新型图像传感器ICCD的原理及应用
CCD工作原理
CCD工作原理CCD（Charge-Coupled Device）是一种常用于图像传感器的技术，它能够将光信号转换为电信号，并进行图像捕捉和处理。
CCD工作原理主要包括光电转换、信号传输和图像采集三个方面。
1. 光电转换CCD图像传感器由一系列光敏元件（photosites）组成，每个光敏元件都能够感知光的强度并将其转化为电荷。
当光照射到光敏元件上时，光子会激发出电子，这些电子被捕获并储存在光敏元件中。
光敏元件的大小决定了图像的分辨率，即能够捕捉到的细节程度。
2. 信号传输CCD图像传感器中的光敏元件排列成一个矩阵，每个光敏元件都有一个对应的电荷传输区域。
通过在传输区域施加电压，电荷可以在不同的传输区域之间移动。
这种电荷传输的方式称为“场耦合”，即光电荷通过传输区域的电场耦合到相邻的传输区域。
通过逐行或逐列地传输电荷，整个图像的电荷信号可以逐渐传输到输出端。
3. 图像采集一旦电荷信号传输到输出端，它们就可以被读出并转换成数字信号。
在读出过程中，每个光敏元件的电荷信号被逐个测量并转换为电压信号。
这些电压信号经过放大和模数转换后，就可以得到一个数字图像。
CCD工作原理的关键在于光电转换和信号传输。
通过将光信号转化为电荷信号，并通过电场耦合的方式将电荷信号传输到输出端，CCD图像传感器能够捕捉到高质量的图像。
与其他图像传感器技术相比，CCD具有较低的噪声水平、较高的动态范围和较好的图像质量，因此被广泛应用于数码相机、摄像机等领域。
需要注意的是，CCD图像传感器对光的敏感度较高，因此在弱光环境下能够获得更好的图像质量。
然而，CCD也存在一些缺点，如功耗较高、响应速度较慢和成本较高等。
随着技术的不断进步，一些新的图像传感器技术如CMOS （Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）也逐渐崭露头角，成为CCD的竞争对手。
总结而言，CCD工作原理是通过光电转换和信号传输实现图像采集的过程。
图像传感器原理
图像传感器原理图像传感器是一种能够将光学图像转换成电子信号的设备，它是数字摄像机的核心部件之一，也是数字图像技术的基础。
图像传感器的原理是基于光电效应和半导体材料的特性，通过光学成像和电子信号转换，实现对光学图像的捕捉和数字化处理。
图像传感器的原理主要涉及到光电效应和半导体物理学的知识。
光电效应是指当光线照射到物质表面时，光子的能量被转化为电子的动能，从而产生电荷。
半导体材料是一种具有特定导电性质的材料，它的导电性能受光照强度的影响，可以将光信号转化为电信号。
图像传感器通常由成像单元阵列、信号读取电路和控制电路等部分组成。
成像单元阵列是由大量光敏元件组成的矩阵结构，每个光敏元件对应图像中的一个像素点，它们能够将光信号转化为电荷信号。
信号读取电路负责对成像单元阵列输出的电荷信号进行放大、转换和传输，最终输出为数字信号。
控制电路则用于控制成像单元阵列的工作模式、曝光时间和信号读取顺序等。
图像传感器的工作原理可以简单概括为，当光线照射到成像单元阵列上时，光敏元件会产生电荷信号，信号读取电路将电荷信号转换为电压信号，并进行放大和处理，最终输出为数字信号。
这样就实现了对光学图像的捕捉和数字化处理。
在实际应用中，图像传感器的原理决定了它在图像分辨率、灵敏度、动态范围和噪声等方面的性能表现。
光电效应的灵敏度和半导体材料的特性直接影响了图像传感器对光信号的捕捉能力，而成像单元阵列的结构和布局则决定了图像传感器的分辨率和噪声性能。
因此，在图像传感器的设计和制造过程中，需要充分考虑光学成像、半导体物理学和信号处理等方面的知识，以实现图像传感器在不同应用场景下的优良性能。
总的来说，图像传感器的原理是基于光电效应和半导体材料的特性，通过成像单元阵列、信号读取电路和控制电路等部分的协同作用，实现对光学图像的捕捉和数字化处理。
图像传感器在数字摄像机、手机摄像头、工业检测和医学影像等领域有着广泛的应用，其性能表现直接影响了图像质量和系统性能。
CCD基本原理与应用
CCD基本原理与应用CCD（Charge Coupled Device）是一种电子器件，也是一种图像传感器。
它是由许多电荷传输电极、储存节点和输出寄存器组成的。
CCD原理基于光电效应，通过转换光子能量为电荷，进而将电荷转换为电信号。
CCD工作原理是通过感光元件接收光线，将光线中的不同颜色和亮度转化为电荷信号，进一步转化为电压信号。
CCD感光元件由排列在平面上的微小光敏单元（Pixel）组成，每个光敏单元可以转换接收到的光线为一定量的电荷。
当光线进入CCD感光元件时，光子会与感光元件上的硅原子相互作用，使电子从价带跃迁到导带，形成电荷。
光敏单元的形状和大小决定了CCD的空间分辨率。
在CCD感光元件的排列结构中，光敏单元被分成两个区域：感光区和储存区。
感光区接收到光线，产生的电荷被存储在相应的储存区。
当电荷存储完毕后，通过逆向偏置的输出寄存器完成信号的放大和读取。
读出的信号可以用来构建图像。
CCD的应用非常广泛。
最常见的应用之一是在数字相机和摄像机中充当图像传感器。
CCD感光元件可以捕捉到细节丰富的图像，并转换为数字信号。
这些数字信号可以通过影像处理、压缩和存储等方式进行后续的处理和使用。
CCD也在天文学中广泛应用。
天文学家使用CCD相机来观测和拍摄星体的图像。
由于CCD可以捕捉非常微弱的光信号，并具有较高的灵敏度和低噪声特性，所以CCD相机成为天文观测中不可或缺的工具。
CCD还广泛应用于光谱仪中。
光谱仪将光线分散为不同波长的光谱，CCD感光元件可以将光谱转换为电信号，并进行进一步的分析和测量。
这使得CCD成为光谱分析领域中的关键技术。
此外，CCD还被应用于医学成像、工业检测和科学研究等领域。
在医学成像中，CCD感光元件可以捕捉到医学图像，并帮助医生进行诊断。
在工业检测中，CCD可以用来检测产品的表面缺陷和异常，提高生产质量。
