第四章 透射电镜电子衍射衍射花样标定

合集下载

电子衍射花样的标定方法

电子衍射花样的标定方法

电子衍射花样的标定方法1.标准花样对照法这种方法只适用于简单立方、面心立方、体心立方和密排六方的低指数晶带轴。

因为这些晶系的低指数晶带的标准花样可以在有的书上查到,如果得到的衍射花样跟标准花样完全一致,则基本上可以确定该花样。

不过需要注意的是,通过标准花样对照法标定的花样,标定完了以后,一定要验算它的相机常数,因为标准花样给出的只是花样的比例关系,而对于有的物相,某些较高指数花样在形状上与某些低指数花样十分相似,但是由两者算出来的相机常数会相差很远。

所以即使知道该晶体的结构,在对比时仍然要小心。

2.尝试-校核法a)量出透射斑到各衍射斑的矢径的长度,利用相机常数算出与各衍射斑对应的晶面间距,确定其可能的晶面指数;b)首先确定矢径最小的衍射斑的晶面指数,然后用尝试的办法选择矢径次小的衍射斑的晶面指数,两个晶面之间夹角应该自恰;c)然后用两个矢径相加减,得到其它衍射斑的晶面指数,看它们的晶面间距和彼此之间的夹角是否自恰,如果不能自恰,则改变第二个矢径的晶面指数,直到它们全部自恰为止;d)由衍射花样中任意两个不共线的晶面叉乘,即可得出衍射花样的晶带轴指数。

尝试-校核法应该注意的问题对于立方晶系、四方晶系和正交晶系来说,它们的晶面间距可以用其指数的平方来表示,因此对于间距一定的晶面来说,其指数的正负号可以随意。

但是在标定时,只有第一个矢径是可以随意取值的,从第二个开始,就要考虑它们之间角度的自恰;同时还要考虑它们的矢量相加减以后,得到的晶面指数也要与其晶面间距自恰,同时角度也要保证自恰。

另外晶系的对称性越高,h,k,l之间互换而不会改变面间距的机会越大,选择的范围就会更大,标定时就应该更加小心。

3.查表法(比值法)-1a)选择一个由斑点构成的平行四边形,要求这个平行四边形是由最短的两个邻边组成,测量透射斑到衍射斑的最小矢径和次小矢径的长度和两个矢径之间的夹角r1, r2,θ;b)根据矢径长度的比值r2/r1 和θ角查表,在与此物相对应的表格中查找与其匹配的晶带花样;c)按表上的结果标定电子衍射花样,算出与衍射斑点对应的晶面的面间距,将其与矢径的长度相乘看它等不等于相机常数(这一步非常重要);d)由衍射花样中任意两个不共线的晶面叉乘,验算晶带轴是否正确。

透射电子显微镜的电子衍射

透射电子显微镜的电子衍射

C h3k3l3
h1k1l1 A
R3 R1
000 R2
R h4k4l4 4D
B h2k2l2
基本特征平行四边形的取法
R4=R1+R2
R3=R1-R2
R1
R3 R4
φ
000
R2
h4=h1+h2 k4=k1+k2 l4=l1+l2
h3=h1-h2
k3=k1-k2
l3=l1-l2
② 由已知的相机常数K和电子衍射的基本公式R=K/d,分别计算出相应
步骤: ① 确定中心斑点,选取基本特征平行四边形。
测量距中心斑点而且不在一条直线上最近的几个斑点A、B、C、D的 距离,并按距离由小到大依次排列为R1、 R2、 R3、 R4,同时测量各斑点之间 的夹角依次为φ1、 φ2、 φ3、 φ4.。。。,各斑点对应的倒易矢量分别为g1、 g2、 g3、 g4.。。。两个基矢量R1和R2为最短邻边, R3为短对角线长度, R4为长对角 线长度。
2
:
1 d3
(a)立方晶系的比值规律:
立方晶系 : a=b=c, α=β=γ=90°
晶面间距:
d
a
a
h2 k2 l2 N
R K K N
d
a
a= 常数, K= 常数, N为整数
R N
R12 : R22 : R32 N1 : N2 : N3......
根据消光规律, 对应的N值为:
透射电镜中的电子衍射
目录
电子显微镜中的电子衍射 单晶电子衍射花样及其应用 多晶电子衍射花样及其应用 复杂电子衍射谱
一、透射电子显微镜中的衍射
1. 透射电子显微镜中衍射花样的形成原理:
(1)未被样品散射的透射束平行于主轴, 通过物镜后聚焦在主轴上的一点,形成 000 中心斑点;

衍射花样的标定

衍射花样的标定

透射电子显微镜选区电子衍射花样标定的一般过程对析出物进行选区电子衍射,得到电子衍射花样,通过标定花样,确定析出物的相结构。

花样标定方法、具体步骤如下:根据对析出物的能谱分析,找出可能存在的物质。

利用MDI Jade 5.0 软件,找出所有可能存在物质的PDF 卡片;根据衍射基本公式R =λL /d ,求出相应的一组晶面间距d ,计算得出的d 值与所查得可能物质的晶面间距一一对应,误差<0.1;所查到的d 值对应的晶面指数必须满足(h 3k 3l 3)=(h 1k 1l 1)+(h 2k 2l 2);利用θ值进行验证,若所测得的角度θ与计算得出的值相近,误差<2°,便可断定是此物质。

