压电陶瓷基本知识概要
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➢ 石英晶体:一种单晶体,本身具有压电效应,居里点温 度高(高达573℃),稳定性好,精度高(精度可以达到小 数点后六位数),无热释电现象,工艺简单。但压电常数 小,成本高(相同的频点,石英要高4~10倍以上)。
➢ 压电陶瓷:一种多晶体,需要极化后才具有压电效应, 压电常数大,成本低。但居里点温度低(120~360℃),精 度低(精度只能满足到小数点后三位),制作工艺较为复杂 ,稳定性不如石英晶体,有热释电现象,会给传感器带来 热干扰。
压电陶瓷的制造工艺
➢配料(原料的选择和处理)
(2)杂质的利用
1)杂质的类型 ①有害杂质 对材料绝缘、介电性等影响极大的杂质,特别
是异价离子,如B、C、P、S、Al等,越少越好。 ②有利杂质 与材料A位(Pb2+)、B位(Zr4+,Ti4+)离子电价相
➢ 两者都只能作动态测量。由于外力作用在压电元件上产生 的电荷只有在内部无漏损或外接负载RL趋于无穷大时, 其受力后产生的电荷才能保持,这实际上是不可能的。只 有外力不断变化或高频作用下,电荷才能得以补充,因此 从这个意义上讲,压电晶体不适合静态测量。
压电陶瓷的主要性能参数
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 介质损耗tanδ
电介质在电场作用下,由于电极化弛豫过程和漏导 等原因在电介质内所损耗的能量。
理想电介质在正弦交变电场作用下流过的电流比电 压相位超前90 ° ,但在压电陶瓷中因有能量损耗,电流 超前的相位角ψ小于90 °,它的余角δ (δ+ψ=90 °)称 为损耗角,它是一个无因次的物理量,人们通常用损耗角 正切tanδ来表示介质损耗的大小,它表示了电介质的有 功功率(损失功率)P与无功功率Q之比。即: 电学品质 因数Qe(electrical quality factor)
电学品质因数的值等于损耗角正切值的倒数,用Qe 表示,它是一个无因次的物理量。若用并联等效电路表示 交变电场中的压电陶瓷的试样,则
Qe=1/ tanδ=ωCR
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 机电耦合系数Kp
机电耦合系数K是一个综合反映压电陶瓷的机械能与电能
之间耦合关系的物理量,是压电材料进行机—电能量转换 能力的反映。机电耦合系数的定义是:
对于企图用来产生运动或振动(例如,声纳和超声
换能器)的材料来说,希望具有大的压电应变常数d。
常用的为横向压电系数d31和纵向压电系数d33(脚 标第一位数字表示压电陶瓷的极化方向;第二位数字表 示机械振动方向)。
电荷灵敏度Kq和电压灵敏度Ku分别为:Kq
qa a
Ku Ua a
qa CaUa Kq CaKu
压电陶瓷的基本概念
三 1、自发极化
个 ➢ 120℃以下,BaTiO3晶体结构稍有畸变,为四方结构,
重
Ba2+和Ti4+相对于O2-产生了一个位移,结果导致正负电
要 荷中心不重合,产生了极化(自发极化),通常把这种转
概 变温度称为居里温度或居里点(Tc)。
念
压电陶瓷的基本概念
压电陶瓷的基本概念
➢ 压电陶瓷的压电效应机理与石英晶体大不相同,未经极化 处理的压电陶瓷材料是不会产生压电效应的。压电陶瓷经 极化处理后,剩余极化强度会使与极化方向垂直的两端出 现束缚电荷(一端为正,另一端为负),由于这些束缚电 荷的作用在陶瓷的两个表面吸附一层来自外界的自由电荷 ,并使整个压电陶瓷片呈电中性。
三 ➢ 铁电晶体中存在着自发极 个 Nhomakorabea方向不同的小区域,那 重 些自发极化方向相同的区 要 域称为电畴(黑色粗线为 概 畴壁)。 念
➢ 对于自发极化而言,从宏 观统计来看,晶体中存在 着各个方向的自发极化, 它们相互抵消,宏观上对 外不呈现极性。
压电陶瓷基本概念
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 频率常数N
