上虞晶盛单晶炉操作说明书
晶盛单晶炉作业指导书
晶盛单晶炉作业指导书一、概述晶盛单晶炉是一种用于单晶材料生长的设备，能够实现高温环境下的晶体生长。
本作业指导书旨在向操作人员提供使用和维护晶盛单晶炉所需的详细指导，以确保设备正常工作并生产出高质量的单晶材料。
二、设备操作1. 准备工作a. 检查设备的电源和供气情况，确保正常运作。
b. 确保操作人员穿戴好相应的防护装备，包括防护眼镜、耳塞等。
c. 检查设备各部件的连接和状态，确保无漏气、无破损等问题。
2. 加载样品a. 打开炉膛门，将要生长的单晶样品小心地放置在样品载台上。
注意避免样品与载台接触过程中的碰撞或损坏。
b. 关闭炉膛门，确保密封良好。
3. 设置工艺参数a. 根据所需单晶材料的要求，在操作界面上设置合适的温度、压力等工艺参数。
b. 按照设备使用手册的要求，设置晶盛单晶炉的升温速率、保温时间等参数。
4. 启动和监控a. 打开设备的电源，按照正常启动程序操作，确保炉膛加热系统和其他系统正常运行。
b. 在启动后的整个过程中，操作人员应密切监控温度、压力等参数的变化，并及时调整，以确保单晶材料的质量。
5. 结束和清理a. 单晶材料生长完成后，关闭电源，停止供气，并等待炉膛冷却到安全温度。
b. 打开炉膛门，小心地将生长好的单晶样品取出，放置在合适的容器中。
c. 清理炉膛内部的残留物，确保设备整洁。
三、设备维护1. 清洁a. 每次使用后，应及时清洁炉膛内部和其他部件，避免杂质对下一次生长工艺的影响。
b. 使用合适的清洁剂和工具进行清洁，注意安全和操作规范。
2. 检修和维护a. 晶盛单晶炉设备定期需要进行检修和维护，以确保各部件的正常工作。
b. 遵循设备使用手册中的维护计划，对设备的各个部件进行检查、清洁、更换等操作。
c. 发现设备问题时，应及时汇报并由专业人员进行维修。
3. 安全注意事项a. 操作人员应在经过必要的培训和指导后，才能使用晶盛单晶炉设备。
b. 在操作过程中，应严格按照设备的安全操作规程进行操作，以避免意外事故的发生。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明
1. 简介
本章节将对晶盛单晶炉进行简要的介绍，包括其主要功能和特点。
2. 安全须知
在使用晶盛单晶炉之前，请务必阅读并遵守以下安全须知，以确保您的人身安全和设备正常运行。
3. 设备结构与组成部分
这一章节详细描述了整个设备的结构，并列出了各个组成部分及其作用。
同时还提供了相应图示以便更好地理解。
4. 操作流程步骤
a) 准备工作：在开始操作之前需要做哪些准备工作？
b) 开机启动：如何正确开启电源、控制面板等？注意事项有哪些？
c) 参数设置：如何根据实际需求设置温度、时间等参数？
d) 样品放置与取出方法: 如何正确放置样品到加热台上？怎么才能够安全地从加热台上取下样品？
5. 故障排除指南
如果在使用过程中发生故障或异常情况时，该怎么办呢?这里给出一些建议性内容来帮助用户快速定位和解决问题。
6. 维护与保养
为了确保设备的长期稳定运行，本章节将介绍一些常见的维护与保养方法，并提供相应注意事项。
7. 常见问题及解答
这里了用户在使用晶盛单晶炉过程中经常遇到的一些问题，并给出详尽而简明扼要地回答。
希望能够对您有所帮助。
8. 相关附件
本文档涉及以下附件，请参阅：
- 晶盛单晶炉操作手册.pdf
9. 法律名词及注释
- 单晶：指具有完整、连贯结构并无缺口或杂质等不均匀性存在的物体。
- 熔融法：通过加热原料至其溶点以上使之变成流动状态后再逐渐凝固形成单个大颗粒（即“种子”）以制得高纯度金属产品或合金产品。
单晶炉技术说明书
6.2.籽晶旋转及提升机构的维修
籽晶旋转及提升机构也是单晶炉的关键部件，该部件运行的好坏直接影响单晶的生长。因此，也须重点维护。
卷轮箱是籽晶提升的核心，卷轮箱内的零件一般情况下不得随意拆除，必须拆除时，重新安装时必须保证软轴对中。软轴钢丝绳在使用中不准有死弯现象，并在每次开炉时检查钢丝绳是否烧损，如有烧损应及时修整或更换新的钢丝绳。
氩气纯度：>99.999%
氩气压力：0.05～0.2MPa
氩气流量：100L/min
氩气管道泄漏率：<0.01Pa/min
4.5.泵组系统
泵与主机之间设置有电动阀及除尘器，中间用波纹管连接，以减少振动传递。
泵与主机之间最好设隔断墙、并具备良好的废气排放及防污染工作环境。
5.炉子结构说明
单晶炉包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、炉体升降驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等组成。机架由型材焊接而成，是炉子的支撑装置。坩埚驱动装置安装在机架下部的平板上。主炉室固定机架的上平面上，翻板阀连接在主室与副室之间，籽晶提升机构安装在副室上。炉体升降驱动装置安装在机架后侧的立柱上。
3.15.坩埚升速范围：0～2mm/min0～2mm/min
3.16.坩埚快速：≥100mm/min≥100mm/min
3.17.坩埚转速范围：0～20R/min0～20R/min
3.18.籽晶提升有效行程：2900mm3000mm
3.19.坩埚升降有效行程：400mm400mm
3.20.主机占地面积：2500mmX1500mm2000mmX1500mm
晶盛单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z02（TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用）2009年05月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
单晶炉 SOP系统作业参数说明书
小。
Shutdown