具体步骤如下:1. 选择一个由斑点组成的平行四边形(斑点中最好有透射斑点),测量透射斑点到衍射斑点的最小矢径、次最小矢径及平行四边形长对角线的长度和最小矢径、次最小矢径之间的夹角,R 1 、R 2 、R 3、θ;R 1 ≤R 2,θ≤90°;2. 根据衍射基本公式R =λL /d ,求出相应的晶面间距d 1 、d 2 、d 3 ;3. 在PDF 卡片里,查找面间距与d 1、d 2 、d 3一一对应的物质;4. 查得d 1对应的晶面指数为(h 1k 1l 1)、d 2对应的晶面指数为(h 2k 2l 2)、d 3对应的晶面指数(h 3k 3l 3),根据指数变换规则使(h 3k 3l 3)=(h 1k 1l 1)+(h 2k 2l 2);5. 利用在不同的晶系中cos θ 值,尝试验证θ;若不能满足要求,继续对其它物质重复以上步骤;6. 若以上步骤均能符合要求,便可确定晶带轴[uvw ];21212211k l l k l k l k u -== 21212211l h h l h l h l v -== 21212211h k k h k h k h w -==以标定一具有立方结构的析出物的衍射花样为例:根据对析出物的能谱分析可知,其应为微合金元素的碳化物。

【做计算 找华算】《透射电子衍射花样标定方法》(杨勇 钟博)

【做计算 找华算】《透射电子衍射花样标定方法》(杨勇 钟博)

透射电子衍射花样标定方法杨勇钟博编写哈工大材料学院2010年4月引言:z本文所讲述的是如何利用计算机软件对通过透射电镜得到的电子衍射花样进行标定。

即看衍射花样是否能够跟某个预期的物相匹配。

z本文所采用的方法是“平行四边形法”,来自于哈尔滨工业大学孟庆昌教授所著的《透射电子显微学》一书。

你所要做的准备:z获得未知物相的衍射花样(电子版)z获得在同一电镜、同一时期某种已知物相的衍射花样(电子版)z获得如下两个软件:Gatan DigitalMicrograph,Pattern Matching 1.0z获得你所预期的物相的晶体学数据:晶系,a,b,c,α,β,γ衍射花样的标定要经过如下三个步骤:1.要在透射花样中找到一个平行四边形设R1,R2分别代表平行四边形的边长,R3代表R1和R2所夹的对角线长,θ代表R1与R2夹角,设 d1, d2, d3分别代表与R1,R2 ,R3相对应的正空间的晶面间距。

(一般要求R1<=R2<=R3(即d1>=d2>=d3),θ<=90 deg)。

(见示意图)2.其次获得如下四个参数用Gatan DigitalMicrograph 软件获得d1, d2, d3和θ。

注意,如果你能够获得准确的相机常数,也可以用传统的方法来测量并计算d1, d2, d3和θ。

d1=K/R1, d2=K/R2, d3=K/R3 (K为电镜的相机常数)3.衍射花样与预期物相的匹配用Pattern Matching 1.0 软件将衍射花样做对应的物相与你所预期的物相相匹配。

R2(d2)R3(d3)ΘR1(d1),软件的安装“透射花样标定软件”是若干软件的集合。

这些软件中,除Pattern Matching 1.0 来自哈工大陶瓷组503实验室以外,均来自互联网,版权归软件开发者所有。

上述软件已经在Windows XP SP2 操作系统下测试通过。

软件的安装步骤:1.“透射花样标定软件”文件夹中有“软件”文件夹和“Pattern Matching 1.0程序”。

电子衍射花样的标定

电子衍射花样的标定
衍射:充分条件-- 消光定律
晶格类型 消光条件
1
简单晶胞 无消光现象
2
体心 I h+k+l=奇数
3
面心 F h、k、l奇偶混杂
4
底心 C h+k=偶数
*
1
2
4个不共线的斑点(h1k1l1)和(h2k2l2)求出晶带轴方向。
由晶带定律,用行列式表示:
u:v:w =
01
晶体结构已知,相机常数 K 未知
02
dhkl=Lλ/R =K/R
03
求 d1, d2 , d3 , d4 … ?
04
已知:R1, R2 , R3 , R4 …
*
衍射束
透射束
照相底版
dhkl=Lλ/R =K/R
K—相机常数
*
单晶c-ZrO2
电子衍射花样的对称性
衍射图形
二维倒易面
平行四边形
矩 形
有心矩形
四方形
正六角形
*
如何标定?
标定的几种情况:
晶体结构已知,相机常数已知 ;
晶体结构已知,相机常数未知;
晶体结构未知,相机常数已知 。
O
110
55°
A
C
B
112
002
*
dhkl=Lλ/R =K/R
3.晶体结构未知,相机常数K已知
1
查ASTM卡片和各d值都相符的物相即为待测的晶体。
3
2
根据R,计算出各个d值。
测定低指数斑点的R值。
*
4.标准花样对照法
铝单晶
*
多晶电子衍射花样及其标定
单晶 多晶 非晶
*
多晶