在科学研究中，CCD可以用来观测微观现象和进行粒子探测。
总的来说，CCD基本原理是通过光电效应将光子能量转换为电荷，进而转换为电信号。
CCD图像传感器 ppt课件
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(a)初始状态； (b)电荷由①电极向电极②转移； (c)电荷在①②电极下均匀分 布；(d)电荷继续由①电极向②电极转移；(e)电荷完全转移到②电极； (f)三相 转移脉冲
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图中CCD的四个电极彼此靠的很近。假定一开始在 偏压为10V的(1)电极下面的深势阱中，其他电极 加有大于阈值的较低的电压(例如2V)，如图(a)所 示。一定时刻后，(2)电极由2V变为10V，其余电 极保持不变，如图(b)。因为(1)和(2)电极靠的很 近(间隔只有几微米)，它们各自的对应势阱将合 并在一起，原来在(1)下的电荷变为(1)和(2)两个 电极共有，图(C)示。此后，改变(1)电极上10V电 压为2 V，(2)电极上10V不变，如图(d)示，电荷 将转移到(2)电极下的势阱中。由此实现了深势阱 及电荷包向右转移了一个位置。
输出 4电荷检测
CCD传感器
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CCD结构类型
按照像素排列方式的不同，可以将CCD分为线阵 和面阵两大类。
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目前，实用的线型CCD图像传感器为双行结构，如 图（b）所示。单、双数光敏元件中的信号电荷分别转 移到上、下方的移位寄存器中，然后，在控制脉冲的作 用下，自左向右移动，在输出端交替合并输出，这样就 形成了原来光敏信号电荷的顺序。
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信号电荷的存储（示意图）
UG < Uth 时
+UG
UG > Uth 时
+UG
入射光
e-
e-
e-
e-
e-
+Uth
e- 势阱
09-图像传感器的典型应用
一、图像传感器用于一维尺寸的测量
图像传感器用于尺寸测量的技术是非常有效的非接触检测 技术，广泛地应用于各种工件的在线检测和高精度、高速度的 检测技术领域。 系统组成：线阵CCD. 光学成像系统. 计算机数据采集与处理 特点： 高分辨率、高灵敏度 自扫描、非接触 结构紧凑 无需配合复杂的机械运动结构
(2) 光阑P1的口径D1 根据系统应满足拉赫不变量的要求及物镜L的物方孔径角U，有
D1 J j n2U 2 nUy J w （12-2） 2 式中，Jj为聚光镜的拉赫不变量，Jw 为物镜的拉赫不变量 。
n2＝n＝1，并由图可知
U2 y f2
，代入上式可得
D1 2 f 2 U
一维尺寸的测量——激光扫描检测仪
激光扫描检测仪主要由以下几部分组成： ①由光学机械扫描器和扫描光学系统组成的激光扫描发射器 ②由接收光学系统和光电转换电子学系统构成的激光扫描接收器 ③以单片机为核心的实时控制与数据处理系统构成的控制器 ④半导体激光电源
激光扫描检测仪组成介绍
①准直光源: 采用半导体激光为光源，经整形、扩束、准直后形 成光点小于Φ1mm的圆形光束； ②扫描转镜: 为正多面体旋转反射镜，一般为金属在精密机床上 切削，后进行抛光、镀膜而成； ③发射光学系统: 为形成准直、匀速扫描光束，采用特殊的 f-θ 透镜组作为发射光学系统； ④接收光学系统: 为短焦距聚光光学系统； ⑤光电传感器: 采用面型PIN型光电二极管，响应速度快；
成像物镜L的像方焦平面F'处。光阑P2为系统的孔径光阑，形成 了物方远心光路，以控制轴外物点主光线的方向，使AB在光敏 面上的像点位置不变。从而消除玻璃管在拉制过程中的摆动对 测量精度的影响。 影响该系统成像特性的主要是物镜L。因此如何根据使用要
图像传感器的原理和应用
图像传感器的原理和应用1. 图像传感器的简介图像传感器是一种将光信号转化为电信号的设备，广泛应用于数码相机、智能手机、监控摄像头等设备中。
图像传感器的原理是基于光电效应，通过感光元件将光信号转化为电荷或电压信号，进而生成数字图像。
2. 图像传感器的工作原理图像传感器主要由感光元件、信号放大电路、ADC（模数转换器）等组成。
下面是图像传感器的工作原理的详细解释：2.1 感光元件感光元件是图像传感器的核心部分，主要有两种类型：CCD（电荷耦合器件）和CMOS（互补金属氧化物半导体）。
两者的原理稍有不同：•CCD：CCD感光元件是由一系列光敏二极管组成的阵列，每个光敏二极管负责感受一个像素点的光信号，并将其转化为电荷信号，然后通过移位寄存器的方式将信号逐行传输至信号放大电路。
•CMOS：CMOS感光元件是通过将每个像素点与一个放大器结合在一起实现的。
每个像素点都有自己的放大器和ADC，可以独立处理光信号并将其转化为电压信号。
CMOS感光元件相比于CCD更加集成化，具有低功耗和快速读出等优势。
2.2 信号放大电路信号放大电路主要用于放大感光元件输出的电荷或电压信号，以增强信号的强度。
放大后的信号用于提供给ADC进行模数转换。
2.3 ADC（模数转换器）ADC是将模拟信号转化为数字信号的关键部件。
感光元件的输出信号是模拟信号，需要通过ADC转换为数字信号以供后续使用或存储。
ADC的精度对图像质量有着重要的影响。
3. 图像传感器的应用图像传感器已经广泛应用于各个领域，下面列举了几个常见的应用场景：3.1 数码相机数码相机是最常见的图像传感器应用之一。
图像传感器通过感受光信号并转化为数字信号，进而生成数码照片。
现代数码相机普遍采用CMOS感光元件，可以实现高分辨率、高速连拍等功能。
3.2 智能手机智能手机中的主摄像头和前置摄像头都采用了图像传感器。
