真空泵操作说明书

为使本仪器之操作明确化，让操作者有所遵循之依据规范的操作本仪器。2.适用范围

适用于凡真空泵操作或其它类型号之使用。

3.定义

略

4.权责

4.1本办法由制造部电镀课负责制订及修订。

4.2使用单位负责维护与保管。

5.作业程序

5.2设备异常时，分析人员无法排除时依电镀设备异常处理管理办法执行。

5.3日常保养依电镀课真空泵点检表执行。

6.相关文件

6.1电镀设备异常处理管理办法。 G-C-008

7.相关表单

7.1电镀课真空泵点检表。GR-028-01-A0