对某一压电振子,其谐振频率和振子振动方向长度的乘 积为一个常数,即频率常数。
其中:
N=fr×l
fr为压电振子的谐振频率; l为压电振子振动方向的长度。
薄圆片径向振动 薄板厚度伸缩振动 细长棒K33振动 薄板切变K15振动
Np=fr×D Nt=fr×t N33=fr×l N15=fr×lt
介电常数ε与压电元件的电容C,电极面积A和电极间距离 t之间的关系为:
ε=C·t/A
ε 有时使用相对介电常数 33 ,它与绝对介电常数ε之间的
ε 关系为
33 t
=ε/εo
t
ε 式中,εo为真空(或自由空间)的介电常数,
εo=8.85×10-12(F/m),而 33 则无单位,是一个数 t
值。
发展历史
1942 -1949
发现了BaTiO3压电陶瓷上的高介电 常数和铁电性、压电性。后续解决了 极化问题。
50年代
美国日本先后利用BaTiO3压电陶
瓷制作超声换能器、高频换能器、压
力传感器、滤波器等的应用研究。
发展历史
各种规格的压电陶瓷片
整体看来, 晶粒与晶粒的晶 格方向不一定相 同,排列是无规 则的。这样的结 构称其为多晶体。
晶粒的晶格取向示意图
发展历史
居里兄弟首先发现电气石的压电效
1880 应,从此开始了压电学的历史。
居里兄弟实验验证了逆压电效应,
1881 给出石英相同的正逆压电常数。
压电陶瓷的基本概念
➢ 压电效应的本质
F ----- - +++++
E
极化方向 ----- +++++ +
正压电效应示意图 (实线代表形变前的情况,虚线代
表形变后的情况)
------
++++++
极化 方向
电 场 方
------ 向
++++++
逆压电效应示意图
正压电效应本质:机械作用引起介质极化。
逆压电效应的本质:电场作用引起介质极化。
自由电荷
电极
束缚电荷
自由电荷
图5 束缚电荷和自由电荷排列示意图
压电陶瓷的基本概念
➢ 并非所有的陶瓷都具有压电效应。作为压电陶瓷的原材 料,在晶体结构上一定是不具有对称中心的晶体,如氧 化铅、氧化锆、氧化钛、碳酸钡、氧化铌、氧化镁、氧 化锌等。
压电陶瓷的基本概念
➢ 正压电效应
高
气体喷嘴
压
引
线
磷压 外 叩
压铜 电 壳 击
电片 振
机
振
子
构
子
压电陶瓷点火示意图
压电陶瓷的基本概念
逆压电效应
节点支承 边缘支承 中心支承
压电蜂鸣器工作示意图
F ma Kq d • m
Ku d • m Ca
结论:灵敏度与压电系数d成正比,与质量m成正比。 增加质量:影响被测体振动状态
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 介电常数ε
介电常数是反映材料的介电性质,或极化性质的,通常 用ε来表示。不同用途的压电陶瓷元器件对压电陶瓷的介 电常数要求不同。例如,压电陶瓷扬声器等音频元件要求 陶瓷的介电常数要大,而高频压电陶瓷元器件则要求材料 的介电常数要小。
Ps单个电畴的极化强度;Pr剩余极化强度;Ec矫顽电场。
压电陶瓷的基本概念
➢压电陶瓷的原理:压电效应
压电效应是指某些介质在力的作用下,产生形变, 引起介质表面带电,这是正压电效应。反之,施加 激励电场,介质将产生机械变形,称逆压电效应。
薄形长片长度伸缩模式的耦合系数为K31(横向耦合系数);
圆柱体轴向伸缩模式的耦合系数为K33(纵向耦合系数)等。
压电陶瓷的主要性能参数
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 机械品质因数Qm
压电陶瓷在振动时,为了克服内摩擦需要消耗能量。机
械品质因数Qm是反映能量消耗大小的一个参数。Qm越大 ,能量消耗越小。机械品质因数Qm的定义式是:
D为圆片的直径 t为薄板的厚度 l为棒的长度 lt为薄板的厚度
压电陶瓷的制造工艺
➢ 压电陶瓷的制作过程主要步骤
配 料
预 处 理
预 烧
造 粒
成 型
烧 成
测 试
老 化
极 化
上 电 极
机 加 工
压电陶瓷的制造工艺
➢配料(原料的选择和处理)
