捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料

炉体尾部气路
尾气排废管道 （尾部抽风）
热电偶 （内偶）
恒温槽
恒温槽及源瓶
源 瓶
源量对于方阻的影响是最 直接的工艺点之一
恒温槽的温度一般都为20度，偏高或偏低都会影响扩散氮的实际流量
三氯氧磷的使用和注意事项
▪ 三氯氧磷:1如果在装的过程中不小心发生泄漏或打破源瓶应立即通 知车间人员疏散,同时处理人员应戴上防毒面具和相应工具对泄漏的 三氯氧磷进行清理,尽量减少三氯氧磷的污染范围同时通知安全人员 配合处理
▪ 温控元件应用高精度智能温控器
▪ 完整的控制方案确保从低温到高温状态下，
炉管内恒温区的持续与真实性。
技术特点——5段自动适时恒温区
+
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温控仪
温度设定值
PID1
温变器
4~20mA输入
PID2 4~20mA输出 触发器
温度串级控制示意图
380V
380V 380V
技术特点——工艺舟软着陆
技术特点——数字化控制，消除了模拟变量传输的干 扰
▪ 12 可存储200条工艺曲线、每条曲线不少1wenku.baidu.com0个拐点。
▪ 13 最大升温功率：
42KVA/每管
技术特点
▪ 5段自动适时恒温区 ▪ 工艺舟软着陆 ▪ 闭管扩散 ▪ 数字式MFC精确控制气体流量 ▪ 自动装卸舟
技术特点——5段自动适时恒温区
在1100mm的恒温区范围内，采用5点Profile 热偶配合炉壁热偶进行串级温控
化
炉体加热部分
主要工艺控制点：
炉门 炉体（热电偶 加热丝） 温控表主要参数设置方法
炉体加热部分
▪ 1） 功率部件
▪
变压器为低压大电流输出，原边以380V三相供电，
▪ 设备中任意一管工作，都不影响电网负荷的平衡。采 用
▪ 周波过零触发技术，克服了对电网的二次谐波干扰。
▪ 2） 炉体
▪
优良热场设计，既有良好的热场均匀性，又能保证
▪ F２1：1np=3（热电偶种类 S型）UnIT=0(温度单位℃)
▪ PGdP=1（小数点以下1位） ▪ PGSL=0 （输入刻度下限值0）PGSH=1500（输入刻度
上限值1500） ▪ F22一样设置 ▪ F30：LoGC=5（输出逻辑） OUT4 ：对应EV3 （5、6端
子继电器输出）
▪ ALC1=01111 RLC2=00011 ▪ F43：ES3=5 （EV3的最大报警值，外热电偶断偶超温报
在每层相应的前面板上，分布有触摸 屏，状态指示灯、报警器、急停开关和 控制开关。
控制部分是我们调节工艺参数的主要 途径。
控制部分
▪ 工控机软件功能强大,人机接口界面友好: ▪ ⑴有工艺程序集中编辑功能。 ▪ ⑵有计算机手动调试界面。 ▪ ⑶工艺运行中,可方便地实现跳步﹑在线编辑﹑修改。 ▪ ⑷具有程序断点启动功能。 ▪ ⑸具有超温﹑断偶报警保护及自动斜率升降温和故障
▪
2.磷源更换及注意事项:通知当班工艺人员准备更换磷源工艺人
员应积极配合监督并陪同更换磷源全过程生产人员应事先将必备物件
备好<如小刀防毒面具和橡胶手套等>佩带自吸过滤或防毒面具内戴
丁晴手套,外戴耐酸咸橡胶手套.检查新源瓶有无损坏裂痕及参透检查
进气和出气口阀门是否关闭及标签是否真确.源瓶阀门进气口为锥形
先在本地控制的模式下进行CH2的自总定，完毕后在远程模式下进行 CH1的自总定。PID参数自总定完成。
▪ A-M手动/自动切换 r-L 本地/远程控制选择
r-
5:RUN/STOP切换
▪ 三．一边按set键一边按＞mode键：
▪ 1、Pb：2.pb修正
Add1：:通讯地址设置
▪ Lck:密码设置
bps1：19.2、b1T1：801、1nT1：
技术特点——自动装卸舟（机械手）
自动装卸舟功能的实现将大大的提高扩散 工序的自动化操作程度
高度的重复性，避免了人工操作的随意性 对工艺产生的影响。
全套动作由独立监控电脑控制，各种动作 通过电机与导轨配合自动完成，系统通过 与各管工位现场计算机及到位传感器进行 联锁，保护舟及反应片的安全。
设备结构
定: ▪ 1. 从 本地模式 设定为 远程模式。・・・・・・・・・・ r-L = rEM ▪ 2. 设定主的设定値的温度。・・・・・・・・・・・・・・ 1. SV =