电子衍射及衍射花样标定ppt

电子衍射及衍射花样标定ppt
研究土壤、水等环境样品的成分和结构。
研究人体组织、细胞等生物样品的结构和功能。
02
电子衍射实验结果分析
03
数据处理与筛选
对采集到的数据进行处理和筛选,去除异常值和噪声,确保数据的质量和可靠性。
实验数据收集与整理
01
选择合适的实验条件
根据需要选择适当的加速电压、束流强度、样品厚度等实验条件,以确保实验数据的可靠性和稳定性。
药物设计与筛选
基于生物大分子的结构信息,电子衍射技术可用于药物设计与筛选,发现能够与目标分子结合的药物分子,提高药物研发的效率和成功率。
药效机制研究
01
通过对药物作用靶点的结构分析,电子衍射技术有助于研究药物的疗效机制和作用方式。
药物研发与筛选
药物优化设计
02
基于药物的靶点结构和药效机制,电子衍射技术可以优化药物设计,提高药物的疗效和降低副作用。
研究材料合成方法
新材料研发
04
电子衍射技术在医学及生物学中的应用
医学影像分析
高分辨率成像
电子衍射技术能够提供医学影像的高分辨率成像,有助于诊断病情和评估治疗效果。
蛋白质结构分析
通过电子衍射技术,可以解析蛋白质的三维结构,有助于研究蛋白质的功能和作用机制。
生物大分子结构解析
核酸结构研究
电子衍射技术也可用于研究核酸的结构,如DNA和RNA的双螺旋结构和高级结构,揭示遗传信息的传递和表达调控机制。
高能电子衍射技术的发展将促进材料科学、物理学和化学等学科的交叉与融合。
03
原位电子衍射技术的应用将推动材料科学、物理化学等领域的发展,为实际应用提供更多有价值的信息。
原位电子衍射技术应用
01
原位电子衍射技术能够实时观察材料在特定条件下的结构变化。

第四章 透射电镜电子衍射衍射花样标定

第四章 透射电镜电子衍射衍射花样标定


1.倒易点阵中单位矢量的定义
设正点阵的原点为O,基矢为a,b,c,倒易
点阵的原点为O*,基矢为a*,b*,c*,则有
bc ca ab a* , b* , c* V V V 式中V为正点阵中单胞的体积:
V a (b c) b (c a) c (a b)
2

现按指数平方和增大的顺序写出简单立方点阵的衍射指数 (hkl):(100)、(110)、(111)、(200)、(210)、(211)、 (220)、(221)/(300)、(310)、(311)、(222)、(320)、 (321)、 (400)、(410)/(322)、(330)、(331)、(420)、 (421)……, 其平方和的值分别是1、2、3、4、5、6、□、8、9、 10、11、12、13、14、□、16、17、18、19、20、21、22、 □、24、25……,其中缺7、15、23等项。如果所有晶面 组在满足布拉格定 律时都能产生衍射,则它们所对应的 衍射角的正弦平方的比应遵循上述可能取值的规律,即:
表明某一倒易基矢垂直于正点阵中和自己异名的
二基矢所成平面。
2.倒易点阵的性质
(1)根据倒易点阵中单位矢量的定义和矢量运算法则可推出:
a * b a * c b * a b * c c * a 0
a * a b * b c * c 1 (2)在倒易点阵中,由原点 O* 指向任意坐标为 (hkl)的阵点 的矢量(倒易矢量)为:
电 子 束 分 析之二
第 四 章
电子衍射花样的标定
一 倒易点阵

单晶体的电子衍射(包括X射线单晶衍射)结果得 到的是一系列规则排列的斑点。这些斑点虽然与晶体 点阵结构有一定对应关系,但又不是晶体某晶面上原 子排列的直观影象。人们在长期实验中发现,晶体结 构与电子衍射斑点之间可以通过另外一个假设的点阵 很好的联系起来,这就是倒易点阵。通过倒易点阵可 以把晶体的电子衍射斑点直接解释成晶体相应晶面的 衍射结果。也可以说,电子衍射斑点就是与晶体相对 应的倒易点阵中某一截面上阵点排列的像。 倒易点阵是与正点阵相对应的量纲为长度倒数的 一个三维空间(倒易空间)点阵,它的真面目只有从 它的性质及其与正点阵的关系中才能真正了解。

第四章 电子衍射讲解

第四章 电子衍射讲解
倒易截面的比例图像,倒易阵 点的指数就是衍射斑点的指数 (即正空间晶面指数)。通过 电子衍射花样上任意两个ghkl矢 量指数就可求出晶带指数(根 据晶带定律)。
多晶电子衍射谱的形成
X射线花样形成示意图
电子衍射花样形成示意图
电子衍射基本公式
R Rd L
Ld
通常将K=λL=Rd称为 相机常数,而L被称 为相机长度。
3、现在的电镜极靴缝都非常小,放入样品台以后很 难再放得下一个光阑;
现在电镜的选区光阑可以做到非常小,如JEOL 2010 的选区光阑孔径分别为:5μm,20μm,60μm,120μm
衍射与选区的对应
A 磁转角
一束平行于主轴的入射电子束通过电磁 透镜将被聚焦在轴线上一点,即焦点F
类比光学玻璃凸透镜
Mi M p
mmM, 误i 差
Mp 3.3%
仪器误差——电子波长的不稳定性
内标像机常数
随物镜电流变化的校正曲线
电子衍射花样的标定与分析
电子衍射谱的标定就是确定电子衍射图谱中的诸 衍射斑点(或者衍射环)所对应的晶面的指数和 对应的晶带轴(多晶不需要)。
电子衍射谱主要有多晶电子衍射谱和单晶电子衍 射谱。电子衍射谱的标定主要有以下几种情况:
简立方:N=1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 9, 10, …
体 心:N=2, 4, 6, 8, 10, 12,…
=1:2:3:4:5:6:7:8
面 心:N=3,4,,,,8,,,11,12,,,,16,,,19,20,,,,24,,,27,28,…
金刚石:N=3, ,,,,8,,,11, ,,,,16,,,19, ,,,,24,,,27, ,…
在 透 射 电 子 显 微 分 析 中 , 即 有 Fresnel ( 菲 涅 尔 ) 衍 射 (近场衍射)现象,同时也有Fraunhofer(夫朗和费) 衍射(远场衍射)。 Fresnel(菲涅尔)衍射(近场衍 射)现象主要在图像模式下出现,而Fraunhofer(夫朗 和费)衍射(远场衍射)主要是在衍射情况下出现。