原料是制备压电陶瓷的基础。对于PZT来说它的主要原 料为Pb3O4、ZrO2、TiO2。选择原料一般应注意其化学 组成和物理状态。 (1) 原料的纯度 对纯度的要求应适度。高纯原料,价格昂贵,烧结温 度高,温区窄。纯度稍低的原料,其中有的杂质可起矿 化和助熔的作用,反而使烧结温度降低,温区增宽。但 过低纯度原料杂质较多,不宜采用。
谐振时振子储存的机械能
Qm 2 每一谐振周期振子所消耗的机械能
Qm
2fr R(C0
f
2 a
C1)(
f
2 a
f
2 r
)
其中:
fr为压电振子的谐振频率 fa为压电振子的反谐振频率 R为谐振频率时的最小阻抗Zmin(谐振电阻) C0为压电振子的静电容 C1为压电振子的谐振电容
LOGO
压电陶瓷基本知识
压电陶瓷的基本知识
➢ 发展历史 ➢ 压电陶瓷的基本概念 ➢ 压电陶瓷的主要性能参数 ➢ 压电陶瓷的制作工艺 ➢ 压电陶瓷的应用 ➢ 市场发展前景与方向
➢压电陶瓷是什么?
压电陶瓷是一种具有压电效应的多晶体。因生产工 艺和陶瓷相近而得名。
三 2、人工极化
个 ➢ 人工极化就是在压电陶瓷上加一足够高的直流电场,并 重 保持一定的温度和时间,迫使其电畴转向,或者说迫使 要 其自发极化作定向排列。下图示意陶瓷中电畴在极化处 概 理前后的变化情况。 念
压电陶瓷的基本概念
三 3、铁电陶瓷
个 ➢ 某些材料在一定温度范围内具有自发极化。而且其自发 重 极化可以因外电场的作用而转向,材料的这种特性称为 要 铁电性。具有这种特性的陶瓷材料称为铁电陶瓷. 概 念
➢ 压电常数d
➢ 介电常数ε ➢ 介质损耗tanδ
➢ 机电耦合系数Kp ➢ 机械品质因数Qm
➢ 频率常数N
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 压电常数d
压电常数是反映力学量(应力或应变)与电学量(电 位移或电场)间相互耦合的线性响应系数。其数值的大 小直接表征了压电效应的强弱。当沿压电陶瓷的极化方 向施加压应力T时,在电极面上就产生电荷D,则有以下 关系式:
K2
通过逆压电效应转换所 得的机械能 转换时输入的总电能
或
K
2
通过正压电效应转换所 得的电能 转换时输入的总机械能
压电陶瓷振子(具有一定形状、大小和被覆工作电极的压电陶瓷
体)的机械能与其形状和振动模式有关,不同的振动模式将有相
应的机电耦合系数。
如对薄圆片径向伸缩模式的耦合系数为Kp(平面耦合系数);
D= dT
式中d单位为库仑/牛顿(C/ N)
这正是正压电效应。还有一个逆压电效应,既施加电 场E时成比例地产生应变S,其所产生的应变为膨胀为 收缩取决于样品的极化方向。
S= dE
式中,d的单位为米/伏(m/v)。
压电陶瓷的主要性能参数
对于正和逆压电效应来讲,d在数值上是相同的, 即有关系:
1954
美国B.Jaffe等人发现了锆钛酸铅 (PZT)具有非常强和稳定的压电性, 促使压电器件的应用研究又大大地向 前推进了一大步。
后来
为了保护地球和人类的生存空间,防 止环境的污染,非铅压电陶瓷成为未 来研究和应用的方向。
迄今
压电陶瓷的应用,上至宇宙开发,下 至家庭生活极其广泛。
➢ 在32种点群的晶体中,只有20种非中心对称点群的晶 体才有压电效应。
➢ 将这些原材料在高温下致密烧结,制成陶瓷,并将制好 的陶瓷在直流高压电场下进行极化处理,才能成为压电 陶瓷。
➢ 常用的压电陶瓷有钛酸钡、钛酸铅、锆钛酸铅以及三元 系压电陶瓷等。
石英晶体和压电陶瓷的比较
➢ 压电陶瓷:一种多晶体,需要极化后才具有压电效应, 压电常数大,成本低。但居里点温度低(120~360℃),精 度低(精度只能满足到小数点后三位),制作工艺较为复杂 ,稳定性不如石英晶体,有热释电现象,会给传感器带来 热干扰。
压电陶瓷的制造工艺
➢配料(原料的选择和处理)
(2)杂质的利用
1)杂质的类型 ①有害杂质 对材料绝缘、介电性等影响极大的杂质,特别
是异价离子,如B、C、P、S、Al等,越少越好。 ②有利杂质 与材料A位(Pb2+)、B位(Zr4+,Ti4+)离子电价相