这一步骤是在单晶生长过程完成之后的冷却期。
停炉
Backout
自动煅烧步骤可以去除杂质、清洁热场，这些杂
煅烧
质是在拉晶过程中积累在坩埚壁上的。
4
2.2 初始化设置 SOP 允许使用者输入单晶生长过程的开始信息。在其它生长过程中将会使用
这些参考信息。用这种方法，关于单晶炉的特殊信息就进入了控制柜的软件界面 来分辨炉子的类型。
系统作业参数（SOP）操作手册
目录
第一章 简介
1.1
关于这本手册
1.2
常用文件
1.2.1 菜单命令
1.2.2 参数屏幕
目录
表
1.2.3 命令条
举例
第二章 SOP 内容
2.1 SOP 表
2.2 初始化设置
2.3 抽真空/检漏
2.4 压力化/熔料
2.5 熔料步骤
2.6 稳定化 I
2.7 稳定化/熔接
2.8 引晶
6
2.4 压力化/熔料 在单晶生长过程中，压力化和熔料是两个不同的操作过程，在 SOP 中它们被
合在一起。 压力化——这是熔料前的步骤，在主真空阀打开时，氩气流量被设定到设定
值，压力控制回路起作用，调节流量阀的位置使炉内压力保持在特定的压力设定 值。
熔料——这一缓慢的熔化过程使硅料在坩埚中连续熔化。
5
2.3 抽真空/检漏 在单晶生长的自动操作中，抽真空和检漏是两个不同的步骤，在 SOP 中它们
被和在一起。 抽真空——这一步骤在单晶生长过程开始前抽出炉体中存在的空气。 检漏——在进入熔化过程前，自动关闭主炉室管路阀来监视炉内压力（单位为毫 托）数值的上升幅度来检测在真空密封性能。
单晶炉安全操作规范本
单晶炉安全操作规范本一、总则单晶炉是用于生产单晶材料的关键设备之一，为保障生产操作的安全性，保障生产人员的人身安全，特制定本安全操作规范本。
本规范适用于使用单晶炉进行操作的所有人员。
二、操作前准备1. 操作人员必须接受相关安全培训，并严格按照培训要求进行操作。
2. 操作人员必须佩戴符合要求的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、耐酸碱服装等。
3. 在操作前，应仔细查看单晶炉设备是否正常，如有异常应立即报告维修人员进行检修。
4. 操作人员禁止穿戴松散的衣物或裸露皮肤接近单晶炉。
三、操作过程1. 操作人员在操作单晶炉前，应首先确保电源已经断开，避免电器故障引发的安全事故。
2. 在操作过程中，严禁使用有火焰或火花的工具，防止因火源引发燃烧或爆炸事故。
3. 操作人员需要按照操作手册的要求进行操作，不得随意更改操作参数或步骤。
4. 当发生异常情况时，操作人员应立即停止操作，并向上级汇报，等待技术人员进行处理。
5. 操作人员在操作过程中应保持警觉，随时注意周围环境和设备状况，及时发现并排除潜在的安全隐患。
6. 在操作过程中，严禁将杂物放置或堆放在单晶炉周围，保持工作区域的整洁。
7. 操作人员在操作过程中，不得随意离开岗位，必要时需请假或寻找替班人员。
8. 操作人员在操作过程中如遇到可能影响安全的情况，如异常冒烟、异味等，应立即向上级报告并采取必要的紧急措施。
9. 操作结束后，应切断电源，清理工作区域，确保设备和周围环境无安全隐患。
四、紧急情况处理1. 当发生火灾时，操作人员应立即按照紧急预案进行处理，如启动灭火设备、疏散人员、报警等。
2. 当发生人员伤害事故时，其他人员应立即采取紧急救助措施，并同时呼叫救护车。
3. 当发生气体泄漏等化学品安全事故时，相关人员应立即采取紧急措施，如停止泄漏源、疏散人员、报警等。
五、设备维护1. 定期对单晶炉进行检修和维护，确保设备正常运行。
2. 维护时必须切断电源，进行必要的安全防护措施，并由专门人员进行操作。
单晶炉操作规范
单晶炉操作规范第一章-引言1.1本文档旨在规范单晶炉操作流程，确保操作安全、产品质量和生产效率的提高。
1.2单晶炉的操作人员必须熟悉本文档的内容，并在操作过程中严格遵守规定，否则产生的后果自负。
1.3本文档适用于所有单晶炉操作环节，包括预处理、晶体生长、退火和冷却等。
第二章-操作前准备2.1操作人员必须穿戴符合安全要求的防护装备，包括耐高温手套、护目镜和耐酸碱服装等。
2.2检查设备状态，确认温度计、计时器、传感器等仪器设备正常工作。
2.3检查炉内外温度，确保温度达到操作要求。
2.4检查流程控制系统，确认设定参数正确，并与实际参数一致。
2.5查看操作记录，了解前期操作情况，排除潜在安全隐患。
第三章-预处理3.1清洁单晶炉炉膛，去除残留物和污渍。
3.2检查和更换必要的密封件，确保炉内外密封完好。
3.3检查加热元件是否存在损坏和老化现象，如有发现，及时更换。
3.4预热单晶炉，升温到预定温度，并保持一段时间，为晶体生长做好准备。
第四章-晶体生长4.1准备晶体生长所需材料和试剂，确保纯度和数量符合要求。
4.2将材料和试剂按照比例混合，并搅拌均匀。
4.3将混合材料放入预热的单晶炉中，并设定生长参数，如温度、压力、速度等。
4.4开始晶体生长，监控生长过程的关键参数，并做好记录。
4.5定期检查晶体生长过程中的温度、压力和流量等参数，确保生长过程的稳定性。
第五章-退火5.1晶体生长结束后，将晶体放入退火炉中，设定适当的退火参数。
5.2确保退火炉内外的温度均匀分布，不得有明显的温度梯度。
5.3控制退火过程中的加热速度和保温时间，确保晶体内部结构的完善。
5.4定期检查退火过程的关键参数，如温度、压力和冷却速度等，确保退火效果。
第六章-冷却6.1退火结束后，将晶体从退火炉中取出，放置在冷却器中。
6.2控制冷却器的温度和冷却速度，避免晶体过快冷却引起热应力。
6.3冷却过程中，注意观察晶体表面是否出现裂纹或变色等异常情况。
晶盛单晶炉作业指导书
晶盛单晶炉作业指导书晶盛单晶炉是一种高温熔炼设备，主要用于实验室、研究机构以及一些小规模生产场所进行单晶材料的制备。
本作业指导书旨在为操作人员提供详细的操作步骤和注意事项，以确保安全可靠地操作晶盛单晶炉。
