关于碳化硅功率器件的调研

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SiC功率半导体器件的优势和发展前景

SiC功率半导体器件的优势和发展前景

SiC功率半导体器件的优势和发展前景SiC(碳化硅)功率半导体器件是一种新兴的半导体材料,具有许多优势和广阔的发展前景。

以下是SiC功率半导体器件的优势和发展前景。

1.高温工作能力:与传统的硅功率半导体器件相比,SiC器件能够在高温环境下工作,其工作温度可达到300摄氏度以上。

这使得SiC器件在航空航天、军事装备和汽车等应用领域具有巨大的潜力。

2.高电压耐受能力:SiC器件具有更高的击穿电场强度和较低的导通电阻,可以实现更高的电压耐受能力。

这使得SiC器件在高压和高电场应用中具有优势,如电力电子转换、电力传输和分配、电网充放电和电动车充电等。

3.高频特性:由于SiC材料的电子迁移率和终端速度较高,SiC器件具有优秀的高频特性。

这使得SiC器件在高频交流/直流转换器和射频功率放大器中具有广泛的应用。

4.低导通和开启损耗:SiC材料的电阻率较低,电流密度较大。

这导致SiC器件在导通过程中的能耗更低,进而减少了开关损耗。

相对于硅器件,SiC器件具有更高的效率和更小的温升。

这使得SiC器件在能源转换和电源管理领域具有潜在的应用前景。

5.小体积和轻量化:SiC器件的小体积和轻量化特性,使得其在高功率密度应用和紧凑空间条件下的应用更具优势。

这对于电动汽车、风力和太阳能发电系统、飞机和船舶等领域都有重要意义。

6.高可靠性和长寿命:由于SiC器件的抗辐射、抗高温、耐压击穿和抗电荷扩散等特性,它具有较高的可靠性和长寿命。

这对于军事装备、航空航天和核电等关键领域的应用具有重要意义。

SiC功率半导体器件的发展前景广阔。

随着科技的不断进步和物联网的快速发展,对于功率器件的要求愈发严苛。

在电力转换、能源管理和电动汽车等领域,对功率器件的需求将进一步增加,而SiC器件作为一种高温、高电压和高频特性都优异的功率半导体器件,将有望取代传统的硅器件,成为未来功率电子的主流。

此外,随着SiC材料的制备工艺和工艺技术的不断改进,SiC器件的成本也在逐渐下降。

碳化硅研究报告

碳化硅研究报告

碳化硅研究报告碳化硅研究报告一、引言碳化硅是一种具有高温稳定性和高能隙的半导体材料。

它具有优异的热电性能、化学稳定性和力学性能,被广泛应用于电子器件、高温传感器、高温电阻材料等领域。

本报告旨在对碳化硅的研究现状进行综述,并对其未来的研究方向进行展望。

二、研究进展1. 碳化硅材料的制备碳化硅材料可以通过多种方法制备,包括化学气相沉积法、热化学气相沉积法、溶胶-凝胶法等。

其中,化学气相沉积法是最常用的制备方法之一。

通过在高温下使硅源和碳源反应生成碳化硅,可得到高纯度和均匀性的碳化硅材料。

2. 碳化硅的物理性质碳化硅具有多种优良的物理性质,主要表现在以下几个方面:(1) 高温稳定性:碳化硅能够在高温下保持结构稳定性,具有较好的耐热性和耐氧化性。

(2) 高能隙:碳化硅的能隙较大,能够在高温条件下实现较高的载流子浓度和迁移率。

(3) 热电性能:碳化硅具有优异的热电性能,可用作高温热电材料。

(4) 化学稳定性:碳化硅具有较好的化学稳定性,能够在酸碱等腐蚀性环境中保持稳定。

(5) 力学性能:碳化硅是一种硬度较高的材料,具有较好的抗磨损性和强度。

3. 碳化硅在电子器件中的应用由于碳化硅具有优异的物理性质,它被广泛应用于电子器件中。

例如,碳化硅晶体管可用于高温、高频率和高功率电子器件;碳化硅二极管可用于高温环境中的电源电子器件;碳化硅场效应管可实现高温下的功率开关控制。

4. 碳化硅在高温传感器中的应用碳化硅的高温稳定性和热电性能使其成为高温传感器的理想选择。

例如,碳化硅压阻传感器可用于高温和高压环境中的压力测量;碳化硅热敏电阻可用于高温环境下的温度测量;碳化硅光电传感器可用于高温环境中的光学信号检测。

三、展望未来的碳化硅研究可以从以下几个方面展开:1. 提高碳化硅材料的制备工艺,提高制备效率和降低制备成本。

2. 开发新型碳化硅纳米材料,研究其在光子学、电子学等领域的应用。

3. 深入研究碳化硅的高温稳定性机制,探索其在高温环境下的应用潜力。

碳化硅功率半导体

碳化硅功率半导体

碳化硅功率半导体1. 碳化硅的特性和优势碳化硅(Silicon Carbide,SiC)是一种新型的半导体材料,其具有许多传统硅(Silicon,Si)材料所不具备的特性和优势。

