扫描电镜的基本结构和工作原理讲解

合集下载

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的高分辨率显微镜,它利用电子束代替光束进行成像,可以观察到物质的表面形貌和微观结构。

下面将详细介绍扫描电镜的工作原理。

一、电子源扫描电镜的电子源通常采用热阴极电子枪,利用热电子发射原理产生高能电子束。

热阴极电子枪由电子发射体、聚焦极和加速极组成。

当电子发射体受到加热后,产生的热电子经过聚焦极的聚焦作用,形成一个细束电子束。

二、电子束的聚焦和加速经过电子源产生的电子束,会经过一系列的透镜系统进行聚焦和加速。

透镜系统由一组磁透镜和电透镜组成,它们分别通过调节磁场和电场来控制电子束的聚焦和加速。

通过透镜系统的调节,可以使电子束变得更加细致和聚焦,从而提高成像的分辨率。

三、样品的准备和固定在进行扫描电镜观察之前,需要对样品进行准备和固定。

通常情况下,样品需要经过化学固定、脱水、金属浸渍等处理步骤,以保持样品的形态结构和细节,并提高电子束的透射性。

四、样品的扫描和成像在样品固定后,将样品放置在扫描电镜的样品台上。

电子束从电子源发射出来后,经过透镜系统的聚焦和加速后,进入扫描线圈系统。

扫描线圈系统通过控制电子束的扫描范围和速度,使电子束在样品表面进行扫描。

扫描过程中,电子束与样品表面相互作用,产生多种信号。

五、信号的检测和处理样品与电子束相互作用后,会产生多种信号,包括二次电子、反射电子、背散射电子、X射线等。

这些信号被检测器接收到后,会转换成电信号,并经过放大和处理。

最终,通过将信号转换为图像,可以观察到样品表面的形貌和微观结构。

六、图像的显示和分析通过信号的检测和处理后,得到的图像可以通过显示器进行观察。

扫描电镜图像通常呈现出高对比度和高分辨率的特点,可以清晰地显示样品表面的细节和结构。

同时,还可以利用图像处理软件对图像进行后期处理和分析,如测量样品表面的尺寸、形状等。

总结:扫描电镜通过利用电子束代替光束进行成像,能够观察到物质的表面形貌和微观结构。

简述扫描电镜的构造及成像原理资料讲解

简述扫描电镜的构造及成像原理资料讲解

简述扫描电镜的构造及成像原理资料讲解简述扫描电镜的构造及成像原理,试分析其与透射电镜在样品表征方面的异同1、扫描电镜的构造扫描电镜由电子光学系统、信号收集和图像显示系统、和真空系统三部分组成。

1.1 电子光学系统(镜筒)电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。

1.1.1 电子枪扫描电子显微镜中的电子枪与透射电镜的电子枪相似,只是加速电压比透射电镜低。

1.1.2 电磁透镜扫描电子显微镜中各电磁透镜都不作成像透镜用,而是做聚光镜用,它们的功能只是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小,使原来直径约为50um的束斑缩小成一个只有数个纳米的细小斑点,要达到这样的缩小倍数,必须用几个透镜来完成。

扫描电子显微镜一般都有三个聚光镜,前两个聚光镜是强磁透镜,可把电子束光斑缩小,第三个聚光镜是弱磁透镜,具有较长的焦距。

布置这个末级透镜(习惯上称之物镜)的目的在于使样品室和透镜之间留有一定空间,以便装入各种信号探测器。

扫描电子显微镜中照射到样品上的电子束直径越小,就相当于成像单元的尺寸越小,相应的分辨率就越高。

采用普通热阴极电子枪时,扫描电子束的束径可达到6nm左右。

若采用六硼化镧阴极和场发射电子枪,电子束束径还可进一步缩小。

1.1.3 扫描线圈扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。

1.1.4 样品室样品室内除放置样品外,还安置信号探测器。

各种不同信号的收集和相应检测器的安放位置有很大关系,如果安置不当,则有可能收不到信号或收到的信号很弱,从而影响分析精度。

样品台本身是一个复杂而精密的组件,它应能夹持一定尺寸的样品,并能使样品作平移、倾斜和转动等运动,以利于对样品上每一特定位置进行各种分析。

新式扫描电子显微镜的样品室实际上是一个微型试验室,它带有许多附件,可使样品在样品台上加热、冷却和进行机械性能试验(如拉伸和疲劳)。

扫描电镜的结构原理与应用

扫描电镜的结构原理与应用

扫描电镜的结构原理与应用1. 概述扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种使用电子束来观察样品表面的高分辨率显微镜。

相比传统的光学显微镜,扫描电镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率,能够观察到更细微的细节和表面形貌的特征。

本文将介绍扫描电镜的结构原理和应用领域。

2. 结构原理扫描电镜由以下几个基本组成部分构成:•电子枪:产生高速电子束的源头。

•准直系统:用于调节电子束的尺寸和形状,使其具有良好的准直性。

•聚焦系统:通过磁场对电子束进行聚焦,使其在样品表面形成高亮度的扫描点。

•扫描线圈:产生水平和垂直方向的扫描电场,控制电子束在样品表面的移动。

•探测器:用于检测样品表面所产生的信号,并转化为图像进行显示。

•显示器:将探测器所获得的信号转化为可见图像,并进行显示。

扫描电镜的工作过程如下:1.电子枪产生高能电子束。

2.准直系统和聚焦系统将电子束调整为合适的形状和大小。

3.扫描线圈控制电子束在样品表面进行扫描。

4.探测器检测样品表面所产生的信号,转化为图像进行显示。

5.显示器将图像进行显示和观察。

3. 应用领域扫描电镜在科学研究、工业生产和教育培训等领域有着广泛的应用。

以下是扫描电镜常见的应用领域:3.1 材料科学•表面形貌观察:扫描电镜可以观察材料表面的微观形貌特征,如纹理、孔洞和颗粒等。

•材料成分分析:通过能谱仪等附加装置,可以对材料进行成分分析,确定材料的化学组成。

3.2 生物科学•细胞观察:扫描电镜可以观察生物细胞的形态特征,揭示细胞的微细结构和功能。

•细菌病毒研究:通过扫描电镜可以观察细菌和病毒的形态和结构,研究其生长和传播机制。

3.3 纳米技术•纳米材料研究:扫描电镜可以观察纳米材料的形貌和结构,研究其物理和化学性质。

•纳米器件制备:扫描电镜可以用于观察和调控纳米级器件的制备过程和性能评价。

3.4 地质学•矿物鉴定:扫描电镜对地质样品进行观察和成分分析,有助于鉴定矿物种类和性质。

扫描电镜的结构原理及其操作使用课件

扫描电镜的结构原理及其操作使用课件
具有重要意义。
THANKS
感谢观看
材料内部结构分析
通过扫描电镜观察材料内部不同层次的结构,可以研究材 料的晶体结构、相组成、微织构等,对于材料的性能研究 和优化具有重要意义。
材料元素分布分析
扫描电镜配备的能谱分析仪可以测定材料中元素的种类和 分布情况,对于研究材料的化学成分和元素迁移行为具有 重要作用。
生物医学研究应用案例
01
细胞结构与功能研究
半导体器件结构与性能分 析
扫描电镜可以观察半导体器件的结构和性能 ,如芯片的微观电路结构、缺陷分析等,对 于半导体行业的产品研发和质量监控具有重 要意义。
半导体材料表面形貌与成 分分析
扫描电镜可以观察半导体材料表面的微观形 貌和成分,如硅片、锗片的表面粗糙度和化 学组成,对于半导体材料的研究和质量控制
特点
高分辨率、高景深、高灵敏度、多功能性等。
历史与发展
历史
SEM最早出现于1940年代,但真 正的发展和应用是在1950年代以 后。
发展
经历了多个阶段,从最初的简单 扫描电镜,到现在的场发射扫描 电镜、能量色散X射线谱仪等高级 配置。
应用领域
01
02
03
04
材料科学
用于研究材料的微观结构和性 能,如金属、陶瓷、高分子等
图像扭曲
可能是由于扫描电镜的电子束不稳定或样品表面不平整所 致。解决办法是调整扫描电镜的电子束稳定性或对样品表 面进行预处理。
样品烧蚀
可能是由于样品表面有金属杂质或样品放置不当所致。解 决办法是更换样品或调整扫描电镜的加速电压和电流。
05
扫描电镜应用案例展示
材料科学研究应用案例
材料表面形貌分析
扫描电镜可以用于研究材料表面的微观形貌,如表面粗糙 度、颗粒大小等,对于材料科学的基础研究和应用研究有 重要作用。

