会导致3度的机首方位误差。当用户 使用移动电话时，指南针可能倾斜于水平面方向成45度， 从而会产生很大的机首方位误差。可使用加速度计能用来 确定手机（和指南针）相对地球表面的实际方位以补偿这 种误差。
MEMS加速度计
加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加 速力。加速力就是当物体在加速过程中作用在物 体上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速 力可以是个常量，比如g，也可以是变量。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速 度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采 用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一 个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。 MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优 点。
扭摆式微加速度计
扭摆式微加速度计的敏感单元是不对称质量平板，通过扭 转轴与基座相连，基座上表面布置有固定电极，敏感平板 下表面有相应的运动电极，形成检测电容(如图3) 。当有 加速度作用时，不对称平板在惯性力作用下，将发生绕扭 转轴的转动。转动角与加速度成比例关系，可用下式表示： maL = Kθ。式中， a 为输入加速度；L 为质量平板质心 到支撑轴转动中心的距离；K 为支撑轴的扭转刚度系数； θ为平板的扭转角。当质量平板发生偏移时，可以利用电 容的静电力来调节平板的偏转角度，提高系统的测量范围， 改善系统的动态特性。其基本特点与电容式类似。
mems传感器 类型
mems传感器类型
MEMS传感器是一种微型机电系统，具有高精度、高灵敏度和低功耗等特点，广泛应用于移动设备、智能家居、汽车、医疗和工业等领域。
根据测量物理量和应用领域的不同，MEMS传感器可分为以下几类：
1. 加速度计：用于测量物体的加速度，常用于移动设备中的屏幕旋转、晃动检测等功能。
2. 陀螺仪：用于测量物体的角速度和角度，常用于移动设备的姿态感知、游戏控制等功能。
3. 压力传感器：用于测量气体或液体的压力，常用于汽车中的轮胎压力监测、医疗设备中的血压测量等。
4. 温度传感器：用于测量物体的温度，常用于智能家居中的温度控制、汽车中的发动机温度监测等。
5. 光学传感器：用于测量光线强度、颜色和距离，常用于移动设备中的亮度调节、相机对焦等功能。
6. 气体传感器：用于测量气体浓度，常用于工业领域中的环境监测、智能家居中的室内空气质量检测等。
7. 生物传感器：用于测量人体的生理参数，常用于医疗设备中的心率监测、血糖测量等。
以上是常见的MEMS传感器类型，随着技术的不断发展和应用领域的不断拓展，将会有更多新型MEMS传感器出现。
- 1 -。
MEMS加速度传感器PPT课件
压阻式加速度传感器
工艺流程
（d）在两面涂上光刻胶作为 湿法刻蚀的梁结构 （e）去除光刻胶以后两面重 新被氧化生成SiO2，随后再 EVG-100覆盖 （f）利用剩下的光刻胶进行刻 蚀然后移除光刻胶
G. rLoOuGpO3
压阻式加速度传感器
工艺流程
（g）等刻蚀完成，对 称梁结构形成
MLOEGMOS
传感器技术
加速度传感器
.
目录
1
简述加速度传感器
2
电阻式加速度传感器
3
电容式加速度传感器
4
其他类型加速度传感器
G. rLoOuGpO3
篇前语
❖ MEMS是什么？加速度传感器与MEMS什么关 系？
▪ 微机电系统（MEMS, Micro-ElectroMechanical System），也叫做微电子机械系统
目前广泛应用制备光学加速度计的
光波导式 迈克尔逊、马赫—曾德等干涉仪的
核心部件都包含3 dB耦合器。
微谐振式
谐振式加速度传感器是一种典型的 微机械惯性器件，基本工作原理是 利用振梁的力频特性，通过检测谐 振频率变化量获取输入的加速度。
热对流式
微型热对流加速度计是利用封闭空 气囊内的自由热对流对加速度敏感 性。两个温度传感器对称地在有气 体的腔体两侧，中间有一个热源。
•加速度传感器中的分类
加速度传感器的原理随其应用而不同，有压阻式，电容式，压 电式，谐振式、伺服式等。
G. rLoOuGpO3
压阻式加速度传感器
压阻式压阻式器件是最早微型化和商业化的一类加速度传感器。基于世界领先的 MEMS硅微加工技术，压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点，易于集 成在各种模拟和数字电路中，广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监 测等领域。