主要特性和优势如下:1.1 宽带隙能量碳化硅具有较高的带隙能量,约为3.26电子伏特(eV),相比之下,硅的带隙能量仅为1.12eV。

宽带隙能量使得碳化硅具有更高的击穿电压和更低的漏电流,从而提高了功率半导体器件的性能。

1.2 高电子流动度和低电子迁移率碳化硅的电子流动度是硅的10倍以上,这意味着碳化硅器件可以承受更高的电流密度,从而实现更高的功率输出。

此外,碳化硅具有较低的电子迁移率,可以减小电流密度增加时的电阻增加效应。

1.3 高热导率和低热膨胀系数碳化硅具有较高的热导率和较低的热膨胀系数,使得碳化硅器件在高温工作环境下具有较好的热稳定性。

这使得碳化硅功率半导体器件可以在高功率、高温条件下工作,而不容易出现热失效问题。

1.4 高耐压和高温工作能力碳化硅具有较高的击穿电压,可以承受更高的电压应力。

此外,碳化硅器件的工作温度范围更广,可达到300摄氏度以上,远高于硅器件的极限。

2. 碳化硅功率半导体器件碳化硅功率半导体器件是利用碳化硅材料制造的功率电子器件,主要包括碳化硅二极管、碳化硅MOSFET、碳化硅IGBT等。

这些器件在高功率、高频率和高温度环境下具有优异的性能,广泛应用于电力电子、新能源、汽车电子等领域。

2.1 碳化硅二极管碳化硅二极管是最早商业化生产的碳化硅器件,其主要特点是低导通压降、快速开关速度和高耐压能力。

碳化硅二极管可以替代传统硅二极管,提高功率转换效率,减小能量损耗。

2.2 碳化硅MOSFET碳化硅MOSFET是一种基于金属-氧化物-半导体场效应管(MOSFET)结构的功率半导体器件。

碳化硅MOSFET具有低导通电阻、快速开关速度和高耐压能力的特点,可应用于高频率开关电源、电动汽车驱动系统等领域。

2.3 碳化硅IGBT碳化硅绝缘栅双极晶体管(IGBT)是一种结合了碳化硅和硅的功率半导体器件。

碳化硅器件 主要测试参数

碳化硅器件 主要测试参数

碳化硅器件主要测试参数全文共四篇示例,供读者参考第一篇示例:碳化硅器件是一种在高温、高频、高功率等工况下使用的器件,具有优异的性能特点。

在实际应用中,为了保证器件的正常工作和性能表现,需要进行各种测试和检验。

以下就是碳化硅器件主要测试参数的介绍:1. 静态特性测试:静态特性测试是对碳化硅器件在静态工作条件下的性能参数进行测试和评估。

主要包括:(1)漏电流测试:漏电流是指器件在正常工作状态下的电流泄漏情况,通过测试可以评估器件的绝缘性能和电气特性。

(2)导通压降测试:导通压降是指器件在正常导通状态下的电压降,测试结果可以评估器件的导通性能和功耗。

(3)阻断压力测试:阻断压力是指器件在正常工作状态下的最大阻断电压,测试结果可以评估器件的绝缘性能和耐压性能。

3. 温度特性测试:温度特性测试是对碳化硅器件在不同温度环境下的性能变化进行评估。

主要包括:(1)温度漂移测试:温度漂移是指器件在不同温度下的性能变化情况,测试结果可以评估器件的稳定性和可靠性。

(2)温度升降测试:温度升降是指器件在热冲击等情况下的性能变化情况,测试结果可以评估器件的耐热性和抗热冲击能力。

以上就是碳化硅器件主要测试参数的介绍,通过对这些参数的测试和评估,可以全面了解碳化硅器件的性能特点和使用条件,从而保证器件在实际应用中的稳定性和可靠性。

【注:此为人工智能助手生成内容,仅供参考。

】第二篇示例:碳化硅器件是一种在现代电子设备中得到广泛应用的高性能半导体器件,其主要测试参数对于保证器件性能和稳定性至关重要。

本文将对碳化硅器件的主要测试参数进行详细介绍,帮助读者更好地了解碳化硅器件的测试过程和要点。

碳化硅器件的主要测试参数包括直流参数、交流参数、高频参数等多个方面。

首先是直流参数,包括漏电流、击穿电压、导通电阻等。

漏电流是指在一定的施加电压下器件漏电的情况,漏电流过大会导致器件损坏。

而击穿电压则是指在正向电压下器件发生击穿的电压值,该参数直接影响着器件的耐压性能。

sic功率器件关键科学问题

sic功率器件关键科学问题

SiC功率器件关键科学问题SiC是一种由硅(Si)和碳(C)构成的半导体化合物,它属于宽带隙(WBG)材料家族。

其物理键非常牢固,使得半导体允许SiC器件在结温高于硅的结温。

在电力应用中,碳化硅的主要优点是它的低漂移区电阻,这是高压电力设备的关键硅碳化硅功率器件以其优异的物理、电子性能正推动着电力电子技术的根本性变革。

虽然这种材料早已为人所知,质量高。

近年来,高温晶体生长技术的研究受到了国内外学者的关注。

虽然SiC具有不同的多晶结构(又称多晶结构),化硅片。

1.碳化硅的主要特性是什么?这种材料是由硅和碳组合而成的优异的机械、化学和热学性质。

热传导系数大。

良好的抗热震性能和热膨胀。

电源和开关损耗小。

能源效率高运转频率和温度(工作温度可达200℃)模头大小(相同的击穿电压)特征体二极管(MOSFET器件)优秀的散热管理,减少冷却需求。

延长使用寿命。

2.碳化硅在电子领域的应用是什么?碳化硅是一种非常适合电力应用的半导体,主要是因为它能承受高电压十倍,高达硅的可用电压。

以碳化硅为基础SiC二极管和晶体管还能在较高的频率和温度下工作,而不影响可靠性。

SiC器件的主要应用,如肖特基二极管。

3.为何SiC在功率应用中克服了Si?虽然硅是电子领域应用最广的半导体,但也开始显示出一些局限性,尤其是在大功率应用中。

与这些应用有关的一子器件可以更小、更快、更可靠。

与其它半导体半导体相比,它还能使用更高的温度、电压和频率。

尽管硅带隙在1.12eV左右,但是碳化硅的带隙值大约是3.26eV的3倍左右。

4.碳化硅为何能承受这么高的电压?电源设备,特别是MOSFET必须能够承受极高的电压。

因为电场的介电击穿强度大约是硅的十倍,因此SiC可以达层可以变得很薄。

流层越薄,电阻就越小。

从理论上讲,在高电压下,漂移层的单位面积电阻可降至硅电阻的1/3005.为何SiC在高频方面优于IGBT?就功率而言,过去主要使用IGBT和双极晶体管来降低高击穿电压时的导通电阻。

碳化硅功率器件优点

碳化硅功率器件优点

碳化硅功率器件优点
碳化硅具有众多技术优势,宽禁带特性有助于提高碳化硅器件的稳定性,使其具备良好的耐高温性、耐高压性和抗辐射性,显著提升器件功率密度,从而利于系统散热与终端小型轻便化;高击穿电场强度特性有助于提高碳化硅器件的功率范围,降低通电电阻,使其具备耐高压性和低能耗性,利于器件薄化的同时提高系统驱动力;高饱和电子漂移速率特性意味着较低的电阻,显著降低能量损失,简化周边被动器件,大幅提升开关频率同时提高整机效率。

基于这些特点,碳化硅器件可以在更高强度的环境下进行工作,也能够更快速地进行散热,极限工作温度更高,以碳化硅为衬底制成的功率器件相比硅基功率器件在性能方面更加具有优势。

