传感器原理及应用技术(刘笃仁)-第7章
传感器原理与应用技术全书电子教案完整版课件
第1章 绪论
转换元件：将感受到的非电量直接转换为电量的器 件称为转换元件，例如压电晶体、热电偶等。
需要指出的是，并非所有的传感器都包括敏感元件 和转换元件，如热敏电阻、光电器件等。而另外一些传 感器，其敏感元件和转换元件可合二为一，如压阻式压 力传感器等。
测量电路：将转换元件输出的电量变成便于显示、 记录、控制和处理的有用电信号的电路称为测量电路。 测量电路的类型视转换元件的分类而定，经常采用的有 电桥电路及其他特殊电路，如高阻抗输入电路、脉冲调 宽电路、振荡回路等。
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第2章 传感器的一般特性
(1) 线性度(非线性误差)
在规定条件下，传感器校准曲线与 拟合直线间最大偏差与满量程(F·S)输 出值的百分比称为线性度(见图2-2)。
用 L 代表线性度，则
L
Ymax YF S
100% (2-6)
式中 Ymax—校准曲线与拟合直线间
的最大偏差；
YF S —传感器满量程输出，
传感器原理与应用技术
第1章 绪论
1.1 传感器的作用 随着现代测量、控制和自动化技术的发展，传感器
技术越来越受到人们的重视。特别是近年来，由于科学 技术、经济发展及生态平衡的需要，传感器在各个领域 中的作用也日益显著。在工业生产自动化、能源、交通、 灾害预测、安全防卫、环境保护、医疗卫生等方面所开 发的各种传感器，不仅能代替人的感官功能，而且在检 测人的感官所不能感受的参数方面具有特别突出的优势。
（3）按结构型和物性型分类 所谓结构型传感器，主要是通过机械结构的几何形 状或尺寸的变化，将外界被测参数转换成相应的电阻、 电感、电容等物理量的变化，从而检测出被测信号，这 种传感器目前应用的最为普遍。物性型传感器则是利用 某些材料本身物理性质的变化而实现测量，它是以半导 体、电介质、铁电体等作为敏感材料的固态器件。
传感器原理及应用技术(刘笃仁)-第9章
第9章 气、湿敏传感器 表9.1
第9章 气、湿敏传感器
电阻式半导体气敏元件是利用半导体接触到气体时其阻值 的改变来检测气体的浓度；非电阻式半导体气敏元件则是根据 气体的吸附和反应,使其某些关系特性发生变化,来对气体进行 直接或间接的检测。
气敏元件不管其种类、应用范围如何,至少都必须具备如下 条件：
第9章 气、湿敏传感器
图9.2(c)所示是厚膜型气敏元件。这类元件一般是 把半导体氧化物粉末、添加剂、粘合剂及载体混合成浆 料,再把浆料印刷（丝网印刷）到基片上（厚度数微米到 数十微米）制成的,其灵敏度与烧结体型的相当,工艺性、 机械强度和性能的一致性都很好。
上述气敏元件的加热器是用来烧去附在元件表面的 油雾与尘埃,加速气体的吸附,从而提高元件的灵敏度和 响应速度。元件的工作加热温度取决于氧化物材料及被 测气体的种类,一般在200～400 ℃。
① 对气体的敏感现象是可逆的。 ② 单位浓度的信号变化量大。 ③ 能检测出的下限浓度低。 ④ 响应重复特性良好。 ⑤ 选择性好,即对与被测气体共存的其它气体不敏感。 ⑥ 对周围环境（如温度、湿度）的依赖性小。 ⑦ 性能长期稳定,结构比较简单。
第9章 气、湿敏传感器
9.1.2 1. 通常, ① 气体敏感元件。 ② 对敏感元件进行加热的加热器。 ③ 支持上述部件的封装部分。
第9章 气、湿敏传感器
叉指状欧姆接触金电极厚0.3μm；二氧化锡敏感膜 由金属有机物沉积（MOD）法制作,在100～130 ℃下干燥 0.5 h后,再在300 ℃下空气中热处理1 h, 然后用标准光 刻工艺得到所需的图案；必要的信号处理电路和读出电 路制作在同一硅芯片的邻近区域（图中未画出）。
导电聚合物微结构气体敏传感器的结构和工艺与金 属氧化物半导体的相似,由于导电聚合气敏传感器在室温 下工作,因此不必制作加热和测温元件,硅芯片也不需要
传感器原理及工程应用完整版习题参考答案
《传感器原理及工程应用》完整版习题答案第1章传感与检测技术的理论基础（P26）1—1:测量的定义？答：测量是以确定被测量的值或获取测量结果为目的的一系列操作。
所以，测量也就是将被测量与同种性质的标准量进行比较，确定被测量对标准量的倍数。
1 —2 :什么是测量值的绝对误差、相对误差、引用误差？答：绝对误差是测量结果与真值之差，即：绝对误差=测量值一真值相对误差是绝对误差与被测量真值之比，常用绝对误差与测量值之比，以百分数表示，即：相对误差=绝对误差/测量值X100%引用误差是绝对误差与量程之比，以百分数表示，即：引用误差=绝对误差/量程100%示值为142kPa，求该示值的绝对误差、实际相对误差、标称相对误差和引用误差。
解: 已知：真值L = 140kPa测量值x= 142kPa测量上限=150kPa测量下限=—50kPa绝对误差△ = x-L=142-140=2(kPa)实际相对误差=—=2「43%L 140标称相对误差—— 1.41% x 142引用误差2 =测量上限—测量下限'150 —1 —10 对某节流元件（孔板）开孔直径d20的尺寸进行了15次测量，测量数据如下（单位: mm）:120.42120.43 120.40 120.42 120.43 120.39 120.30 120.40120.43120.41 120.43 120.42 120.39 120.39 120.40用测量范围为—50〜150kPa的压力传感器测量140kPa的压力时，传感器测得试用格拉布斯准则判断上述数据是否含有粗大误差，并写出其测量结果。
