环境工程仪器分析样本

研究固体样品表面性质和组织结构的宏观设计方案一、固体样品表面性质分析1．仪器扫描电镜: 全称是扫描电子显微镜, 简写为SEM。

1.1.工作原理扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态, 即用极狭窄的电子束去扫描样品, 经过电子束与样品的相互作用产生各种效应, 其中主要是样品的二次电子发射。

二次电子能够产生样品表面放大的形貌像, 这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的, 即使用逐点成像的方法获得放大像。

用扫描电镜能够观察样品的指标有: 微观形态形貌; 微区物理、化学成分分析;微区生物学分析等。

1.2.机构组成扫描电子显微镜由三大部分组成: 真空系统, 电子束系统以及成像系统。

1.2.1.真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。

真空泵用来在真空柱内产生真空。

成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。

真空柱底端用于放置样品。

之因此要用真空, 主要基于以下两点原因:( 1) 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效, 因此除了在使用SEM时需要用真空以外, 平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

( 2) 为了增大电子的平均自由程, 从而使得用于成像的电子更多。

1.2.2.电子束系统电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成, 主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。

而电子枪用于产生电子, 主要有两大类, 共三种。

一类是利用场致发射效应产生电子, 称为场致发射电子枪。

另一类则是利用热发射效应产生电子, 有钨枪和六硼化镧枪两种。

1.3.基本参数1.3.1.放大率与普通光学显微镜不同, 在SEM中, 是经过控制扫描区域的大小来控制放大率的。

如果需要更高的放大率, 只需要扫描更小的一块面积就能够了。

放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

因此, SEM中, 透镜与放大率无关。

1.3.2.场深在SEM中, 位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都能够得到良好的会焦而成象。

这一小层的厚度称为场深, 一般为几纳米厚, 因此, SEM能够用于纳米级样品的三维成像。

1.3.3.工作距离工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。

如果增加工作距离, 能够在其它条件不变的情况下获得更大的场深。

如果减少工作距离, 则能够在其它条件不变的情况下获得更高的分辨率。

一般使用的工作距离在5毫米到10毫米之间。

1.3.4.成象次级电子和背散射电子能够用于成象, 但后者不如前者, 因此一般使用次级电子。

2.表面分析由于电子束只能穿透样品表面很浅的一层( 参见作用体积) , 因此只能用于表面分析。

表面分析所用到的探测器有两种: 能谱分析仪与波谱分析仪。

前者速度快但精度不高, 后者非常精确, 能够检测到”痕迹元素”的存在但耗时太长。

3.SEM应用3.1.生物: 种子、花粉、细菌等。

3.2.医学: 血球、病毒等。

3.3.动物: 大肠、绒毛、细胞、纤维等。

3.4.材料: 陶瓷、高分子、粉末、环氧树脂等。

3.5.化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥( 杆菌) 、机械、电机及导电性样品, 如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察) 电子材料等。

4.扫描电子显微镜在新型陶瓷材料显微分析中的应用4.1.显微结构的分析在陶瓷的制备过程中, 原始材料及其制品的显微形貌、孔隙大小、晶界和团聚程度等将决定其最后的性能。

扫描电子显微镜能够清楚地反映和记录这些微观特征, 是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法, 样品无需制备, 只需直接放入样品室内即可放大观察; 同时扫描电子显微镜能够实现试样从低倍到高倍的定位分析, 在样品室中的试样不但能够沿三维空间移动, 还能够根据观察需要进行空间转动, 以利于使用者对感兴趣的部位进行连续、系统的观察分析。

扫描电子显微镜拍出的图像真实、清晰, 并富有立体感, 在新型陶瓷材料的三维显微组织形态的观察研究方面获得了广泛地应用。

由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析, 并具有能够直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点, 当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时, 扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。

主要表现为: 力学加载下的微观动态 ( 裂纹扩展) 研究 ; 加热条件下的晶体合成、气化、聚合反应等研究 ; 晶体生长机理、生长台阶、缺陷与位错的研究; 成分的非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究; 晶粒相成分在化学环境下差异性的研究等五个方面。

4.2. 观察纳米材料所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在0.1-100nm范围内, 在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。

纳米材料具有许多与晶体、非晶态不同的、独特的物理化学性质。

纳米材料有着广阔的发展前景, 将成为未来材料研究的重点方向。

扫描电镜的一个重要特点就是具有很高的分辨率。

现已广泛用于观察纳米材料。

4.3.进口材料断口的分析扫描电镜的另一个重要特点是景深大, 图象富立体感。

扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大10倍, 比光学显微镜大几百倍。

由于图象景深大, 故所得扫描电子象富有立体感, 具有三维形态, 能够提供比其它显微镜多得多的信息, 这个特点对使用者很有价值。

扫描电镜所显示的断口形貌从深层次, 高景深的角度呈现材料断裂的本质, 在教学、科研和生产中, 有不可替代的作用, 在材料断裂原因的分析、事故原因的分析以及工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。

4.4.直接观察大试样的原始表面它能够直接观察直径100mm, 高50mm, 或更大尺寸的试样, 对试样的形状没有任何限制, 粗糙表面也能观察, 这便免除了制备样品的麻烦, 而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度( 背反射电子象) 。