扫描电镜工作原理科普

扫描电镜工作原理科普

扫描电镜工作原理科普扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用电子束来观察材料表面形貌和获得微观结构图像的仪器。

与传统的光学显微镜相比,扫描电镜能够提供更高的分辨率和更大的放大倍数,因此在材料科学、生物学、纳米技术等领域被广泛应用。

下面将从工作原理、构成和应用角度对扫描电镜进行科普。

一、工作原理:扫描电镜的工作原理主要是利用电子的特性来实现高分辨率成像。

其基本原理可以概括为以下几个步骤:1.电子束的产生:扫描电镜中使用的是电子束而非光线,电子束通过热发射、场致发射等方式产生。

2.电子束的聚焦:电子束通过聚焦系统进行聚焦,使其能够更准确地照射到样品表面。

3.电子束的扫描:电子束通过扫描系统进行规律的扫描,以便覆盖样品表面的各个区域。

4.电子束与样品的相互作用:电子束照射到样品表面时,会与样品中的电子、原子发生相互作用,产生散射、透射、反射等现象。

5.信号的采集:根据与样品相互作用产生的信号,通过相应的探测器进行采集。

6.图像的生成:通过采集到的信号,经过信号处理和图像重构,最终生成样品的形貌图像。

二、构成:扫描电镜由以下几部分组成:1.电子枪:用于产生电子束的装置,通常采用热阴极或场致发射阴极。

2.聚焦系统:用于将电子束进行准确的聚焦,以便更好地照射到样品表面。

3.扫描系统:用于对样品表面进行规律的扫描,以便获取样品的整体形貌图像。

4.样品台:用于固定和导热样品,通常具有多种移动方式,以适应不同样品的观察需要。

5.检测器:用于采集样品与电子束相互作用所产生的信号,常用的检测器有二次电子检测器和反射电子检测器等。

6.显示和控制系统:用于显示图像、实时调节仪器参数以及采集和处理数据等。

三、应用:扫描电镜在科学研究、工业材料分析和教学实验等领域具有广泛的应用。

其主要应用如下:1.材料科学:扫描电镜可以用于研究材料的表面形貌、结构和成分,对于纳米材料、金属和非金属材料等的表面缺陷、晶体结构以及纳米结构等进行观察和分析。

扫描电镜原理

扫描电镜原理

1、扫描电镜的构造和工作原理(2)
基本工作原理:
通过对电子枪内的钨灯丝加-20KV的高电压,使电子枪处 于热激发状态,在阳极的作用下,处于热激发状态的电子 枪就可以激发出电子束,这个电子束就是光源。但是刚刚 激发出的电子束束斑比较粗,大概7-10微米左右,不利于 清晰成像,因此,有必要对该电子束进行细化,这就是要 在样品与电子枪之间加3级“聚光镜”,我们这里的“聚 光镜”不是光学中应用的棱镜,而是一对对的电磁透镜, 因为,在真空状态下,磁场中高速运行的电子束会发生偏 转,我们利用这个原理对电子束进行“聚焦”约束。三个 电磁透镜中的前两个是强磁透镜,可起到把电子束光斑缩 小的作用,而第三个非对称磁场为弱磁透镜,它起到的作 用是延长焦距。布置这个末级透镜(习惯上成为物镜)的 目的在于使样品和透镜之间留有一定的空间,以便装入各 种信号探测器。扫描电子显微镜中照射到样品上的电子束 直径越小,就相当于成像单元尺寸越小,相应的分辨率就 越高。采用普通的热阴极电子枪时,扫描电子束的束径可 达到6nm左右。若采用六硼化镧阴极和场发射电子枪,电 子束束径可进一步缩小。在扫描线圈作用下,在样品表面 扫 描,激发出各种物理信号, 其强度随样品表面特征而 变 化。通过检测器检测信号, 并经放大,调制图像。
扫描电镜的原理及应用
1
一. 扫描电镜基本原理
扫描电子显微镜的成像原理: 是以类似电视摄影显像的方式,利用细聚焦高能电子束在样品表面扫
描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。
早在1935年,德国的Knoll就提出了扫描电镜的工作原理。 1938年,Von Ardenne 开始进行实验研究。 1942年,Zworykin、Hill 制成了第一台实验室用的扫描电镜,但真正
a)

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种通过电子束对样品进行扫描和成像的仪器。

它利用高能电子束与样品相互作用,通过采集和分析所产生的信号来获取样品的表面形貌和成份信息。

下面将详细介绍扫描电镜的工作原理。

1. 电子源扫描电镜的核心部件是电子源,通常采用热阴极电子枪产生电子束。

热阴极电子枪通过加热阴极产生的热电子,在电场的作用下形成高速电子束。

2. 电子透镜系统电子束从电子源出射后,经过一系列的电子透镜系统进行聚焦和控制。

电子透镜系统包括透镜和电磁场控制系统,通过调节透镜的电压和电流,可以控制电子束的聚焦和扫描速度。

3. 样品台样品台是放置待观察样品的平台,通常由导电材料制成,以便与电子束的相互作用。

样品台可以通过微动装置在XY方向上进行精确的挪移,以便对样品进行扫描。

4. 扫描线圈扫描线圈是用来控制电子束在样品表面上进行扫描的装置。

它通过改变电流的方向和大小,使得电子束可以在样品表面上按照预定的路径进行扫描。

5. 信号检测器当电子束与样品相互作用时,会产生多种不同的信号。

扫描电镜通常配备多种类型的信号检测器,包括二次电子检测器(SE)、反射电子检测器(BSE)、能谱仪等。

这些检测器可以采集和测量不同类型的信号,以获取样品的形貌和成份信息。

6. 显示和图象处理扫描电镜通过信号检测器采集到的信号,经过放大、滤波等处理后,可以得到样品的图象。

这些图象可以通过显示器进行实时观察,并可以进行进一步的图象处理和分析,如增强对照度、测量尺寸等。

扫描电镜工作原理的基本流程如下:1. 打开电子源,产生高速电子束。

2. 通过电子透镜系统对电子束进行聚焦和控制。

3. 将待观察样品放置在样品台上。

4. 通过扫描线圈控制电子束在样品表面上进行扫描。

5. 信号检测器采集和测量与样品相互作用产生的信号。

6. 经过信号处理和图象处理,得到样品的图象。

7. 通过显示器进行实时观察和分析。

扫描电镜的基本结构和工作原理教材

扫描电镜的基本结构和工作原理教材

扫描电镜的基本结构和工作原理教材扫描电镜的基本结构和工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种利用电子束来观察物质表面形貌和成分的高分辨率显微镜。