解：序 号测量值 d 2o (mm)残余误差V i (d 20i d 2o )(mm)残余误差V (d 20i d 20 (i7))(mm)1 120.42 0.016 0.009 2 120.43 0.026 0.0193 120.40 —0.004 —0.0114 120.42 0.016 0.0095 120.43 0.0260.0196 120.39 —0.014—0.0217 120.30 —0.1048 120.40 —0.004—0.0119 120.43 0.026 0.01910 120.41 0.006 —0.00111 120.43 0.026 0.019 12 120.42 0.016 0.00913 120.39 —0.014—0.021 14 120.39 —0.014 —0.021 15120.40—0.004—0.011d20120.404mm1 i 10.0327mmJ i 7 0.0161mmd 20(i 7) 120.411mmd201(15 1d20 114 1G d 200.0788( mm) G d 200.0382(mm)当= 时，若取置信概率 = ，查表可得格拉布斯系数 = 。
传感器原理及应用-第7章
《传感器原理及应用》
§7.2 霍尔式传感器
二、霍尔元件的结构与特性 1、霍尔元件的构造
霍尔元件：基于霍尔效应工 作的半导体器件。 霍尔元件材料：多采用 N 型 半导体材料。 霍尔元件组成：霍尔片、四 根引线和壳体。 最常用的霍尔元件材料有： 锗(Ge)、硅(Si)、锑化铟(InSb)、砷 化铟(InAs)等半导体材料。 霍尔元件的壳体：用非导磁 金属、陶瓷或环氧树脂封装。
传感器原理及应用
Principles and Applications of Sensors
EXIT
《传感器原理及应用》
第七章 磁电式传感器
被测非电量
磁电 作用
电信号
测量 电路
U、 I
磁电式传感器的定义 通过磁电作用，被测非电量转换为电信号的传感器。 磁电式传感器的感测量 磁场、速度、位移、加速度、压力、电流等。 磁电式传感器的种类 根据工作原理：感应式、霍尔式和磁敏式等。
开磁路变磁通式：线圈、磁铁 静止不动，测量齿轮安装在被测旋 转体上，随被测体一起转动。每转 动一个齿，齿的凹凸引起磁路磁阻 变化一次，磁通也就变化一次，线 圈中产生感应电势。
EXIT
感应电势变化频率等 于被测转速与测量齿轮上齿 数的乘积。 这种传感器结构简单， 但输出信号较小，不宜测量 高转速的场合。
§7.1 磁电感应式传感器
三、磁电感应式传感器基本特性 2、磁电传感器的非线性误差
磁电式传感器产生非线性误差的主 要原因：电流磁场效应。 传感器线圈内流过电流时，产生一 定的交变磁通，叠加在永久磁铁所产生的 工作磁通上，使恒定的气隙磁通变化。
当传感器线圈相对于永久磁铁磁场 的运动速度增大时，产生的附加磁场方向 与原工作磁场方向相反，减弱了工作磁场 的作用，传感器的灵敏度随着被测速度的 增大而降低。
传感器原理和应用习题和答案
《第一章传感器的一般特性》11）该测速发电机的灵敏度.2）该测速发电机的线性度.2．已知一热电偶的时间常数τ=10s,若用它来测量一台炉子的温度,炉内温度在540οC和500οC 之间按近似正弦曲线波动,周期为80s,静态灵敏度k=1,试求该热电偶输出的最大值和最小值,以与输入与输出信号之间的相位差和滞后时间.3．用一只时间常数为0.355s 的一阶传感器去测量周期分别为1s、2s和3s的正弦信号,问幅值误差为多少？4．若用一阶传感器作100Hz正弦信号的测试,如幅值误差要求限制在5%以内,则时间常数应取多少？若在该时间常数下,同一传感器作50Hz正弦信号的测试,这时的幅值误差和相角有多大？5．已知某二阶系统传感器的固有频率f0=10kHz,阻尼比ξ=0.1,若要求传感器的输出幅值误差小于3%,试确定该传感器的工作频率范围.6．某压力传感器属于二阶系统,其固有频率为1000Hz,阻尼比为临界值的50%,当500Hz的简谐压力输入后,试求其幅值误差和相位滞后.《第二章应变式传感器》1．假设某电阻应变计在输入应变为5000με时电阻变化为1%,试确定该应变计的灵敏系数.又若在使用该应变计的过程中,采用的灵敏系数为 1.9,试确定由此而产生的测量误差的正负和大小.2．如下图所示的系统中：①当F＝0和热源移开时,R l＝R2＝R3＝R4,与U0＝0；②各应变片的灵敏系数皆为+2.0,且其电阻温度系数为正值；③梁的弹性模量随温度增加而减小；④应变片的热膨胀系数比梁的大；⑤假定应变片的温度和紧接在它下面的梁的温度一样.在时间t＝0时,在梁的自由端加上一向上的力,然后维持不变,在振荡消失之后,在一稍后的时间t1打开辐射源,然后就一直开着,试简要绘出U0和t的关系曲线的一般形状,并通过仔细推理说明你给出这种曲线形状的理由.3．