一、设备准备1. 确保晶盛单晶炉设备完好无损，并检查电源是否正常。
2. 将晶盛炉设备放置在通风良好、防火安全的场所，并确保离其他设备和易燃物距离足够。
3. 准备好所需的单晶生长设备、单晶种子、熔化样品以及其他实验所需材料和工具。
二、操作步骤1. 插入晶盛并连接电源。
首先将晶盛轻轻插入炉内，并确保与电源连接牢固。
注意避免触碰炉体，以免烫伤。
2. 打开电源开关，并调整炉体温度。
根据实验需求设定炉温，并通过控制面板进行温度调节。
3. 温度上升阶段。
将炉温缓慢升高，避免温差过大引起晶体结构异常。
4. 投入单晶种子并开始熔化。
待炉温达到要求后，将单晶种子放置在炉内，观察熔化过程，确保样品均匀熔融。
5. 单晶生长阶段。
根据所需单晶材料的要求，保持恒定的温度和熔融状态，稳定地进行单晶生长。
6. 单晶生长完成。
待单晶生长完毕，将电源关闭，并等待炉温降至安全温度后，方可取出单晶。
三、注意事项1. 操作前检查设备及电源连接是否正常，确保操作安全。
2. 晶盛单晶炉高温，操作人员应穿戴防热手套和保护眼镜，避免烫伤和灼伤。
3. 遵循操作规程，严格按照制定的温度曲线进行操作，避免过大的温差影响晶体质量。
4. 炉体外部温度高，禁止操作人员触碰，以免烫伤。
5. 单晶材料、单晶种子等操作材料应储存妥善，避免受潮或污染。
6. 操作过程中要保持炉外环境干燥洁净，避免灰尘和异物进入炉内影响单晶生长。
7. 操作结束后，及时关闭电源，并等待炉温降至安全温度后取出单晶。
四、常见故障处理1. 温度控制失常。
检查温度控制仪表及传感器是否正常，排除故障后重新操作。
2. 单晶材料熔融异常。
检查材料质量和配比是否准确，避免杂质或空气进入熔融材料，影响单晶质量。
单晶炉操作规范共31页word资料
热检冷检1.目的为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。
2.范围本作业指导书适用于拉晶岗位。
3.安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。
2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。
也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。
3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。
4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。
5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。
3.2进入泵房的安全注意事项1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。
2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。
3.机械泵皮带必须安装防护罩。
4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。
5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。
3.3拆装炉1.上班必须穿戴好劳保用品。
装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。
2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。
3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。
4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。
3.4乙醇、丙酮的使用1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。
2.严禁用内酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。
4.工艺流程5.4.1工艺流程图4.2过程控制4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。
泄漏率超出范围应报修。
手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。
单晶炉具体操作步骤
单晶炉具体操作步骤单晶炉具体操作步骤1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。
3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A. 作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。
c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。
d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。
f. 用毛巾将炉体从上到下一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。
B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却4.0小时（TDR-70A/B 型单晶炉）、5.0小时（JRDL-800型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门，主、付室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min），开始抽高真空，并作时间记录。