相比传统光学显微镜,扫描电镜具有更高的放大倍率和更好的分辨率,能够观察到更细微的细节。

一、基本结构扫描电镜主要由电子枪、电子透镜系统、样品台、探测器和显示器等组成。

1. 电子枪:电子枪是扫描电镜的核心部件之一,负责产生高能电子束。

电子枪由热阴极和阳极组成,热阴极通过加热产生热电子,经过加速电场加速后形成电子束。

2. 电子透镜系统:电子透镜系统由多个透镜组成,用于控制电子束的聚焦和聚束。

电子束经过电子透镜系统后,能够形成较小的束斑并具有较高的聚焦度,从而提高分辨率。

3. 样品台:样品台是放置待观察样品的平台,通常由金属材料制成。

样品台上的样品通过调整样品台的位置和角度,可以在电子束下进行观察。

4. 探测器:探测器是用来接收经过样品表面反射或散射的电子信号,并将其转化为图像信号。

常见的探测器有二次电子探测器和反射电子探测器等。

5. 显示器:显示器用于显示扫描电镜观察到的图像,将电子信号转化为可见的图像。

二、工作原理扫描电镜的工作原理基于电子和物质的相互作用。

当高能电子束照射到样品表面时,会与样品中的原子和电子发生相互作用,产生各种信号。

1. 二次电子信号:当电子束照射到样品表面时,会激发样品表面的原子和电子,使其发射出较低能量的二次电子。

二次电子信号的强度与样品表面形貌和成分有关,通过探测器接收并放大二次电子信号,可以得到样品表面形貌的图像。

2. 反射电子信号:部分电子束会被样品表面反射回来,形成反射电子信号。

反射电子信号的强度与样品表面的原子排列和晶体结构有关,通过探测器接收反射电子信号,可以得到样品的晶体结构信息。

3. 辐射光谱:当电子束与样品表面相互作用时,还会产生X射线、荧光和透射电子等辐射。

通过分析这些辐射信号,可以获取样品的元素成分和化学状态等信息。

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种高分辨率的显微镜,能够通过扫描样品表面并利用电子束与样品相互作用来观察和分析样品的表面形貌和成分。

它在材料科学、生物学、纳米技术等领域有着广泛的应用。

一、扫描电镜的基本构成扫描电镜主要由电子光学系统、样品台、探测系统和显像系统组成。

1. 电子光学系统:电子光学系统包括电子源、电子束调制系统和扫描线圈。

电子源通常采用热阴极或场发射阴极,产生高能电子。

电子束调制系统用于控制和调节电子束的形状和大小。

扫描线圈通过改变电子束在样品表面的位置,实现对样品进行扫描。

2. 样品台:样品台是承载样品的平台,通常具有XY移动功能,可以调整样品的位置。

样品台还可以加热、冷却或施加电场等特殊处理。

3. 探测系统:探测系统用于收集与样品相互作用后产生的信号。

常用的探测器有二次电子探测器和反射电子探测器。

二次电子探测器用于观察样品表面形貌,反射电子探测器用于分析样品的成分。

4. 显像系统:显像系统将探测到的信号转化为图像,并通过显示器进行显示。

显像系统还可以进行图像增强和处理,以获得更清晰的图像。

二、扫描电镜的工作原理扫描电镜的工作原理可以分为电子源产生电子束、电子束与样品相互作用、探测信号收集和图像显示四个步骤。

1. 电子源产生电子束:扫描电镜中的电子源通常采用热阴极或场发射阴极。

电子源产生的电子束经过电子束调制系统的调节,形成高能、聚焦的电子束。

2. 电子束与样品相互作用:电子束照射到样品表面后,与样品表面的原子和分子发生相互作用。

这种相互作用包括电子与样品表面原子的散射、电子与样品表面原子的激发和电子与样品表面原子的透射等。

3. 探测信号收集:样品与电子束相互作用后,会产生多种信号,如二次电子、反射电子、散射电子等。

这些信号被探测器收集,并转化为电信号。

4. 图像显示:探测到的信号经过放大、增强和处理后,通过显像系统转化为图像,并通过显示器进行显示。

扫描电镜的基本结构和工作原理讲解

扫描电镜的基本结构和工作原理讲解

扫描电镜的基本结构和工作原理讲解扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的高分辨率显微镜,用于观察和研究微观世界中的样品。

它通过利用电子束与样品的相互作用,获取样品表面的形貌和成分信息。

本文将详细介绍扫描电镜的基本结构和工作原理。

一、基本结构扫描电镜主要由以下几个部分组成:1. 电子枪(Electron Gun):电子枪是扫描电镜的核心部件之一,它产生高能电子束。

电子束的形成是通过热发射或场发射的方式,通过加热或加电场使金属阴极发射电子。

2. 准直系统(Condenser System):准直系统用于聚焦和准直电子束。

它由准直透镜和聚焦透镜组成,能够将电子束聚焦成细小的束斑并准直。

3. 样品台(Sample Stage):样品台是放置待观察样品的平台。

它通常具有微动装置,可以在水平和垂直方向上移动样品,以便于观察不同区域。

4. 扫描线圈(Scan Coils):扫描线圈用于控制电子束在样品表面的扫描。

通过调节扫描线圈的电流,可以控制电子束的位置和扫描速度。

5. 检测器(Detector):检测器用于接收样品表面反射、散射或发射的信号。

常用的检测器包括二次电子检测器和反射电子检测器。

6. 显示器和计算机系统:显示器用于显示扫描电镜获取的图像,计算机系统用于图像的处理和分析。

二、工作原理扫描电镜的工作原理可以简单概括为以下几个步骤:1. 电子束的产生:电子束由电子枪产生,通过加热或加电场的方式使金属阴极发射电子。

电子枪通常采用热阴极或场发射阴极。

2. 电子束的准直和聚焦:电子束经过准直系统的聚焦透镜和准直透镜,被聚焦成细小的束斑并准直。

3. 电子束与样品的相互作用:准直后的电子束通过扫描线圈控制在样品表面的扫描。

当电子束与样品相互作用时,会发生多种相互作用,包括二次电子发射、反射电子、散射电子等。

4. 信号的检测:样品表面反射、散射或发射的信号被检测器接收。

sem扫描电镜ppt课件

sem扫描电镜ppt课件
II. 背散射电子成像:入射电子与样品接触时,其中一部分几乎 不损失能量地在样品表面被弹性散射回来,这部分电子被称 为背散射电子。背散射电子的产额随样品的原子序数的增大 而增加,因此成像可以反映样品 的元素分布,及不同相成分 区域的轮廓。
ppt课件
18
二次电子像的信号是二次电子,用于表面形貌分析;背散射电子 像的信号是背散射电子,用于成分分析。因此二次电子像对形貌 敏感,背散射电子像对成分敏感。
ppt课件
5
图2 JSM-6301F场发射扫描电镜的结构
ppt课件
6
电子光学系统
组成:电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部 件。
作用:获得扫描电子束、作为产生物理信号的激发 源。
为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子 束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
ppt课件
7
电子枪
✓ 利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。目前大 多数扫描电镜采用热阴极电子枪。优点:灯丝价格便宜,真 空要求不高;缺点:发射效率低,发射源直径大,分辨率低。
ppt课件
1
主要内容
SEM的工作原理 SEM的主要结构 SEM的组成部分 SEM的主要性能参数 SEM的优点 应用举例
ppt课件
2
SEM的工作原理
电子枪发射电子束(直径50μm)。电压加速、磁透镜系统汇 聚,形成直径约5nm的电子束。
电子束在偏转线圈的作用下,在样品表面作光栅状扫描,激发 多种电子信号。
ppt课件
15
SEM的主要性能参数
分辨率 放大倍数 景深
ppt课件
16
分辨率
对微区成分分析而言,分辨率是指能分析的最小区域;对成像 而言,它是指能分辨两点间的最小距离。

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种高分辨率的显微镜,利用电子束与样品相互作用来获取样品表面形貌和成分信息。