一材料为钢的实心圆柱形试件,直径d＝10 mm,材料的弹性模量E＝2 ×1011N／m2,泊松比μ＝0.285,试件上贴有一片金属电阻应变片,其主轴线与试件加工方向垂直,如图1所示,若已知应变片的轴向灵敏度k x ＝2,横向灵敏度C=4%,当试件受到压缩力F＝3×104N作用时.应变片的电阻相对变化ΔR／R为多少.4．在材料为钢的实心圆柱形试件上,沿轴线和圆周方向各粘贴一片电阻120 Ω的金属电阻应变片,如图2所示,把这两片应变片接入差动电桥,已知钢的泊松比μ＝0.285,应变片的灵敏系数k0＝2,电桥电源电压U sr＝6V〔d．C．〕,当试件受轴向拉伸时,测得应变片R1的电阻变化值ΔR1=0.48 Ω,试求电桥的输出电压.图1 图25．一台采用等强度梁的电子秤,在梁的上下两面各贴有二片电阻应变片,做成秤重传感器,如下图所示.已知l＝100 mm,b＝11 mm,t＝3 mm,E＝2.1×104N／mm2,k0＝2,接入直流四臂差动电桥,供桥电压6 V,当秤重0.5 kg时,电桥的输出电压U sc为多大.6．今在〔110〕晶面的〈001〉〈110〉晶面上各放置一电阻条,如下图所示,试求：l〕在0.1MPa 压力作用下电阻条的σr和σt各为何值？2〕此两电阻条为P型电阻条时ΔR／R＝？3〕若为N型电阻条时其ΔR／R？4〕若将这两电阻条改为安置在距膜中心为4.l 7mm处,电阻条上的平均应力σr和σt各为多少？7．现有基长为10 mm与20 mm的两种丝式应变片,欲测钢构件频率为10kHz的动态应力,若要求应变波幅测量的相对误差小于0.5%,试问应选用哪一种？为什么？8．已知一测力传感器的电阻应变片的阻值R＝120Ω,灵敏度系数k0= 2,若将它接入第一类对称电桥,电桥的供电电压U sr＝10V〔d．c．〕,要求电桥的非线性误差e f＜0.5％,试求应变片的最大应变εmax应小于多少,并求最大应变时电桥的输出电压.9．一个量程为10kN的应变式测力传感器,其弹性元件为薄壁圆筒轴向受力,外径20mm,内径18mm,在其表面粘贴八各应变片,四个沿周向粘贴,应变片的电阻值均为120Ω,灵敏度为2.0,波松比为0.3,材料弹性模量E=2.1×1011Pa.要求：1>绘出弹性元件贴片位置与全桥电路；2>计算传感器在满量程时,各应变片电阻变化；3>当桥路的供电电压为10V时,计算传感器的输出电压.10．如图所示电路是电阻应变仪中所用的不平衡电桥的简化电路,图中R2=R3=R是固定电阻,R1与R4是电阻应变片,工作时R1受拉,R4受压,ΔR表示应变片发生应变后,电阻值的变化量.当应变片不受力,无应变时ΔR=0,桥路处于平衡状态,当应变片受力发生应变时,桥路失去了平衡,这时,就用桥路输出电压U cd表示应变片应变后的电阻值的变化量.试证明： U cd=-<E/2><ΔR/R>《第三章电容式传感器》1．试计算带有固定圆周膜片电容压力传感器的灵敏度〔ΔC/C〕/p,如下图.已知在半径r处的偏移量y可用下式表示：式中P——压力；a——圆膜片半径；t——膜片厚度；μ——膜片材料的泊松比.2．在压力比指示系统中采用的电容传感元件与其电桥测量线路如图所示.已知：δ0＝0.25mm,D＝38.2mm,R=5.1kΩ,U＝60V〔A.C〕,f＝400Hz.试求.1）该电容传感器的电压灵敏度〔单位为V/m〕k u？2）当电容传感器活动极板位移Δδ＝10μm时,输出电压U0的值.3．如图所示为油量表中的电容传感器简图,其中1、2为电容传感元件的同心圆筒〔电极〕：3为箱体.已知：R1＝15mm,R2＝12mm；油箱高度H=2m,汽油的介电常数εr=2.1.求：同心圆套筒电容传感器在空箱和注满汽油时的电容量.4．一只电容位移传感器如图所示,由四块置于空气中的平行平板组成.板A,C和D是固定极板.板B是活动极板,其厚度为t,它与固定极板的间距为d.B,C和D极板的长度均为b,A板的长度为2 b,各板宽度为l,忽略板C和D的间隙与各板的边缘效应,试推导活动极板B从中间位置移动x=±b/2时电容C AC和C AD的表达式〔x=0时为对称位置〕.5．试推导下图所示变电介质电容式位移传感器的特性方程C=f<x>.设真空的介电系数为ε0,ε2＞ε1,以与极板宽度为W.其他参数如图所示.《第四章电感式传感器》1．一个铁氧体环形磁心,平均长度为12cm,截面积为1.5cm2,平均相对磁导率μr＝2 000,求：1〕均匀绕线5 00匝时的电感；2> 匝数增加1倍时的电感.2．有一只螺管形差动式电感传感器,已知电源电压U＝4V,f＝400HZ,传感器线圈铜电阻和电感量分别为R＝40Ω,L=30mH,用两只匹配电阻设计成4臂等阻抗电桥,如图1所示,试求：1〕匹配电阻R1和R2的值为多大才能使电压灵敏度达到最大；2>当ΔZ＝10Ω时,分别接成单臂和差动电桥后的输出电压值；3>用矢量图表明输出电压U0与电源电压U之间的相位差；4〕假设该传感器的两个线圈铜电阻不相等R4≠R3,在机械零位时便存在零位电压,用矢量图分析能否用调整衔铁位置的方法使U0=0.图1 图2a图2 b3．试计算图2a所示差动变压器式传感器接入桥式电路〔顺接法〕时的空载输出电压U0,一、二次侧线圈间的互感为M1、M2,两个二次侧线圈完全相同.