衍射光学元件

衍射光学元件 DO(Diffractive Optics)

1、衍射光学技术的定义：

基于光的衍射理论，利用计算机辅助设计、并用大规模集成电路制作工艺，在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生两个或多个台阶深度的浮雕结构，它是一种纯位相衍射光学元件。

衍射光学元件就是利用衍射光学技术制作的光学元件。

2、如何制作衍射光学元件

（1）多台阶位相器件的制作

(2) 连续位相器件的制作

(3) 复制工艺

(4) 刻蚀轮廓测量

3、衍射光学元件的应用

•折衍混合物镜

• 光束匀滑

• 光束准直

• 分束与合束

• 光学图象处理

•微光谱仪

• 光束扫描 • 光盘读数头 • 激光热处理 • 亚波长结构