目前市场上常见的碳化硅功率器件产品主要是碳化硅二极管、碳化硅MOSFET,以及由碳化硅二极管与碳化硅MOSFET构成的模块。

碳化硅材料的半导体器件可应用于汽车、充电设备、便携式电源、通信设备、机械臂、飞行器等多个工业领域。

受益于5G通信、国防军工、新能源汽车和新能源光伏等领域的发展,碳化硅器件市场规模增速可观。

碳化硅功率器件现状及发展趋势

碳化硅功率器件现状及发展趋势

碳化硅功率器件作为一种新型的功率半导体设备,在各个领域中的应用越来越广泛。

本文将介绍碳化硅功率器件的现状以及其发展趋势。

一、现状目前,碳化硅功率器件在国内外已经得到了广泛的研究和应用。

其中,以碳化硅为基质的二极管和晶闸管是最为常见的两种器件。

这些器件具有高耐压、高频率、低损耗等优点,因此在电力电子装置中得到了广泛应用。

例如,在电动汽车、可再生能源发电、工业电源等领域中,碳化硅功率器件已经成为了主流的解决方案。

目前,国内外的碳化硅功率器件生产商已经逐渐成熟,具备了一定的生产规模和市场竞争力。

一些大型企业如三安光电、斯达半导等已经实现了量产,并逐渐占据了一定的市场份额。

同时,一些初创企业也在不断涌现,为碳化硅功率器件的发展注入了新的活力。

然而,碳化硅功率器件的生产和研发仍然面临着一些挑战。

首先,碳化硅材料的价格较高,限制了其在一些低端市场中的应用。

其次,碳化硅功率器件的制造工艺较为复杂,需要较高的技术水平和设备投入。

此外,碳化硅功率器件的可靠性问题也是需要关注的问题,需要不断进行优化和改进。

二、发展趋势随着技术的不断进步和市场的不断扩大,碳化硅功率器件的发展趋势也越来越明显。

首先,碳化硅功率器件的制造工艺将不断优化和改进。

随着生产经验的积累和技术水平的提高,碳化硅功率器件的制造工艺将更加成熟和稳定,成本也将逐渐降低。

其次,碳化硅功率器件的应用领域将不断拓展。

随着电力电子技术的不断发展,碳化硅功率器件的应用领域将不断扩大,从传统的电力、交通领域扩展到新能源、工业控制等领域。

最后,碳化硅功率器件的市场竞争将更加激烈。

随着碳化硅功率器件的广泛应用和市场规模的不断扩大,市场竞争也将越来越激烈。

企业需要不断提高自身的技术水平和市场竞争力,以应对市场的挑战。

总之,碳化硅功率器件作为一种新型的功率半导体设备,具有广阔的应用前景和发展空间。

随着技术的不断进步和市场需求的不断扩大,碳化硅功率器件的发展趋势将越来越明显,未来市场前景看好。

sic功率器件新型封装结构设计、仿真及封装工艺探索

sic功率器件新型封装结构设计、仿真及封装工艺探索

sic功率器件新型封装结构设计、仿真及封装工艺探索1. 引言1.1 概述随着现代电子设备的快速发展和不断提升的功率需求,对于高效、高性能的功率器件的需求也日益增长。

碳化硅(Silicon Carbide, SiC)功率器件作为一种新兴的半导体材料,在高温、高压、高频等极端环境下具有出色的性能表现,因而引起了广泛关注。

然而,封装结构作为保护和连接器件的关键部分,对于SiC功率器件在实际应用中的性能和可靠性起着重要作用。

本文旨在通过探索新型封装结构设计,并结合仿真与封装工艺优化,提供一个综合解决方案来提升SiC功率器件的整体性能。

1.2 文章结构本文总共分为五个部分。

首先,在引言部分进行概述并阐明研究目的。

第二部分将介绍SiC功率器件新型封装结构设计,包括研究背景、已有封装结构分析以及设计原理与考虑因素。

第三部分将探讨数值建模方法,并展示仿真结果与分析,进而对SiC功率器件进行性能评估。

第四部分将对封装工艺进行探索和优化,包括市场调研、封装工艺流程设计和实施方法的探索,以及工艺优化策略与实践案例分享。

最后,在结论与展望部分对本文的研究成果进行总结,并提出下一步研究方向。

1.3 目的SiC功率器件的封装结构具有极大的改进空间,可以通过改变设计思路和优化工艺流程来提升整体性能。

本文旨在深入探讨新型封装结构设计,并通过数值仿真和性能评估来验证其效果。

同时,我们也将着重研究封装工艺探索和优化策略,以提供可行的实施方法,并分享相关实践案例。

期望本文所提供的综合解决方案能够为SiC功率器件封装技术的发展做出有效贡献,推动该领域的进一步发展。

2. sic功率器件新型封装结构设计:2.1 研究背景:随着SiC(碳化硅)功率器件的不断发展和应用,封装结构的设计对于其性能和可靠性至关重要。

然而,传统的封装结构往往无法满足SiC功率器件高温、高压、高频等特殊工作环境下的需求。

因此,研究和开发新型的封装结构成为了当前SiC功率器件领域的热门课题。

SiC功率器件特性及其在逆变器中的应用研究的开题报告

SiC功率器件特性及其在逆变器中的应用研究的开题报告

SiC功率器件特性及其在逆变器中的应用研究的开题报告题目:SiC功率器件特性及其在逆变器中的应用研究一、研究背景及意义目前,随着能源领域的快速发展,人们对能源的利用效率和效益的要求不断提高。

在这种背景下,提高能源变换效率和减少电能损耗成为热门研究领域。

其中,功率器件是实现电能转换的核心装置。

传统的硅基功率器件在功率密度、导通损耗和反向恢复速度等方面存在一定的局限性,不能满足现代高效率、高质量、高可靠性电力系统的需求。

而碳化硅(SiC)功率器件由于其高电场强度、高热导率和高载流子流动速度等优良特性,被广泛应用于电力电子领域。

SiC功率器件的使用可以显著提高功率密度、降低导通损耗和提高反向恢复速度,从而提高电能转换效率。

本论文通过研究SiC功率器件的特点,并探讨其在逆变器中的应用,为提高能源利用效率、减少电能损耗等方面提供理论和技术支持。

二、研究内容和方法1.出发点:SiC功率器件特性研究及其应用,逆变器设计及其仿真模拟。

2.主要研究内容:(1)SiC功率器件特性研究:探讨SiC功率器件的物理特性、结构特性和电学特性等方面,以及与传统硅基功率器件的比较分析。

(2)SiC功率器件在逆变器中的应用研究:研究SiC功率器件在三相桥式全桥、三相桥式半桥和三相桥式三电平逆变器中的应用,分析其在功率密度、导通损耗和反向恢复速度等方面的优势和应用效果。

(3)逆变器设计与仿真模拟:在Matlab/Simulink软件平台上,针对不同类型逆变器(全桥逆变器、半桥逆变器、三电平逆变器等),设计并编程建立仿真模型,进行逆变过程的仿真模拟,分析不同类型逆变器的效率和性能差异。

3.研究方法:本研究将采用文献综述、实验研究和数值分析相结合的方法进行,主要包括对SiC功率器件特性的分析和研究、逆变器设计及其仿真模拟等方面的研究。

三、预期成果及意义本研究的主要成果有:(1)系统性的介绍SiC功率器件的物理、结构和电学特性,并与传统的硅基功率器件进行比较分析。

碳化硅功率器件在储能领域中的应用

碳化硅功率器件在储能领域中的应用

碳化硅功率器件在储能领域中的应用一、碳化硅功率器件概述碳化硅(SiC)功率器件,作为第三代半导体材料的代表,因其出色的物理和化学性质,在电力电子领域具有广泛的应用前景。