电子衍射谱标定[优质内容]

电子衍射谱标定[优质内容]

指向的方向为晶帯轴方向,晶帯轴的密勒指数[uvw](需约化为最小
公倍数)为:
h1 h2 k1l2 k2l 1
uvw r1 r2 k1 k2 l1h2 l2h1
7
l1 l2 h1k2 h2k1
晶带定律
hi u kiv li w 0
8
晶带定律反应了正倒空间一些有特定关系的矢量与平面指数间的关系:
Rhkl L tg2
(4)
ghkl

d hkl
2 sin
(5)
tg2 2 sin
L • Rhkl • dhkl
(6 )
公式(6)中,λ是电子波长,L是像机长度,Rhkl是荧光屏上衍射斑
到透射斑的距离,dhkl是衍射面的面间距,Lλ称为像机常数,单位
是mmÅ.
高级培训
12
单晶电子衍射标定
在标定单晶衍射谱时,需要将两类不同的情形分开,一类
G ——G 0 1 3
d
公式(3)的集合解释就是厄瓦德球,球的半径为1/λ,样品处为厄瓦
德球的球心,只要倒易矢能与厄瓦德球面有交点,就可以产生电子
衍射。
高级培训
9
反射面法线
A
E
F
B
布拉格衍射几何
高级培训
10
厄瓦德球的特征
1、电子的波长很短,相对于晶面间距的倒数,厄瓦德球的半径 很大,因此球面可以近似为平面,使得球面交截同层倒易点的机 会很大; 2、衍射物质总有一定大小和形状,倒易点不是一个几何点,具 有一定大小和形状,倒易点的线尺寸总是沿着试样几何尺寸最小 的方向拉长扩展;如试样为针状,则倒易点强度分布为盘状,试 样为片状,则倒易点强度分布为针状,实际试样中常包含有一定 取向差嵌镶组织,则倒易点被拉成弧状;这些都有利于厄瓦德球 与倒易点相截。 3、入射电子束并非严格平行的电子射线,有一定发散度,而且 不是理想的单色电子束,使厄瓦德球球面具有一定厚度,这对厄 瓦德球面和倒易点的交截是有利的。

电子衍射及衍射花样标定精品文档

电子衍射及衍射花样标定精品文档

4.单晶电子衍射花样标定
5)任取不在同直线上的两个斑点 (如h1k1l1和h2k2l2 ) 确定晶带轴指数[uvw]。
求晶带轴指数:逆时针法则
h2k2l2
排列按逆时针
h1k1l1
[ uvw ] R 1 R 2 h1 k1 l1 h1 k1 l1 h2 k2 l2 h2 k2 l2
17.46mm,20.06mm,28.64mm,33.48mm;对应指数 (111),(200),(220),(311); 对应面间距d分别为 0.2355nm,0.2039nm,0.1442nm,0.1230nm
K=Rd
2.电子显微镜中的电子衍射
选区电子衍射
选区衍射就是在样品上选择一个感兴趣的区域,并限制其大小,得 到该微区电子衍射图的方法。也称微区衍射。两种方法:
4 5.05
8 10.1
8
10
220 310
220 301
验证 g 110 g 211 73 1 3
11 0 1 1 0
晶带轴为 113[ ],或倒易1面 13) 为 (
21 1 2 11
此为体心立方, 数a点 0阵 .3常 88nm
11 3
4.单晶电子衍射花样标定
例2:下图为某物质的电子衍射花样 ,试指标化并求其晶 胞参数和晶带方向。
3)会聚束花样:会聚束与单晶作用产生盘、线状花样;可以 用来确定晶体试样的厚度、强度分布、取向、点群、空间
群以及晶体缺陷等。
1.电子衍射的原理
入射束
厄瓦尔德球
o
试样
1 2q 1
L1d GFra bibliotek倒易点阵
o
G 底板
R
电子衍射花样形成示意图

电子衍射及衍射花样的标定

电子衍射及衍射花样的标定

电子衍射原理
电子衍射花样特征
单晶体:一般为斑点花样
多晶体:同心圆环状花样
非晶态:漫散的中心斑点
电子衍射原理
Bragg 定律
相邻两束衍射波的光程差为波长 的整数倍时, 干涉加强,即相邻晶面间衍射线 干涉加强的条件:2dsinθ=nλ d=晶面间距 λ=电子波长 θ= Bragg衍射角
电子衍射花样形成示意图
电子衍射及衍射花样的标定
Section header
概述
Section header
Section header
Section header
Section header
电子衍射原理 电镜中的电子衍射
单晶体的衍射花样
单晶体电子衍射花样标定
单晶体衍射花样
衍射花样的形成
单晶体衍射花样是由反射球与一个倒易 平面上的倒易杆相交形成的。 透射斑点与倒易原点相对应,衍射斑点分 别与各倒易点相对应,衍射花样是满足衍 射条件的倒易平面的放大像。
相机常数
衍射花样的投影距离: r=Ltan2θ 当θ很小时,tan2θ=2θ sinθ=θ 联立布拉格方程2d sinθ=λ得到: rd=L λ=相机常数
电镜中的电子衍射
选区电子衍射
常用的方法:光阑选区衍 射光阑选区衍射——用位 于物镜像平面上的选区光 阑限制微区大小。 操作:先在明场像上找到 感兴趣的微区,将其移到 荧光屏中心,在用选区光 阑套住微区而将其余部分 挡掉。
电子衍射原理
倒易点阵 定义:满足下面关系式 ai ·aj*=1,当i=j ai ·aj*=0,当i≠j (i,j=1,2,3) 则以aj*为基本矢量的点阵式原晶体点阵 的倒易点阵 性质: (a)倒易矢量ghkl垂直于正点阵中相应的(hkl)晶面 (b)倒易点阵中的一个点代表的是正点阵中的一组晶 面