目标温度 ▪ 3. 进行第二通道的AT(自整定演算)。 ・・・・・・・ 1.ATU = on
气源部分
气源柜顶部设置有排毒口，用以排除在换源过 程中泄露的有害气体。
▪ 升、降温的速度。
▪ 3） 炉丝
▪
进口一级康泰尔丝，保证长寿命
炉体加热部分
10.930
10.937
10.930 10.935
10.935
靠炉尾(偏差7µV）
10.939
10.940
c10.934
10.939
10.934
10.933
10.936
10.932 10.932
10.932
中(偏差6µV）
▪ 太阳光照到PN结上，产生电子的定向移动， 产生电流
产品特点
串级温度控制精度高，恒温区稳定、真实 工艺舟软着陆 闭管扩散 工艺气体流量精确 性价比高 具备手动/自动功能
主要技术指标
▪ 1 电阻率误差范围：±5 o hms/sq
▪ 2 温度控制范围：350～1300℃
▪ 3 温度控制方式： 5段智能串级温度控制器进行控温
SIC 桨
推舟净化部分
▪ 精密直线导轨副配合精密丝杆副传动 ▪ 步进电机及数字通讯驱动器作驱动 ▪ 计算机通过通讯方式给驱动器发出控制信号 ▪ 可精确控制步进电机256细分，达到稳定可靠转
速 ▪ 推舟的速度在20～ 1000mm/min内无级变化 ▪ 工艺反应过程中，悬臂桨外置，实现真正的闭管
扩散 ▪ 自动机械手实现自动装卸舟功能，实现高度自动
悬臂桨的进出料运动与软着陆的上下运动，均运 用通讯控制的256细分马达驱动器，防止运动过 程中的阻步、丢步现象，从而确保机械运动的高 度稳定与重复性。
数字式MFC的运用，确保了反应气体流量的控制 精确、稳定、无干扰，对工艺生产的重复稳定控 制具有非常有益的帮助，通过配合串级温度控制， 可极大的提高工艺批次间的品质。同时具备手动 设置调整功能，极大的方便设备测试、维护工作 的开展。
警）
▪ EVA3=1 事件分配（输入１事件报警，内热电偶断偶超 温报警ＯＵＴ１）
▪ F50：pd:0(热启动) CAM：2(输入2的用途) 级联控制 CAr=1(级联比率)CAb=000(通道CH2附加偏置)
▪ F51：1：OS：1逆动作（加热控制） ▪ F60：通讯协议：Cmps1:0(RKC通讯协议)：cmps2：0
▪ 7 设置有超温、断偶、断点启动等自动保护系统
▪ 8 送舟方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，舟速20～1000mm/min连续可调，可选自 动装卸舟
▪ 9 配备快速冷却系统
▪ 10 工艺方式：软着陆＋闭管扩散（最大装片量400片/批）
▪ 11 工艺过程由工业计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作。
柜顶设置有三路工艺气体及一路CDA的进气接 口，接口以下安装有减压阀、截止阀，用以对进气 压力进行控制及调节。对应气路，分别装有相应的 电磁阀、气动阀、过滤器、单向阀、及源瓶冷阱等。
气源部分
CDA O2 大N2 小N2
气源进气图
小氧 MFC
小氮 MFC
大氮 MFC
电磁 阀
气动 阀
气源进气口 （喷淋管）
RKC HA900温控表主要参数设置方法
▪ 一．面板操作键：A/M（自动/手动）切换
▪
R/L（远程/本地）切换
▪ R/S（Run/Stop）运行/停止切换
▪ 按set键进行SV1、SV2温度设置：SV1→CH1（内热电 偶），SV2→CH2（外热电偶）
▪ 按住set键3秒以上：EV3绝对值报警温度，（目前对应的
进出气口有没有装反.小口径为进气口其气管连接端深入到三氯氧磷
液位一下,大口径为出气口其气管连接端未伸入到三氯氧磷液位
外围部分
1. 抽风：抽风过大，过小都会影响炉管内气体的稳定 性，进一步影响方阻。
2. 工艺气体及CDA的流量： N2 和O2都是扩散所需的重 要工艺气体，CDA则是控制气动阀门等的重要气体。 上诉 气体如果流量偏差时间持续过长，对工艺会产生很大的影响。
捷佳伟创晶体硅电池高温扩散 炉的培训资料
制作单位：深圳捷佳伟创集团公司
日期；二零一一年四月二十五日
目录
1设备介绍 2设备结构 3工艺控制 4人员操作 5设备的保养
设备介绍
▪ 1设备用途 ▪ 2产品特点 ▪ 3主要技术指标 ▪ 4技术特点
设备用途