碳化硅具有高硬度、高导热率、高饱和电子迁移率等特性,使得SiC功率器件在高温、高功率、高频等极端工作条件下具有显著的优势。

二、碳化硅功率器件的优势在储能领域,碳化硅功率器件的主要优势体现在以下几个方面:高温稳定性:碳化硅材料能够在高温下保持稳定的性能,这使得SiC功率器件在高温储能系统中具有显著的优势。

高功率密度:碳化硅的高导热率和高饱和电子迁移率使得SiC功率器件能够承受更高的电流密度和功率密度,从而提高了储能系统的效率。

快速开关特性:碳化硅功率器件具有快速的开关速度,这有助于减少储能系统的能量损失,提高系统的动态响应能力。

三、碳化硅功率器件在储能领域的应用光伏储能系统:在光伏储能系统中,碳化硅功率器件可以用于提高光伏逆变器的效率,减少能量损失。

同时,其高温稳定性和快速开关特性使得系统在高温和光照不足的情况下仍能保持稳定的运行。

风力储能系统:在风力储能系统中,碳化硅功率器件可以用于提高风力发电机组的效率,减少风能的浪费。

此外,其高功率密度和快速开关特性也有助于提高储能系统的充电和放电速度。

电动汽车储能系统:在电动汽车储能系统中,碳化硅功率器件可以用于提高电动汽车充电器的效率,缩短充电时间。

同时,其高温稳定性和快速开关特性也有助于提高电动汽车在高速行驶和高温环境下的性能。

四、碳化硅功率器件的挑战与展望尽管碳化硅功率器件在储能领域具有广泛的应用前景,但也面临着一些挑战:成本问题:目前碳化硅材料的制造成本较高,导致SiC功率器件的价格相对较高,限制了其在一些低成本储能系统中的应用。

可靠性问题:碳化硅功率器件的可靠性尚未得到全面验证,需要在实际应用中不断积累经验。

展望未来,随着碳化硅材料制备技术的不断发展和成本的降低,SiC功率器件在储能领域的应用将更加广泛。

sic功率器件发展现状

sic功率器件发展现状

sic功率器件发展现状
近年来,SIC功率器件作为一种新型能源电子器件,正在迅速
发展。

SIC(碳化硅)功率器件具有优异的性能,包括高电压
承受能力、高温操作能力、低开关损耗、高频响应能力以及低电阻等特点。

目前,SIC功率器件的发展主要集中在两个方面:一是提高器
件性能,二是降低成本。

在提高器件性能方面,近年来的研究重点是增加器件的击穿电压和增加器件的开关频率。

增加器件的击穿电压可以提高其在高压应用中的可靠性,拓宽了SIC功率器件的应用领域。

此外,增加器件的开关频率可以提高器件的转换效率和响应速度,使其更适用于高频应用,如电动汽车、太阳能逆变器等。

为了实现上述目标,研究者们采取了多种方法。

一种是通过改进SIC材料的制备工艺,如改变生长温度、气体流量和沉积
速率等参数,以提高材料的质量和晶格结构。

另一种是通过优化器件结构,如改变器件的结电极设计和增加复合结构等,以提高器件的击穿电压和开关速度。

在降低成本方面,研究者们主要集中在两个方面:一是降低材料成本,二是提高器件制造工艺的可扩展性。

降低材料成本可以通过改进材料的生产工艺和降低原材料成本来实现。

提高器件制造工艺的可扩展性则可以通过优化制造流程和减少工艺步骤来实现。

尽管SIC功率器件的发展还面临一些挑战,如过渡层缺陷和生产工艺不稳定等,但随着技术的不断进步和研究的深入,SIC功率器件有望成为能源电子领域的重要组成部分,推动能源电子技术的发展。

碳化硅功率器件及其发展现状

碳化硅功率器件及其发展现状

碳化硅功率器件及其发展现状碳化硅为代表的第三代宽禁带半导体,可在更高温度、电压及频率环境正常工作,同时消耗电力更少,持久性和可靠性更强,将为下一代更小体积、更快速度、更低成本、更高效率的电力电子产品提供飞跃的机遇。

碳化硅电力电子器件技术的进步及产业化,将在高压电力系统开辟全新应用,对电力系统变革产生深远影响。

碳化硅电力电子器件优异的高效、高压、高温和高频特性,使其在家用电器、电机节能、电动汽车、智能电网、航天航空、石油勘探、自动化、雷达与通信等领域有很大应用潜力。

碳化硅电力电子器件介绍:1.碳化硅(SiC)的定义碳化硅(SiC)电力电子器件是指采用第三代半导体材料SiC制造的一种宽禁带电力电子器件,具有耐高温、高频、高效的特性。

按照器件工作形式,SiC电力电子器件主要包括功率二极管和功率开关管。

功率二极管包括结势垒肖特基(JBS)二极管、PiN二极管和超结二极管;功率开关管主要包括金属氧化物半导体场效应开关管(MOSFET)、结型场效应开关管(JFET)、双极型开关管(BJT)、绝缘栅双极型晶体管(IGBT)、门极可关断晶闸管(GTO)和发射极可关断晶闸管(ETO)等。

2.技术优势碳化硅半导体的优异性能使得基于碳化硅的电力电子器件与硅器件相比具有以下突出的优点:(1)具有更低的导通电阻。

在低击穿电压(约50V)下,碳化硅器件的比导通电阻仅有1.12uΩ,是硅同类器件的约1/100。

在高击穿电压(约5kV)下,比导通电阻提高到25.9mΩ,却是硅同类器件的约1/300。

更低的导通电阻使得碳化硅电力电子器件具有更小的导通损耗,从而能获得更高的整机效率。

(2)具有更高的击穿电压。

例如:商业化的硅肖特基二极管通常耐压在300V以下,而首个商业化的碳化硅肖特基二极管的电压定额就已经达到了600V;首个商业化的碳化硅MOSFET电压定额为1200V,而常用的硅MOSFET 大多在1kV以下。

(3)更低的结-壳热阻,使得器件的温度上升更慢。

关于碳化硅功率器件的调研

关于碳化硅功率器件的调研

关于碳化硅功率器件的调研关于碳化硅功率器件的调研前言以硅器件为基础的电力电子技术,因大功率场效应晶体管(功率MOSFET)和绝缘栅双极晶体管(IGBT)等新型电力电子器件的全面应用而日臻成熟。

目前,这些器件的开关性能己随其结构设计和制造工艺的相当完善而接近其由材料特性决定的理论极限,依靠硅器件继续完善和提高电力电子装置与系统性能的潜力已十分有限。

首先,硅低的击穿电场意味着在高压工作时需要采用厚的轻掺杂层,这将引起较大的串联电阻,特别是对单极器件尤其如此。

为了减少正向压降,电流密度必须保持在很低的值,因此硅器件的大电流是通过增加硅片面积来实现的。

在一定的阻断电压下,正向压降由于载流子在轻掺杂区的存储而降低,这种效应称为结高注入的串联电阻调制效应。

然而存储电荷的存储和复合需要时间,从而降低了器件的开关速度,增加了瞬态功率损耗。

硅器件由于小的禁带宽度而使在较低的温度下就有较高的本征载流子浓度,高的漏电流会造成热击穿,这限制了器件在高温环境和大功率耗散条件下工作。

其它限制是硅的热导率较低。

于是,依靠新材料满足新一代电力电子装置与系统对器件性能的更高要求,早在世纪交替之前就在电力电子学界与技术界形成共识,对碳化硅电力电子器件的研究与开发也随之形成热点。