图像传感器的高感光度和高分辨率可以提供出色的拍照和摄像体验，使得智能手机成为了人们日常拍照的主要设备之一。
新型图像传感器iccd的原理及应用
新型图像传感器ICCD的原理及应用1. 概述新型图像传感器ICCD（Intensified Charge-Coupled Device）是一种基于CCD技术的增强型图像传感器。
它通过引入增强器件，能够实现对弱光下图像的增强和捕捉。
本文将介绍ICCD的原理以及其在不同领域的应用。
2. ICCD原理ICCD传感器的原理主要包括增强、捕捉和传输三个过程。
2.1 增强过程增强过程是ICCD的关键部分，它通过引入增强器件，将弱光信号增强到足够的水平，以便后续的捕捉和传输。
增强器件通常是一种微通道板（Micro-Channel Plate，MCP），它由成百上千个微小的通道组成，可以将入射光子增强到多个电子。
这种增强效应使得ICCD能够在非常暗的环境下获得清晰的图像。
2.2 捕捉过程捕捉过程是指将增强后的信号捕捉并转换为电荷。
在ICCD中，增强后的光子经过MCP后，进入到感光元件——CCD芯片中。
在CCD芯片中，光子会通过光电效应产生电子，这些电子被存储在电荷传输区域。
捕捉过程的关键是确保高效率的光电转换和电子传输。
2.3 传输过程传输过程是指将捕捉到的电荷传输到输出端，形成图像信号。
传输过程主要依赖于CCD芯片中的排列和驱动电路。
通过适当的电荷传输和时序驱动，可以将电荷按照一定顺序传输到输出端，形成图像。
3. ICCD应用ICCD传感器具有强大的低光级别成像能力，因此在许多领域都有着广泛的应用。
3.1 夜视与安防ICCD传感器在夜视和安防领域中起到关键作用。
由于其能够在低光环境下进行增强和捕捉，可以实现对夜晚场景的清晰观察和监控。
它被广泛应用于军事、警察、交通监控等领域。
3.2 科学研究ICCD传感器也被广泛用于科学研究中，特别是在天文学和物理学领域。
由于天文观测和粒子探测常常需要在较弱的光条件下进行，ICCD传感器的增强能力可以使得这些实验和观测更加精确和可行。
3.3 医学成像在医学成像领域，ICCD传感器也有着广泛的应用，特别是在微生物学和细胞生物学研究中。
第4讲 CCD图像传感器newPPT课件
1.基本结构
CCD基本结构分两部分： （1）MOS（金属—氧化物—半导体）
光敏元阵列； 电荷耦合器件是在半导体硅片上 制作成百上千（万）个光敏元， 一个光敏元又称一个像素，在半 导体硅平面上光敏元按线阵或面 阵有规则地排列。 （2）读出移位寄存器。
传6 感山器西原工理程职及业应技用术学院
CCD结构示意图
二、CCD器件
1、分类
CCD器件分为线阵CCD和面阵CCD，结构上有多种不
同形式，如单沟道CCD、双沟道CCD、帧转移结构CCD、 行间转移结构CCD。 ❖ 线阵CCD结构 ➢ 线阵CCD传感器是由一列MOS光敏元和一列移位寄存 器并行构成。光敏元和移位寄存器之间有一个转移控 制栅，1024位线阵，由1024个光敏元1024个读出移位 寄存器组成。读出移位寄存器的输出端Ga一位位输出 信息，这一过程是一个串行输出过程。
传19 感山器西原工理程职及业应技用术学院
集散控制系统应用
二、CCD器件
a.线阵型
传20 感山器西原工理程职及业应技用术学院
电荷输出控制波形
集散控制系统应用
二、CCD器件
64位线阵CCD结构
传21 感山器西原工理程职及业应技用术学院
集散控制系统应用
2. 电荷耦合器件的工作原理
CCD
光信息
电脉冲
脉冲只反映一个光敏元的受光情况
脉冲幅度的高低反映该光敏元受光照的强弱
输出脉冲的顺序可以反映一个光敏元的位置
传8 感山器西原工理程职及业应技用术学院
完成图像传感
集散控制系统应用
CCD基本工作原理
信号电荷的产生 信号电荷的存贮 信号电荷的传输
集散控制系统应用
高灵敏度相机的原理分析
高灵敏度相机的原理分析高灵敏度相机是指成像器件能探测到光子数小于500个，对微弱光进行成像。
高灵敏度相机可以分为进行单光子探测的ICCD，在10个光子数下有优势的EMCCD，在高分辨率高速度且高灵敏下的SCMOS，为降低热噪声提高灵敏度的制冷型CCD原理目标物体在相机的芯片上形成的每个信号都反映了投射在相机像素上的光线量。
在光线较暗的情况下，该信号非常弱。
高灵敏度相机内的电子元件可增强较弱的信号，使其能够有效地数字化并传输。
（1）EM增益——高灵敏度EMCCD技术，有时也被称作“片上增益”技术，是一种全新的微弱光信号增强探测技术。
它与普通的科学级CCD探测器的主要区别在于其读出寄存器后又接续有一串“增益寄存器”，它的电极结构不同于转移寄存器，信号电荷在这里得到增益。
EMCCD也可采用背照式结构，把高达90%的量子效率与电荷倍增向结合，提高灵敏度，从而提供高帧速率情况下的低照度响应。
温度对片上倍增增益的影响明显。
温度越低，由依次电子产生的二次电子越多，则片上倍增增益越高。
研究表明把探测器制冷到-30摄氏度或更低时，片上增益可以超过1000倍。
EMCCD良好的性能取决于CCD温度的选择以及温度随环境波动的控制。
（2）ICCD成像技术ICCD是新一代增强型相机，灵敏度非常高，可进行单光子探测，适用于UV、VS、NIR等多种波段。
具有纳秒级门控和相关控制模块为微光及时间分辨提供可靠的性能保证。
ICCD主要由像增强器和CCD耦合而成，包括像增强器，CCD和中继耦合组件等几部分；入射光经过物镜打到像增强器的光阴极上，由于光电效应转换成电子图像，电子图像耦合到微通道板，在微通道板的每个光纤通道内电子不断撞击，产生约100倍的电子，放大的电子从微通道板射出撞击荧光屏，重新激发出光子图像，再经过中继器投射在CCD上成像。
像增强器与CCD的耦合及微通道板的结构。
对于ICCD而言，其像增强器门控装置所能产生超短的曝光时间才是其在具体应用中的特点，也是sCMOS,EMCCD，制冷CCD等其他高灵敏度相机所不能比拟，不能取代的。
CCD是一种光电转换式图像传感器它利用光电转换原理把图...