又若同一差动变压器式传感器接成图2b所示反串电路〔对接法〕,问两种方法哪一种灵敏度高,高几倍？提示：①将图a所示的二次侧绕组边电路图简化如图2c所示等效电路〔根据已知条件Z1＝Z2；②求出图b 空载输出电压与图a计算的结果进行比较.〕图2 c图34．试推导图3所示差动型电感传感器电桥的输出特性U0=f〔ΔL〕,已知电源角频率为ω,Z1、Z2为传感器两线圈的阻抗,零位时Z1＝Z2= r＋jωL,若以变间隙式传感器接入该电桥,求灵敏度表达式k＝U0／Δδ多大〔本题用有效值表示〕.5．图4中两种零点残余电压的补偿方法对吗？为什么？图中R为补偿电阻.图46．某线性差动变压器式传感器采用的频率为100HZ、峰一峰值为6V的电源激励,假设衔铁的输入运动是频率为10Hz的正弦运动,它的位移幅值为±3mm,已知传感器的灵敏度为2V／mm,试画出激励电压、输入位移和输出电压的波形.7．使用电涡流式传感器测量位移或振幅时对被测物体要考虑哪些因素,为什么？《第五章压电式传感器》1．分析压电式加速度传感器的频率响应特性.又若测量电路的总电容C＝1000PF,总电阻R＝500 MΩ,传感器机械系统固有频率f0=30 kHz,相对阻尼系数ξ=0.5,求幅值误差在2%以内的使用频率范围.2．用石英晶体加速度计与电荷放大器测量机器的振动,已知：加速度计灵敏度为5 pC／g,电荷放大器灵敏度为50 mV／pC,当机器达到最大加速度值时相应的输出电压幅值等于2 V,试计算该机器的振动加速度.3．在某电荷放大器的说明书中有如下技术指标：输出电压为±10V,输入电阻大于1014Ω,输出电阻为0.1kΩ,频率响应：0～150kHz,噪声电压〔有效值〕最大为2mV〔指输入信号为零时所出现的输出信号值〕,非线性误差：0.l%,温度漂移：±0.lmV／ºC.l〕如果用内阻为10 kΩ的电压表测量电荷放大器的输出电压,试求由于负载效应而减少的电压值.2〕假设用一输入电阻为2MΩ的示波器并接在电荷放大器的输入端,以便观察输入信号波形,此时对电荷放大器有何影响？3〕噪声电压在什么时候会成为问题？4〕试求当环境温度变化十15o C时,电荷放大器输出电压的变化值,该值对测量结果有否影响？5〕当输入信号频率为180kHZ时,该电荷放大器是否适用？4．试用直角坐标系画出AT型,GT型,DT型,X－30º的晶体切型的方位图.5．压电传感元件的电容为1000PF,k q＝2．5C／cm,连接电缆电容C c＝300 pF,示波器的输入阻抗为1MΩ和并联电容为50pF,试求：1〕压电元件的电压灵敏度多大？2>测量系统的高频响应<V／cm〕.3>如系统测量的幅值误差为5%,最低频率是多少？4〕如f j＝10HZ,允许误差为5 %,用并联连接方式,电容量C值是多大？6．石英晶体压电传感元件,面积为1cm2,厚度为0.lcm,固定在两个金属板之间,用来测量通过晶体两面力的变化.材料的杨氏模量为9×1010Pa,电荷灵敏度为2pC／N,相对介质常数为5,lcm2材料相对两面间电阻为1014Ω.一个20pF的电容和一个100MΩ的电阻与极板并联.如果所加力是F＝0.01sin〔103t〕N.求：1〕两个极板间电压峰一峰值；2〕晶体厚度的最大变化.<0.758mv,1.516mv;1.1×10-10cm>7．已知电压前置放大器的输入电阻为100 MΩ,测量回路的总电容为100pF,试求用压电式加速度计相配测量1Hz低频振动时产生的幅值误差.<94%>8．用压电式传感器测量最低频率为1Hz 的振动,要在1Hz 时灵敏度下降不超过5%,若测量回路的总电容为500pF,求所用电压前置放大器的输入电阻为多大？9．已知压电式加速度传感器的阻尼比是ξ=0.1,其无阻尼固有频率f=32kHz,若要求传感器的输出幅值误差在5%以内,试确定传感器的最高响应频率.10．有一压电式加速度计,供它专用的电缆长度为1.2m,电缆电容为100pF,压电片本身的电容为1000pF,据此出厂时标定的电压灵敏度为100mV／g.若使用中改为另一根电缆,其电容为300pF,长为2.9m,问其电压灵敏度作如何改变.<60mv/g>《第六章数字式传感器》1．数字式传感器的特点？根据工作原理数字式传感器可分为那几类？2．光栅传感器的基本原理？莫尔条纹如何形成？有何特点？3．分析光栅传感器具有较高测量精度的原因.《第七章固态传感器》1．霍尔元件能够测量哪些物理参数？霍尔元件的不等位电势的概念是什么？温度补偿的方法有哪几种？2．简述霍尔效应与构成以与霍尔传感器可能的应用场合.3．光电效应可分为几类？说明其原理并指出相应的光电元件.4．试拟定用光敏二极管控制,用交流电源供电照明的明通与暗通直流继电器电路原理图,并说明之.《第八章光纤传感器》1．说明光纤的组成并分析其传光原理,指出光纤传光的必要条件？2．光纤损耗是如何产生的？它对光纤传感器有哪些影响？。
2024年传感器原理与应用技术全书电子教案
2024年传感器原理与应用技术全书电子教案一、教学目标1.了解传感器的基本概念、分类及特点。
2.掌握传感器的原理、性能参数及选用方法。
3.熟悉传感器在各个领域的应用案例。
4.培养学生分析问题、解决问题的能力。