1 碳化硅材料以SiC,GaN 为代表的宽禁带半导体材料,是继以硅和砷化镓为代表的第一代&第二代半导体材料之后迅速发展起来的新型半导体材料。

表1列出了不同半导体材料的特性对比。

从表中可以看出,碳化硅作为一种宽禁带半导体材料,不但击穿电场强度高,还具有电子饱和漂移速度高、热导率高等特点,可以用来制作各种耐高温的高频大功率器件。

SiC 由碳原子和硅原子组成,其晶体结构具有同质多型体的特点,在半导体领域最常用的是4H-SiC 和6H-SiC 两种。

碳化硅材料的优异性能使得SiC 电力电子器件与Si 器件相比具有以下突出的性能优势:表1 不同半导体材料的特性对比类型Si GaAs GaN SiC 4H-SiC 6H-SiC 3C-SiC 禁带宽度/eV1.12 1.42 3.45 3.2 3.02.2 击穿电场(MV/cm )0.6 0.6 >1 2.2 2.4 2 热导率(W/cm.k )1.5 0.5 1.3 4.9 4.9 5 介电常数11.9 13.1 9 9.7 9.7 9.72 电子饱和漂移速度(10e7cm/s )1.0 1.22.2 2 2 2.2 电子迁移率(cm2/v.s )1200 6500 1250 1020 600 1000 空穴迁移率(cm2/v.s ) 420 320 850 120 40 40⑴SiC电力电子器件具有更低的导通电阻。

碳化硅半导体sic在功率器件领域的应用分析

碳化硅半导体sic在功率器件领域的应用分析

• 50•(5)在数据可视化中,采用文本可视化对大数据分析的结果进行展示,更直观的得到数据隐含的规律。

5.基于数据处理架构的应用研究微电网调度数据的应用范围主要分为:微电网平台运行、调度、发配用电等多个环节。

随着大数据技术在电力领域的深入开展,分析数据特性在微电网中也起着至关重要的作用。

主要通过大规模数据智能运行和微电网设备状态检测两个方面来进一步分析数据处理架构。

(1)大规模数据智能运行打破了相对稳定的传统电网,导致电力生产管理复杂化日益加剧,无法大规模的并网发配用电,造成资源浪费的现象。

通过数据处理平台接入SCADA系统中的发电机组,读取该机组的档案和历史负荷数据,构建一个智能调度系统,在该系统上对数据进行传送,实现协调运作。

(2)微电网设备状态检测,根据分析微电网设备运行状态,采集微电网设备上运行的数据,通过大数据技术分析处理并创建一个检测监听系统,观察数据状态的变化,即可避免前期投入大量资金以及不可预测的故障,大大地降低了维护的成本。

6.结语本文在理论和实践的基础上,对大数据在微电网系统调度中的应用进行了深入的分析。

研究了现阶段的数据处理面临的问题,将大数据技术应用在微电网调度中,不仅可以提升集成管理系统的需求,而且也可以满足用户的需求。

提出结合数据的特点和应用的需求,对其进行松耦合架构处理主要包括:数据采集,分布式数据库、关系数据库的数据存储,数据处理、数据分析挖掘以及可直观地展示结果的可视化操作。

将大数据技术应用于微电网系统调度中的研究在我国起步较晚,仍有较大的发展空间,相关人员需要倾入大量和脑力和时间,只有大数据实现多源数据融合才能取得重大突破并进行微电网调度数据的深入分析。

参考:刘惠群,管春伟,周超群,等.提升电网监控缺陷处置效率的方法:山东电力技术,2016;徐磊,马庆峰,王庭钧.大数据分析技术在保定中国电谷的应用:科技传播,2017;强东盛,高龙,大数据在电力调度中的应用:河北电力技术,2017;范军丽,王一蓉,王艳茹,面向电力调度控制系统的ETL技术应用研究:工业控制计算机,2016;赵云山,刘焕焕,大数据技术在电力行业的应用研究:电信科学,2014;从智慧,基于云平台大数据技术的风电集控系统的设计与应用:内蒙古科技与经济,2016。

碳化硅电子器件发展分析

碳化硅电子器件发展分析

碳化硅电力电子器件的发展现状分析目录在过去的十五到二十年中,碳化硅电力电子器件领域取得了令人瞩目的成就,所研发的碳化硅器件的性能指标远超当前硅基器件,并且成功实现了部分碳化硅器件的产业化,在一些重要的能源领域开始逐步取代硅基电力电子器件,并初步展现出其巨大的潜力。

碳化硅电力电子器件的持续进步将对电力电子技术领域的发展起到革命性的推动作用。

随着SiC单晶和外延材料技术的进步,各种类型的SiC器件被开发出来。

SiC器件主要包括二极管和开关管。

SiC二极管主要包括肖特基势垒二极管及其新型结构和PiN型二极管。

SiC开关管的种类较多,具有代表性的开关管有金属氧化物半导体场效应开关管(MOSFET)、结型场效应开关管(JFET)、绝缘栅双极开关管(IGBT)三种。

1.SiC器件的材料与制造工艺SiC单晶碳化硅早在1842年就被发现了,但直到1955年,飞利浦(荷兰)实验室的Lely才开发出生长高品质碳化硅晶体材料的方法。

到了1987年,商业化生产的SiC衬底进入市场,进入21世纪后,SiC衬底的商业应用才算全面铺开。

碳化硅分为立方相(闪锌矿结构)、六方相(纤锌矿结构)和菱方相3大类共260多种结构,目前只有六方相中的4H-SiC、6H-SiC 才有商业价值,美国科锐(Cree)等公司已经批量生产这类衬底。

立方相(3C-SiC)还不能获得有商业价值的成品。

SiC单晶生长经历了3个阶段, 即Acheson法、Lely法、改良Lely法。

利用SiC高温升华分解这一特性,可采用升华法即Lely法来生长SiC晶体。

升华法是目前商业生产SiC单晶最常用的方法,它是把SiC粉料放在石墨坩埚和多孔石墨管之间,在惰性气体(氩气)环境温度为2 500℃的条件下进行升华生长,可以生成片状SiC晶体。