电子衍射及衍射花样标定资料讲解

电子衍射及衍射花样标定资料讲解
电子衍射及衍射花样标定
1.电子衍射的原理 -Bragg定律
l
θO
θ
d
θR
θ
dsinqP l/2
d
2d·sinq = l
❖ 各晶面的散射线干涉加强的条件是光程差为波长的整数倍,即 2dsinθ=nλ 即Bragg定律,是产生衍射的必要条件。
❖ 但是满足上述条件的要求,也未必一定产生衍射,这样,把满足布拉 格条件而不产生衍射的现象称为结构消光。
即 u=k1l2-l1k2,v=l1h2-h1l2,w=h1k2-k1h2
电子衍射基本公式
由图可知:
衍射花样投影距离:R=Ltan2θ

当θ很小
tan2θ≈2θ
sinθ≈θ
∴ tan2θ=2 sinθ ∴ R=L2 sinθ 由布拉格方程;2d Nhomakorabeainθ=λ
得到:Rd=Lλ=K
这就是电子衍射基本公式。
[001]
晶带定律:若晶面(hkl)属于晶 带轴[uvw], 则有 hu+kv+lw=0 这就是晶带定理。
已知两晶面,求其晶带轴
如果(h1k1l1)和(h2k2l2)是[uvw]晶带中的两个晶 面,则由方程组 h1u+k1v+l1w=0和h2u+k2v+l2w=0 得出 [uvw]的解是 (这应该是在立方晶体中,因为只有在 立方晶体中与某晶面指数相同的晶向才与该晶面垂直 。)
❖ 表达花样对称性的基本单元为平行四边形。
•平行四边形可用两边夹一角来表征。 •平行四边形的选择: •最短边原则:R1<R2<R3<R4 •锐角原则:60°≤θ≤90° •如图所示,选择平行四边形。
已知 h1k1l1 和 h2k2l2 可求 h3=h1+h2 k3=k1+k2 L3=L1+L2

第4章习题课-电子衍射花样标定

第4章习题课-电子衍射花样标定
当电子束通过样品后,可以人为地选择不同的成 像方式,得到不同衬度的电子显微像,它们反映 了样品晶体结构的不同方面。这些成像衬度方式
相辅相成,互为补充,在不同层次和尺度上提供
了晶体结构的信息,通过这些成像模式的选择达
到研究晶体结构和晶体缺陷的目的。
电子显微镜成像原理
Abbe成像原理
Cu/Cr合金衍射衬度像
Cu/Cr合金晶格条纹像
电子衍射要点小结
电子衍射原理,布拉格方程,爱瓦尔德图 解,倒易点阵,结构消光规律,电子衍射 基本公式,晶带定理,衍射花样的标定, 相机常数的确定
一. 布拉格方程
2d sin n
d 为衍射晶面间距。 λ 为入射电子束的波长。 θ 为入射束与衍射晶面之间的夹角。 n为衍射级数(n = 0, 1, 2, 3 ……), 当 n=0就是透射束,与入射束平行。
R1
R4
R2
R 3
花样为正六边形。测得基本 特征平行四边形的 R1=R2= R3= 12.0mm, R4=20.8mm 已知相机常数为21.5mmAo. 问题:1.标定衍射花样 2.计算出该物质的晶胞参数。
7. 从Al的多晶电子衍射环上测得各环的半径分别 为 R1=4.5mm;R2=5.25mm; R3=7.25mm;R4=8.5mm 求相机常数K 。
022γ
[011]γ
111γ 1 1 1 1 1 1
-111γ 000
0 2
2 0 2 2 0 -2 2
复合斑点
[011]γ
[001]α
022γ
111γ
011 // 001
-
011 // 001
衍射波Q(g) Q(g)=Fφ0(r)

半导体工艺基础 第四章——电子衍射

半导体工艺基础  第四章——电子衍射
(3)透射电子显微镜上配置选区电子衍射装置,使得薄膜样品 的结构分析与形貌观察有机结合起来,这是X射线衍射无法比 拟的优点。
7
第四章 电子衍射_电子衍射特点
(4)在进行电子衍射操作时采用薄晶样品,薄样品的倒易阵点 会沿着样品厚度方向延伸成杆状,因此,增加了倒易阵点和 爱瓦尔德球相交截的机会,结果使略为偏离布拉格条件的电 子束也能发生衍射。
【教学难点】
单晶体电子衍射花样标定
3
第一节 概述 第二节 电子衍射原理 第三节 电子显微镜中的电子衍射 第四节 单晶电子衍射花样标定
4
第四章 电子衍射_概述
电子衍射:当电子波穿过晶体的时候,被晶体中的原子散射, 散射的电子波互相之间干涉所产生的现象。
按入射电子能量的大小,电子衍射可分为
高能电子衍射 低能电子衍射
此时

g=k’-k 衍射束方向 k’=k+g
31
第四章 电子衍射_偏移矢量与倒易阵点扩展
2、倒易点落在埃瓦尔德球外
设一个倒易点落在埃瓦尔德球 外,根据布拉格方程没有衍射 束产生。但是该倒易点扩展成 倒易杆后就会与球面相交截产 生衍射束。
g