b. 待炉内压力到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
c. 检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
C. 取单晶和籽晶a. 热态检漏后，旋松付室小门4个螺丝，打开氩气阀门充氩气至常压，关闭氩气，旋开付室小门4个螺丝，打开付室小门。
单晶炉 SOP系统作业参数说明书
参数 步骤 时间 坩埚位置 坩埚旋转速率 功率组
说明 表示表中的单独步骤 每一个步骤要求的总时间（min）。 坩埚离加热器顶部的垂直距离（mm）。 坩埚旋转的速度，转/分（rpm）. 加热器功率（kw）。 氩气进入炉子的速率，标准升/分钟（splm）。 压力控制回路的压力设定点（Torr）
抽真空/检漏
自动进行抽气和用氩气进行清洗。生长过程中的
检漏步骤在抽真空之后关闭主真空阀，测量炉内
压力上升的速率来检测炉子的真空密封性能。
Pressurization/Meltdown 自动压力化步骤用来使炉子得到一个适合单晶
压力化/熔料
生长的特定压力。自动熔料过程使硅原料缓慢熔
化直到全熔。
Stablization I
在序列表中，参数数据在右侧从头到尾用实际数值表示。
图 2 序列表中的参数显示
2
1.2.3 命令条 命令条被列在几乎所有屏幕的左部，如下图，这些键通常被用来在 SOP 分菜
单和目录窗口之间切换，并随着程序中位置的不同而不同。（命令条必须在程序 被激活时才可用，即打开或新建文件时才可用，否则点击没有反应。）。
7
2.5 熔料步骤 这张表中设定的参数是为了熔化坩埚中的硅料的。
参数 步骤 时间 坩埚位置 功率
图 7 熔料步骤的 SOP 组
说明 表示表中的单独步骤。 每一个步骤的总时间（min）。 坩埚离加热器顶部的垂直距离（mm）。 加热器功率（kw）。
8
2.6 稳定化 I 在硅完全熔化之后，在晶体生长开始之前，熔液温度必须被稳定。这一步 通常在颈部生长前用来稳定炉内的熔液温度。
10
2.8 引晶 这一自动过程开始晶体的颈部生长，按 SOP 设置通过提高速度来减小籽晶直
上虞晶盛单晶炉操作说明书
上虞晶盛单晶炉操作说明书第⼀章单晶⽣长条件设备要求运⾏条件（以下以TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却⽔要求⽔压：炉⼦进出⽔压差要求介于 2~3 公⽄之间，真空泵进出⽔压差要求公⽄以上；炉⼦进⽔压⼒不可超过公⽄，炉⼦上冷却⽔安全阀设置压⼒ 6 公⽄；⽔流率：炉⼦和电源要求供⽔量不低于 250 升每分钟，单独电源要求供⽔量不低于20 升每分钟；⽔温：推荐进⽔温度18~24oC，最⼤不超过25oC；⽔质：弱碱性⽔，PH 值 6~9；氯离⼦含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软⽔为好。
连接⽅式：进出⽔管与炉⼦之间采⽤软连接，防⽌震动传递到炉⼦。
（2）压缩空⽓要求⽓压：≥7 公⽄；推荐在压缩空⽓⼊⼝处使⽤压⼒调节器。
流率：≥升每秒；汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：升。
（3）电⼒要求相制：3 相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。
配电柜应装有500V、400V 的空⽓开关，和380V/400A的隔离开关。
（4）炉⼦真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTo r r/hr。
（热场已经煅烧完全）⽇常维护（1）坩埚轴驱动部件的维护保养 a、经常检查坩埚轴的冷却⽔是否通畅，避免冷却不充分⽽损坏坩埚轴； b、每个⽉对下轴丝杠⾄少清理⼀次，每次应先清理⼲净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多）润滑油，然后上下快升降两次。
（2）提拉头的维护保养 a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重⽑刺等），如有损坏，⽴即更换；b、钢丝绳在保管、使⽤、维修、安装过程中不能造成任何死弯⾓，否则在运⾏过程中会引起抖动。
（3）⽔冷系统的维护保养a、每次加热前检查⽔流量是否充⾜，确保所有⽔路没有堵塞，⽔温传感器运⾏正常； b、出现⽔温或⽔量报警要查找原因及时处理。
（4）翻板阀的维护保养每次装炉前检查阀⼝密封圈是否完好，翻板阀操作是否轻松、⽆卡滞，底部挥发物是否打扫⼲净，如发现问题应及时排除。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明晶盛单晶炉操作说明一、设备概述晶盛单晶炉是用于单晶硅等材料的生长和烧结过程的设备。
其主要由加热炉体、温度控制系统、气体输送系统、真空系统、气氛控制系统等组成。
本操作说明介绍了晶盛单晶炉的详细操作流程和注意事项。
二、设备准备1.检查炉体外部是否有异物，清理并保持干净。
2.检查气源和真空系统是否正常运行，并确保供气压力和真空度符合要求。
3.检查温度控制系统是否正常运行，并进行相关校准。
三、设备启动1.打开电源开关，启动加热控制系统。
2.打开气源和真空系统的供气阀门，确保气源系统正常供气。
3.检查气源系统和真空系统的压力表，确保供气压力和真空度在正常范围内。
四、设备运行流程1.温度设定：根据工艺要求，在温度控制系统中设定所需的生长温度，并等待炉体温度达到设定温度。
2.晶体装载：将待生长晶体装入炉体，注意避免晶体受损和污染。
3.载台装载：将装有晶体的载台装入炉体，并关闭炉门。