前言CCD是一种光电转换式图像传感器。
它利用光电转换原理把图像信息直接转换成电信号,这样便实现了非电量的电测量。
同时它还具有体积小、重量轻、噪声低、自扫描、工作速度快、测量精度高、寿命长等诸多优点,因此受到人们的高度重视,在精密测量、非接触无损检测、文件扫描与航空遥感等领域中,发挥着重要的作用[1]。
对被测图像信息进行快速采样、存储及数据处理,是线阵CCD数据采集发展的新方向。
寻找满足要求的处理器已成当务之急。
DSP(数字信号处理器)是一种具有高速性、实时性和丰富的芯片内部资源的处理器,它的出现为人们解决了这个难题。
为了节约成本、减少体积,本文用CPLD控制图像的读入,以TMS320VC5402 DSP作为处理器,并结合CA3318CE A/D转换器介绍一种CCD图像采集处理系统的设计方法。
根据课题研究,将此系统应用于手写体数字的采集和识别中。
如果配以适当的光学系统,便可以实现光-机-电-算一体化设计。
现代图像采集技术发展迅速，各种采集方法已经相当成熟。
本文是一种结合课题设计的数据采集系统，主要用于手写数字的采集。
邮政编码、统计报表、财务报表、银行票据、人口普查表等等，这类信息的核心技术是手写数字。
随着国家信息化进程的加速，手写数字识别的应用需求将越来越广泛，它已成为目前国际上研究的一个热点，具有广阔的应用前景。
研制手写数字识别系统的关键是掌握手写数字图像的采集和识别技术，以往的采集工作都是借助扫描仪、高性能的摄像机和小型机来完成，造价高、体积大而且不易携带。
针对这一问题，本文提出了一种基于CCD的图象采集系统。
1 系统概述本系统主要由线阵CCD、ADC、DSP、可编程逻辑器件CPLD等几部分组成。
待输入图像经光源照明后,经物镜成像在CCD光敏元件阵列上,CCD通过驱动电路完成一次Y方向的自扫描。
在控制电路的作用下,CCD输出信号进行滤波放大处理,并经A/D转换电路进行数字化处理。
一行图像数据通过数据通道进入帧存储器。
ccd概念方案
CCD概念方案1. 概述CCD（Charge-Coupled Device）是一种用于光电转换的半导体设备，常用于数字摄影、视频摄像和天文学等领域。
本文将详细介绍CCD的工作原理、应用领域和发展趋势。
2. 工作原理CCD是由一系列电荷耦合的容器组成的芯片，每个容器存储一个像素点的电荷。
CCD通过光敏元件将光信号转化为电荷，然后利用电荷耦合的方式将电荷传输到电荷放大器。
最后，电荷放大器将电荷转换为电压信号，并经过模数转换器转换为数字信号。
3. 应用领域CCD在许多领域都有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：3.1 数码摄影CCD是数字相机中最关键的元件之一。
它能够将通过镜头传入的光信号转换为数字图像，提供高质量的图像捕捉效果。
CCD的高灵敏度和低噪声特性使得数码摄影成为可能。
3.2 视频摄像CCD在监控摄像和视频拍摄领域得到广泛应用。
其高动态范围和低光敏度使得CCD摄像机能够在光线不足的环境中捕捉清晰的画面。
此外，CCD还具备快速响应和高分辨率的特点，适用于高清视频拍摄。
3.3 天文学CCD在天文学领域起着重要的作用。
它能够捕捉远距离的星光，并通过计算机处理产生高质量的星图。
CCD技术使天文学家更加深入地研究宇宙，探索星系、行星和星际物质。
3.4 医学影像CCD在医学影像学中被广泛应用于X射线、核磁共振和超声波等成像技术。
通过将医学图像转换为数字信号，医生可以更准确地诊断疾病，并进行更精确的治疗。
4. 发展趋势随着科学技术的不断进步，CCD技术也在不断发展。
以下是CCD技术的一些发展趋势：4.1 高分辨率随着图像处理技术的提升，人们对于高分辨率图像的需求越来越大。
CCD技术将会不断提高分辨率，以满足用户对清晰图像的要求。
4.2 低功耗随着移动设备的普及，对于低功耗的需求也越来越高。
CCD将会朝着低功耗方向进行优化，以适应移动设备的需求。
4.3 多功能集成CCD不仅可以用于图像捕捉，还可以应用于光谱分析和生物检测等领域。
iccd工作原理
ICCD工作原理1. 概述ICCD（Intensified Charge-Coupled Device）是一种特殊的图像传感器，它结合了CCD传感器和光增强器（Intensifier）的技术，能够在低光条件下获得高增益和高灵敏度的图像。
ICCD广泛应用于夜视、光谱分析、高速成像等领域。
2. CCD传感器为了理解ICCD的工作原理，首先需要了解CCD传感器的基本原理。
CCD传感器是一种用于捕捉光信号并将其转换为电信号的器件。
它由大量的光敏二极管（Photodiode）和电荷耦合器件（Charge-Coupled Device）组成。
CCD传感器的工作原理如下： 1. 光子进入CCD传感器，被光敏二极管吸收。
2. 光敏二极管将光信号转换为电荷，并将电荷储存在对应的电容中。
3. 当需要读取图像时，电荷被逐行传输到CCD的输出端。
4. 电荷被转换为电压信号，并经过放大和模数转换，最终形成数字图像。
3. 光增强器光增强器是ICCD的关键组成部分，它能够将弱光信号放大到可观测的水平。
光增强器通常由光阴极（Photocathode）、电子倍增器（Electron Multiplier）和荧光屏（Phosphor Screen）组成。
光增强器的工作原理如下： 1. 光子进入光阴极，激发光阴极中的光电子。
2. 光电子经过光电子倍增管，通过多级倍增过程放大电子数量。
3. 放大后的电子经过加速电场，击中荧光屏。
4. 荧光屏发出可见光，被CCD传感器捕捉并转换为电信号。
4. ICCD工作原理ICCD的工作原理可以概括为以下几个步骤： 1. 光子进入ICCD系统，被光阴极吸收并激发光电子。
2. 光电子经过电子倍增器放大，产生大量的电子。
3. 放大后的电子经过加速电场，击中荧光屏。
4. 荧光屏发出可见光，被CCD传感器捕捉并转换为电信号。
5. CCD传感器将电信号转换为数字图像。
下面将详细解释每个步骤的工作原理：4.1 光子吸收与光电子激发ICCD的光阴极通常采用碱金属化合物（如CsI）涂覆在光透明的导电玻璃上。
CCD图像传感器详解
CCD图像传感器CCD（Charge Coupled Device）全称为电荷耦合器件，是70年代发展起来的新型半导体器件。
它是在MOS集成电路技术基础上发展起来的，为半导体技术应用开拓了新的领域。