4.5.观察厚试样其在观察厚试样时, 能得到高的分辨率和最真实的形貌。

扫描电子显微的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间, 但在对厚块试样的观察进行比较时, 因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法, 而复膜的分辨率一般只能达到10nm, 且观察的不是试样本身。

因此, 用扫描电镜观察厚块试样更有利, 更能得到真实的试样表面资料。

4.6.观察试样的各个区域的细节试样在样品室中可动的范围非常大, 其它方式显微镜的工作距离一般只有2-3cm, 故实际上只许可试样在两度空间内运动, 但在扫描电镜中则不同。

由于工作距离大( 可大于20mm) 。

焦深大( 比透射电子显微镜大10倍) 。

样品室的空间也大。

因此, 能够让试样在三度空间内有6个自由度运动( 即三度空间平移、三度空间旋转) 。

且可动范围大, 这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。

4.7.在大视场、低放大倍数下观察样品用扫描电镜观察试样的视场大。

在扫描电镜中, 能同时观察试样的视场范围F由下式来确定: F=L/M式中 F——视场范围; M——观察时的放大倍数; L——显象管的荧光屏尺寸。

若扫描电镜采用30cm( 12英寸) 的显象管, 放大倍数15倍时, 其视场范围可达20mm, 大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的。

扫描电镜的放大倍数范围很宽( 从5到20万倍连续可调) , 且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察, 不用重新聚焦。

4.8.观察生物试样因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。

同其它方式的电子显微镜比较, 因为观察时所用的电子探针电流小( 一般约为10-10 -10-12A) 电子探针的束斑尺寸小( 一般是5nm到几十纳米) , 电子探针的能量也比较小( 加速电压能够小到2kV) 。

而且不是固定一点照射试样, 而是以光栅状扫描方式照射试样。

因此, 由于电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小, 这一点对观察一些生物试样特别重要。

4.9.进行动态观察在扫描电镜中, 成象的信息主要是电子信息, 根据近代的电子工业技术水平, 即使高速变化的电子信息, 也能毫不困难的及时接收、处理和储存, 故可进行一些动态过程的观察, 如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件, 则能够经过电视装置, 观察相变、断烈等动态的变化过程。

4.10.从试样表面形貌获得多方面资料在扫描电镜中, 不但能够利用入射电子和试样相互作用产生各种信息来成象, 而且能够经过信号处理方法, 获得多种图象的特殊显示方法, 还能够从试样的表面形貌获得多方面资料。

因为扫描电子象不是同时记录的, 它是分解为近百万个逐次依此记录构成的。

因而使得扫描电镜除了观察表面形貌外还能进行成分和元素的分析, 以及经过电子通道花样进行结晶学分析, 选区尺寸能够从10μm到3μm。

4.11. 铁电畴的观测压电陶瓷由于具有较大的力电功能转换率及良好的性能可调控性等特点在多层陶瓷驱动器、微位移器、换能器以及机敏材料与器件等领域获得了广泛的应用。

随着现代技术的发展, 铁电和压电陶瓷材料与器件正向小型化、集成化、多功能化、智能化、高性能和复合结构发展, 并在新型陶瓷材料的开发和研究中发挥重要作用。

铁电畴 ( 简称电畴) 是其物理基础, 电畴的结构及畴变规律直接决定了铁电体物理性质和应用方向。

电子显微术是观测电畴的主要方法, 其优点在于分辨率高, 可直接观察电畴和畴壁的显微结构及相变的动态原位观察( 电畴壁的迁移) 。

扫描电子显微镜观测电畴是经过对样品表面预先进行化学腐蚀来实现的, 由于不同极性的畴被腐蚀的程度不一样, 利用腐蚀剂可在铁电体表面形成凹凸不平的区域从而可在显微镜中进行观察。

因此, 能够将样品表面预先进行化学腐蚀后, 利用扫描电子显微镜图像中的黑白衬度来判断不同取向的电畴结构。

对不同的铁电晶体选择合适的腐蚀剂种类、浓度、腐蚀时间和温度都能显示良好的畴图样。

在实际分析工作中, 往往在获得形貌放大像后, 希望能在同一台仪器上进行原位化学成分或晶体结构分析, 提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料, 以便能够更全面、客观地进行判断分析。

为了适应不同分析目的的要求, 在扫描电子显微镜上相继安装了许多附件, 实现了一机多用, 成为一种快速、直观、综合性分析仪器。

把扫描电子显微镜应用范围扩大到各种显微或微区分析方面, 充分显示了扫描电镜的多种性能及广泛的应用前景。

由于扫描电镜具有上述特点和功能, 因此越来越受到科研人员的重视, 用途日益广泛。

现在扫描电镜已广泛用于材料科学( 金属材料、非金属材料、纳米材料) 、 冶金、 生物学、 医学、 半导体材料与器件、 地质勘探、 病虫害的防治、 灾害( 火灾、 失效分析) 鉴定、 刑事侦察、 宝石鉴定、 工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。

二．固体样品表面性质测定1.用天平测出固体样品的质量m ;2.根据密度公式Vm =ρ算出其密度。