由于Lely法为自发成核生长方法,不容易控制所生长SiC晶体的晶型,且得到的晶体尺寸很小,后来又出现了改良的Lely法。

改良的Lely法也被称为采用籽晶的升华法或物理气相输运法 (简称PVT法)。

碳化硅器件报告范文

碳化硅器件报告范文

碳化硅器件报告范文
碳化硅(SiC) 器件是一种新型的半导体器件,具有较高的功率密度、工作温度范围广、耐高压、耐高温等优点,在现代电子技术领域具有广泛的应用前景。

本报告将重点介绍碳化硅器件的特点、制备技术以及应用领域等内容。

首先,碳化硅器件相较于传统的硅基器件,具有更高的能承受功率密度和瞬态热冲击能力。

其材料性质使得碳化硅器件能够经受高电压和高温环境,具备更广阔的工作温度范围。

碳化硅还具备较高的电子饱和迁移率和热导率等优势,可以提供更高的开关速度和散热能力。

这些优点使得碳化硅器件在高功率电子设备、电力电子装置等领域有着重要的应用。

其次,碳化硅器件的制备技术也逐渐成熟。

通过激光热分解和物质低压沉积等技术,可以制备出高质量的碳化硅薄膜。

同时,碳化硅晶体的生长技术也得到了进一步的改进,提高了器件的制备效率。

此外,通过控制不同的杂质、晶格缺陷等参数,还可以调控碳化硅器件的电学性能和机械性能。

最后,碳化硅器件在多个领域有着广泛的应用。

在电力电子装置中,碳化硅器件能够提供更高的功率密度和效率,从而减小装置体积和能源消耗。

在电动汽车领域,碳化硅MOSFET器件可以实现高频开关和高效率的电力传输。

此外,碳化硅器件还可以应用于太阳能电池、光电传感器、高能物理实验等领域。

综上所述,碳化硅器件作为一种新型的半导体器件,在现代电子技术领域具有重要的地位。

其优越的性能与制备技术使其在高功率电子设备、电力电子装置等领域有着广泛的应用。

随着技术的不断发展,碳化硅器件将持续展现其巨大的潜力,并在未来的科技领域中发挥更重要的作用。

碳化硅外延片与功率器件浪涌能力-概述说明以及解释

碳化硅外延片与功率器件浪涌能力-概述说明以及解释

碳化硅外延片与功率器件浪涌能力-概述说明以及解释1.引言碳化硅外延片与功率器件浪涌能力1.1 概述随着现代社会对能源需求的增长和环境保护意识的提高,对高效、可靠、节能的功率器件的需求日益迫切。