它具有光电转换、信息存贮和传输等功能，具有集成度高、功耗小、结构简单、寿命长、性能稳定等优点，故在固体图像传感器、信息存贮和处理等方面得到了广泛的应用。
CCD图像传感器能实现信息的获取、转换和视觉功能的扩展，能给出直观、真实、多层次的内容丰富的可视图像信息，被广泛应用于军事、天文、医疗、广播、电视、传真通信以及工业检测和自动控制系统。
实验室用的数码相机、光学多道分析器等仪器，都用了CCD 作图象探测元件。
一个完整的CCD器件由光敏单元、转移栅、移位寄存器及一些辅助输入、输出电路组成。
CCD工作时，在设定的积分时间内由光敏单元对光信号进行取样，将光的强弱转换为各光敏单元的电荷多少。
取样结束后各光敏元电荷由转移栅转移到移位寄存器的相应单元中。
移位寄存器在驱动时钟的作用下，将信号电荷顺次转移到输出端。
将输出信号接到示波器、图象显示器或其它信号存储、处理设备中，就可对信号再现或进行存储处理。
由于CCD光敏元可做得很小（约10um），所以它的图象分辨率很高。
一．CCD的MOS结构及存贮电荷原理CCD的基本单元是MOS电容器，这种电容器能存贮电荷，其结构如图1所示。
以P型硅为例，在P型硅衬底上通过氧化在表面形成SiO2层，然后在SiO2上淀积一层金属为栅极，P型硅里的多数载流子是带正电荷的空穴，少数载流子是带负电荷的电子，当金属电极上施加正电压时，其电场能够透过SiO2绝缘层对这些载流子进行排斥或吸引。
于是带正电的空穴被排斥到远离电极处，剩下的带负电的少数载流子在紧靠SiO2层形成负电荷层（耗尽层），电子一旦进入由于电场作用就不能复出，故又称为电子势阱。
当器件受到光照时（光可从各电极的缝隙间经过SiO2层射入，或经衬底的薄P型硅射入），光子的能量被半导体吸收，产生电子-空穴对，这时出现的电子被吸引存贮在势阱中，这些电子是可以传导的。
CCD图像传感器的原理及应用
CCD图像传感器的原理及应用摘要：随着科技的迅猛发展，人们希望在生活生产中更多地实现自动化，而在实现自动化的过程中，传感器起着举足轻重的地位。
传感器其实就是人类感官的延伸，因此也叫“电五官”。
而图像传感器就是“电视觉”，本文就图像传感器中的一种——CCD图像传感器的原理及应用做一介绍。
关键字：CCD图像传感器原理应用CCD图像传感器是通过将光学信号转换为数字电信号来实现图像的获取、存储、传输、处理和复现。
光学信号转化为数字信号主要由CCD感光片完成。
CCD感光片由三部分组成，即镜片，彩色滤镜和感应电路，如下图。
镜片和彩色滤镜主要是对接受的光线（即图像）进行一定的预处理，感应电路为CCD传感器的核心，它又可分为光敏元件阵列和电荷转移器件两部分。
下面我们介绍一下感应电路的构成，CCD的感应电路是由若干个电荷耦合单元组成，该单元的结构如图所示。
其最小单元是在P型（或N型）硅衬底上生长一层厚度约为120nm的SiO2作为光敏器件，再在SiO2层上依次沉积铝电极而构成MOS的电容式转移器。
将MOS阵列加上输入、输出端，便构成了CCD的感应电路。
当光照射到ＣＣＤ硅片上时，在栅极附近的半导体体内产生电子－空穴对，其多数载流子被栅极电压排开，少数载流子则被收集在势阱中形成信号电荷。
当向SiO2表面的电极加正偏压时，P型硅衬底中形成耗尽区（势阱），耗尽区的深度随正偏压升高而加大。
其中的少数载流子（电子）被吸收到最高正偏压电极下的区域内，形成电荷包（势阱）电荷转移的控制方法，类似于步进电极的步进控制方式。
也有二相、三相等控制方式之分。
下面以三相控制方式为例说明控制电荷定向转移的过程。
三相控制是每一排像素上有三个金属电极P1,P2,P3,依次施加三个相位不同的脉冲，使得每排电极下电荷包向一侧移动，如下页图。
随着控制脉冲的分配，电荷包从一侧转移到最终端，由输出二极管收集后送给放大器处理，实现电荷移动。
当各排电荷全部移出感应区即扫描完成一幅画面，这些电荷最终以二进制的形式存储或修改。
ccd的工作原理及应用
ccd的工作原理及应用1. CCD是什么？CCD，即电荷耦合器件（Charge-Coupled Device），是一种光电转换器件，广泛应用于图像传感、光学测量和光谱分析等领域。
它由多个光敏二极管组成，能够将光信号转换成电信号，并可通过逐行读取的方式将图像信息传输到计算机或其他设备上。
2. CCD的工作原理CCD的工作原理可以分为光电转换和信号传输两个部分。
2.1 光电转换CCD的光电转换是通过光敏元件实现的，光敏元件包括感光区域和电荷传输区域。
当感光区域受到光照时，光子激活感光元件并生成电荷。
每个感光元件负责转换一个像素点的光信号。
2.2 信号传输CCD的信号传输是通过电荷耦合的方式完成的。
电荷在感光元件之间通过电荷传输位移的方式进行传输。
当光信号转换成电荷后，电荷逐行传输到输出端。
3. CCD的应用CCD具有灵敏度高、信噪比好、动态范围宽等优点，因此在许多领域得到广泛的应用。
3.1 数字摄像机CCD是数字摄像机中的核心部件，用于将光信号转换成电信号。
它能够捕捉细节丰富的图像，拥有较高的分辨率和色彩还原能力，广泛应用于数码相机、摄像机和手机等设备。
3.2 天文观测CCD在天文观测中发挥着重要的作用，能够感受到微弱的天体光信号，并将其转换成电信号。
天文学家利用CCD可以捕捉到遥远星系、行星、恒星等天体的图像，研究宇宙的演化和结构。
3.3 生物医学影像CCD在生物医学影像中也有广泛的应用。
例如在X射线成像、核磁共振成像和超声成像等方面，CCD可以将医学图像转换成数字信号，并进行后续的处理和分析，为医生提供准确的诊断结果。
3.4 光谱分析CCD在光谱分析领域也有重要的应用。
通过将不同波长的光信号转换成电信号，并通过CCD的逐行读取功能，可以获取光谱图像。
这对于材料分析、化学反应研究等领域具有重要意义。
3.5 星座相机星座相机是一种利用CCD进行星图测量和天文学研究的设备。
它使用高精度的CCD传感器，能够实时测量星体的位置和亮度，帮助天文学家研究星系结构、测定恒星距离和运动等。
05-CCD图像传感器基本工作原理
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电荷的收集
光子入射到CCD中产生电子空穴对， 电子向器件中 电势最高的地区聚集，并在那里形成电荷包。每个电荷包 对应一个像元。
入射的光子
电荷收集 的效率与 电势的分 布、复合 寿命和扩 散长度有 关。
电荷包
像元边界
n-型硅 p-型硅
电极结构 SiO2 绝缘层
像元边界