加速度传感器
加速度传感器————————————————————————————————作者: ————————————————————————————————日期:加速度传感器一、简介加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。
通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。
传感器在加速过程中,通过对质量块所受惯性力的测量,利用牛顿第二定律获得加速度值。
根据传感器敏感元件的不同，常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。
二、分类压电式压电式加速度传感器又称压电加速度计。
它也属于惯性式传感器。
压电式加速度传感器的原理是利用压电陶瓷或石英晶体的压电效应,在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。
当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，则力的变化与被测加速度成正比。
压阻式基于世界领先的MＥMＳ硅微加工技术，压阻式加速度传感器具有体积小、低功耗等特点，易于集成在各种模拟和数字电路中,广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。
电容式电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器。
电容式加速度传感器/电容式加速度计是对比较通用的加速度传感器。
在某些领域无可替代,如安全气囊，手机移动设备等。
电容式加速度传感器/电容式加速度计采用了微机电系统(ＭEＭS）工艺，在大量生产时变得经济,从而保证了较低的成本。
伺服式伺服式加速度传感器是一种闭环测试系统，具有动态性能好、动态范围大和线性度好等特点。
其工作原理，传感器的振动系统由"m-ｋ”系统组成,与一般加速度计相同,但质量m 上还接着一个电磁线圈,当基座上有加速度输入时，质量块偏离平衡位置，该位移大小由位移传感器检测出来，经伺服放大器放大后转换为电流输出，该电流流过电磁线圈,在永久磁铁的磁场中产生电磁恢复力，力图使质量块保持在仪表壳体中原来的平衡位置上，所以伺服加速度传感器在闭环状态下工作。
由于有反馈作用，增强了抗干扰的能力,提高测量精度，扩大了测量范围,伺服加速度测量技术广泛地应用于惯性导航和惯性制导系统中，在高精度的振动测量和标定中也有应用。
mems传感器分类及原理
MEMS传感器有多种分类，包括MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS压力传感器和MEMS麦克风等。
这些传感器的工作原理各不相同，以下是MEMS传感器的分类及原理：
1. MEMS陀螺仪：陀螺仪是测量角速率的重要器件，主要用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等应用领域。
其核心是一颗微机械（MEMS）芯片和一颗专用控制电路（ASIC）芯片。
MEMS 陀螺仪的工作原理基于科里奥利（Coriolis）效应，通过测量质量块在驱动电路控制下高速震荡时发生的横向位移实现对角速率的测量。
2. MEMS加速度计：用于感知物体运动的线加速度。
其核心是一颗微机械（MEMS）芯片和一颗专用控制电路（ASIC）芯片。
其工作原理是通过测量物体运动时的加速度引起的惯性力，进而得出物体的运动状态。
3. MEMS压力传感器：主要分为电容式和电阻式，用于测量压力。
其核心结构是薄膜元件，当受到压力时，薄膜变形导致电性能（电阻、电容）改变，从而可以计算受到的压力。
4. MEMS麦克风：通过测量声音产生的声压变化来将声压信号转换为电信号。
总的来说，MEMS传感器的核心工作原理是基于物理效应的微小变化来感知外部信息，并将其转换为电信号。
不同类型传感器在结构和工作原理上有所差异，但都具备小型化、高集成、低成本的优势。
MEMS加速度计简介
MEMS加速度计简介1、什么是MEMS加速度计？加速度计是一种惯性传感器，能够测量物体的加速力。
加速力就是当物体在加速过程中作用在物体上的力，就比如地球引力，也就是重力。
加速力可以是个常量，比如g，也可以是变量。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。
由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。
MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点。