➢ 两者都只能作动态测量。由于外力作用在压电元件上产生 的电荷只有在内部无漏损或外接负载RL趋于无穷大时, 其受力后产生的电荷才能保持,这实际上是不可能的。只 有外力不断变化或高频作用下,电荷才能得以补充,因此 从这个意义上讲,压电晶体不适合静态测量。
压电陶瓷的主要性能参数
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 介质损耗tanδ
电介质在电场作用下,由于电极化弛豫过程和漏导 等原因在电介质内所损耗的能量。
理想电介质在正弦交变电场作用下流过的电流比电 压相位超前90 ° ,但在压电陶瓷中因有能量损耗,电流 超前的相位角ψ小于90 °,它的余角δ (δ+ψ=90 °)称 为损耗角,它是一个无因次的物理量,人们通常用损耗角 正切tanδ来表示介质损耗的大小,它表示了电介质的有 功功率(损失功率)P与无功功率Q之比。即: 电学品质 因数Qe(electrical quality factor)
电学品质因数的值等于损耗角正切值的倒数,用Qe 表示,它是一个无因次的物理量。若用并联等效电路表示 交变电场中的压电陶瓷的试样,则
Qe=1/ tanδ=ωCR
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 机电耦合系数Kp
机电耦合系数K是一个综合反映压电陶瓷的机械能与电能
之间耦合关系的物理量,是压电材料进行机—电能量转换 能力的反映。机电耦合系数的定义是:
对于企图用来产生运动或振动(例如,声纳和超声
换能器)的材料来说,希望具有大的压电应变常数d。
常用的为横向压电系数d31和纵向压电系数d33(脚 标第一位数字表示压电陶瓷的极化方向;第二位数字表 示机械振动方向)。
电荷灵敏度Kq和电压灵敏度Ku分别为:Kq
qa a
Ku Ua a
qa CaUa Kq CaKu
压电陶瓷的基本概念
三 1、自发极化
个 ➢ 120℃以下,BaTiO3晶体结构稍有畸变,为四方结构,
重
Ba2+和Ti4+相对于O2-产生了一个位移,结果导致正负电
要 荷中心不重合,产生了极化(自发极化),通常把这种转
概 变温度称为居里温度或居里点(Tc)。
念
压电陶瓷的基本概念
压电陶瓷的基本概念
➢ 压电陶瓷的压电效应机理与石英晶体大不相同,未经极化 处理的压电陶瓷材料是不会产生压电效应的。压电陶瓷经 极化处理后,剩余极化强度会使与极化方向垂直的两端出 现束缚电荷(一端为正,另一端为负),由于这些束缚电 荷的作用在陶瓷的两个表面吸附一层来自外界的自由电荷 ,并使整个压电陶瓷片呈电中性。
三 ➢ 铁电晶体中存在着自发极 个 Nhomakorabea方向不同的小区域,那 重 些自发极化方向相同的区 要 域称为电畴(黑色粗线为 概 畴壁)。 念
➢ 对于自发极化而言,从宏 观统计来看,晶体中存在 着各个方向的自发极化, 它们相互抵消,宏观上对 外不呈现极性。
压电陶瓷基本概念
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 频率常数N
对某一压电振子,其谐振频率和振子振动方向长度的乘 积为一个常数,即频率常数。
其中:
N=fr×l
fr为压电振子的谐振频率; l为压电振子振动方向的长度。
薄圆片径向振动 薄板厚度伸缩振动 细长棒K33振动 薄板切变K15振动
Np=fr×D Nt=fr×t N33=fr×l N15=fr×lt
介电常数ε与压电元件的电容C,电极面积A和电极间距离 t之间的关系为:
ε=C·t/A
ε 有时使用相对介电常数 33 ,它与绝对介电常数ε之间的
ε 关系为
33 t
=ε/εo
t
ε 式中,εo为真空(或自由空间)的介电常数,
εo=8.85×10-12(F/m),而 33 则无单位,是一个数 t
值。
发展历史
1942 -1949
发现了BaTiO3压电陶瓷上的高介电 常数和铁电性、压电性。后续解决了 极化问题。
50年代
美国日本先后利用BaTiO3压电陶