表面势表征了耗尽区的深度，与栅极电压和氧化层厚 度有关
势阱：由表面势产生的阱
不同氧化层厚度
状空间。有的定义为：存 储电荷的电势分布状态。
电极上的电压越大，势阱 越深，可存储的电荷量越 多，也就代表了CCD器件 具有电荷存储功能。
不存在反型层电荷时
理论分析参见半导体物理
栅极电压不变时，表面势与反型层电荷密度的关系：
处于低电位，形成了势
电势
垒，并确定了这个像元
的边界。像元水平方向
势能
上的边界由沟阻确定。
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电荷的收集 MOS 电容器
CCD曝光时，产生 光生电荷，光生电荷在 势阱里收集。随着电荷 的增加，电势将逐渐变 低，势阱被逐渐填满， 不再能收集电荷，达到 饱和。
势阱能容纳的最多
扩散产生了内部电场，在n-型层内电势达到最大。
电势
n p
这种‘埋沟’结构的优点 是能使光生电荷离开 CCD 表面，因为在CCD 表面缺欠多，光生电荷会 被俘获。这种结构还可以 降低热噪声（暗电流）。
电子势能最小的地方位 于n-型区内并与硅 - 二 氧化硅 (Si - SiO 2) 的 交界面有一定距离
1、三相电极结构(三相 CCD)
采用对称电极结构，三相 CCD是最简单的电极结构。 因为在某一确定的时刻，对存贮有电荷的电极而言， 两个相邻电极，需要一个被“打”开，另一个保持“关” 闭，以阻止电荷倒流。
CCD图象传感器的应用
§8—4 CCD图象传感器的应用一．CCD的七个应用领域1．小型化黑白、彩色TV摄像机这是面阵CCD应用最广泛的领域。
日本松下CD T型超小型CCD彩色摄像机，直径17mm，长48 mm，使用超小型镜头，重量54g，深受欢迎。
典型TV用I S尺寸：7×9 mm2，480×380像元。
2．传真通讯系统用1024～2048像元的线阵CCD作传真机，可在不到一秒钟内完成A4开稿件的扫描。
3．光学字符识别IS代替人眼，把字符变成电信号，进行数字化，然后用计算机识别。
重庆大学1985年的C D-1型OCR机，识别率达99．9﹪。
4．广播TV用SSIS(SolidStateImagin g Sensor固态图象传感器)代替光导摄像管。
1986年柯达公司已推出140万素的IS，尺寸7×9 mm2，比电视图象信号多4倍以上。
5．工业检测与自动控制这是IS应用量很大的一个领域，统称机器视觉应用。
①．在钢铁、木材、纺织、粮食、医药、机械等领域作零件尺寸的动态检测，产品质量、包装、形状识别、表面缺陷或粗糙度检测。
②．在自动控制方面，主要作计算机获取被控信息的手段。
③．还可作机器人视觉传感器。
6．可用于各种标本分析（如血细胞分析仪），眼球运动检测，X射线摄像，胃镜、肠镜摄像等。
7．天文观测①．天文摄像观测②．从卫星遥感地面如：美国用5个2048位C CD拼接成10240位长取代125mm宽侦察胶卷，作地球卫星传感器。
③．航空遥感、卫星侦察如：1985年欧洲空间局首次在SPO T卫星上使用大型线阵CCD扫描，地面分辨率提高到10m。
还在军事上应用：微光夜视、导弹制导、目标跟踪、军用图象通信等。
二．尺寸测量1．微小尺寸的检测（10～500μm）（一）原理用衍射的方法对细丝、狭缝、微小位移、微小孔等进行测量。
CCD固态图像传感器传感器课件
CCD固态图像传感器的性能直接影响到成像的质量。其分辨率、灵敏度、动态范围等参数决定了图像的清晰度、色彩 准确性和细节表现。
在自动化和机器人领域的应用
随着自动化和机器人技术的快速发展，CCD固态图像传感器在定位、识别、导航等方面发挥着越来越重 要的作用，推动了相关行业的进步。
技术发展与市场需求的相互促进
市场发展
技术创新推动CCD固态图像传感器市 场不断扩大，应用领域从传统的摄影 和摄像领域拓展到医疗、安全监控、 无人驾驶等新兴领域。
新型应用领域的拓展
医疗领域
随着医疗设备的高端化和智能化，CCD固态图像传感器在 医疗领域的应用越来越广泛，如内窥镜、显微镜和医学影 像诊断等。
安全监控领域
CCD固态图像传感器的高分辨率、低噪声和快速响应等特 点使其成为安全监控领域的理想选择，广泛应用于视频监 控、人脸识别和交通监控等领域。
光子能量与电子-空穴对数量关系
光子能量越高，产生的电子-空穴对数量越多，从而在像素中形成更多的电荷。
光电转换效率
不同波长的光线具有不同的光电转换效率，因此CCD传感器对不同颜色的敏感度不同。
信号电荷的产生与转移
01
02
03
信号电荷的产生
在光电转换过程中，电子空穴对被半导体材料捕获 并形成信号电荷。
低噪声性能
总结词
CCD固态图像传感器具有低噪声性能，能够降低图像中的随机噪声和干扰，提高 图像的信噪比和稳定性。
详细描述
CCD固态图像传感器采用电荷耦合技术，能够有效地将信号电荷传输到放大器中 ，避免了传统传感器中的热噪声和散粒噪声等问题。此外，其低噪声性能还能够 在高帧频下实现连续稳定的图像采集。
未来挑战
CCD原理
CCD的基本工作原理
一个完整的CCD器件由光敏元、转移栅、移位寄 存器及一些辅助输入、输出电路组成。 CCD工 作时，在设定的积分时间内，光敏元对光信号 进行取样，将光的强弱转换为各光敏元的电荷 量。取样结束后，各光敏元的电荷在转移栅信 号驱动下，转移到CCD内部的移位寄存器相应单 元中。移位寄存器在驱动时钟的作用下，将信 号电荷顺次转移到输出端。输出信号可接到示 波器、图象显示器或其他信号存储、处理设备 中，可对信号再现或进行存储处理。
1线型ccd摄像器件单沟道线型iccd双沟道线型iccd2面阵iccd帧转移面阵iccd隔列转移型面阵iccd线转移型面阵iccd它们的结构原理见课本p2032类型ccd面阵ccdccdccd面阵ccdccd外形续外形续2001600ccd面阵ccdccd外形续外形续麻省理工学院的panstarrs天文相机ccd33ccdccd图像传感器的应用图像传感器的应用线阵ccdccd在图像扫描中的应用在图像扫描中的应用线阵ccd摄像机可用于彩色印刷中的套色工艺监控风云一号卫星可以对地球上空的云层分布进行逐行扫描线阵ccdccd用于字符识别用于字符识别ccdccd数码照相机数码照相机dcccdlcdccdccd用于图像记录用于图像记录数码相机的外形数码相机的外形三基色分离原理ccdccd数码照相机的结构数码照相机的结构数码相机的结构数码相机的结构解剖解剖索尼索尼f828f828ccd16亿像素ccdccd数码显微镜数码显微镜拍摄的金属表面显微照片拍摄的金属表面显微照片ccdccd数码摄像机数码摄像机mosmos电容器组成的光敏元及数据面的显微照片电容器组成的光敏元及数据面的显微照片ccdccd读出移位寄存器的数据面显微照片彩色彩色ccdccd显微照片放大显微照片放大70007000倍ccdccd的基本工作原理的基本工作原理一个完整的ccd器件由光敏元转移栅移位寄存器及一些辅助输入输出电路组成