2、MEMS加速度计一般用在哪里？通过测量由于重力引起的加速度，你可以计算出设备相对于水平面的倾斜角度。
通过分析动态加速度，你可以分析出设备移动的方式。
现在工程师们已经想出了很多方法获得更多的有用的信息。
MEMS加速度计可以帮助你的机器人了解它现在身处的环境。
是在爬山？还是在走下坡，摔倒了没有？或者对于飞行类的机器人来说，对于控制姿态也是至关重要的。
更要确保的是，你的机器人没有带着炸弹自己前往人群密集处。
一个好的工程师能够使用MEMS加速度计来回答所有上述问题。
目前最新IBM Thinkpad手提电脑里就内置了MEMS加速度计，能够动态的监测出笔记本在使用中的振动，并根据这些振动数据，系统会智能的选择关闭硬盘还是让其继续运行，这样可以最大程度的保护由于振动，比如颠簸的工作环境，或者不小心摔了电脑所造成的硬盘损害，最大程度地保护里面的数据。
目前在一些先进的移动硬盘上也使用了这项技术。
另外一个用处就是在目前的数码相机和摄像机里，用MEMS加速度计来检测拍摄时候的手部的振动，并根据这些振动，自动调节相机的聚焦。
MEMS加速度计还可以用来分析发动机的振动。
汽车防撞气囊的启动也可以由MEMS加速度计控制。
由此可见MEMS加速度计可以在我们的生活中发挥重要作用。
归纳其应用主要有以下几个方面：振动检测、姿态控制、安防报警、消费应用、动作识别、状态记录等。
加速度传感器原理与使用选择
加速度传感器原理与使用选择一、加速度传感器的原理常见的加速度传感器有压电式加速度传感器和微机电系统（MEMS）加速度传感器。
1.压电式加速度传感器压电式加速度传感器是一种利用压电效应测量加速度的传感器。
压电材料具有压电效应，即在施加压力时会产生电荷。
压电式加速度传感器包含一个压电材料晶体和一个负载电容。
当传感器受到加速度时，晶体会受到压力变形，从而产生电荷。
通过测量负载电容的电荷变化，可以间接测量加速度。
2.MEMS加速度传感器MEMS加速度传感器利用微机电系统技术制造，是一种微小化的加速度传感器。
MEMS加速度传感器通常由微小质量的振动结构和感应器件组成。
当传感器受到加速度时，振动结构会产生微小的位移，感应器件可以测量位移并将其转换为电信号。
MEMS加速度传感器具有体积小、功耗低、成本低等优点。
二、加速度传感器的使用选择在选择加速度传感器时，需要考虑以下因素：1.测量范围：加速度传感器的测量范围决定了可以测量的最大加速度值。
根据具体应用需求选择适当的测量范围，避免传感器过载或无法测量。
2.精度：传感器的精度决定了其测量结果的准确性。
根据应用需求选择合适的精度，例如在高精度测量领域需要选择高精度传感器。
3.响应频率：加速度传感器的响应频率决定了传感器对高频振动的响应能力。
根据应用需求选择适当的响应频率，以确保传感器能够满足测量要求。
4.接口类型：加速度传感器的接口类型包括模拟接口和数字接口。
根据系统要求选择合适的接口类型，以便与系统进行数据通信。
5.工作温度范围：加速度传感器的工作温度范围决定了其在不同环境下的适用性。
根据应用环境选择适当的工作温度范围，以确保传感器能够正常工作。
6.供电电压：加速度传感器的供电电压决定了传感器的电源要求。
根据系统电源供应情况选择合适的供电电压。
7.封装类型：加速度传感器的封装类型决定了传感器的外形和安装方式。
根据具体应用需求选择适当的封装类型，以方便传感器的安装和使用。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
压电式
根据压电效应，利用压电膜压 缩量来检测加速度变化。
结构简单，频率响应范围很快， 有很好的线性度。
分辨率低，温漂较大，压 敏电阻制作困难
利用隧道电流对位移变化的敏 隧道电流式 感性测量加速度变化。
极高灵敏度和线性度，非常宽的 信号噪声大，工作电压高， 频响范围，稳定性好，可靠性高， 加工困难，成品率低。 抗干扰能力强，温漂小。
压阻式
加工工艺简单，测量方法易行， 根据压阻效应，利用扩散电阻 测量范围宽，线性度好，重复生 的阻值变化来感应加速度变化。 产性好。
电容式
利用敏感质量块与固定电极间 距离变化来检测加速度变化。
结构简单，漂移低，温度效应小， 读出电路复杂，易受寄生 灵敏度相对较高，功耗小。差动 电容影响和电磁干扰。 式有较好线性度。
3.基本工作原理及工作特点
2、电容式微加速度计
基 本 原 理 位移变化→电容变化
工 作 原 理 质量块由弹性微梁支撑连接在基体上, 检测电 容的一个极板一般配置在运动的质量块上, 一个 极板配置在固定的基体上。当有加速度作用时， 质量块发生位移，上下电容发生变化，可以得到 电容变化差值，进而得到加速度。
3.基本工作原理及工作特点
4、压电式微加速度计