此时
g=g’+s=k’-k
衍射束方向 k’=k+g’+s
θ Nh (hkl) O kl
1/λ
k
O*
θ Nhkl (hkl) O
1/λ
k
k’
G O*
16
第四章 电子衍射_电子衍射原理
OG方向
OD就是正空间(hkl)的方位, 若它与入射束的夹角为θ
θ Nhkl (hkl) O
1/λ
k k’ 1/λ
O* ghklG

电子衍射花样的标定方法

电子衍射花样的标定方法

电子衍射花样的标定方法
电子衍射花样是一种常用的材料检测仪器,以电子辐射作为检测工具,由于它能够检测材料的结构特征,因此被广泛应用于工业界的标定技术中。

在工业界的标定过程中,首先要完成一系列的准备工作:主要包括确定测量参数、准备材料样品以及收集电子衍射仪的基本参数等。

标定的第一步是确定测量参数,其中最重要的参数是角度参数,即探测器反射和穿透束的波数和束宽。

在这里,检测参数应考虑光束强度和穿透束的波数,以及检测靶样材料的数据范围和结构特征。

接下来,要准备材料样品,将它们放置在测试靶平台上,并将探测器安装在测试靶上,调节光束参数。

接着,要收集电子衍射仪的基本参数,包括仪器的型号、准备材料的型号等。

然后根据实验参数,调节电子衍射仪的设置,逐步调整测试条件,以确定不同材料样品的衍射图形。

最后,将得到的衍射图形与拟合函数的图像进行一一比较,获得最终的标定结果。

由此可见,电子衍射花样标定技术有着其独特的优势,可以快速、准确、准确地掌握材料样品的微观结构,从而对工业生产管理中的应用发挥重要作用。

此外,由于它能够迅速获取相关参数,所以在实际应用中效率极高,具有广泛的应用价值。

透射电子显微镜的电子衍射PPT课件

透射电子显微镜的电子衍射PPT课件
矢量和是否满足R4。
➢ 试定 R1点指数(110) R2点指数(211)则R4为(321),不符合d值
所限定的指数(310),需调整;
➢ R2点指数调为 (211) ,则R4为(301),R3为(121) ➢ 校核夹角:(110)与 (211)夹角为73.22°, (110)与(301)夹角47.87°
因为
(R / M iM p )d fo

Rd foM iM p
定义L'=ƒoMiMp
为“有效相机长度”,则有 Rd=λL'=K'
其中K'=λL'称为“有效相机常数”。式中L'并不直接对应于样品
. 至照相底片的实际距离。
4
2. 选区电子衍射: 定义:对样品中感兴趣的微区进行电子衍射,以获得该微区电子衍射图 的方法。又称微区衍射,通过移动安置在中间镜上的选区光阑实现。 原理:
的晶面间距d1、d2、d3、d4.。。。把这些d值叫做计算值。
Ri(mm) di(nm) R1 R2 R3 R4
.
12
R3 R1 R4 φ R2φ1
③ 计算d值与标准d值比较; ④ 尝试标出两个基矢量(h1k1l1)和(h2k2l2); ⑤ 由矢量运算求得其它斑点,反复验算夹角;
.
13
矢量关系: 2g(hkl)=g(2h,2k,2l), 3g(hkl)=g(3h,3k,3l). g (h1,k1,l1)- g(h2,k2,l2) = g(h1-h2, k1-k2, l1-l2) g (h1,k1,l1)+g(h2,k2,l2) =g(h1+h2, k1+k2, l1+l2)
cos
h1h2 k1k2 l1l2
h12 k12 l12 h22 k22 l22

电子衍射花样的标定

电子衍射花样的标定

R1,R2 ,R3 . . . ; 由 dhkl = Lλ/R 求
d1, d2 , d3 … ;
{h1k1l1
}
,
{
h2k2l2
},
….. 23
单晶
多晶
非晶
24
立方晶体中各种点阵可能的N值 18
练习:
已知a-Fe物质,RA=7.1mm, RB=10.0mm, RC=12.3mm;∠AOB=90°, ∠AOC=55°。 试标定衍射花样。
A 110
55°
O
C 112 B 002
ห้องสมุดไป่ตู้19
3.晶体结构未知,相机常数K已知 (1)测定低指数斑点的R值。 (2)根据R,计算出各个d值。
dhkl=Lλ/R =K/R
(3)查ASTM卡片和各d值都相符的物相 即为待测的晶体。
20
4. 标准花样对照法
铝单晶
21
多晶电子衍射花样及其标定
单晶
多晶
非晶
22
单晶
多晶
R1,R2 ,R3 . . . ; 由 dhkl = Lλ/R 求
d1, d2 , d3 … ;
(h1k1l1 ) , ( h2k2l2 ), …..
分别测量R值 RA,RB ,RC,RD;
(2)由 dhkl = Lλ/R 求
d1, d2 , d3 , d4 …
10
11
(3) 尝试斑点的指数,最短矢量的A斑点对应 的晶面族{110}共有12个晶面(包括正反符号):
(110),(101),(011),(110) ,(101) ,(011) , (110) ,(101) ,(011),(110) ,(101),(011) 。
求得 C 和 D的指数。 13