碳化硅外延片作为一种新兴的半导体材料,因其在高温、高电压、高频等极端环境下具有优越的性能而备受关注。

而功率器件的浪涌能力则是衡量其在电流突变、电压冲击等瞬态工作条件下的稳定性和可靠性的重要指标。

本文旨在探讨碳化硅外延片对功率器件浪涌能力的影响,并展望碳化硅功率器件的发展前景。

在正文部分中,我们将重点介绍碳化硅外延片的特性和碳化硅功率器件的特点,以便更好地理解它们之间的关系。

在本文的结论部分,我们将总结碳化硅外延片对功率器件浪涌能力的影响,即它在提高器件的工作稳定性和可靠性方面的潜力。

此外,我们也将展望碳化硅功率器件在未来的发展前景,以期为相关领域的研究和应用提供参考。

通过本文的研究,我们旨在为碳化硅外延片与功率器件浪涌能力的关系提供深入的认识,为碳化硅功率器件的研发和应用提供一定的指导意义。

我们相信,通过进一步的研究和探索,碳化硅功率器件将在未来的能源领域中发挥更加重要的作用,并为可持续发展做出更大的贡献。

1.2文章结构文章结构部分的内容如下:1.2 文章结构本文主要围绕碳化硅外延片与功率器件浪涌能力展开讨论。

文章分为引言、正文和结论三个部分。

引言部分包括概述、文章结构和目的三个小节。

概述部分将介绍碳化硅外延片和功率器件浪涌能力的背景和相关概念,引入文章的主题。

文章结构部分则是对整篇文章进行简要的概述,提供给读者一个清晰的了解,以便能够更好地理解后续的内容。

目的部分明确了本文的研究目标,即探讨碳化硅外延片对功率器件浪涌能力的影响以及碳化硅功率器件的发展前景。

正文部分是全文的重点,分为2.1和2.2两个小节。

2.1小节将详细介绍碳化硅外延片的特性,包括其优点、制备工艺以及表面形貌等方面的内容。

2.2小节将着重讨论碳化硅功率器件的特点,包括其性能指标、工作原理以及应用领域等方面的内容。

sic功率器件测试基础知识

sic功率器件测试基础知识

sic功率器件测试基础知识概述SiC(碳化硅)功率器件是一种新型的半导体器件,具有高温、高电压、高频率等优点,在电力电子和新能源领域有着广泛的应用。

为了保证SiC功率器件的质量和性能,需要进行严格的测试。

本文将介绍SiC功率器件测试的基础知识。

一、静态电特性测试1. 简介静态电特性测试用于测量SiC功率器件在不同电压和电流下的电性能参数,包括导通电阻、反向漏电流和击穿电压等。

这些参数对于评估器件的导通和截止能力非常重要。

2. 导通电阻测试导通电阻是指器件在导通状态下的电阻大小。

导通电阻的测量可以通过电流-电压(I-V)特性曲线来得到,通常使用四探针法进行测量。

四探针法能够消除接触电阻的影响,提高测量的准确性。

3. 反向漏电流测试反向漏电流是指器件在反向电压下的漏电流大小。

反向漏电流的测量常常使用直流电压源和电流放大器进行,通过改变电压并测量漏电流来得到漏电流-电压(I-V)特性曲线。

4. 击穿电压测试击穿电压是指器件在反向电压作用下,电流突然增加并达到额定值时的电压。

击穿电压测试通常使用高压电源和电流放大器进行,通过逐渐增加电压并测量电流来得到击穿电压。

二、动态电特性测试1. 简介动态电特性测试用于测量SiC功率器件在开关过程中的性能参数,包括开启速度、关断速度和开启损耗等。

这些参数对于评估器件的开关能力和能效非常重要。

2. 开启速度测试开启速度是指器件从关断状态到导通状态的时间。

开启速度的测试可以通过测量开启电流上升时间和开启电压下降时间来得到。

常用的测试方法包括脉冲测试和斜坡测试。

3. 关断速度测试关断速度是指器件从导通状态到关断状态的时间。

关断速度的测试可以通过测量关断电流下降时间和关断电压上升时间来得到。

常用的测试方法同样包括脉冲测试和斜坡测试。

4. 开启损耗测试开启损耗是指器件在开启过程中所消耗的功率。

开启损耗的测试可以通过测量开启电流和开启电压来计算得到。

开启损耗是评估器件能效的重要指标。

SiC功率半导体器件的优势及发展前景

SiC功率半导体器件的优势及发展前景

SiC功率半导体器件的优势及发展前景SiC(碳化硅)功率半导体器件是一种新型的高性能功率电子元件,具有很多优势和发展前景。

本文将从四个方面分析SiC功率半导体器件的优势和发展前景。

一、优势:1.高温特性:SiC功率半导体器件具有很高的耐高温能力,能够在高温环境下工作。

其工作温度可以达到600摄氏度以上,相对于传统的硅功率器件,SiC器件能够在更苛刻的工作条件下稳定工作,提高了系统的可靠性和稳定性。

2.高电压特性:SiC器件具有更高的击穿电压,相对于硅材料的400伏特击穿电压,SiC材料的击穿电压可以达到数千伏甚至更高。

这意味着同样体积和尺寸下,SiC器件能够承受更高的电压,提供更大的功率输出,满足更高需求的电力系统。

3.低导通和开关损耗:SiC功率器件的导通和开关损耗比传统硅功率器件更低。

SiC材料的特殊结构和载流子迁移特性使得SiC功率器件具有更低的导通电阻和开关电阻,减少了功率损耗和热量产生,提高了能源的利用率。

4.高频操作能力:SiC器件具有更高的频率应用能力。

由于SiC材料的载流子迁移速度较高,SiC功率器件可以在更高的频率下工作,实现更高的开关频率和更快的开关速度。

这使得SiC器件在电力电子转换器和无线通信系统等领域具有广泛的应用前景。

二、发展前景:1.新能源行业:随着新能源行业的快速发展,对功率半导体器件的需求也在不断增加。

SiC功率器件具有高温、高频等特性,能够应对新能源系统的高温环境和高频率要求,因此在太阳能发电、风能发电和电动交通等领域有很好的应用前景。

2.电动汽车:SiC功率器件在电动汽车的应用前景广阔。

电动汽车对功率器件的高频、高温能力要求较高,而SiC器件具有这些优势,可以提高电动汽车的能效和驱动系统的稳定性。

3.工业控制:SiC功率器件在工业控制领域也有广泛的应用前景。

工业控制系统对功率器件的可靠性和稳定性要求较高,而SiC器件的高温、高压、低损耗特性能够满足这些要求。

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关于碳化硅功率器件的调研前言以硅器件为基础的电力电子技术,因大功率场效应晶体管(功率MOSFET)和绝缘栅双极晶体管(IGBT)等新型电力电子器件的全面应用而日臻成熟。

目前,这些器件的开关性能己随其结构设计和制造工艺的相当完善而接近其由材料特性决定的理论极限,依靠硅器件继续完善和提高电力电子装置与系统性能的潜力已十分有限。

首先,硅低的击穿电场意味着在高压工作时需要采用厚的轻掺杂层,这将引起较大的串联电阻,特别是对单极器件尤其如此。

为了减少正向压降,电流密度必须保持在很低的值,因此硅器件的大电流是通过增加硅片面积来实现的。

在一定的阻断电压下,正向压降由于载流子在轻掺杂区的存储而降低,这种效应称为结高注入的串联电阻调制效应。

然而存储电荷的存储和复合需要时间,从而降低了器件的开关速度,增加了瞬态功率损耗。

硅器件由于小的禁带宽度而使在较低的温度下就有较高的本征载流子浓度,高的漏电流会造成热击穿,这限制了器件在高温环境和大功率耗散条件下工作。

其它限制是硅的热导率较低。

于是,依靠新材料满足新一代电力电子装置与系统对器件性能的更高要求,早在世纪交替之前就在电力电子学界与技术界形成共识,对碳化硅电力电子器件的研究与开发也随之形成热点。

1 碳化硅材料以SiC,GaN为代表的宽禁带半导体材料,是继以硅和砷化镓为代表的第一代&第二代半导体材料之后迅速发展起来的新型半导体材料。

表1列出了不同半导体材料的特性对比。

从表中可以看出,碳化硅作为一种宽禁带半导体材料,不但击穿电场强度高,还具有电子饱和漂移速度高、热导率高等特点,可以用来制作各种耐高温的高频大功率器件。

SiC由碳原子和硅原子组成,其晶体结构具有同质多型体的特点,在半导体领域最常用的是4H-SiC和6H-SiC两种。

表1 不同半导体材料的特性对比碳化硅材料的优异性能使得SiC电力电子器件与Si器件相比具有以下突出的性能优势:⑴SiC电力电子器件具有更低的导通电阻。

在击穿电压较低(约50V)时,SiC功率器件的比导通电阻仅有1.12u欧,是Si同类器件的约1/100。

在击穿电压较高(约5kV)时,比导通电阻增大到29.5m欧,却是Si同类器件的约1/300。

⑵SiC电力电子器件具有更高的击穿电压。

这是因为碳化硅器件的击穿电场高。

⑶SiC电力电子器件的工作频率更高。

SiC的饱和电子漂移速率更快,是Si 的2倍。

因而SiC电力电子器件的开关速度更快,开关损耗更低,在中大功率应用场合,有望实现Si功率器件难以达到的更高开关频率(>=20kHz)。

⑷SiC电力电子器件具有更低的结-壳热阻。

由于SiC的热导率是Si的3倍以上,因而制成的电力电子器件的散热性更好,器件的温度上升更慢。

⑸SiC电力电子器件能够在更高的温度下工作。

SiC的禁带宽度是Si的2倍以上,SiC电力电子器件的极限工作温度有望达到600摄氏度以上,远高于Si 器件的115摄氏度,从而器件的冷却系统可大为简化。

⑹SiC电力电子器件抗辐射能力极强。

辐射不会导致SiC的电气性能出现明显的衰减,因而在航空领域应用基于SiC电力电子器件的功率变换器可以减轻辐射屏蔽设备的重量,提高了系统的性能。

尽管与Si功率器件相比,SiC电力电子器件具有诸多优势,但目前仍存在不少限制其广泛应用的不利因素,主要有:⑴产量低,成本高。

由于SiC存在微管缺陷,难以生产尺寸较大的SiC晶圆,因而SiC晶圆的成本较高,相应地SiC电力电子器件的价格也远高于Si功率器件。

⑵器件类型和规格有限。

目前,成功实现商业化的SiC功率器件包括SBD、BJT、JFET和MOSFET,且这些器件的功率处理能力较小,型号较少。

而广泛应用于大功率场合的IGBT和GTO等器件尚处于实验室开发和测试阶段。

⑶缺乏高温封装技术。

尽管采用SiC材料制造的管芯能够承受很高的工作温度,但目前的封装技术主要针对Si功率器件,大多低于175摄氏度。

封装外壳的工作温度限制了SiC功率器件高温性能的发挥。

2 碳化硅功率二极管在碳化硅电力电子器件中,碳化硅功率二极管最早实现产业化。

一般可分为肖特基二极管(Schottky barrier diode, SBD)、PiN二极管和结势垒控制肖特基二极管(junction barrier Schottky, JBS)三种。