▪ 晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂
▪ 通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳 能电池的核心
▪ 4 恒温区长度及精度（动态,即模拟工艺状态）： 350～600℃ ≤±1℃/1100mm
▪
600～1300℃ ≤±0.5℃/1100mm
▪ 5 温度斜变能力：A．最大可控升温速率：15℃/min； 6℃/min
B．最大降温速率：
▪
C．RT→1100℃≤90min
▪ 6 具有自动斜率升温及恒温功能。
30 PV数字滤波器：1dF=5 2dF=5
▪ 四．同时按set键和＞mode键3秒以上（工程技术模式设
置），必须在Stop状态下才能修改：
▪ F１0：spch=0。dE=6 （ 通道2的操作输出值MV）
▪ dEuT=100条形分辨率) F11：Fn1=3 （输入1与输入2自动/ 手动的切换）
▪ Fn2=1（远程/本地切换键操作） Fn3=1切换R/S
抽风
废弃柜处 处于的抽 风：一般 抽走的是 炉门打开 时散发的 残余废气
气源柜处的抽风是扩散工艺的主 要控制点，该处抽风的过大，过 小都会对方阻产生影响，一般在 工艺正常运行后，很少进行调试， 但如果外围抽风力道变大，炉口 的方阻就会升高
废气柜处处 于炉门边上 的抽风：一 般也是抽走 的是炉门打 开时散发的 残余废气
自 ▪ 诊断功能。 ▪ ⑹能存储200条以上工艺曲线。 ▪ (7)全中文图示，直观、易懂、方便
推舟净化部分
推舟净化柜的顶部装有照明灯，正面是水平层流的高效 过滤器及推舟的丝杠、导轨副传动系统，SiC悬臂桨座，丝 杠的前端安装有驱动步进电机，导轨下端按有限位开关。
上 下 马 达
平移马达
净化系统
限位保护开关
靠炉口(偏差4µV）
炉门
设备中炉门对于 工艺的影响是比较的， 如果接近炉口的方阻 大量出现偏高，且片 内的方阻出现上下分 层现象，都是炉门没 关紧引起的
加热点（6个）
炉体加热部分
该部分主要配置 有：
炉管
控温热电偶、
超温保护热电偶
（5个）热电偶（外偶的分布位置由5个控温点组成）
五块温控表，相对应五个温度点。温控表主要用于温度的整定，PB 值的设置等。如果实际温度偏离设置值温度幅度很大，在排除其他加热 正常的情况下，一般重新进行恒温即可。
是EV3=1100度 控CH2：本地控制，PID参数由自整定形 成。 (当CH2温度达300度后，稳定5分钟，再次设为600 度，此时把CH2自整定打开，CH2自整定AT完成后，按 R/S键切换进行远程控制，进行CH1的自总定，CH1设为
860度，此时CH2可设为0度)
▪ 二：按住∠mode键3秒以上：ATU=ON。CH1， CH2分别进行自整定。
工装夹具
石英舟需要定时清洗，脏的 石英舟会影响扩散后硅片边缘的 外观。（清洗要求要跟距工艺变 化来决定）距工艺
口出气口为平口在加一锥形噻在安装进出气管时需小心避免瓶颈的破
坏
▪
3.源瓶更换操作要领:先关闭进气口阀门,<进气口贴有绿色标签>
在关闭出气口<出气口有红色标签>拆卸进出气口需紧固螺母和连接
气管.更换源瓶:开启源瓶包装箱之前必须检查源瓶是否有裂痕是否有
损坏,阀门开关是否完好而且是关闭状态,检查是否有检验合格证.检查
1. DS-300A型管式高温扩散炉： 控制部分、 推舟净化部分、炉体加热部分、 气源部分。
2.外围
3.工装夹具： 石英舟 舟托架
DS-300A型管式高温扩散炉
控制部分
推舟净化部分
炉体加热部分
气源部分
控制部分
位于控制柜的计算机控制系统分布 于各个层面，但每个层面的控制系统都 是相对的独立部分，每层控制对应推舟、 炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控 制中心。
注意事项
▪ 首先进行第二通道的PID,这个时候,第二通道一定是在本地摸式. ▪ 1. 设定为本地模式。・・・・・・・・・・・・・・ r-L = LoC ▪ 2. 设定第二通道的设定値的温度。・・・・・・・ 2. SV = 目标温度 ▪ 3. 进行第二通道的AT(自整定演算)。 ・・・・・・・ 2.ATU = on ▪ 整定完成后,进行第一通道的自整定, 这个是在串级的情况下做自整