它在材料科学、生物科学、纳米科学等领域具有广泛的应用。

一、扫描电镜的基本原理扫描电镜主要由电子光学系统、扫描系统和检测系统三部分组成。

1. 电子光学系统电子光学系统是扫描电镜的核心部分,它由电子枪、准直系统和透镜系统组成。

电子枪产生高能电子束,准直系统用于将电子束聚焦成细束,透镜系统用于将聚焦的电子束聚焦到样品表面。

2. 扫描系统扫描系统由扫描线圈和样品台组成。

扫描线圈通过控制电子束的扫描轨迹,使其在样品表面上进行扫描。

样品台用于支撑和定位样品。

3. 检测系统检测系统用于探测样品表面反射、散射的电子信号,并将其转化为图像。

常用的检测器包括二次电子检测器和反射电子检测器。

二、扫描电镜的工作过程扫描电镜的工作过程可以分为样品制备、样品加载、参数设置、扫描和图像获取等步骤。

1. 样品制备样品制备是扫描电镜观察的前提,样品需要具备一定的导电性和稳定性。

常用的样品制备方法包括金属镀膜、碳膜覆盖、冷冻断裂、离子切割等。

2. 样品加载样品加载是将待观察的样品放置在样品台上,并通过样品夹具或者导电胶固定。

加载过程需要注意避免样品表面的污染和损伤。

3. 参数设置在进行观察之前,需要设置扫描电镜的工作参数,包括加速电压、放大倍数、扫描速度等。

这些参数的选择会影响到观察的分辨率和深度。

4. 扫描和图像获取设置好参数后,开始进行扫描和图像获取。

电子束在样品表面进行扫描,扫描线圈控制电子束的移动轨迹。

同时,检测器会探测样品表面反射、散射的电子信号,并将其转化为图像。

三、扫描电镜的应用领域扫描电镜在材料科学、生物科学、纳米科学等领域有着广泛的应用。

1. 材料科学扫描电镜可以用于材料表面形貌的观察和分析,例如金属的晶体结构、陶瓷的微观结构等。

同时,扫描电镜还可以用于材料成分的分析,通过能谱仪可以获取样品的元素组成信息。

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的高分辨率显微镜,通过利用电子束与样品的相互作用来获取样品表面的形貌和成分信息。

其工作原理基于电子光学和电子物理的原理。

一、电子光学系统扫描电镜的电子光学系统由电子源、透镜系统和检测系统组成。

1. 电子源扫描电镜的电子源通常采用热阴极电子枪,通过加热阴极产生热电子。

热电子经过加速电压加速形成高速电子束。

2. 透镜系统透镜系统由几个磁透镜组成,包括聚焦透镜和扫描透镜。

聚焦透镜用于将电子束聚焦到极小的尺寸,提高分辨率。

扫描透镜用于控制电子束在样品表面的扫描。

3. 检测系统检测系统用于测量电子束与样品相互作用后的信号。

常用的检测器有二次电子检测器和反射电子检测器。

二次电子检测器用于观察样品表面形貌,反射电子检测器用于获得样品的成分信息。

二、扫描控制系统扫描控制系统由扫描线圈和扫描发生器组成。

扫描线圈用于控制电子束在样品表面的扫描范围和速度。

扫描发生器则产生扫描信号,控制电子束的扫描。

三、样品准备在进行扫描电镜观察之前,样品需要进行一系列的准备工作。

首先,样品需要被固定在样品架上,以保持稳定。

然后,样品需要被表面处理,如金属镀膜或碳镀膜,以提高导电性。

最后,样品需要被放置在真空环境中,以避免电子束与空气分子的相互作用。

四、工作过程1. 准备好样品并放置在样品架上。

2. 打开扫描电镜,并进行必要的预热和真空泵抽气。

3. 调整电子光学系统,使得电子束聚焦到最佳状态。

4. 设置扫描控制系统,确定扫描范围和速度。

5. 开始扫描,观察样品表面形貌和成分信息。

6. 根据需要,可以调整扫描参数和检测器,以获得更详细的信息。

7. 观察结束后,关闭扫描电镜并进行必要的清洁和维护。

五、应用领域扫描电镜在许多领域都有广泛的应用。

在材料科学中,它可以用于观察材料的晶体结构、表面缺陷和纳米结构。

在生物学中,它可以用于观察细胞和组织的形态和结构。

扫描电镜的基本结构和工作原理

扫描电镜的基本结构和工作原理

扫描电镜的基本结构和工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的高分辨率显微镜,它通过扫描样品表面并利用电子束与样品相互作用来获取样品的表面形貌和成份信息。

下面将详细介绍扫描电镜的基本结构和工作原理。

一、基本结构1. 电子枪:扫描电镜的电子枪是电子束的发射源,它由热阴极和加速电极组成。

热阴极通过加热发射电子,加速电极则用于控制电子束的能量和聚焦。

2. 准直系统:准直系统包括准直磁铁和透镜,主要用于聚焦电子束并使其垂直于样品表面。

3. 扫描线圈:扫描线圈用于控制电子束在样品表面的扫描范围,通过改变扫描线圈的电流,可以实现对样品不同区域的扫描。

4. 检测系统:检测系统主要包括二次电子检测器和后向散射电子检测器。

二次电子检测器用于检测样品表面的二次电子发射信号,后向散射电子检测器则用于检测样品表面的后向散射电子。

5. 显示和记录系统:显示和记录系统用于将检测到的信号转化为图象,并显示在显示器上或者记录在存储介质上。

二、工作原理扫描电镜的工作原理主要分为以下几个步骤:1. 电子束的发射:扫描电镜中的电子束是通过热阴极发射的。

热阴极受到加热,产生高能电子。

2. 电子束的聚焦:经过准直系统的调节,电子束被聚焦为一个细小的束流,并且垂直于样品表面。

3. 电子束的扫描:扫描线圈控制电子束在样品表面的扫描范围。

电子束按照预设的扫描模式在样品表面扫描,扫描过程中,电子束与样品表面相互作用。

4. 信号的检测:样品表面与电子束相互作用后,会产生一系列的信号,包括二次电子和后向散射电子。

二次电子检测器和后向散射电子检测器将这些信号转化为电信号。

5. 图象的生成:检测到的电信号经过放大和处理后,转化为图象信号。

这些图象信号经过显示和记录系统的处理,最平生成可见的样品表面形貌图象。

扫描电镜的基本结构和工作原理使其能够在高分辨率下观察样品的表面形貌和成份信息。

相比传统的光学显微镜,扫描电镜具有更高的放大倍数和更高的分辨率,可以观察到更细微的细节。

扫描电镜的基本结构和工作原理讲解

扫描电镜的基本结构和工作原理讲解

扫描电镜的基本结构和工作原理扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。

扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点,是进行样品表面研究的有效分析工具。

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多,一般约在1~30kV,实验时可根据被分析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约在20kV左右。

扫描电镜的图像放大倍数在一定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整,放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。

扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同,其作用仅仅是为了提供扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。

扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号,前者用于显示表面形貌衬度,后者用于显示原子序数衬度。

扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源及控制系统六大部分。

这一部分的实验内容可参照教材第十二章,并结合实验室现有的扫描电镜进行,在此不作详细介绍。

三、扫描电镜图像衬度观察1.样品制备扫描电镜的优点之一是样品制备简单,对于新鲜的金属断口样品不需要做任何处理,可以直接进行观察。

但在有些情况下需对样品进行必要的处理。

1) 样品表面附着有灰尘和油污,可用有机溶剂(乙醇或丙酮)在超声波清洗器中清洗。

2) 样品表面锈蚀或严重氧化,采用化学清洗或电解的方法处理。

清洗时可能会失去一些表面形貌特征的细节,操作过程中应该注意。

3) 对于不导电的样品,观察前需在表面喷镀一层导电金属或碳,镀膜厚度控制在5-10nm 为宜。

2.表面形貌衬度观察二次电子信号来自于样品表面层5~l0nm,信号的强度对样品微区表面相对于入射束的取向非常敏感,随着样品表面相对于入射束的倾角增大,二次电子的产额增多。