优 点 ： 结 构 比 较 简 单 容 易 测 量 缺 点 ： 很 难 测 量 常 加 速 度 温 度 系 数 较 大 器 件 的 线 性 度 不 够 好 压 电 材 料 价 格 比 较 昂 贵
3.基本工作原理及工作特点
5 、隧道效应型微加速度计
3.基本工作原理及工作特点
1、压阻式微加速度计
最 早 出 现 的 微 加 速 度 计
优 点 ： 结 构 简 单 , 芯 片 的 制 作 相 对 容 易 ； 并 且 接 口 电 路 易 于 实 现 。 缺 点 : 温 度 系 数 比 较 大 , 对 温 度 敏 感 ; 灵 敏 度 比 较 低 ; 蠕 变 和 迟 滞 效 应 比 较 明 显 。
3 、电容扭摆式微加速度计
基本原理与电容式微加速度计相同，结构不同。 敏感单元是不对称质量平板，通过扭转轴与基座相连，基座 上表面布置有固定电极，敏感平板下表面有相应的运动电极，形成 检测电容当有加速度作用时，不对称平板在惯性力作用下，将发生 绕扭转轴的转动。 当质量平板发生偏移时，可以利用电容的静电力来调节平板 的偏转角度，提高系统的测量范围，改善系统的动态特性。
实际上一个典型的基本型加速度计包含∶质量块、弹性件、阻尼 元件和限位件。 F=ma=kxrel 这里k是弹性常数、xrel是相对于框体的位移。
3.基本工作原理及工作特点
Dash pot:阻尼延迟器
3.基本工作原理及工作特点
1、压阻式微加速度计
压 阻 效 应 ： 在一块半导体的某一轴向施加一定 的应力时，其电阻率产生变化的现象。 工 作 原 理 ： 当有加速度输入时, 悬臂梁在质量块受到的惯性力牵 引下发生变形，导致固连的压阻膜也随之发生变形，其 电阻值就会由于压阻效应而发生变化，导致压阻两端的 检测电压值（信号处理电路）发生变化，从而可以通过 确定的数学模型推导出输入加速度与输出电压值的关系。
微加速度传感器
目录 1、微加速度计简介
2、微加速度计分类 3、基本工作原理及工作特点 4、总结
1.微加速度计简介
MEMS技术的突出成果
低成本，中低精度
民用领域 军事领域
汽车碰撞检测，安全气囊
Байду номын сангаас
战术武器
2.微加速度计分类
敏感信号方式： 压阻式 压电式 电容式 隧道电流型 热对流式
有无反馈信号： 微型开环加速度计 微型闭环加速度计
隧 道 效 应 粒子运动遇到一个高于粒子能量的势垒时，按照量子力 学可以解出除了在势垒处的反射外，还有透过势垒的波函 数，这表明在势垒的另一边，粒子具有一定的概率，粒子 贯穿势垒。 工 作 原 理 平板电极和隧道针尖电极距离达到一定的条件，可以产 生隧道电流。 悬臂梁或者双端固支梁支撑惯性质量块，质量块在惯性 力的作用下，位置将发生偏移，这个偏移量直接影响到隧 道电流的变化，通过检测隧道电流变化量来间接检测加速 度值。
加工方式：
微机械表面加工
微机械体加工
敏感轴数量：
单轴微机电式 双轴微机电式 三轴微机电式
结构形式：
梳齿式 静电悬浮式 “跷跷板”摆式 “三明治”摆式
3.基本工作原理及工作特点
基本加速度计概念
通 常 加 速 度 计 包 含 一 个 质 量 块 (proof mass ， or Seismic mass) ， 然 后 测 量 质 量 块 在 加 速 度 作 用 下 的 位 移 、 质 量 块 作 用在框架上的力或者维持质量块位置所需要的力(即主动加速 度计，需要一个闭环控制系统)。测量作用在质量块上的力 (F=ma)或引起的位移有多种方法，包括应变计、电容、表面 波器件、光学方法(干涉计)和隧道方法等。
谢谢观看
3.基本工作原理及工作特点
5、隧道效应型微加速度计
优 点 ： 极 高 的 灵 敏 度 易 检 测 线 性 度 好 温 漂 小 抗 干 扰 能 力 强 可 靠 性 高
缺 点 ： 隧 道 针 尖 制 作 比 较 复 杂 工 艺 比 较 困 难 ， 成 品 率 低
4.总结：
类型 原理 优点 缺点 温度效应严重，温度系数 打，灵敏度低。
3.基本工作原理及工作特点
2、电容式微加速度计
优 点 ： 灵 敏 度 和 测 量 精 度 高 稳 定 性 好 温 度 漂 移 小 功 耗 极 低 过 载 保 护 能 力 较 强 缺 点 ： 读 出 电 路 复 杂 易 受 寄 生 电 容 影 响 和 电 磁 干 扰
基本工作原理及工作特点
基本工作原理及工作特点
4、压电式微加速度计
压 电 效 应 ： 电介质在沿一定方向上受到外力而 变形时，其内部会产生极化现象，同 时在它的两个相对表面上出现正负相 反的电荷。 工 作 原 理 在弹性梁上覆盖一层压电材料膜，上电极和下电极分别分布在压 电材料膜的上表面和下表面上，当有外界加速度口作用于敏感质量 块时，弹性梁上会产生应力大小变化，由于压电效应作用，器件结 构的上电极和下电极间会产生电压，由此可通过测量电压（信号处 理电路）的变化来得知外界加速度的变化。