4.生长过程监控：根据生长过程的要求，监控温度、气氛、真空度等参数的变化，并及时调整。
5.结晶结束：根据工艺要求，将生长过程中的温度、气氛等参数依次调整，完成结晶过程，并进行冷却。
6.取出晶体：待冷却结束后，打开炉门，将晶体取出，并注意避免晶体受损。
7.关闭系统：关闭炉体、气源和真空系统，清理设备并保持干净。
五、注意事项1.操作人员应具备相关技术知识和经验，按照操作规程进行操作。
2.在操作过程中，应注意安全，佩戴必要的个人防护装备。
3.操作前应检查设备的工作状态和参数，确保符合要求。
4.操作过程中如有异常或故障，应立即停止操作，并进行排查和维修。
附件：相关附件包括操作规程、设备维护记录等，请查阅。
法律名词及注释：1.《劳动法》：指中华人民共和国的劳动法律法规，保护劳动者的劳动权益。
2.《安全生产法》：指中华人民共和国的安全生产法律法规，保护人员的人身安全和设备的正常运行。
3.《环境保护法》：指中华人民共和国的环境保护法律法规，保护环境的整洁和生态的平衡。
晶盛单晶炉作业指导书
6.若发现上一炉生产过程不正常，须认真分 6.若发现上一炉生产过程不正常， 若发现上一炉生产过程不正常 析原因， 析原因，采取有效措施后方可继续开炉 7.准备好一次性乳胶手套、白手套、裁纸刀、 7.准备好一次性乳胶手套 白手套、裁纸刀、 准备好一次性乳胶手套、 口罩、 口罩、装料车等辅助用品 8.检查所备原料及母合金与生产指令单、随 8.检查所备原料及母合金与生产指令单 检查所备原料及母合金与生产指令单、 工单是否相符 9.用擦炉纸沾酒精把装料车擦干净 9.用擦炉纸沾酒精把装料车擦干净 10.把原料及母合金放置到装料车上 10.把原料及母合金放置到装料车上
6.检查钢丝绳是否完好可用。若有变硬、毛刺 6.检查钢丝绳是否完好可用。若有变硬、 检查钢丝绳是否完好可用 或其他损坏情况， 或其他损坏情况，应立即更换 7.在单晶生产随工单上填写相应数据后，将晶 7.在单晶生产随工单上填写相应数据后， 在单晶生产随工单上填写相应数据后 棒放置于晶棒冷却区。将埚底料、 棒放置于晶棒冷却区。将埚底料、提肩料等 标示好并妥善保存， 标示好并妥善保存，下班前交物料员
4.按住控制柜上“拉伸腔提升”按钮，直到副 4.按住控制柜上 拉伸腔提升”按钮， 按住控制柜上“ 室高出炉膛顶部，碰到中途上限位开关时， 室高出炉膛顶部，碰到中途上限位开关时，可 向左拨动“拉伸腔旋转”开关， 向左拨动“拉伸腔旋转”开关，自动旋开副炉 室。禁止手动推副室旋转 注意：取晶棒时注意不要碰到CCD 注意：取晶棒时注意不要碰到CCD 器件 5.在晶棒下方摆好存放架后，撤掉防护木板或安 5.在晶棒下方摆好存放架后 在晶棒下方摆好存放架后， 全托盘，然后下降晶棒， 全托盘，然后下降晶棒，严禁使晶棒接触到存 放架。 距离时， 放架。晶体离存放架底部还有 3-5mm 距离时， 暂停下降，观察触摸屏上显示的晶棒重量， 暂停下降，观察触摸屏上显示的晶棒重量，小 心的下降晶棒，待晶棒重量刚低于5kg时 心的下降晶棒，待晶棒重量刚低于5kg时，停止 下降晶棒。剪断细晶前，一人扶住存放架， 下降晶棒。剪断细晶前，一人扶住存放架，另 一人用手（戴耐高温手套）抓住重锤（ 一人用手（戴耐高温手套）抓住重锤（禁止抓 籽晶），用斜口钳剪断细晶，不能扭断！ ），用斜口钳剪断细晶 籽晶），用斜口钳剪断细晶，不能扭断！剪完 细晶后逐步释放重锤，控制好重锤旋转和晃动， 细晶后逐步释放重锤，控制好重锤旋转和晃动，
单晶炉操作说明(二)
单晶炉操作说明（二）引言概述：本文是关于单晶炉操作说明的第二部分，旨在更加详细地介绍单晶炉的操作方法和注意事项。
单晶炉是一种常用于材料科学研究和半导体制备的设备，正确的操作方法和注意事项对单晶生长的成功至关重要。
本文将从温度控制、气氛控制、单晶生长过程等方面进行阐述，以帮助操作人员更加熟练地操作单晶炉。
正文：一、温度控制1. 确保单晶炉的传感器和温度控制器正常工作，校准准确。
2. 在操作前，应将单晶炉预热至待定的温度，并保持一段时间，以确保温度的稳定性。
3. 设定单晶炉的温度范围和升温速率，根据实际需要调整。
4. 升温过程中，要时刻观察温度的变化并记录，避免温度超出设定范围。
5. 单晶生长完毕后，要缓慢降温，并注意避免温度快速改变引起的破裂等问题。
二、气氛控制1. 在单晶生长过程中，必须保持特定的气氛，一般通过气体流量控制进行调节。
2. 确保气源的纯度和稳定性，避免杂质对单晶生长的影响。
3. 设定气体流量和压力，根据单晶材料和实验要求进行调整。
4. 维持恒定的气氛流量，避免突然变化引起的温度波动。
5. 定期检查气体管道和阀门的密封情况，确保气氛控制的稳定性。
三、单晶生长过程1. 在放入单晶衬底前，要先清洁并处理好衬底表面，避免杂质对单晶生长的影响。
2. 控制好单晶衬底的位置和姿态，确保单晶生长的均匀性和完整性。
3. 合理选择单晶生长的时间和速度，根据实验要求进行调整。
4. 观察单晶生长的情况，及时调整温度和气氛控制参数，确保单晶质量的优良。
5. 单晶生长完毕后，要及时停止气氛流量和降温，避免产生不良的晶界和结构。
四、安全操作1. 操作人员必须熟悉单晶炉的使用方法和安全操作流程，并戴好相关的防护设备。
2. 在操作前要检查单晶炉的电气连接是否正常，避免发生电气问题导致的安全事故。
3. 在操作过程中要随时注意观察单晶炉的运行状态，如有异常及时报告并采取相应措施。
4. 操作人员在操作单晶炉时，要遵循相关的安全操作规程，严禁操作违规。
单晶炉操作说明
单晶炉操作说明单晶炉操作说明1.介绍本文档为单晶炉操作说明，旨在提供操作指南，确保正确、安全地操作单晶炉。
本文涵盖了单晶炉的基本知识、操作步骤以及相应的安全注意事项。
2.单晶炉基本知识2.1 单晶炉简介单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备，通过控制温度和环境条件来实现单晶材料的生长过程。