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１．单分子检测和弱光显微成像 近年来物理技术的迅 速 发 展 ， 使
ＩＣＣＤ 技术是光、机、电 与 计 算 机 相 结 合 的 高 新 技 术 。 以 ＩＣＣＤ 为
单分子检测成为可能。例如激光诱导荧光的检测方法因其灵敏度较 主要器件构成的各类成像系统， 成为人眼视觉的延伸和扩展。相对于
高， 现已成功应用于 体 液 、微 透 析 液 、细 胞 乃 至 单 细 胞 内 痕 量 氨 基 酸 、 其 它 图 像 传 感 器 ， ＩＣＣＤ 的 电 气 性 能 、抗 震 性 、价 格 及 耐 恶 劣 环 境 等 方
图 １ ＩＣＣＤ 基本结构示意图 Ｆｉｇ．１ ｓ ｃｈｅ ｍａ ｔｉｃ ｄｉａ ｇｒａ ｍ ｏｆ ＩＣＣＤ
自 １９６９ 年在贝尔实验室研制成功第一台 ＣＣＤ 之后， ＣＣＤ 的发展 历 程 已 逾 ３０ 年 。 ＩＣＣＤ 是 增 强 型 的 电 荷 耦 合 器 件 （Ｉｎｔｅｎｓｉｆｉｅｄ ＣＣＤ／ ＩＣＣＤ）。如图 １ 所示， 它是以光纤光锥或者中继透镜为中继元件， 把电 子管式或微通道板式图像增强器与 ＣＣＤ 耦合起来， 由此组成的微光 成像器件。入射光经变焦物镜成像在像增强器的光阴极上，在光阴极 上的光子由于光电效应转换成电子图像， 接着被耦合到微通道板上。 在微通道板的每一个光纤通道内，电子经过不断的撞击，每个入射电子 产生约 １００ 个电子，并保持图像的空间分布信息不丢失。从微 通 道 板 出射的电子撞击荧光屏， 重新激发出光子图像， 再经中继透镜投射到
４３６
科技信息
○机械与电子○
ＳＣＩＥＮＣＥ ＆ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＩＮＦＯＲＭＡＴＩＯＮ
２００７ 年 第 ２９ 期
和研究所就开始对 ＩＣＣＤ 的组装技术进行研究和探索。其中长春光机 码 ， 从 而 为 后 期 的 调 查 分 析 提 供 原 始 依 据 ； 若 将 ＩＣＣＤ 传 感 器 安 装 在
界积极研发的目 标 ， 因 为 像 素 越 大 则 图 像 产 品 的 分 辨 率 越 高 ， 相 应 地 在此时间段内， 因而要求使用门宽较窄的 ＩＣＣＤ。ＩＣＣＤ 门宽越窄， 散射
清晰度就越好， 体积小则应用面更广泛。
光 与 背 景 光 就 越 可 以 得 到 有 效 抑 制 。这 方 面 的 应 用 主 要 体 现 在 以 下 几
命研究、激光烧溶等。在做上述领域的研究时， 通过 ＩＣＣＤ 与光谱仪的 组合使用， 获得被测对象的特征谱线和谱线强度， 以便对不同物质的 光 谱 分 布 、时 间 延 迟 及 产 生 效 率 等 特 性 进 行 进 一 步 的 比 较 和 研 究 ［８－ １０］。
常见的应用方向大致可分为以下几类：
４．结语
【关键词】电荷耦合器件； 像增强器； 微光成像； 图像传感器 Ｔｈｅ ｐｒ ｉｎｃｉｐｌｅｓ ａｎｄ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ＩＣＣＤ ＳＯＮＧ Ｓｈｕ－ ｙａｎ ＣＨＥＮ Ｂｏ
（ Ｃｏｌｌｅｇｅ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒ ｉｃｓ ａｎｄ Ｉｎｆｏｒ ｍａｔｉｏｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒ ｉｎｇ， Ｓｏｕｔｈ－ ｃｅｎｔｒ ａｌ Ｕｎｉｖｅｒ ｓｉｔｙ ｆｏｒ Ｎａｔｉｏｎａｌｉｔｉｅｓ， ＨｕＢｅｉ，Ｗｕｈａｎ，４３００７４，Ｃｈｉｎａ ） 【Ａｂｓｔｒ ａｃｔ 】Ｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ ｔｈｅ ｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓ ａｎｄ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ＩＣＣＤ，ｔｈｅ ｎｅｗ ｉｍａｇｅ ｓｅｎｓｏｒ． Ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ ｔｈｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ ＣＣＤ ａｓ ｗｅｌｌ ａｓ ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ＩＣＣＤ，Ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｄｅｖｅｌｏｐｅｄ ｉｎ ｔｈｅ ＣＣＤ’ｓ ｆｏｕｎｄａｔｉｏｎ． Ａｎａｌｙｚｅｄ ｔｈｅ ｒｅｃｅｎｔ ｐｒｏｇｒｅｓｓ ａｎｄ ｆｕｔｕｒｅ ｔｒｅｎｄ ｏｆ ＩＣＣＤ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｉｎ ｔｈｅ ｄｏｍｅｓｔｉｃ ａｎｄ ｆｏｒｅｉｇｎ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ ｔｈｅ ｐｒｏｄｕｃｔ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｏｖｅｒｓｅａｓ ＩＣＣＤ ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｒ， ｔｈｅ ｍａｉｎ ｔｅｃｈｎｉｃａｌ ｂｏｔｔｌｅｎｅｃｋ ｉｎ ｄｏｍｅｓｔｉｃ． Ｉｌｌｕｓｔｒａｔｅｄ ｔｈｅ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ ｏｆ ＩＣＣＤ ｔｏ ａｒｅａｓ ｓｕｃｈ ａｓ ｒｅｓｅａｒｃｈ． 【Ｋｅｙ ｗｏｒ ｄｓ】Ｃｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ； ｉｍａｇｅ ｉｎｔｅｎｓｉｆｉｅｒ； Ｌｏｗ－ Ｌｉｇｈｔ－ Ｌｅｖｅｌ Ｉｍａｇｅ； ｉｍａｇｅ ｓｅｎｓｏｒ