扫描电镜及其制样技术

扫描电镜及其制样技术

2干燥的方法
1空气干燥法 2)真空干燥法 3)冷冻干燥法 4)临界点干燥法
2干燥的方法
1)空气干燥法 方法:把样品放在空气中;让其中的脱水
剂自然挥发掉,以达到干燥的目的; 特点:脱水剂存在的低表面张力,仍使许
多样品发生变形或收缩,故本法是 在缺乏其他条件下不得已采用的干 燥方法。
2干燥的方法
PBS清洗3次;5~10min/ 次→ 乙醇梯度脱水到纯 乙醇,5~30min/级;
(3)脱水的要求
脱水要彻底;
严防发生空气干燥:在换液过程中,要始终保 持样品润湿,以免因表面张力变化而造成样品 的皱缩 塌陷或变形。
5 干燥
1干燥的目的 彻底去除样品中的脱水剂;使样品干 燥,以保护镜筒高真空和样品不变形;
2干燥的方法
4)临界点干燥法
① 临界点干燥的原理(图32)
图32 临界点干燥原理图
临界点干燥的原理之小结
临界状态的条件:密闭容器中的液体加热达到一定 的温度临界温度;
临界状态的特性:气 液密度相等;相界消失;液体变 成气体,液体的表面张力消失为零;无论施加多大 的压力,气体不会变成液体。
临界点干燥:利用临界状态下液体表面张力被消除 的特性,使样品中的液体气化而最后完全干燥。
作用:对二次电子进 行收集、放大和处理; 以调制显像管栅极电 压并成象。
图11 扫描电镜工作原理图
3电子偏转系统(扫描系统)
组成:扫描发生器 扫描线圈;
作用:使镜筒和显 像管内的电子束分 别进行同步光栅状 扫描;最后在显像 管的荧光屏上显示 出完整图象。
图11 扫描电镜工作原理图
2 影响图象形成的因素
② 临界干燥液的选择——置换液与中间液
置换液:在临界点干燥器内起临界干燥 作用的液体称为置换液表2;

扫描电镜的结构和工作原理

扫描电镜的结构和工作原理

一、扫描电子显微镜的工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope)是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。

试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。

其中二次电子是最主要的成像信号。

由电子枪发射的能量为 5 ~35keV 的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。

聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。

二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。

二、扫描电镜具有以下的特点(1) 可以观察直径为0 ~30mm的大块试样(在半导体工业可以观察更大直径),制样方法简单。

(2) 场深大、三百倍于光学显微镜,适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。

(3) 放大倍数变化范围大,一般为15 ~200000 倍,对于多相、多组成的非均匀材料便于低倍下的普查和高倍下的观察分析。

(4) 具有相当高的分辨率,一般为3.5 ~6nm。

(5) 可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的质量,如通过调制可改善图像反差的宽容度,使图像各部分亮暗适中。

采用双放大倍数装置或图像选择器,可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不同形式的图像。

(6) 可进行多种功能的分析。

与X 射线谱仪配接,可在观察形貌的同时进行微区成分分析;配有光学显微镜和单色仪等附件时,可观察阴极荧光图像和进行阴极荧光光谱分析等。

(7) 可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态试验,观察在不同环境条件下的相变及形态变化等。

三、扫描电镜的主要结构1.电子光学系统:电子枪;聚光镜(第一、第二聚光镜和物镜);物镜光阑。

扫描电镜的结构原理

扫描电镜的结构原理

扫描电镜的结构原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的高性能显微技术,能够提供高分辨率的表面形貌和表面元素的微区分析。

它通过扫描样品表面并采集电子信号,从而实现对样品的显微观察。

下面我将详细介绍扫描电镜的结构原理。

1.电子枪:电子枪是扫描电镜的核心部件,它负责产生高能电子束。

电子枪主要由阴极、阳极和加速电极等构成。

在电子枪中,阴极加热后释放出一个电子云,然后通过加速电极的作用,使电子云加速并形成高能电子束。

2.聚焦系统:聚焦系统包括透镜和聚焦电极。

透镜的角度和形状可以控制电子束的聚焦,从而提高图像的清晰度和分辨率。

聚焦电极则用于调节透镜的焦距。

3.扫描线圈:扫描线圈主要包括水平和垂直线圈。

水平线圈和垂直线圈通过产生调制磁场来控制电子束的扫描范围和速度。

通过改变磁场的传送效果,可以将电子束精确地扫描到样品的各个位置,从而实现对样品表面的显微观察。

4.样品台:样品台用于支撑和定位样品。

它通常是由导电材料制成,以便在样品表面引入扫描电子束所需的信号。

样品可以在样品台上进行旋转和倾斜,以获得不同角度的观察。

5.信号检测和显示系统:信号检测和显示系统是扫描电镜的输出部分。

扫描电子束在扫描样品表面时与样品相互作用产生的信号,通过探测器收集并转化为电信号。

然后,被放大和处理后的信号通过显示器显示出来,形成样品表面的图像。

除了上述组成部分,扫描电镜还可以配备其他的功能模块,例如能量散射谱仪和电子背散射仪等,以提供更全面的样品表征能力。

总之,扫描电镜通过电子束在样品表面的扫描来实现显微观察,并通过信号的检测和处理,最终呈现出高分辨率的样品表面形貌。

它在材料科学、生物学、化学等领域具有广泛应用,为科学研究和工程技术提供了强大的工具。

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理

扫描电镜工作原理扫描电镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种高分辨率的显微镜,利用电子束与样品之间的相互作用来获取样品表面的形貌和结构信息。

它在材料科学、生物学、医学、纳米技术等领域具有广泛的应用。

一、扫描电镜的基本原理扫描电镜的基本原理是利用电子束与样品表面的相互作用来获得样品表面的形貌和结构信息。

其主要由电子光学系统、扫描控制系统和图象显示系统三部份组成。

1. 电子光学系统扫描电镜的电子光学系统主要包括电子枪、透镜系统和探测器。

电子枪通过加热阴极产生热电子,经过加速电压加速后形成高速电子束。

透镜系统包括聚焦透镜和扫描线圈,通过调节透镜电压和扫描线圈电压来控制电子束的聚焦和扫描。

探测器用于检测样品表面的信号并转换为电信号。

2. 扫描控制系统扫描控制系统主要由扫描线圈和样品台组成。

扫描线圈通过改变电流大小和方向来控制电子束的扫描范围和速度。

样品台用于固定和调节样品位置,保证样品与电子束之间的距离和角度的稳定。

3. 图象显示系统图象显示系统主要由信号放大器、数字转换器和显示器组成。

信号放大器用于放大探测器输出的电信号,数字转换器将摹拟信号转换为数字信号,最后通过显示器将数字信号转换为可视的图象。

二、扫描电镜的工作过程扫描电镜的工作过程主要包括样品制备、样品加载、电子束扫描和图象获取四个步骤。

1. 样品制备样品制备是扫描电镜工作的前提,样品的制备质量直接影响到最终的观察结果。

常见的样品制备方法包括金属薄膜沉积、切片制备、离子切割等。

2. 样品加载样品加载是将制备好的样品放置到扫描电镜的样品台上,并调整样品位置和角度,使得样品表面与电子束之间的距离和角度适合观察要求。

3. 电子束扫描电子束扫描是通过控制扫描线圈的电流和方向,使得电子束在样品表面上进行扫描。

扫描过程中,电子束与样品表面的相互作用会产生多种信号,如二次电子信号、反射电子信号、散射电子信号等。

4. 图象获取图象获取是将样品表面的信号转换为电信号,并通过信号放大器、数字转换器和显示器将其转换为可视的图象。

扫描电镜的工作原理和基本结构

扫描电镜的工作原理和基本结构

扫描电镜的基本结构和工作原理扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。

扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点,是进行样品表面研究的有效分析工具。

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多,一般约在1~30kV,实验时可根据被分析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约在20kV左右。

扫描电镜的图像放大倍数在一定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整,放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。

扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同,其作用仅仅是为了提供扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。

扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号,前者用于显示表面形貌衬度,后者用于显示原子序数衬度。

扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源及控制系统六大部分。

这一部分的实验内容可参照教材第十二章,并结合实验室现有的扫描电镜进行,在此不作详细介绍。

三、扫描电镜图像衬度观察1.样品制备扫描电镜的优点之一是样品制备简单,对于新鲜的金属断口样品不需要做任何处理,可以直接进行观察。

但在有些情况下需对样品进行必要的处理。

1) 样品表面附着有灰尘和油污,可用有机溶剂(乙醇或丙酮)在超声波清洗器中清洗。

2) 样品表面锈蚀或严重氧化,采用化学清洗或电解的方法处理。

清洗时可能会失去一些表面形貌特征的细节,操作过程中应该注意。

3) 对于不导电的样品,观察前需在表面喷镀一层导电金属或碳,镀膜厚度控制在5-10nm为宜。

2.表面形貌衬度观察二次电子信号来自于样品表面层5~l0nm,信号的强度对样品微区表面相对于入射束的取向非常敏感,随着样品表面相对于入射束的倾角增大,二次电子的产额增多。

  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

扫描电镜的基本结构和工作原理扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最后在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。

扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点,是进行样品表面研究的有效分析工具。

扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多,一般约在1~30kV,实验时可根据被分析样品的性质适当地选择,最常用的加速电压约在20kV左右。

扫描电镜的图像放大倍数在一定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整,放大倍数等于荧光屏上显示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。

扫描电镜的电子光学系统与透射电镜有所不同,其作用仅仅是为了提供扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。

扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号,前者用于显示表面形貌衬度,后者用于显示原子序数衬度。

扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示和记录系统、真空系统和电源及控制系统六大部分。

这一部分的实验内容可参照教材第十二章,并结合实验室现有的扫描电镜进行,在此不作详细介绍。

三、扫描电镜图像衬度观察1.样品制备扫描电镜的优点之一是样品制备简单,对于新鲜的金属断口样品不需要做任何处理,可以直接进行观察。

但在有些情况下需对样品进行必要的处理。

1) 样品表面附着有灰尘和油污,可用有机溶剂(乙醇或丙酮)在超声波清洗器中清洗。

2) 样品表面锈蚀或严重氧化,采用化学清洗或电解的方法处理。

清洗时可能会失去一些表面形貌特征的细节,操作过程中应该注意。

3) 对于不导电的样品,观察前需在表面喷镀一层导电金属或碳,镀膜厚度控制在5-10nm 为宜。

2.表面形貌衬度观察二次电子信号来自于样品表面层5~l0nm,信号的强度对样品微区表面相对于入射束的取向非常敏感,随着样品表面相对于入射束的倾角增大,二次电子的产额增多。

因此,二次电子像适合于显示表面形貌衬度。

二次电子像的分辨率较高,一般约在3~6nm。

其分辨率的高低主要取决于束斑直径,而实际上真正达到的分辨率与样品本身的性质、制备方法,以及电镜的操作条件如高匝、扫描速度、光强度、工作距离、样品的倾斜角等因素有关,在最理想的状态下,目前可达的最佳分辩率为lnm。

扫描电镜图像表面形貌衬度几乎可以用于显示任何样品表面的超微信息,其应用已渗透到许多科学研究领域,在失效分析、刑事案件侦破、病理诊断等技术部门也得到广泛应用。

在材料科学研究领域,表面形貌衬度在断口分析等方面显示有突出的优越性。

下面就以断口分析等方面的研究为例说明表面形貌衬度的应用。

利用试样或构件断口的二次电子像所显示的表面形貌特征,可以获得有关裂纹的起源、裂纹扩展的途径以及断裂方式等信息,根据断口的微观形貌特征可以分析裂纹萌生的原因、裂纹的扩展途径以及断裂机制。

图实5-1是比较常见的金属断口形貌二次电子像。

较典型的解理断口形貌如图实5-1a所示,在解理断口上存在有许多台阶。

在解理裂纹扩展过程中,台阶相互汇合形成河流花样,这是解理断裂的重要特征。

准解理断口的形貌特征见图实5—1b,准解理断口与解理断口有所不同,其断口中有许多弯曲的撕裂棱,河流花样由点状裂纹源向四周放射。

沿晶断口特征是晶粒表面形貌组成的冰糖状花样,见图实5—1c。

图5—1d显示的是韧窝断口的形貌,在断口上分布着许多微坑,在一些微坑的底部可以观察到夹杂物或第二相粒子。

由图实7—1e可以看出,疲劳裂纹扩展区断口存在一系列大致相互平行、略有弯曲的条纹,称为疲劳条纹,这是疲劳断口在扩展区的主要形貌特征。

图实5—1示出的具有不同形貌特征的断口,若按裂纹扩展途径分类,其中解理、准解理和韧窝型属于穿晶断裂,显然沿晶断口的裂纹扩展是沿晶粒表面进行的。

图实5—2是显示灰铸铁显微组织的二次电子像,基体为珠光体加少量铁素体,在基体上分布着较粗大的片状石墨。

与光学显微镜相比,利用扫描电镜表面形貌衬度显示材料的微观组织,具有分辨率高和放大倍数大的优点,适合于观察光学显微镜无法分辨的显微组织。

为了提高表面形貌衬度,在腐蚀试样时,腐蚀程度要比光学显微镜使用的金相试样适当地深一些。

表面形貌衬度还可用于显示表面外延生长层(如氧化膜、镀膜、磷化膜等)的结晶形态。

这类样品一般不需进行任何处理,可直接观察。

图实5-3是低碳钢板表面磷化膜的二次电子像,它清晰地显示了磷化膜的结晶形态。

3.原子序数衬度观察原子序数衬度是利用对样品表层微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号,如背散射电子、吸收电子等作为调制信号而形成的一种能反映微区化学成分差别的像衬度。

实验证明,在实验条件相同的情况下,背散射电子信号的强度随原子序数增大而增大。

在样品表层平均原子序数较大的区域,产生的背散射信号强度较高,背散射电子像中相应的区域显示较亮的衬度;而样品表层平均原子序数较小的区域则显示较暗的衬度。

由此可见,背散射电子像中不同区域衬度的差别,实际上反映了样品相应不同区域平均原子序数的差异,据此可定性分析样品微区的化学成分分布。

吸收电子像显示的原子序数衬度与背散射电子像相反,平均原子序数较大的区域图像衬度较暗,平均原子序数较小的区域显示较亮的图像衬度。

原子序数衬度适合于研究钢与合金的共晶组织,以及各种界面附近的元素扩散。

图实5—4是A1-Li合金铸态共晶组织的背散射电子像。

由图可见,基体a-A1固溶体由于其平均原子序数较大,产生背散射电子信号强度较高,显示较亮的图像衬度。

在基体中平行分布的针状相为铝锂化合物,因其平均原子序数小于基体而显示较暗的衬度。

在此顺便指出,由于背散射电子是被样品原子反射回来的入射电子,其能量较高,离开样品表面后沿直线轨迹运动,因此信号探测器只能检测到直接射向探头的背散射电子,有效收集立体角小,信号强度较低。