2.2 单晶炉组成单晶炉主要由以下组件组成：- 加热器：提供所需的加热能量，通常使用电阻加热方式。
- 容纳腔体：用于放置单晶材料和控制生长环境的空间。
- 控制系统：用于监测和控制加热器温度、生长环境等参数的设备。
3.操作步骤3.1 准备工作3.1.1 确保单晶炉设备处于正常工作状态。
3.1.2 检查加热器和温度控制系统的连接情况，确保正常工作。
3.1.3 准备好所需的单晶材料和其他辅助材料。
3.2 开始操作3.2.1 打开单晶炉的电源开关，启动加热器。
3.2.2 设置所需的生长温度，并等待温度达到设定值。
3.2.3 打开单晶材料放置腔体，并将单晶材料小心放置在适当的位置上。
3.2.4 根据需要，设置生长环境（如气体流量、气氛组成等）。
3.2.5 监测生长过程中的温度和其他关键参数，确保生长条件的稳定性。
3.2.6 根据所需的生长时间，保持稳定的生长条件，并监控生长过程。
4.安全注意事项4.1 在操作单晶炉前，确保已经了解并理解相关的安全规定和标准。
4.2 操作单晶炉时，穿戴适当的个人防护装备，如防护服、护目镜等。
4.3 注意避免在单晶炉周围堆放易燃和易爆物品。
4.4 在操作过程中，遵循设备制造商提供的操作指南和注意事项。
5.附件本文档涉及的附件包括：- 单晶炉设备操作手册- 单晶材料生长参数记录表6.法律名词及注释- 单晶材料：具有一个无缺陷晶体结构的材料，通常用于电子器件制造等领域。
- 加热器：一种用电阻加热的设备，用于提供加热能量。
晶盛单晶炉作业指导书课件
课程目标
01
掌握晶盛单晶炉的基本结构和工 作原理。
02
了解晶盛单晶炉的操作流程和注 意事项。
掌握晶盛单晶炉的维护和保养方 法。
03
了解晶盛单晶炉的常见故障及排 除方法。
04
课程大纲
01
02
03
04
05
第一部分：晶盛单晶炉 的基本结构和工作原理
第二部分：晶盛单晶炉 的操作流程和注意事项
VS
详细描述
炉内结渣会影响单晶棒的生长和质量，需 要及时进行处理。清理时，需关闭加热器 电源，等待炉筒冷却后，用刮刀清理掉残 渣。同时，还需检查原料是否干净，避免 再次出现类似问题。
晶棒异常问题
总结词
晶棒异常通常是由于原料纯度不够、加热器故障或炉内气体污染等原因引起，需要针对不同原因采取相应措施。
02
根据晶体生长方式的不同，单晶 炉可分为直拉法、悬浮法、提拉 法等不同类型。
单晶炉的工作原理
单晶炉通过高温加热和控制系统，将 多晶硅等原料熔化，然后通过提拉或 悬浮等方法生长单晶体。
直拉法是最常用的方法，其原理是将 硅原料放入坩埚中，通过加热将其熔 化，然后通过旋转和提升装置将硅液 中的单晶硅生长出来。
分析
以上两个案例都是因为违反安全操作规程或应急处理措施而导致事故的发生。我们应该引以为戒，严格 遵守各项安全规定和操作规程，确保生产安全。
06
课程总结与展望
课程总结
1
课程结构合理，内容丰富，涵盖了晶盛单晶炉的 基本原理、操作流程、设备维护等方面的知识。
2
重点突出，对晶盛单晶炉的作业流程进行了详细 讲解，并配以实例操作，使学员能够更好地掌握 操作技能。
单晶炉的主要部件
单晶炉操作流程
单晶炉操作流程一．清炉：（1）把拆出的石墨件在清扫间用砂纸打磨干净（2）把炉内用吸尘器吸干净并用毛刷把加热器清理干净（3）把炉后的排气管道拆开清理干净后用六角扳手拧好（4）把现场打扫干净开始装炉二．装炉：（1）装炉时应注意：《1》托杆是否拧紧《2》加热器与保温筒的距离是否相等《3》取光孔是否对准《4》三瓣埚是否有裂纹《5》石英坩埚是否有气泡和黑点（2）把托盘/三瓣埚和石英坩埚装入后开始装料（3）装料时应注意大小的搭配以免挂边和咂埚（4）装好料后把保温盖装好后把导流筒装入看料是否与导流筒接触（5）装好一切后把炉子盖好开始抽空三．抽空：（1）把主泵打开后等一会在缓慢开主室阀开始抽空（2）当炉内压力小于6pa时开始加热化料四．化料：（1）化料时把功率隔半小时加一次但电流不要超过2400A以免产生过流五．塌料：当料快融化完时会塌料塌料是应随着往下塌而升埚升以免硅溅出六．化完挥发：（1）所有的料到化完时把埚转开到2转温度降至上一炉引晶温度后切换到自控（2）把埚向上升30MM开始稳定七．稳定：（1）稳定时把籽晶下降到液面晶转打至8转烧灼5分钟（2）当温度稳定一小时后把埚上升到液面与导流筒2至3公分便可以开始吃光圈八．吃光圈：（1）当液面与籽晶接触时便慢慢开始吃光圈（2）如果液面与籽晶接触时出现光圈一下亮了随之会断掉说明温度高便降几个点待稳定后在试（3）如果液面与籽晶接触时出现光圈周围越长大了说明温度低了便在此的基础上加几个点待稳定后试（4）如果温度合适便会看到4个亮点便可以开始引晶九．引晶：（1）引晶时把埚转打至7转（2）拉速调至0。
3至6。
5拉速不要归零也不要太大而缓慢拉起（3）保持直径在3——5MM（4）当晶引至150MM时开始放肩十．放肩：（1）放肩时把拉速调至0。
4——0。
7开始放（2）在放肩的同时便缓慢降温以达到转肩的标准十一。
转肩：（1）当肩放至145MM时开始转肩（2）转肩时将拉速调至1。
5/2。
单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z03（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）2010年06月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。
晶盛炉台操作规程(3篇)
第1篇一、作业前的准备1. 进入车间前，必须穿戴好劳动保护用品，包括安全帽、防护面罩、口罩、工作服和劳保鞋，确保个人安全。
2. 严禁酒后、患病（需办理请假手续）、带情绪上岗，违反劳动纪律，迟到、早退、无故不上班、不请假者按旷工处理。