二、教学内容1.传感器概述2.传感器原理3.传感器性能参数4.传感器选用方法5.传感器应用案例三、教学重点与难点1.教学重点：传感器的原理、性能参数及选用方法。
2.教学难点：传感器的原理分析及应用案例。
四、教学方法1.采用案例分析、小组讨论、实物演示等教学方法，激发学生的学习兴趣。
2.结合实际应用，让学生在实践中掌握传感器的基本知识。
3.鼓励学生提问，引导学生主动探究，培养学生的创新意识。
五、教学步骤第一课时：传感器概述1.导入新课通过展示生活中的传感器应用案例，引发学生对传感器的兴趣。
2.讲解传感器的基本概念、分类及特点（1）传感器定义：能感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的装置。
（2）传感器分类：按照被测量类型、转换原理、输出信号类型等进行分类。
（3）传感器特点：微型化、智能化、网络化、多功能化等。
第二课时：传感器原理1.讲解传感器的工作原理（1）传感器的基本组成：敏感元件、转换元件、信号处理电路等。
（2）传感器的工作原理：敏感元件感受到被测量变化，转换元件将感受到的变化转换为电信号，信号处理电路对电信号进行处理，输出可用信号。
2.分析常见传感器的原理（1）热敏电阻：利用半导体材料的温度特性实现温度测量。
（2）光敏电阻：利用光生伏特效应实现光强测量。
（3）压力传感器：利用弹性元件的形变实现压力测量。
第三课时：传感器性能参数1.讲解传感器的主要性能参数（1）灵敏度：传感器输出信号与输入信号之比。
（2）线性度：传感器输出信号与输入信号之间的线性关系。
（3）精度：传感器输出值与实际值之间的误差。
（4）响应时间：传感器从输入信号变化到输出信号稳定所需的时间。
2.分析传感器性能参数在实际应用中的重要性第四课时：传感器选用方法1.讲解传感器选用的基本原则（1）根据测量对象和测量范围选择合适的传感器。
精品课件-传感器原理及工程应用(第四版)-第7章
第7章 磁电式传感器
18
这一数值是很可观的，所以需要进行温度补偿。补偿通常采用 热磁分流器。热磁分流器由具有很大负温度系数的特殊磁性材 料做成。它在正常工作温度下已将空气隙磁通分路掉一小部分。
当温度升高时，热磁分流器的磁导率显著下降，经它分流掉的
磁通占总磁通的比例较正常工作温度下显著降低，从而保持空
第7章 磁电式传感器
17
2. 当温度变化时，式(7-8)中右边三项都不为零，对铜线而 言每摄氏度变化量为dl/l≈0.167×10-4，dR/R≈0.43×10-2， dB/B每摄氏度的变化量决定于永久磁铁的磁性材料。对铝镍 钴永久磁合金，dB/B≈-0.02×10-2，这样由式(7-8)可得近似 值如下：
第7章 磁电式传感器
1
第7章 磁电式传感器
7.1 磁电感应式传感 器 7.2 霍尔式传感器
第7章 磁电式传感器
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7.1 磁电感应式传感器又称磁电式传感器，是利用电磁感应原 理将被测量(如振动、位移、转速等)转换成电信号的一种传感
器。它不需要辅助电源，就能把被测对象的机械量转换
成易于测量的电信号，是一种有源传感器。由于它输出功率大， 且性能稳定，具有一定的工作带宽(10～1000Hz)，所以得到
检测元件部分由永久磁铁、感应线圈和铁芯组成。永久磁铁产 生的磁力线与齿形圆盘交链。当齿形圆盘旋转时，圆盘齿凸凹 引起磁路气隙的变化，于是磁通量也发生变化，在线圈中感应 出交流电压，其频率在数值上等于圆盘上齿数与转数的乘积。
第7章 磁电式传感器
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图7-7 磁电式扭矩传感器工作原理图
第7章 磁电式传感器
第7章 磁电式传感器
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图7-4 传感器电流的磁场效应
传感器原理及其应用考试重点
传感器原理及其应用第一章传感器的一般特性1）信息技术包括计算机技术、通信技术和传感器技术，是现代信息产业的三大支柱。
2）传感器又称变换器、探测器或检测器，是获取信息的工具广义：传感器是一种能把特定的信息（物理、化学、生物）按一定规律转换成某种可用信号输出的器件和装置。
狭义：能把外界非电信息转换成电信号输出的器件。
国家标准（GB7665-87）：定义：能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置。
3）传感器的组成：敏感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。
转换元件：将敏感元件输出的非电物理量转换成电路参数或电量。
基本转换电路：上述电路参数接入基本转换电路（简称转换电路），便可转换成电量输出。
4）传感器的静态性能指标（1）定义: 传感器输出量的变化值与相应的被测量（输入量）的变化值之比,传感器输出曲线的斜率就是其灵敏度。
①纯线性传感器灵敏度为常数，与输入量大小无关；②非线性传感器灵敏度与x有关。
（2）线性度定义:传感器的输入-输出校准曲线与理论拟合直线之间的最大偏离与传感器满量程输出之比，称为传感器的“非线性误差”或“线性度”。
