电子束精整加工的真空系统设计与研究
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２１ ００年 ７月
机床与液压
ＭＡＣＨＩ ＮＥ ＴＯ０Ｌ ＆ ＨＹＤＲＡＵＬ ＣＳ Ｉ
Ｊ １２ ０ ｕ． ０１
Ｖｏ． ８ Ｎｏ ４ １ ３ ．１
第３ ８卷 第 ｌ ４期
Ｄ ：１ ．９ ９ ｊ ｉ ｎ １０１— ８ １２ １ ． ４ ０ １ ＯＩ ０ ３ ６ ／．ｓ ． ０ ｓ ３ ８ ．０ ０ １．０
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料表面时 ，大量 的能量会在短时间里沉 积到材料表面 的薄层 中，被 加热层 的温度迅 速 升高 ，导 致 局部 融
真空系统 的原 理如 图 １ 示 ，１ 扩散泵 ，２为 所 为 真空室 ，３为主 阀，４和 ５分别为 电阻规和 电离规 ，６
化 、汽化等现象 。当输入能量结束时 ，工件表面会 急 速冷却 ，材料表面经 过这个 强烈 的物 理 、化学作 用 ， 将会达到很 高的机械性能…。 电子束精整 的质 量一 方 面取决 于 电子束 源 以及 加工工艺 的优 化 ，而从 电子束 的加 工工艺 来说 ，很 大程度上取决 于真空 的环境 。真空 度 的提高 不但 可 以减 少高速 电子束 的减速 和 阻尼现 象 ，而 且 ，抽 真 空 的效 率对 电子束 的整个 加工 时 间起 着 决定 性的 作
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电子 束 精整 加工 的 真空 系 统设 计 与研 究
胡建军 ，陈元芳。 ，许 洪斌。 ，金铁 玉 ，鲜杨
（．重庆 大学机械 工程 学 院 ，重庆 ４０４ １ ００４；２ ．重庆 理 工大 学材料 学院 ，重庆 ４０５ ） ０００
摘要 ：抽真空效率对 电子束的整个加工时间起着决定 性的作用 。在分析 系统要求 的基础上 ，设计 出真空 系统原理 图， 制定 出真空 系统的工作流程 ，并 介绍此真空系统 的特点 。设计出真空系统 的控 制原理图 ，制造 出真 空装 置并进行实验 。结 果表明该 系统适用于 电子束加工。
用 。
为旁通阀 ，７为维 持 阀，８为前级 泵。其 中，前级 泵 ８ 、旁通 阀 ６ 、真空 室 ２之间形 成低 真空 回路 ；旋 片 泵 、维 持阀 ７ 、扩散泵 １ 、主 阀 ３和真空 室 ２之间形 成高真空回路 。
关键词 ：电子束 ；真空系统 ；扩散泵 中图分类号 ：Ｔ Ｉ２ Ｂ ５ ；Ｔ １６ Ｈ ２ ；Ｔ ７ ３ Ｎ ４ 文献标识码 ：Ａ 文章编号 ：１０ —３８ （００ ４— ０ — ０ １ ８ １ ２ １ ）１ ０ １ ２
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近年来 ，利用电子束进行金属材料表面精 整加工
２ 真 空 系统 的原理和 工作 流程
２ １ 系统原理 ．
和改性得到迅速发展 。当高能量密度 的射束作用到材
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第３ ８卷 第 ｌ ４期
Ｄ ：１ ．９ ９ ｊ ｉ ｎ １０１— ８ １２ １ ． ４ ０ １ ＯＩ ０ ３ ６ ／．ｓ ． ０ ｓ ３ ８ ．０ ０ １．０
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化 、汽化等现象 。当输入能量结束时 ，工件表面会 急 速冷却 ，材料表面经 过这个 强烈 的物 理 、化学作 用 ， 将会达到很 高的机械性能…。 电子束精整 的质 量一 方 面取决 于 电子束 源 以及 加工工艺 的优 化 ，而从 电子束 的加 工工艺 来说 ，很 大程度上取决 于真空 的环境 。真空 度 的提高 不但 可 以减 少高速 电子束 的减速 和 阻尼现 象 ，而 且 ，抽 真 空 的效 率对 电子束 的整个 加工 时 间起 着 决定 性的 作
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电子 束 精整 加工 的 真空 系 统设 计 与研 究
胡建军 ，陈元芳。 ，许 洪斌。 ，金铁 玉 ，鲜杨
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摘要 ：抽真空效率对 电子束的整个加工时间起着决定 性的作用 。在分析 系统要求 的基础上 ，设计 出真空 系统原理 图， 制定 出真空 系统的工作流程 ，并 介绍此真空系统 的特点 。设计出真空系统 的控 制原理图 ，制造 出真 空装 置并进行实验 。结 果表明该 系统适用于 电子束加工。
用 。
为旁通阀 ，７为维 持 阀，８为前级 泵。其 中，前级 泵 ８ 、旁通 阀 ６ 、真空 室 ２之间形 成低 真空 回路 ；旋 片 泵 、维 持阀 ７ 、扩散泵 １ 、主 阀 ３和真空 室 ２之间形 成高真空回路 。
关键词 ：电子束 ；真空系统 ；扩散泵 中图分类号 ：Ｔ Ｉ２ Ｂ ５ ；Ｔ １６ Ｈ ２ ；Ｔ ７ ３ Ｎ ４ 文献标识码 ：Ａ 文章编号 ：１０ —３８ （００ ４— ０ — ０ １ ８ １ ２ １ ）１ ０ １ ２
Ｔｈｅ Ｄｅ ｉ ｎ ｆＶａ ｕ ｓｇ ｏ ｃ ｕｍ ｓｅ ｏ ｅ ｔ ｏ ａ ｏ ｅ ｓ Ｓｙ ｔ ｍ ｆ ｒ Ｅｌ ｃ ｒ ｎ Ｂｅ ｒ Ｐｒ ｃ ｓ ｎ
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近年来 ，利用电子束进行金属材料表面精 整加工
２ 真 空 系统 的原理和 工作 流程
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