在5kV阻断电压以下的范围,碳化硅SBD 具有一定的优势,而对于PiN结二极管,由于其内部的电导调制作用而呈现出较低的导通电阻,使得它更适合制备4~5kV或者以上电压等级的器件。

JBS 二极管则结合了肖特基二极管所拥有的出色的开关特性和PiN结二极管所拥有的低漏电流的特点。

另外,把JBS二极管结构参数和制造工艺稍作调整就可以形成混合PiN-肖特基结二极管(merged PiN Schottky, MPS)。

碳化硅SBD是最早商业化的碳化硅器件。

做为单子器件,它的工作过程中没有电荷储存,因此它的反向恢复电流仅由它的耗尽层结电容造成,其反向恢复电荷以及其反向恢复损耗比Si超快恢复二极管要低一到两个数量级。

更重要的是,和它匹配的开关管的开通损耗也可以得到大幅度减少,因此可以提高电路的开关频率。

另外,它几乎没有正向恢复电压,因而能够立即导通,不存在双极型器件的开通延时现象。

在常温下,其正态导通压降和Si超快恢复器件基本相同,但是由于SiC 肖特基二极管的导通电阻具有正温度系数,这将有利于将多个SiC肖特基二极管并联。

在二极管单芯片面积和电流受限的情况下,这可以大幅度提高SiC肖特基二极管的容量,使它在较大容量中的应用成为可能。

器件极大地简化了电路中原有的为了抑制开关损耗和保证安全工作的软开关电路等额外元器件。

单极型的器件工作特性给它在高频电力电子电路中的应用提供了巨大的优势,被认为是理想的二极管器件,在高频电力电子领域得到了广泛的应用。

由于SiC开关管的发展相对二极管滞后,当前更普遍的做法是将SiC 二极管与Si基IGBT和MOSFET器件封装在一个模块中以形成大功率开关组合。

目前Cree公司、Microsemi公司、Infineon公司、Rohm公司的SiC肖特基二极管用于变频或逆变装置中替换硅基快恢复二极管,显著提高了工作频率和整机效率。

中低压SiC肖特基二极管目前已经在高端通讯开关电源、光伏并网逆变器领域上产生较大的影响。

SiC肖特基二极管的发展方向是衬底减薄技术和Trench JBS结构。

衬底减薄技术能够有效地减小低压SiC肖特基二极管的导通电阻,增强器件浪涌电流能力,减少器件热阻。

同时采用Trench JBS结构和衬底减薄技术,与传统的JBS 二极管相比,正反向特性都得到了改善,不仅增加了电流密度(芯片面积减小50%);也提高了阻断电压(提高150V)和雪崩能力。

目前国内已经展开了高压碳化硅二极管的研究,但关于二极管并联模块化的研究较少。

3碳化硅JFET碳化硅JFET有着高输人阻抗、低噪声和线性度好等特点,是目前发展较快的碳化硅器件之一,并且率先实现了商业化。

与MOSFET器件相比,JFET器件不存在栅氧层缺陷造成的可靠性问题和载流子迁移率过低的限制,同时单极性工作特性使其保持了良好的高频工作能力。

另外,JFET器件具有更佳的高温工作稳定性和可靠性。

碳化硅JFET器件的门极结型结构使得通常JFET的阈值电压大多为负,即常通型器件,这对于电力电子的应用极为不利,无法与目前通用的驱动电路兼容。

美国Semisouth公司和Rutgers大学通过引人沟槽注人式或者台面沟槽结构(TI VJFET)的器件工艺,开发出常断工作状态的增强型器件。

但是增强型器件往往是在牺牲一定的正向导通电阻特性的情况下形成的,因此常通型(耗尽型)JFET 更容易实现更高功率密度和电流能力,且耗尽型JFET器件可以通过级联的方法实现常断型工作状态。

级联的方法是通过串联一个低压的Si基MOSFET来组成一个开关单元,通过控制Si MOSFET 的开关来控制开关单元的开关。

级联后的JFET器件的驱动电路与通用的硅基器件驱动电路自然兼容。

级联的结构非常适用于在高压高功率场合替代原有的硅IGBT器件,并且直接回避了驱动电路的兼容问题。

这种方式,在控制上方便,但增加了MOSFET 的通态损耗与反向恢复特性引起开关损耗的增加,另外,器件中增加的寄生参数引起器件受电压,电流变化率影响变大,限制了SiC 器件高温、高频率性能的发挥。

还有一种方式是采用一个高速的电平逻辑转换电路把控制信号电平转换为SiC JFET开关所需要的正(零)电位与负电位。

这种方法只需要提供负的驱动电源,对SiC JFET器件本身没有影响,但由于关断负电压过低,对驱动电路的隔离与高速响应有一定的要求。

SiC JFET的应用中存在的另一个问题是,由SiC 器件工作时的驱动电压及器件本身的特性参数导致的SiC 器件易产生开关震荡以及由dv/dt 引起的驱动电压变化及开关电流尖峰比硅MOSFET 大得多,这个问题制约着SiC JFET 应用电路中的开关速度的提高。

目前业界对碳化硅JFET研究的热点集中在JFET器件的驱动电路设计和并联模块化等方面。

4 碳化硅MOSFET碳化硅MOSFET驱动结构极为简单,而且与目前使用的大量驱动电路和芯片兼容,不必做额外的驱动设计,在大部分的应用中可以直接做替换性应用。

但是SiC-MOSFET反型层中电子迁移率过低等对于其应用的限制成为了最为关键的问题。

目前依然缺乏对于这种问题准确的物理解释和证据,一种广泛接受的模型是基于表面缺陷在能带中引入的陷阱效应,另一方面,高浓度的表面固定电荷造成的库仑散射(Coulomb Scattering)使得载流子迁移率进一步下降。

另一个限制载流子迁移率因素是反型层表面不平整度散射(Surface Roughness Scattering ),尤其在更高的栅极电压下,这种散射效应将代替库仑散射占据主导地位。

栅氧层的缺陷引出的另一个问题是其本身的长期稳定性问题,包括封装技术在内,这也是限制其工作温度的一大重要障碍,截止目前为止,对于这种器件能否在300摄氏度工作温度下实现可靠、稳定工作依然没有明确的定论。

另外在桥臂电路中,上下管之间的串扰问题严重限制了碳化硅MOSFET 性能优势的发挥。

为了降低表面缺陷浓度,提高载流子数量和迁移率,一种最通用的办法是实现生长界面的氮注入,也被称为界面钝化(Interface Passivation ),即在栅氧层生长过程结束后,在富氮环境中进行高温退火。

尽管面临栅氧层缺陷问题的制约,但是随着界面钝化工艺的成熟和进步,沟道的迁移率始终在稳步提高。

如果沟道问题可以完美的解决,可以预期SiC-MOSFET器件依然将是最具应用前景的下一代器件。

5 碳化硅功率双极器件用碳化硅可以制造阻断电压很高的双极器件,譬如高压PiN二极管和晶闸管等。

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