线性度又可分为：①绝对线性度：为传感器的实际平均输出特性曲线与理论直线的最大偏差。
②端基线性度：传感器实际平均输出特性曲线对端基直线的最大偏差。
端基直线定义：实际平均输出特性首、末两端点的连线。
③零基线性度：传感器实际平均输出特性曲线对零基直线的最大偏差。
④独立线性度：以最佳直线作为参考直线的线性度。
⑤最小二乘线性度：用最小二乘法求得校准数据的理论直线。
（3）迟滞定义：对某一输入量，传感器在正行程时的输出量不同于其在反行程时的输出量，这一现象称为迟滞。
即：传感器在正(输入量增大)反（输入量减小）行程中输出输入曲线不重合称为迟滞。
（4）重复性定义：在相同工作条件下，在一段短的时间间隔内，同一输入量值多次测量所得的输出之间相互偏离的程度。
传感器原理及其应用(第二版)部分习题答案
第1章 传感器的一般特性
5、何为传感器的动态特性？动态特性的主要技术指标有 哪些？ 答：传感器的动态特性是传感器在被测量随时间变化的 条件下输入输出关系。动态特性有分为瞬态响应和频率 响应。
第3章 电感式传感器及其应用
解：电感传感器的初始电感量为：
L0
W 2cS 20
30002 4
107 H / m1.5104 m2 2 0.5102 m
54
103 H
169.56 mH
当衔铁移动Δδ时，单端式传感器的灵敏度△L/△δ为：
k
L
k
Uo F
1
2
k
1 r2
E
U
sr
k 1 0.29 2.1
1
6 3.081108
2
3.14 202 2.1105
F
第3章 电感式传感器及其应用
• 作业：习题3、9、15、16 (P51)
第3章 电感式传感器及其应用
3、电感式传感器的测量电路起什么作用?变压器 电桥电路和带相敏整流的电桥电路哪个能更好地 起到测量转换作用?为什么?
第3章 电感式传感器及其应用
9、已知变气隙电感传感器的铁芯截面积S=1.5cm 2，磁路长度L=20cm，相对磁导率μ=5000，气隙 δ0=0.5cm，Δδ=±0.1mm，真空磁导率μc=4π×107H/m，线圈匝数W=3000，求单端式传感器的灵 敏度△L/△δ，若做成差动结构形式，其灵敏度 将如何变化?
传感器原理及应用课后习题答案)
习题集及答案第1章概述1.1 什么是传感器？按照国标定义，“传感器”应该如何说明含义？1.2 传感器由哪几部分组成？试述它们的作用及相互关系。
1.3 简述传感器主要发展趋势，并说明现代检测系统的特征。
1.4 传感器如何分类？按传感器检测的范畴可分为哪几种？1.5 传感器的图形符号如何表示？它们各部分代表什么含义？应注意哪些问题？1.6 用图形符号表示一电阻式温度传感器。
1.7 请例举出两个你用到或看到的传感器，并说明其作用。
如果没有传感器，应该出现哪种状况。
1.8 空调和电冰箱中采用了哪些传感器？它们分别起到什么作用？答案：1.1答：从广义的角度来说，感知信号检出器件和信号处理部分总称为传感器。
我们对传感器定义是：一种能把特定的信息（物理、化学、生物）按一定规律转换成某种可用信号输出的器件和装置。
从狭义角度对传感器定义是：能把外界非电信息转换成电信号输出的器件。
我国国家标准（GB7665—87）对传感器（Sensor/transducer）的定义是：“能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件和装置”。
定义表明传感器有这样三层含义：它是由敏感元件和转换元件构成的一种检测装置；能按一定规律将被测量转换成电信号输出；传感器的输出与输入之间存在确定的关系。
按使用的场合不同传感器又称为变换器、换能器、探测器。
1.2答：组成——由敏感元件、转换元件、基本电路组成；关系，作用——传感器处于研究对象与测试系统的接口位置，即检测与控制之首。
传感器是感知、获取与检测信息的窗口，一切科学研究与自动化生产过程要获取的信息都要通过传感器获取并通过它转换成容易传输与处理的电信号，其作用与地位特别重要。
1.3答：（略）答：按照我国制定的传感器分类体系表，传感器分为物理量传感器、化学量传感器以及生物量传感器三大类，含12个小类。
按传感器的检测对象可分为：力学量、热学量、流体量、光学量、电量、磁学量、声学量、化学量、生物量、机器人等等。
传感器课件刘笃仁版 绪论共21页文档
53、人们通常会发现，法律就是这样 一种的 网，触 犯法律 的人， 小的可 以穿网 而过， 大的可 以破网 而出， 只有中 等的才 会坠入 网中。 ——申 斯通 54、法律就是法律它是一座雄伟的大 夏，庇 护着我 们大家 ；它的 每一块 砖石都 垒在另 一块砖 石上。 ——高 尔斯华 绥 55、今天的法律未必明天仍是法律。 ——罗·伯顿
谢谢！
51、 天 下 之 事 常成 于困约 ，而败 于奢靡 。——陆 游 52、 生 命 不 等 于是呼 吸，生 命是活 动。——卢 梭
53、 伟 大 的 事 业，需 要决心 ，能力 ，组织 和责任 感。 ——易 卜 生 54、 唯 书 籍 不 朽。——乔 特
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第7章 图7.3 莫尔条纹原理
第7章
7 .1.3
1.