3. 接班后，认真检查工作岗位设备的安全防护装置是否正常，一旦发现异常，应及时上报班长、炉长。
4. 上岗前，应对所属炉台供电系统、水冷系统、液压（或气压）系统、电极系统、炉壳、出铁口以及捣炉机等辅助设备进行检查，以确认是否正常。
二、作业中的安全要求1. 开捣炉机时，要做到“一看二慢三行”，不开快车，严禁捣炉机、大铲碰撞电极，以免造成电极事故或热停炉现象。
2. 及时压放电极，确保电极工作端长度，放好电极后，要多观察电极烧结情况，防止电极硬断、软断事故发生。
3. 冶炼操作过程中，应及时捣掉电极上的粘料，定期清理铜瓦根部的电极糊。
4. 加料、捣炉作业完毕，必须及时关闭炉门，确保炉内安全。
5. 捣炉机使用安全：5.1 使用捣炉机时，严禁将方向机打死；同时严禁捣炉杆在捣炉时碰撞电极、铜瓦，及其他炉体设备，以免造成电极事故或设备事故。
5.2 捣炉机运行时，要观察捣炉机运行区域的其他作业人员，严禁任何无关人员进入，防止发生意外。
6. 定期检查炉台设备，确保其正常运行。
如发现异常，应立即停止操作，并及时上报班长、炉长。
7. 在操作过程中，如遇紧急情况，应立即采取应急措施，确保人员安全。
三、注意事项1. 操作人员应熟悉晶盛炉台的操作规程和设备性能，确保操作过程中安全、高效。
2. 操作人员应具备一定的应急处置能力，以便在紧急情况下迅速、正确地处理问题。
3. 操作人员应加强团队合作，互相监督，共同维护生产安全。
4. 定期对操作人员进行安全教育培训，提高其安全意识和操作技能。
5. 严格执行各项安全操作规程，确保生产过程安全、稳定、高效。
四、总结晶盛炉台操作规程是保障生产安全的重要措施。
操作人员应严格遵守规程，确保自身和他人的安全。
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（4）清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌；
（5）洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内，如将油洒到地面上要及时打扫干净。
拆装炉
（1）上班必须穿戴好劳保用品。拆装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品；
（2）拆炉取晶体时，注意不要被烫伤，划伤、碰伤；
（5）检查钢丝绳是否完好可用。若有变硬、毛刺或其他损坏情况，应立即更换；
（6）在单晶生产随工单上填写相应数据后，将晶体交付给收晶体人员。将锅底料、提渣盖等标示好并妥善保存，交给原料管理员。
拆热场
（1）按住控制柜上“拉伸腔提升”按钮升起炉盖，直到拉伸腔上限位开关动作时松提升按钮,向左旋开炉
盖至压紧炉盖外旋限位开关。外旋限位开关没有压紧将无法提升炉筒；
（4）所有炉子内壁打扫干净，对上排气热场尤其要加强炉壁清扫。不能留有任何挥发物。包括副室炉筒、
籽晶夹头及重锤、两个抽气口、CCD窗口、测取光孔玻璃、主观察窗及其防护玻璃；镀金玻璃朝向
炉内一侧禁止擦拭，否则镀金层马上被损坏。不小心擦拭过的，应立即更换；
（5）在进行以上打扫时，必要时可以使用砂纸打磨。凡是砂纸打磨过的地方，要将砂纸上掉下的金刚砂颗粒用吸尘泵吸干净；
（3）晶体取出后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部分剪掉。
乙醇、丙酮的使用
（1）工业乙醇有害，使用时，要注意防止乙醇溅入眼内，禁止饮用工业乙醇；
（2）严禁用丙酮擦拭密封圈！
（3）四氯化碳可用于清洗油污，但具有强挥发性和腐蚀性，使用时要戴好口罩，保持环境通风。
注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。
（6）打开防爆阀，让抽气管道中氧化物燃烧，清除残余氧化物；
注意：打开防爆阀时手和眼睛应该与防爆阀保持一定距离。
（7）清除主抽气管道内的氧化物；
（8）最后用纱布沾无水乙醇擦干净炉内壁。
装热场
按顺序装好炉内石墨件，上升或下降坩埚轴，使石墨坩埚顶部与加热器平齐，在控制柜操作屏上校正
坩埚零位。使用万用表欧姆档检查加热器是否接地。装热场时，进行如下检查，并调整正常：
（8）线度尺寸<3mm的黑点，数量≥5个
（9）线度尺寸<3mm的气泡、黑点，合计数量≥5个
注黑点：处于坩埚内壁，液面淹没线以下的有色杂质点；
气泡：处于坩埚内壁，液面淹没线以下，夹在坩埚壁内的空洞。
高纯石墨要求
（1）外观检查
结构致密均匀，无裂纹，无空洞等外观缺陷。
（2）纯度要求
必须是高纯石墨，纯度>%；
装炉
装炉前检查
（1）仔细察看上炉生产记录，确认运转正常，设备完好；
（2）检查设备传动润滑部件是否正常；
（3）检查导向定位部件是否安装牢固，炉室提升环是否紧固；
（4）确认车间供电正常；
（5）检查各冷却水路是否畅通，水温、水压、流量是否正常；
（6）若发现上一炉生产过程不正常，须认真分析原因，采取有效措施后方可继续开炉；
相制：3相AC380V(±10%)/50Hz；功率：≥192KVA。
配电柜应装有500V、400V的空气开关，和380V/400A的隔离开关。
（4）炉子真空要求空炉真空度：≤15mTorr；空炉泄漏率：≤30mTorr/hr；带热场泄漏率：≤50mTorr/hr。（热场已经煅烧完全）
日常维护
（1）坩埚轴驱动部件的维护保养a、经常检查坩埚轴的冷却水是否通畅，避免冷却不充分而损坏坩埚轴；b、每个月对下轴丝杠至少清理一次，每次应先清理干净丝杠和导轨上的油污，加上适当（不可太多）润滑油，然后上下快升降两次。
（2）提拉头的维护保养a、每次开炉后，检查钢丝绳是否损坏（包括变硬、缠松、有严重毛刺等），如有损坏，立即更换；b、钢丝绳在保管、使用、维修、安装过程中不能造成任何死弯角，否则在运行过程中会引起抖动。