尤其是样品中背向探测器的那些区域产生的背散射电子,因无法到达探测器而不能被接收。

所以利用闪烁体计数器接收背散射电子信号时,只适合于表面平整的样品,实验前样品表面必须抛光而不需腐蚀。

二次电池(Rechargeable battery):充电电池又称为二次电池,是指在电池放电后可通过充电的方式使活性物质激活而继续使用的电池。

充电电池的充放电循环可达数千次到上万次,故其相对干电池而言更经济实用。

充电电池主要有“镍氢”、“镍镉”“铅酸”、“锂离子”等。

二次电池的自放电又称荷电保持能力,它是指在开路状态下,电池储存的电量在一定环境条件下的保持能力。

一般而言,自放电主要受制造工艺,材料,储存条件的影响自放电是衡量电池性能的主要参数之一。

一般而言,电池储存温度越低,自放电率也越低,但也应注意温度过低或过高均有可能造成电池损坏无法使用,BYD常规电池要求储存温度范围为-20~45。

电池充满电开路搁置一段时间后,一定程度的自放电属于正常现象。

IEC标准规定镍镉及镍氢电池充满电后,在温度为20度湿度为65%条件下,开路搁置28天,0.2C放电时间分别大于3小时和3小时15分即为达标。

与其它充电电池系统相比,含液体电解液太阳能电池的自放电率明显要低,在25下大约为10%/月。

二次锂电池的优势是什么?1. 高的能量密度2. 高的工作电压3. 无记忆效应4. 循环寿命长5. 无污染6. 重量轻7. 自放电小锂聚合物电池具有哪些优点?1. 无电池漏液问题,其电池内部不含液态电解液,使用胶态的固体.2. 可制成薄型电池:以3.6V400mAh的容量,其厚度可薄至0.5mm.3. 电池可设计成多种形状4. 电池可弯曲变形:高分子电池最大可弯曲900左右5. 可制成单颗高电压:液态电解质的电池仅能以数颗电池串联得到高电压,高分子电池由于本身无液体,可在单颗内做成多层组合来达到高电压.7. 容量将比同样大小的锂离子电池高出一倍IEC规定锂电池标准循环寿命测试为:电池以0.2C放至3.0V/支后1. 1C恒流恒压充电到4.2V截止电流20mA搁置1小时再以0.2C放电至3.0V(一个循环)反复循环500次后容量应在初容量的60%以上国家标准规定锂电池的标准荷电保持测试为(IEC无相关标准).电池在25摄氏度条件下以0.2C放至3.0/支后,以1C恒流恒压充电到4.2V,截止电流10mA,在温度为20+_5下储存28天后,再以0.2C放电至2.75V计算放电容量什么是二次电池的自放电不同类型电池的自放电率是多少?自放电又称荷电保持能力,它是指在开路状态下,电池储存的电量在一定环境条件下的保持能力.一般而言,自放电主要受制造工艺,材料,储存条件的影响自放电是衡量电池性能的主要参数之一.一般而言,电池储存温度越低,自放电率也越低,但也应注意温度过低或过高均有可能造成电池损坏无法使用,BYD常规电池要求储存温度范围为-20~45.电池充满电开路搁置一段时间后,一定程度的自放电属于正常现象.IEC标准规定镍镉及镍氢电池充满电后,在温度为20度湿度为65%条件下,开路搁置28天,0.2C放电时间分别大于3小时和3小时15分即为达标.与其它充电电池系统相比,含液体电解液太阳能电池的自放电率明显要低,在25下大约为10%/月.什么是电池的内阻怎样测量电池的内阻是指电池在工作时,电流流过电池内部所受到的阻力,一般分为交流内阻和直流内阻,由于充电电池内阻很小,测直流内阻时由于电极容量极化,产生极化内阻,故无法测出其真实值,而测其交流内阻可免除极化内阻的影响,得出真实的内值.交流内阻测试方法为:利用电池等效于一个有源电阻的特点,给电池一个1000HZ,50mA的恒定电流,对其电压采样整流滤波等一系列处理从而精确地测量其阻值.什么是电池的内压电池正常内压一般为多少?电池的内压是由于充放电过程中产生的气体所形成的压力.主要受电池材料制造工艺,结构等使用过程因素影响.一般电池内压均维持在正常水平,在过充或过放情况下,电池内压有可能会升高:如果复合反应的速度低于分解反应的速度,产生的气体来不及被消耗掉,就会造成电池内压升高.什么是内压测试?锂电池内压测试为:(UL标准)模拟电池在海拔高度为15240m的高空(低气压11.6kPa)下,检验电池是否漏液或发鼓.具体步骤:将电池1C充电恒流恒压充电到4.2V,截止电流10mA ,然后将其放在气压为11.6Kpa,温度为(20+_3)的低压箱中储存6小时,电池不会爆炸,起火,裂口,漏液.环境温度对电池性能有何影响?在所有的环境因素中,温度对电池的充放电性能影响最大,在电极/电解液界面上的电化学反应与环境温度有关,电极/电解液界面被视为电池的心脏.如果温度下降,电极的反应率也下降,假设电池电压保持恒定,放电电流降低,电池的功率输出也会下降.如果温度上升则相反,即电池输出功率会上升,温度也影响电解液的传送速度温度上升则加快,传送温度下降,传送减慢,电池充放电性能也会受到影响.但温度太高,超过45,会破坏电池内的化学平衡,导致副反应过充电的控制方法有哪些?为了防止电池过充,需要对充电终点进行控制,当电池充满时,会有一些特别的信息可利用来判断充电是否达到终点.一般有以下六种方法来防止电池被过充:1. 峰值电压控制:通过检测电池的峰值电压来判断充电的终点;2. dT/dt控制:通过检测电池峰值温度变化率来判断充电的终点;3. T控制:电池充满电时温度与环境温度之差会达到最大;4. -V控制:当电池充满电达到一峰值电压后,电压会下降一定的值5. 计时控制:通过设置一定的充电时间来控制充电终点,一般设定要充进130%标称容量所需的时间来控制;6. TCO控制:考虑电池的安全和特性应当避免高温(高温电池除外)充电,因此当电池温度升高60时应当停止充电.什么是过充电对电池性能有何影响?过充电是指电池经一定充电过程充满电后,再继续充电的行为.由于在设计时,负极容量比正极容量要高,因此,正极产生的气体透过隔膜纸与负极产生的镉复合.故一般情况下,电池的内压不会有明显升高,但如果充电电流过大,或充电时间过长,产生的氧气来不及被消耗,就可能造成内压升高,电池变形,漏液,等不良现象.同时,其电性能也会显着降低.什么是过放电对电池性能有何影响?电池放完内部储存的电量,电压达到一定值后,继续放电就会造成过放电,通常根据放电电流来确定放电截止电压.0.2C-2C放电一般设定1.0V/支,3C 以上如5C或10C放电设定为0.8V/支,电池过放可能会给电池带来灾难性的后果,特别是大电流过放,或反复过放对电池影响更大.一般而言,过放电会使电池内压升高,正负极活性物质可逆性受到破坏,即使充电也只能部分恢复,容量也会有明显衰减.不同容量的电池组合在一起使用会出现什么问题?如果将不同容量或新旧电池混在一起使用,有可能出现漏液,零电压等现象.这是由于充电过程中,容量差异导致充电时有些电池被过充,有些电池未充满电,放电时有容量高的电池未放完电,而容量低的则被过放.如此恶性循环,电池受到损害而漏液或低(零)电压.什么是电池的爆炸怎样预防电池爆炸?电池内的任何部分的固态物质瞬间排出,被推至离电池25cm以上的距离,称为爆炸.判别电池爆炸与否,采用下述条件实验.将一网罩住实验电池,电池居于正中,距网罩任何一边为25cm.网的密度为6-7根/cm,网线采用直径为0.25mm的软铝线,如果实验无固体部分通过网罩,证明该电池未发生爆炸.锂电池串联问题由于电池在生产过程中,从涂膜开始到成为成品要经过很多道工序.即使经过严格的检测程序,使每组电源的电压、电阻、容量一致,但使用一段时间,也会产生这样或那样的差异.