电子衍射及衍射花样标定

电子衍射及衍射花样标定

q
d
q L
q
G’ r
O
G’’
立方晶体[001]晶带
晶体中,与某一晶向[uvw]平行的 所有晶面(hkl)属于同一晶带, 称为[uvw]晶带,该晶向[uvw]称 为此晶带的晶带轴. 如 [001] 晶 带 中 包 括 ( 100 ) , (010)、(110)、(210)等 晶面。
[001]
晶带定律:若晶面(hkl)属于晶 带轴[uvw], 则有 hu+kv+lw=0 这就是晶带定理。
相机常数未知、晶体结构已知时衍射花样的标定
以立方晶系为例来讨论电子衍射花样的标定 电子衍射基本公式
同一物相,同一衍射花样而言, 为常数,有 R12:R22 :R32:…Rn2=N1:N2:N3:…Nn
立方晶系点阵消光规律 R12:R22 :R32:…Rn2=N1:N2:N3:…Nn
衍射 线序 号n 1 2 3 4 简单立方 体心立方
H、K、L全奇或全偶
4.单晶电子衍射花样标定

例:下图为某物质的电子衍射花样 ,试指标化并求其晶 胞参数和晶带方向。 RA=7.1mm, RB=10.0mm, RC=12.3mm, (RARB)90o, (rArC)55o.
A
C
B 000
4.单晶电子衍射花样标定
解2:
2 2 2 1)由 RA : RB : RC N1 : N2 : N3 2 : 4 : 6
晶面间距
立方晶系的晶面间距公式为:
d
四方晶系的晶面间距公式为:
a h2 k 2 l 2
1 h2 k 2 l 2 2 2 a c
d
六方晶系的晶面间距公式为:
d
a 4 2 a (h hk k 2 ) ( ) 2 l 2 3 c
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
电 子 束 分 析之二
第 四 章
电子衍射花样的标定
一 倒易点阵

单晶体的电子衍射(包括X射线单晶衍射)结果得 到的是一系列规则排列的斑点。这些斑点虽然与晶体 点阵结构有一定对应关系,但又不是晶体某晶面上原 子排列的直观影象。人们在长期实验中发现,晶体结 构与电子衍射斑点之间可以通过另外一个假设的点阵 很好的联系起来,这就是倒易点阵。通过倒易点阵可 以把晶体的电子衍射斑点直接解释成晶体相应晶面的 衍射结果。也可以说,电子衍射斑点就是与晶体相对 应的倒易点阵中某一截面上阵点排列的像。 倒易点阵是与正点阵相对应的量纲为长度倒数的 一个三维空间(倒易空间)点阵,它的真面目只有从 它的性质及其与正点阵的关系中才能真正了解。
h1 k1 l12 h22 k 22 l22
2 2
12 12 12 2 2 2 2 02
3
φ=35.270,显然与实测不符;重新尝试B为(220 ),再计算 其夹角,与实测正好相符,说明A为(111),B为( 220)正 确。 ③按矢量运算求C,D及其它斑点的指数:如斑点C的指数 为( 311 );同理求得斑点D的指数为(402)。计算,与实测 相符。 ,g2 111 ④求晶带轴:选取 g1 g B 220 , g2 g A 位于g1顺时针方向,则有:
斑点 R(mm) R2 A 7 49 B 11.4 129.96 C 11.3 182.25 D 18.5 342.25
Ri2/R12
{hkl}
3
{111}
8
{220}
11
{311}
20
{420}
表明为面心立方晶体。
②任取A为(111),尝试B为(220),并测得之间的夹角为900, 之间的夹角为580,由选取的A,B点所对应的晶面指数计算 h1h2 k1k 2 l1l2 1 2 1 2 1 0 6 夹角的余弦: cos
R21 : R22 : R23 : 1: 2 : 3 : 4 : 5 : 6 : 8 : 9 :10 :11:12 :13:14 :16 :17 :

实际晶体要产生衍射,除要求满足布拉格定律外,还要满 足一定条件,如体心立方晶体要求 H+K+L为偶数;面心立 方晶体要求H、K、L为全奇数或全偶数,否则产生结构消光。 因此体心立方晶体和面心立方晶体遵循的规律如下: 体心立方晶体:
2 1
h k l
2 2
作出|r2*|/|r1*|, |r3*|/|r1*|,关系的标准图或者 表,可适用于所有立方晶系晶体。

200
-Fe
211
B
A
C
011
A 6 1.732 C 2 B 4 1.414 C 2 B [011]
立方ZrO2电子衍射花样:(a)[111];(b)[011];(c)[001];(d)[112]
hu kv lw 0
这就是晶带定理。根据晶带定理,只要 通过电子衍射实验,测得零层倒易面上 任意两个矢量,即可求出正空间内晶带 轴指数。由于晶带轴和电子束照射的轴 线重合,因此,就可能断定晶体样品和 电子束之间的相对方位。
hkl
(a)正空间; (b)倒易矢量 图3-3 立方晶体[001]晶带的倒易平面

uvw g1 g2 220 111 112
(2) 晶体点阵已知:立方晶系
点阵参数:a=b=c, ===90
r2 * r1 *

2 1

h2 k2 l2
2 2
2
h k l
2 1 2 1
2 1 2 2 2 2
2 1
与a无关
h1h2 k1k2 l1l2 h k l
七 电子衍射花样的标定