瓷制作超声换能器、高频换能器、压
力传感器、滤波器等的应用研究。
发展历史
各种规格的压电陶瓷片
整体看来, 晶粒与晶粒的晶 格方向不一定相 同,排列是无规 则的。这样的结 构称其为多晶体。
晶粒的晶格取向示意图
发展历史
居里兄弟首先发现电气石的压电效
1880 应,从此开始了压电学的历史。
居里兄弟实验验证了逆压电效应,
1881 给出石英相同的正逆压电常数。
压电陶瓷的基本概念
➢ 压电效应的本质
F ----- - +++++
E
极化方向 ----- +++++ +
正压电效应示意图 (实线代表形变前的情况,虚线代
表形变后的情况)
------
++++++
极化 方向
电 场 方
------ 向
++++++
逆压电效应示意图
正压电效应本质:机械作用引起介质极化。
逆压电效应的本质:电场作用引起介质极化。
自由电荷
电极
束缚电荷
自由电荷
图5 束缚电荷和自由电荷排列示意图
压电陶瓷的基本概念
➢ 并非所有的陶瓷都具有压电效应。作为压电陶瓷的原材 料,在晶体结构上一定是不具有对称中心的晶体,如氧 化铅、氧化锆、氧化钛、碳酸钡、氧化铌、氧化镁、氧 化锌等。
压电陶瓷的基本概念
➢ 正压电效应
高
气体喷嘴
压
引
线
磷压 外 叩
压铜 电 壳 击
电片 振
机
振
子
构
子
压电陶瓷点火示意图
压电陶瓷的基本概念
逆压电效应
节点支承 边缘支承 中心支承
压电蜂鸣器工作示意图
F ma Kq d • m
Ku d • m Ca
结论:灵敏度与压电系数d成正比,与质量m成正比。 增加质量:影响被测体振动状态
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 介电常数ε
介电常数是反映材料的介电性质,或极化性质的,通常 用ε来表示。不同用途的压电陶瓷元器件对压电陶瓷的介 电常数要求不同。例如,压电陶瓷扬声器等音频元件要求 陶瓷的介电常数要大,而高频压电陶瓷元器件则要求材料 的介电常数要小。
Ps单个电畴的极化强度;Pr剩余极化强度;Ec矫顽电场。
压电陶瓷的基本概念
➢压电陶瓷的原理:压电效应
压电效应是指某些介质在力的作用下,产生形变, 引起介质表面带电,这是正压电效应。反之,施加 激励电场,介质将产生机械变形,称逆压电效应。
薄形长片长度伸缩模式的耦合系数为K31(横向耦合系数);
圆柱体轴向伸缩模式的耦合系数为K33(纵向耦合系数)等。
压电陶瓷的主要性能参数
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 机械品质因数Qm
压电陶瓷在振动时,为了克服内摩擦需要消耗能量。机
械品质因数Qm是反映能量消耗大小的一个参数。Qm越大 ,能量消耗越小。机械品质因数Qm的定义式是:
D为圆片的直径 t为薄板的厚度 l为棒的长度 lt为薄板的厚度
压电陶瓷的制造工艺
➢ 压电陶瓷的制作过程主要步骤
配 料
预 处 理
预 烧
造 粒
成 型
烧 成
测 试
老 化
极 化
上 电 极
机 加 工
压电陶瓷的制造工艺
➢配料(原料的选择和处理)
原料是制备压电陶瓷的基础。对于PZT来说它的主要原 料为Pb3O4、ZrO2、TiO2。选择原料一般应注意其化学 组成和物理状态。 (1) 原料的纯度 对纯度的要求应适度。高纯原料,价格昂贵,烧结温 度高,温区窄。纯度稍低的原料,其中有的杂质可起矿 化和助熔的作用,反而使烧结温度降低,温区增宽。但 过低纯度原料杂质较多,不宜采用。
谐振时振子储存的机械能
Qm 2 每一谐振周期振子所消耗的机械能
Qm
2fr R(C0
f
2 a
C1)(
f
2 a
f
2 r
)
其中:
fr为压电振子的谐振频率 fa为压电振子的反谐振频率 R为谐振频率时的最小阻抗Zmin(谐振电阻) C0为压电振子的静电容 C1为压电振子的谐振电容
LOGO
压电陶瓷基本知识
压电陶瓷的基本知识
➢ 发展历史 ➢ 压电陶瓷的基本概念 ➢ 压电陶瓷的主要性能参数 ➢ 压电陶瓷的制作工艺 ➢ 压电陶瓷的应用 ➢ 市场发展前景与方向
➢压电陶瓷是什么?