相邻两条莫尔条纹间距B与栅距w及两光栅夹角θ的
关系为
B
w
2sin
w
令k为放大系数,则 2
(7.1)
kB1
w
(7.2)
第7章
一般θ很小,所以放大系数k很大。故尽管光栅栅距w很小, 而通过莫尔条纹的放大作用仍使其清晰可辨。在安装调节时,通 过调整θ角,可以改变莫尔条纹宽度,从而使光电接收元件能正 确接收光信号。 对于100线／mm 的光栅,栅距为0.01mm,当夹 角为0.06°时,莫尔条纹间距B可达10 mm,放大了1000倍。
(7.5)
N
第7章
7.2 光栅传感器的工作原理
7.2.1 光栅传感器的光电转换系统由光源1、聚光镜2、光栅主尺
3、指示光栅4和光敏元件5组成,如图7.4(a)所示。当两块光栅 作相对移动时,光敏元件上的光强随莫尔条纹移动而变化,如图 7.4(b)所示。在a处,两光栅刻线不重叠,透过的光强最大,光电 元件输出的电信号也最大；在c处,由于光被遮去一半,光强减 小；在b处,光全被遮去而成全黑,光强为零。若光栅继续移动, 透射到光敏元件上的光强又逐渐增大。因而形成图7.4（b）所 示的输出波形。在理想情况下,当a=b=w时,光强亮度变化曲线 呈三角形分布,如图7.4(b)中虚线所示。但实际上因为刻划误 差的存在造成亮度不均,使三角波形呈近似正弦波曲线。
用计数器对这一列脉冲信号计数,就可以得到1/4个莫尔条 纹宽度的位移量（即光栅固有分辨率的四倍）。此种细分方法 被称为四倍频细分法。
第7章
图7.8 四倍频细分 (a) 四倍逻辑；（b） 波形图
第7章
7.3.3 CCD 1. CCD直接细分的原理是,利用线阵CCD上数千个等间距的像
素所构成的“感光尺”对整栅距的位移信号,即周期性的交点 移动信号进行细分,使测量信号能够反映一个栅距内的精确位 移。细分的具体方法如下。在均匀的背景光照明下,光栅刻线 在CCD像素位置上形成明暗相间的像,如图7.9(a)所示。CCD在 扫描驱动脉冲的控制下对一维视场进行扫描,输出一个周期性 的脉冲序列。周期内的脉冲数等于像素数,脉冲幅值反映了像 点的亮度,从脉冲序列中可以明显地辨认出交点的位置（暗点） （如图7.9（b）所示）。对脉冲进行限幅比较,并配以简单的 逻辑电路即可筛选出从扫描原点到第一个交点之间的脉冲,如 图7.9(c)所示。
按其应用类型,光栅可分为长光栅和圆光栅。长光栅 又称为光栅尺,用于测量长度或线位移；圆光栅又称盘栅, 用于测量角度或角位移。长光栅有透射式和反射式,而且 均有黑白光栅和闪耀光栅；圆光栅一般只有透射式黑白 光栅。
目前还发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅。 本章主要介绍透射式的计量光栅。
第7章
2. 所谓光栅,是在刻划基面上等间距（或不等间距）地 密集刻划,使刻线处不透光,未刻线处透光,形成透光与不 透光相间排列构成的光电器件。光栅上的刻线称为栅线, 栅线的宽度为a,缝隙宽度为b,一般取a=b,而w=a+b称为栅 距（也称为光栅常数或光栅节距,是光栅的重要参数,用 每毫米长度内的栅线数表示栅线密度,如100线／mm、250 线／mm）。圆光栅还有一个参数叫栅距角γ或称节距角, 它是指圆光栅上相邻两条栅线的夹角。光栅结构如图7.1
第7章
2.
这种细分方法的分辨率取决于两交点像之间所包含的像素 数,精度取决于像素的尺寸精度以及各像素光电特性的一致性。 由于CCD是采用蚀刻方法制作的集成电路,各像素尺寸和光电特 性都较均一,所以采用CCD直接细分法时精度可以做到与其分辨 率同一个数量级。如果采用软件拟合方法,精度还可以进一步提 高。
第7章 图7.4 光电转换
第7章
7.2.2
当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时,根据光 电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个 栅距w时,电信号则变化了一个周期。这样,光电信号的输 出电压U可以用光栅位移x的正弦函数来表示,光敏元件输 出的波形为
U
U0
Um
sin
2x
w
式中：U0——
第7章
2.