（3）水冷系统的维护保养a、每次加热前检查水流量是否充足，确保所有水路没有堵塞，水温传感器运行正常；b、出现水温或水量报警要查找原因及时处理。
（2）戴上高温隔热手套，将导流筒、保温盖取出冷却。将废石英、锅底料取出，然后将三瓣埚、石墨埚托取出冷却。最后按住控制柜上“炉筒提升”按钮，将炉筒升起至超出导向杆上端时松开提升按钮，向右旋开炉筒。按“炉筒下降”按钮将主炉室降至离地面约200mm。
注意：（1）在升炉筒时要保护好红外测温仪和炉筒冷却水管，防止碰坏拉伤；
第二章单晶生长标准流程
拆炉
取晶体
（1）停炉小时后进行热检漏并作记录，泄漏率应<20mTorr/hr，泄漏不合格应报修；
操作步骤：自动停炉工艺下系统会自动热检漏；需手动热检漏时，先关闭氩气，抽极限真空后在操作界面
上按【工艺选择】按钮，出现“工艺选择（返回）”界面，在此界面下按【检漏】即可。
（2）停炉5小时后，才能充气拆炉。将晶转设定为，待晶转下降到后再停止晶转，禁止直接将晶转设为零！穿戴好劳保防护用品，认真阅读交接班记录，准备好拆炉工具。若炉子处于负压状态，打开V4阀充氩气至炉膛正压。充气完成后，必须查看晶体完全提升到副室后方可提升副室；注意：在“氩气真空”界面上正确设置“快充阀自动关闭压力”为大气压，炉内压力到正压后V4阀将自
（8）每10炉更换新籽晶；真空差的炉子的籽晶要提前2炉更换。
石英坩埚要求
有下列特征之一者，为不合格，不能使用：
（1）磕碰损伤（位于坩埚上沿的微小碰损除外）
（2）裂纹
（3）严重划痕
（4）气泡处于内壁，并且已经开裂
（5）直径≥3mm的气泡，数量≥1个
（6）直径<3mm的气泡，数量≥5个
（7）线度尺寸≥3mm的黑点，数量≥1个
（7）准备好一次性手套、线手套、剪刀、口罩、装料车等辅助用品；
（8）检查所备多晶料及母合金与报告单是否相符；
（9）用擦炉纸沾酒精把装料车擦干净。
检查和安装石英坩埚
（1）打开石英坩埚包装，戴好薄膜手套把埚举起对准光源检查石英坩埚无问题；
（2）将石英坩埚放入石墨坩埚内，过程中不能有任何磕碰发生，尽量安装水平；
注意：取单晶时注意不要碰坏CCD器件！
（4）在晶体下方摆好取晶框后，撤掉防护木板或托晶盘，然后下降晶体，严禁使晶体接触到取晶框。晶体离取晶框底部还有3-5mm距离时，暂停下降，观察触摸屏上显示的晶体重量，小心的下降晶体，待晶体重量刚低于5kg时，停止下降晶体。剪断细晶前，一人扶住取晶框，另一人用手抓住重锤或连杆（禁止抓籽晶），用斜口钳剪断细晶，不能扭断！剪完细晶后逐步释放重锤，控制好重锤旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤；
c、中度及较大块料（直径小于70mm）码放在坩埚中部及中上部，并注意使之对称放置，料块太大时，需要拍开，选择两块同样大小的料块，双手握实后互相拍击，使之碎开。拍时避免崩出的料打到眼睛或石英埚，坩埚上部要码放成圆锥形，每块料必须垒实，保证不能滑落，上部料块应选择较大块和大块。埚中料块不宜装的太高，衡量的标准是：最上面一层的料块，其重心处于坩埚平口之下（装在导流筒平口内的几块料除外）；d、装上部的料块时，除最末一层外，仍可轻轻靠在埚壁上，但应注意几点：
（1）加热器石墨螺钉先拧松再拧紧，防止高温烧结；
（2）托杆与下轴连接是否稳固、对中；
（3）确认石墨埚托及三瓣埚是否完好可用；
（4）托杆与石墨埚托、石墨埚托与三瓣埚托之间的止口连接必须吻合良好，做到旋转滑动自如；
（5）检查主炉室“O”形圈的位置及清洁度，用纱布沾无水乙醇清洁“O”形圈及主炉室下法兰密封面；
（2）已安装磁场的单晶炉，要注意不要带磁卡（银行卡、二代身份证等）靠近。一定不能拿铁器等导磁
性工具，否则强大的磁场会造成人身伤害和设备损坏；
（3）严禁在车间内打闹，上班时要来自绝擅离职守、睡觉等现象。泵房的安全事项
（1）确保泵房照明，如照明灯损坏，要及时更换；
（2）确保泵房地面干燥情清洁，定期清扫泵房；
第一章单晶生长条件
设备要求
运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）
（1）冷却水要求
水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求公斤以上；
炉子进水压力不可超过公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；
辅料要求
籽晶要求
（1）籽晶必须严格按要求每炉拆下进行检查,要求无伤痕、无裂纹；
（2）籽晶使用炉数必须记录清楚，不清楚的，更换，然后重开记录；
（3）吊渣使用废旧籽晶，吊渣后换上可使用的籽晶，吊料和拉晶，必须有细颈，拉晶细颈直径要求3-5mm；
吊料细颈直径要求5-7mm；
（4）拉晶过程，要经常（频率不低于1次/10分钟）观察液面、晶体等炉内状况，确保坩埚边缘没有结晶，
（2）以上操作过程中，要注意人身安全和设备安全！只要存在压砸的可能，禁止人体进入该空间。
打扫炉内卫生
（1）拿石墨器件的时候必须戴上线手套，严禁赤手接触，使用吸尘管道时，要注意防止管道被烫化在石墨件上。石墨件较烫时，不能戴薄膜手套；
（2）清除取晶时可能飞溅在隔离阀装置上的脏物和碎片；
（3）所有石墨件必须彻底打扫干净。干净的标准是：容易取出的石墨部件：导流筒、上下保温盖、上保温筒、三瓣埚、石墨埚托，必须打扫到全部露出石墨的本色，特别是不能留有黄色的挥发物。不容易取出的石墨件：加热器、主保温筒、炉底护盘等等，在大清的时候打扫，仍然要求打扫出石墨的本色。打扫石墨件时，可用百洁布；
水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。
（2）压缩空气要求
气压：≥7公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。
流率：≥升每秒；
汽缸容积：主真空球阀：2升；辅助真空球阀：升。