如同一位母亲生的双胞胎,刚生下时可能长得一模一样,做为母亲都很难分辨.然而,在两个孩子不断成长时,就会产生这样或那样的差异锂动力电池也是这样.使用一段时间产生差异后,采用整体电压控制的方式是难以适用于锂动力电池的,如一个36V的电池堆,必须用10只电池串联.整体的充电控制电压是42V,而放电控制电压是26V.用整体电压控制方式,初始使用阶段由于电池一致性特别好,也许不会出现什么问题.在使用一段时间以后电池内阻和电压产生波动,形成不一致的状态,(不一致是绝对的,一致性是相对的)这种时候仍然使用整体电压控制是不能达到其目的的.例如10只电池放电时其中两只电池的电压在2.8V,四只电池的电压是3.2V,四只是3.4V,现在的整体电压是32V,我们让它继续放电一直工作到26V.这样,那两只2.8V的电池就低于2.6V 处于了过放状态.锂电池几次过放就等于报废.反之,用整体电压控制充电的方式进行充电,也会出现过充的状况.比如用上述10只电池当时的电压状态进行充电.整体电压达到42V时,那两只2.8V的电池处于\\\"饥饿\\\"的状态,而迅速吸收电量,就会超过4.2V,而过充的超过4.2V的电池,不仅由于电压过高产生报废,甚至还会发生危险,这就是锂动力电池的特性.锂离子电池的额定电压为3.6V(有的产品为3.7V).充满电时的终止充电电压与电池阳极材料有关:阳极材料为石墨的4.2V;阳极材料为焦炭的4.1V.不同阳极材料的内阻也不同,焦炭阳极的内阻略大,其放电曲线也略有差别,如图1所示.一般称为4.1V锂离子电池及4.2V锂离子电池.现在使用的大部分是4.2V的,锂离子电池的终止放电电压为2.5V~2.75V(电池厂给出工作电压范围或给出终止放电电压,各参数略有不同).低于终止放电电压继续放电称为过放,过放对电池会有损害.便携式电子产品以电池作为电源.随着便携式产品的迅猛发展,各种电池的用量大增,并且开发出许多新型电池.除大家较熟悉的高性能碱性电池、可充电的镍镉电池、镍氢电池外,还有近年来开发的锂电池.本文主要介绍有关锂电池的基本知识.这包括它的特性、主要参数、型号的意义、应用范围及使用注意事项等.锂是一种金属元素,其化学符号为Li(其英文名为lithium),是一种银白色、十分柔软、化学性能活泼的金属,在金属中是最轻的.它除了应用于原子能工业外,可制造特种合金、特种玻璃(电视机上用的荧光屏玻璃)及锂电池.在锂电池中它用作电池的阳极.锂电池也分成两大类:不可充电的及可充电的两类.不可充电的电池称为一次性电池,它只能将化学能一次性地转化为电能,不能将电能还原回化学能(或者还原性能极差).而可充电的电池称为二次性电池(也称为蓄电池).它能将电能转变成化学能储存起来,在使用时,再将化学能转换成电能,它是可逆的,如电能化学能锂电池的主要特点.灵巧型便携式电子产品要求尺寸孝重量轻,但电池的尺寸及重量与其它电子元器件相比往往是最大的及最重的.例如,想当年的“大哥大”是相当“粗大、笨重”,而今天的手机是如此的轻巧.其中电池的改进是起了重要作用的:过去是镍镉电池,现在是锂离子电池.锂电池的最大特点是比能量高.什么是比能量呢?比能量指的是单位重量或单位体积的能量.比能量用Wh/kg或Wh/L来表示.Wh是能量的单位,W是瓦、h 是小时;kg是千克(重量单位),L 是升(体积单位).这里举一个例来说明:5号镍镉电池的额定电压为12V,其容量为800mAh,则其能量为096Wh(12V×08Ah).同样尺寸的5号锂-二氧化锰电池的额定电压为3V,其容量为1200mAh,则其能量为36Wh.这两种电池的体积是相同的,则锂-二氧化锰电池的比能量是镍镉电池的375倍!一节5号镍镉电池约重23g,而一节5号锂-二氧化锰电池约重18g.一节锂-二氧化锰电池为3V,而两节镍镉电池才24V.所以采用锂电池时电池数量少(使便携式电子产品体积减孝重量减轻),并且电池的工作寿命长.另外,锂电池具有放电电压稳定、工作温度范围宽、自放电率低、储存寿命长、无记忆效应及无公害等优点.锂电池的缺点是价格昂贵,所以目前尚不能普遍应用,主要应用于掌上计算机、PDA、通信设备、照相机、卫星、导弹、鱼雷、仪器等.随着技术的发展、工艺的改进及生产量的增加,锂电池的价格将会不断地下降,应用上也会更普遍.不可充电的锂电池不可充电的锂电池有多种,目前常用的有锂-二氧化锰电池、锂—亚硫酰氯电池及锂和其它化合物电池.本文仅介绍前两种最常用的.1、锂-二氧化锰电池(Li MnO2)锂- 二氧化锰电池是一种以锂为阳极、以二氧化锰为阴极,并采用有机电解液的一次性电池.该电池的主要特点是电池电压高,额定电压为3V(是一般碱性电池的2 倍);终止放电电压为2V;比能量大(见上面举的例子);放电电压稳定可靠;有较好的储存性能(储存时间3年以上)、自放电率低(年自放电率≤2%);工作温度范围-20℃~+60℃.该电池可以做成不同的外形以满足不同要求,它有长方形、圆柱形及纽扣形(扣式).圆柱形的也有不同的直径及高度尺寸.这里列举大家较熟悉的1#(尺寸代码D)、2#(尺寸代码C)及5#(尺寸代码AA)电池的主要参数.CR表示为圆柱形锂-二氧化锰电池;五位数字中,前两位表示电池的直径,后三位表示带一位小数的高度.例如,CR14505,其直径为14mm,高度为505mm(这种型号是通用的).这里要指出的是不同工厂生产的同型号的电池其参数可能有些差别.另外,标准放电电流值是较小的,实际放电电流可以大于标准放电电流,并且连续放电及脉冲放电的允许放电电流也不同,由电池厂提供有关数据.例如,力兴电源公司生产的CR14505给出最大连续放电电流为1000mA,最大脉冲放电电流可达2500mA.照相机中用的锂电池多半是锂-二氧化锰电池.这里将照相机中常用的锂-二氧化锰电池列入表2,供参考.纽扣式(扣式)电池尺寸较小,其直径为125~245mm,高度为16~50mm.几种较常用的扣式电池如表3所示.CR为圆柱形锂-二氧化锰电池,后四位数字中前两位为电池的直径尺寸,后两位为带小数点的高度尺寸.例如,CR1220的直径为125mm(不包括小数点后的数),其高度为20mm.这种型号表示方法是国际通用的.这种扣式电池常用于时钟、计算器、电子记事本、照相机、助听器、电子游戏机、IC卡、备用电源等.2、锂-亚硫酰氯电池(Li SOCl2)锂- 亚硫酰氯电池是比能量最高的一种,目前可达到500Wh/kg或1000Wh/L的水平.它的额定电压是36V,以中等电流放电时具有极其平坦的34V放电特性(可在90%容量范围内平坦地放电,保持不大的变化).电池可以在-40℃~+85℃范围内工作,但在-40℃时的容量约为常温容量的50%.自放电率低(年自放电率≤1%)、储存寿命长达10年以上.以1#(尺寸代码D)镍镉电池与1#锂-亚硫酰氯电池的比能量作一个比较:1#镍镉电池的额定电压为12V,容量为5000mAh;1#锂-亚硫酰氯的额定电压为36V,容量为10000mAh,则后者的比能量比前者大6倍!应用注意事项上述两种锂电池是一次性电池,不可充电(充电时有危险!);电池正负极之间不可短路;不可以过大电流放电(超过最大放电电流放电);电池使用至终止放电电压时,应从电子产品中及时取出;用完的电池不可挤压、焚烧及拆卸;不可超过规定温度范围使用.由于锂电池的电压高于普通电池或镍镉电池,使用时不要搞错以免损坏电路.通过熟悉型号中的CR、ER就可以知道它的种类及额定电压.在购买新电池时,一定要按原来的型号来买,否则会影响电子产品性能.。

相关文档
最新文档