由图7.1知,若光栅栅距为w,i为刻线数,x为移动距
离,则
x=i w
(7.3)
将式（7.3）代入B 式 （x7.1）中,有
i
(7.4)
当i和θ一定时,B与移动距离x成正比。
第7章
由式（7.4）知,当θ很小时,光栅副中任一光栅沿垂直于刻 线方向移动时,莫尔条纹就会沿近似垂直于光栅移动的方向运动。 当光栅移动一个栅距w时,莫尔条纹就移动一个条纹间隔B；当光 栅改变运动方向时,莫尔条纹也随之改变运动方向,两者具有相 互对应的关系。因此,可以通过测量莫尔条纹的运动来判别光栅 的运动。
第7章
7.2.3 位移测量传感器如果不能辨向,则只能作为增量式传感
器使用。为辨别主光栅的移动方向,需要有两个具有相差的 莫尔条纹信号同时输入来辨别移动方向,且两个莫尔条纹信 号相差90°相位。实现的方法是在相隔B／4条纹间隔的位置 上安装两只光敏元件,当莫尔条纹移动时两个狭缝的亮度变 化规律完全一样,相位相差π／2。滞后还是超前完全取决于 光栅的运动方向。这种区别运动方向的方法称为位置细分辨 向原理。辨向原理如图7.5
由于线阵CCD与标尺光栅刻线也有一个θ角,投影在CCD视场 中的交点数就等于以前的莫尔条纹数。改变θ角的大小就可以 改变视场中交点的个数,从而改变直接细分的分辨率。CCD直接 细分光栅的分辨率δ
Lsin qw
PP
(7.7)
第7章
式中：L为CCD的像场长度；P为有效像素数；q为像 场中的交点数。
x=NN′M′S=nS
第7章
式中：N——扫过CCD N′——光栅相邻两刻线间对应的线阵CCD像素数；
M′——后续电路或计算机软件对信号进行的插值细分数； S——位移脉冲当量,即单位脉冲信号代表的光栅相对位移
量。
第7章
7.3.4 单件光栅的误差是由刻划工艺和刻划设备决定的。计量
光栅大多数是在构成莫尔条纹的情况下使用。由于莫尔条纹 的平均误差作用,
第7章
第7章 光栅传感器
7.1 光栅基础 7.2 光栅传感器的工作原理 7.3 莫尔条纹细分技术 7.4 常用光学系统 思考题与习题
第7章
7.1 光栅基础
7.1.1
1.
光栅按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。物理 光栅刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波 长等量的测量；在几何量计量中使用的光栅称为计量光栅,计 量光栅主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、 振动等几何量的测量。
第7章
7.3.2
在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件（如图 7.4(c)所示）,得到相位分别相差π／2的四个正弦周期信号 （如图7.7所示）。用适当的电路处理这一列信号,由图7.8(a) 可知, AB和CD 两光电元件输出的U1和U2经方波发生器后变 成方波,并相差π／2。在1、3点的方波经倒相器倒相一次,便 得到2、4点两个方波倒相电压。将它们分别微分后获得5、6、 7、8四点的正脉冲,同时送到与非门得到9点的12个输出脉冲 为原来任意一路的四倍,实现了四倍频细分,如图7.8（b）所 示。
第7章
7.1.2
计量光栅是利用莫尔现象实现几何量的测量的。莫尔条 纹的成因是由主光栅和指示光栅的遮光和透光效应形成的 （两只光栅参数相同）。主光栅用于满足测量范围及精度,指 示光栅（通常是从主尺上裁截一段）用于拾取信号。将主光 栅与指示光栅的刻划面相向叠合并且使两者栅线有很小的交 角θ,这样就可以看到,在a-a线上两只光栅栅线彼此错开,光 线从缝隙中透过形成亮带,其透光部分是由一系列棱形图案构 成的；在b-b线上两只光栅栅线相互交叠,相互遮挡缝隙,光线 不能透过形成暗带。这种亮带和暗带相间的条纹称为莫尔条 纹。由于莫尔条纹的方向与栅线方向近似垂直,故该莫尔条纹 称为横向莫尔条纹。莫尔条纹原理如图7.3所示。
Um——
x ——光栅的相对位移量。
(7.6)
第7章
由式（7.6）可知,利用光栅可以测量位移量x的值。 当波形重复到原来的相位和幅值时,相当于光栅移动了一 个栅距w,如果光栅相对位移了N个栅距,此时位移x=NW。 因此, 只要能记录移动过的莫尔条纹数N,就可以知道光栅的位移量x 值。这就是利用光闸莫尔条纹测量位移的原理。
第7章 图7.1 光栅的结构
第7章
圆光栅有三种栅线形式： 一种是径向光栅,其栅线的 延长线通过圆心；另一种是切向光栅,其栅线的延长线与 光栅盘的一个小同心圆相切；还有一种是其栅线为一簇等 间距同心圆组成的环形光栅。圆光栅通常在圆盘上刻有 1080～64800条线。圆光栅栅线如图7.2所示。
第7章 图7.2 圆光栅栅线
设光电接收元件所覆盖的光栅刻线总数为N,单个栅距误 差为δ,则可利用式(7.3)粗略地描述平均误差与单个栅距误
第7章 图7.9 CCD直接细分
第7章
当刻线与CCD像场的交点移动时,亮点临界脉冲的位置也 相应地改变。用计数器记下从扫描原点到临界脉冲间的脉冲 数,即可确定光栅在一个栅距间的位移。在没有软件细分的 情况下,离散信号定位精度不会高于CCD的物理分辨率,所以, 以扫描脉冲作为计数脉冲已经足够,提高计数频率也不会有 改善。将计数脉冲与扫描脉冲合二为一可大大简化后续电路。 当光栅位移大于一个栅距时,交点的位置发生突变,此时从扫 描原点到临界脉冲之间的脉冲数也会发生突变。通过计算机 记下突变的次数以及变化的正负方向,再经过累加计算即可 获得大于一个栅距的位移。这种累计方法记录了每个栅距间 的绝对距离,所以可以排除因光栅刻线粗细、间距不均匀而 造成的测量误差。
计量光栅的栅距为w=0.01mm ,线阵CCD像素数可以 做到P=5000个。设在视场中有两个交点的像,此时q=2,由 公式（7.7）可知分辨率δ可达到4nm。当采用CCD光栅栅 距直接细分法时, CCD输出的图像信号经处理后为一系列 代表光栅栅线相对位置的周期性脉冲序列（如图 7.9(d)）。设每一个周期内的脉冲数为n,则位移x与输出 信号n的关系为