压电陶瓷是一种具有压电效应的多晶体。因生产工 艺和陶瓷相近而得名。
三 2、人工极化
个 ➢ 人工极化就是在压电陶瓷上加一足够高的直流电场,并 重 保持一定的温度和时间,迫使其电畴转向,或者说迫使 要 其自发极化作定向排列。下图示意陶瓷中电畴在极化处 概 理前后的变化情况。 念
压电陶瓷的基本概念
三 3、铁电陶瓷
个 ➢ 某些材料在一定温度范围内具有自发极化。而且其自发 重 极化可以因外电场的作用而转向,材料的这种特性称为 要 铁电性。具有这种特性的陶瓷材料称为铁电陶瓷. 概 念
➢ 压电常数d
➢ 介电常数ε ➢ 介质损耗tanδ
➢ 机电耦合系数Kp ➢ 机械品质因数Qm
➢ 频率常数N
压电陶瓷的主要性能参数
➢ 压电常数d
压电常数是反映力学量(应力或应变)与电学量(电 位移或电场)间相互耦合的线性响应系数。其数值的大 小直接表征了压电效应的强弱。当沿压电陶瓷的极化方 向施加压应力T时,在电极面上就产生电荷D,则有以下 关系式:
K2
通过逆压电效应转换所 得的机械能 转换时输入的总电能
或
K
2
通过正压电效应转换所 得的电能 转换时输入的总机械能
压电陶瓷振子(具有一定形状、大小和被覆工作电极的压电陶瓷
体)的机械能与其形状和振动模式有关,不同的振动模式将有相
应的机电耦合系数。
如对薄圆片径向伸缩模式的耦合系数为Kp(平面耦合系数);
D= dT
式中d单位为库仑/牛顿(C/ N)
这正是正压电效应。还有一个逆压电效应,既施加电 场E时成比例地产生应变S,其所产生的应变为膨胀为 收缩取决于样品的极化方向。
S= dE
式中,d的单位为米/伏(m/v)。
压电陶瓷的主要性能参数
对于正和逆压电效应来讲,d在数值上是相同的, 即有关系:
1954
美国B.Jaffe等人发现了锆钛酸铅 (PZT)具有非常强和稳定的压电性, 促使压电器件的应用研究又大大地向 前推进了一大步。
后来
为了保护地球和人类的生存空间,防 止环境的污染,非铅压电陶瓷成为未 来研究和应用的方向。
迄今
压电陶瓷的应用,上至宇宙开发,下 至家庭生活极其广泛。
➢ 在32种点群的晶体中,只有20种非中心对称点群的晶 体才有压电效应。
➢ 将这些原材料在高温下致密烧结,制成陶瓷,并将制好 的陶瓷在直流高压电场下进行极化处理,才能成为压电 陶瓷。
➢ 常用的压电陶瓷有钛酸钡、钛酸铅、锆钛酸铅以及三元 系压电陶瓷等。
石英晶体和压电陶瓷的比较