对于一个电子衍射花样,其中的任何一个阵点或圆环是 那一个晶面组产生的,需要对其进行标定,其标定原理 为: hu kv lw 0 ①如果电子束入射方向与晶体的 [UVW]方向平行,则产 生衍射的晶面 遵循晶带定律: ; ②根据衍射花样与晶体间的几何关系,各衍射斑点或衍 射环到中央透射斑点的距离与晶面间距满足衍射基本公 式: Ri d i L ; ③两不同方向的倒易矢量确定一个倒易平面,所有衍射 斑点间均满足矢量关系。
2.多晶体电子衍射花样的标定方法
(1)多晶体样品的电子衍射花样由一系列不同半 径的同心圆环组成,如图所示。多晶电子衍 射花样的标定程序如下: ①测量衍射环的半径Ri; 2 2 ②计算 Ri R1 ,确定其最简单的整数比,从 而确定样品晶体的结构类型,并写出相应衍 射环的指数; ③计算晶面间距d(如果相机常数未知,可用标 准样品计算出实验条件下电镜的相机常数 K=Lλ),然后根据衍射环的的相对强度,查 出PDF卡片,确认与所测数据相对应的物 相。 (2)多晶电子衍射分析的作用主要有两个:其一,利用已知 晶体样品标定相机常数;其二,大量弥散的萃取复型粒子或 其它粉末粒子的物相鉴定。



1.单晶体电子衍射花样的指标化:
(1)未知相机常数及晶体结构情况下指标化方法 (2)已知相机常数和样品晶体结构的衍射花样标定 (3)已知相机常数未知晶体结构情况下的指标化方法: (4)标准花样对照法:
(1)未知相机常数及晶体结构情况下指标化方法
铝单晶电子衍射花样及标定
①选取靠近中心O附近且不在一条直线上的四个斑点A、B、C、 D,分别测量它们的R值,并且找出Ri2/R12比值规律,确定点 阵类型及斑点的晶面组指数。
g hkl ha * k b * l c * 式中hkl为正点阵中的晶面指数,上式表明:
①倒易矢量ghkl垂直于正点阵中相应的晶面组(hkl) 。 ②倒易点阵中的一个点代表的是正点阵中的一组晶面。
(3)倒易矢量的长度等于正点阵中相应晶面间距的倒数。 (4)只有在立方点阵中,晶面法向和同指数的晶向是重合 (平行)的。即倒易矢量是与相应指数的晶向平O *GOO’ G’
R | g hkl | L | k0 | 又知: | g hkl | 1 d hkl , | k 0 | 1

1 R L K | g hkl | , (令K L ) d
R 亦即:
K g hkl
R3 R4 R2 R1
NiFe多晶纳米薄膜的电子衍射
非晶态材料电子衍射图的特征
马氏体
18R1 单斜晶型 (a) [0 1 0] EDP taken from variant D; (b) (b) [0 1 0] EDP taken from both variants A and D; (c) (c) [0 1 0] EDP taken from variant A; (d) (d) Bright field image of variants D/A/D.
二 爱瓦尔德球
si n 将布拉格定律改写为:
晶面间距d及取向关系θ之间可用一直角三角形表示出来, O G 1 , AO 2 , O AG 。现以 如图3-1所示。其中: d 斜边AO*的中点O为中心,以1/λ为 半径作一球,则直角三角形的三 顶点都落在球面上,这个球称为 爱瓦尔德球。设AO*为入射电子束 方向,它照射到O点处的晶体上, 一部分透射过去,一部分由面间 距为d的晶面产生衍射,衍射束为 AG方向,由图可知:
上式中K=Lλ 称为电子衍射的相机 常数,L称为相机长度。 上式说明,衍射斑点的 R矢量是产生这一斑点的晶面组 倒易矢量 g 按比例的放大,相机常数K 就是放大倍数。
五 立方晶体衍射花样特征

由立方晶体晶面间距公式 d

2 2
a H K L
2 2 2
Rd L
L 2 2 2 可得:R ( H K L ) 2 a
2

现按指数平方和增大的顺序写出简单立方点阵的衍射指数 (hkl):(100)、(110)、(111)、(200)、(210)、(211)、 (220)、(221)/(300)、(310)、(311)、(222)、(320)、 (321)、 (400)、(410)/(322)、(330)、(331)、(420)、 (421)……, 其平方和的值分别是1、2、3、4、5、6、□、8、9、 10、11、12、13、14、□、16、17、18、19、20、21、22、 □、24、25……,其中缺7、15、23等项。如果所有晶面 组在满足布拉格定 律时都能产生衍射,则它们所对应的 衍射角的正弦平方的比应遵循上述可能取值的规律,即:
R 21 : R 2 2 : R 2 3 : 2 : 4 : 6 : 8 : 10 : 12 : 14 : 16 : 1 : 2 : 3 : 4 : 5 : 6 : 7 : 8 :
面心立方晶体:
R 21 : R 2 2 : R 2 3 : 3 : 4 : 8 : 11: 12 : 16 : 19 : 20 : 1 : 1.33 : 2.67 : 4 : 5.33 :
四 电子衍射的基本几何关系
图3-5为电子衍射花样形成的 原理示意图,图中O’和G’实际上是 O*和G在底版上的投影,由图可知: 由于θ 很小,所以
sin2θ≈2sinθ≈tg2θ=R/L
由布拉格定律知sinθ=λ/2d
所以有:R d = Lλ
此即为电子衍射的基本公式。 对于一个衍射花样,若知道K 值,只要测量出R值,即可求出产 生该衍射斑点的晶面组的d值。
1 2 / ,这样电子束的波长λ、 d
k'k g

这就是布拉格定律的矢量式,从 图中得知:
g // N hkl , | g | 1 / d hkl
三 晶带定理与零层倒易截面


在正点阵中,同时平行于某一晶向的一 组晶面构成一个晶带,而这一晶向称为 这一晶带的晶带轴。图3-2为正空间中 晶体的晶带及其相应的零层倒易截面。 由于零层倒易面上的各倒易矢量都和晶 带轴r垂直,故有 g r 0 即
相关文档
最新文档