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２００７ 年 第 ２９ 期
新型图像传感器 ＩＣＣＤ 的原理及应用
宋述燕 陈 波 （ 中南民族大学电信学院 湖北 武汉 ４３００７４）
【摘 要】综述了新型图像传感器 ＩＣＣＤ 的工作原理及性能。对 ＣＣＤ 的结构以及在 ＣＣＤ 基础上发展起来的 ＩＣＣＤ 的结构和性能进行了 具体说明。介绍了 ＩＣＣＤ 技术在国内外的发展现状及将来的发展趋势， 包括国外 ＩＣＣＤ 生产厂家的产品性能优缺点， 国内研制 ＩＣＣＤ 的主要技 术瓶颈和目前所能达到的水平。说明了 ＩＣＣＤ 的应用领域以及在科学研究上的成功范例。
１．ＩＣＣＤ 的工作原理及性能
目 前 的 固 态 图 象 传 感 器 从 原 理 上 可 分 为 电 荷 耦 合 器 件 、电 荷 注 入 器件、电荷引发器件等若干类型［１］。电荷耦合器件（ ＣＣＤ） 是在半导体基 体上先生出一层 ＳｉＯ２ 绝缘层， 再在绝缘层上锭积一系列间隙很小的 金属电极， 构成（ 半导体＋氧化物＋金属电极） 的结构， 即形成一个 ＭＯＳ 电容器， 所以 ＣＣＤ 可视为一系列 ＭＯＳ 电容器组成的阵列。当在金属 电极上施加正电压时， 电极下 Ｐ 型区域里的空穴被赶尽， 形成一个所 谓的势能很低的“势阱”区域。若此时有光线入射到半导体硅片上， 在 光子的作用下， 硅片上就产生了电子和空穴， 电子被势阱所吸收， 而空 穴 则 被 排 斥 出 去 。势 阱 吸 收 的 电 子 数 量 与 入 射 光 强 成 正 比 。半 导 体 硅 片上有很多相互独立的 ＭＯＳ 光敏元， 如果照射在这些光敏元上的是 一幅明暗起伏的图象， 则相应感生出一幅与光照强度相对应的光生电 荷图象。通过 ＣＣＤ 中设置的移位寄存器， 可以把存储的电荷以电荷包 的形式定向传输转移， 完成从光信号到电信号的转换。
相对于其它的图像传感器， ＩＣＣＤ 传感器具பைடு நூலகம்以下性能优点： １）体 积 小 、重 量 轻 、耗 电 少 、启 动 快 、寿 命 长 和 可 靠 性 高 。 ２）高解析度。像点尺寸为 μｍ 量级， 像素数目从初期的 １０ 多万增 加到现在的 ４００～５００ 万。 ３）低杂讯高灵敏度。具有很低的读出噪声和暗电流， 信噪比较高； 灵敏度较高， 低照度的入射光也能侦测到。 ４）光谱响应范围宽。一般的 ＩＣＣＤ 可工作在 ４００ｎｍ～１１００ｎｍ 的波 长范围内， 最大响应约 ９００ｎｍ。 ２．国内外的发展现状及发展趋势 据了解， 掌握 ＩＣＣＤ 生产技术并且有产品的公司 有 ： 美 国 Ｒｏｐｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ 公司 （ 原 Ｐｒｉｎｃｅｔｏｎ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ 公司 ） 、德国 ＬａＶｉｓｉｏｎ 公 司 、法 国 ＨＯＲＩＢＡ Ｊｏｂｉｎ Ｙｖｏｎ 公 司 、 英 国 Ａｎｄｏｒ 公 司 、 荷 兰 Ｌａｍｂｅｒｔ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ 公司等。 Ｌａｖｉｓｉｏｎ 公司生产的 ＰｉｃｏＳｔａｒ ＵＦ 系列 ＩＣＣＤ 是同类产品中居于世 界领先水平的超短快门 ＩＣＣＤ， 最小光学门宽为 ５０ｐｓ。由于纳秒级或皮 秒级的瞬态现象只能通过窄门宽成像器件进行捕捉， 所以该产品是配 合超快、锁模、高 重 复 频 率 激 光 器 做 时 间 分 辨 成 像 光 谱 研 究 的 理 想 选 择。该型号的 ＩＣＣＤ 可以配用单级或双级微通道板 构 成 的 像 增 强 器 ， 像素数目 为 １３７６ ｘ １０４０， 像 元 尺 寸 可 达 ２６μｍ。 由 ＩＣＣＤ 的 工 作 原 理 可知： ＩＣＣＤ 的光谱响应是由像增强器的光阴极的量子效率决定的。目 前诸多生产厂家大多采用第二代像增强器， 量子效率不十分理想。 Ｒｏｐｅｒ Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ 公 司 生 产 的 ＰＩ－ ＭＡＸ 系 列 ＩＣＣＤ， 使 用 第 三 代 像 增 强 器， 扩 大 了 光 谱 响 应 范 围 ， 提 高 了 量 子 效 率 ， 波 长 范 围 为 ２００ｎｍ 至 １０５０ｎｍ， 最大量子效率可由第二代的 ２８％提高到目前的 ４５％。该型号 的 ＩＣＣＤ 具 有 单 光 子 探 测 的 超 高 灵 敏 度 ， 最 高 ５ＭＨＺ 的 Ａ／Ｄ 转 换 速 度。荷兰 Ｌａｍｂｅｒｔ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ 公司生产有三款不同性能的 ＩＣＣＤ， 其中 ＨＩ－ ＣＡＭ 系列的最大帧频 为 １８２５ 幅／每 秒 ， 在 准 备 和 调 焦 过 程 中 ， 速 度约为 ３０ 幅／每秒。此款 ＩＣＣＤ 由于采用了合成像增强器和高速荧光 屏， 真正做到了集高速和高探测灵敏度于一起。 国内在研制 ＩＣＣＤ 方面的技术瓶颈主要是 ＩＣＣＤ 的光纤耦合问题 ［２］。所谓光纤耦合就是将组成 ＩＣＣＤ 的三个离散型的元器件： ＣＣＤ、像增 强器和光纤面板或光纤光锥串联装配起来。在装配时， 这些元件间的 几何对准损失和元件本身的疵病对最终成像质量都有影响， 为此需适 当选择元器件的技术指标。从 ２０ 世纪 ８０ 年代末开始， 国内许多院校
０．引言 ＣＣＤ（ Ｃｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ， 电 荷 耦 合 器 件 ） 是 ７０ 年 代 初 发 展 起来的新型半导体器件。３０ 多年来， ＣＣＤ 的研究取得了惊人的进展， 特别是自从 ＩＣＣＤ 产生以后， 人们在 ＣＣＤ 及 ＩＣＣＤ 作为新 型 图 像 传 感
器应用方面的研究逐渐深入， 已形成了现代光电子学和测试技术中最 活跃和最富有成果的一个新兴的领域。
所和北京微量化学研究所在这一领域的进展最显著， 技术最具代表 汽车后部的恰当位置， 司机在倒车或者正常行驶中的后视情况就可通