洁净室尘埃粒子检测标准操作规程

1. 目的
建立尘埃粒子检测的标准操作程序，用以规范检测人员的检测操作。

2. 范围
适用于洁净区尘埃粒子数的检测。

3. 职责
3.1专职检验员负责洁净区尘埃粒子的检测。

3.2质量监督员负责监督本规程的执行。

4. 内容
4.1仪器设备
4.1.1校验合格并在有效期内的尘埃粒子计数器。

4.2采样
4.2.1空态静态测试时，采样点的布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于集中，按照洁净区的面积大小制定最少采样点数目，不得少于最少采样点数目。

动态测试时，悬浮粒子采样点数目及其布置，应根据产品的生产及关键工艺操作区设置。

注：表中的面积，对于单向流洁净室，是指送风面积，对于非单向流洁净室，是指房间面积。

4.2.2采样点位置
工作区采样点的位置离地0.8米～1.5米左右（略高于工作面）。

并在关键设备或关键工作活动范围处增加采样点。

图1 采样点位置参考图
4.2.3采样次数的限定
对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。

每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。

4.3采样注意事项
4.3.1 对于单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应正对气流方向；对于非单向流洁净室（区），粒子计数器的采样管口应向上。

4.3.2 布置采样点时，应尽量避开回风口。

4.3.3 采样时，测试人员应在采样口的下风测，并尽量少活动。

4.3.4 采样完毕后，对尘埃粒子计数器进行自净。

4.3.5采取一切措施防止采样过程的污染。

4.4测试状态
空态、静态和动态三种状态均可进行测试。

空态或静态时，室内测试人员不得多于2人。

静态测试时洁净室净化空调系统已处于正常运行状态，动态测试时洁净室已处于正常生产状态。

测试状态的选择必须符合生产的要求，并在报告中注明测试状态。

4.5测试时间
对单向流，如100级净化房间及层流工作台，应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始；对非单向流，如10 000级、100 000级以上的净化室，测试应在净化空调系统正常运
行不少于30分钟后开始。

动态测试时，须记录生产开始的时间及测试时间。

4.6采样方法
按照尘埃粒子计数器的操作规程，选择合适的粒径、采样量、采样时间及每个采样点的采样次数进行采样。

4.7结果计算
计算每个采样点的平均悬浮粒子浓度（粒/m3）、洁净室的平均粒子浓度（粒/m3）与标准差SE。

95% 置信上限（UCL）：UCL= M+ t ·SE ；95%置信上限的t分布系数见表3。

4.8结果评判：
每个采样点的平均粒子浓度必须不大于规定的级别界限；且全部采样点的粒子浓度平均值的95% 置信上限必须不大于规定的级别界限。

5.支持文件
5.1 《洁净区环境监测管理规程》
6. 相关记录
6.1《尘埃粒子检测记录》。