高精度二维转台指向误差分析

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机载二维干涉仪测向误差分析

机载二维干涉仪测向误差分析
中 图分 类 号 : N9 T 5 文献标识码 : A
Er o a y i f Di e to n i g f rAi b r e r r An l ss o r c i n Fi d n o r o n
Two. m e i n Pha e I t r e o e e . Di nso s n e f r m tr
机 载 二维 干 涉仪 测 向误 差分 析
毛 虎 , 建 波 , 宏坤 杨 邱
10 2 ) 3 0 2
( 军航空大 学 , 春 空 长

要: 以相 位 干 涉 仪 测 向原 理 为 基 础 , 机 载 二 维 干 涉 仪 测 向误 差 产 生 原 因 进 行 了详 细 的 阐 述 。分 析 了 内部 噪 声 造 成 对
的 相 位 测 量 误 差 和 载 机 倾斜 造 成 的基 线 位 置 变 化 对 测 向结 果 的影 响 。 虑 电 波传 输 的 多径 效 应 , 讨 了二 径 信 道 和 Ri 信 道 考 探 c e 下 的 测 向误 差 。针 对仿 真结 果 中各 类 误 差 的变 化 规 律 , 揖 具 体 改 进 思 路 和 解 决 方 法 。 关键词 : 相位 干 涉 仪 , 向误 差 , 测 多径 效 应
引 言
干 涉 仪测 向具 有 适用 天 线 阵列 形式 多样 、 向 测 精 度高 、 算法 简单 等优点 , 电子 战 中应 用最 为广 泛 是 的测 向体制 。虽然 近 2 O年来发 展 的阵列测 向 , 测 其
由于 干涉 仪 测 向要 用 到 相位 差 、 率和 基线 长 频
度 等 参数 信息 , 向结果 不 可避 免 的要受 到参数 测 测 量 误 差 的影 响E6, 外 , s]另 - 信号 在 传输 过 程 中的多 径

高精度导航系统的误差分析与补偿

高精度导航系统的误差分析与补偿

高精度导航系统的误差分析与补偿在当今科技飞速发展的时代,高精度导航系统在各个领域都发挥着至关重要的作用,从航空航天、航海运输到日常出行,其精准的定位和导航能力为人们的生活和工作带来了极大的便利。

然而,要实现真正高精度的导航并非易事,其中存在着多种误差因素,这些误差可能会导致导航结果的偏差,甚至影响到相关任务的成败。

因此,对高精度导航系统的误差进行深入分析,并采取有效的补偿措施,具有重要的现实意义。

一、高精度导航系统的误差来源(一)卫星信号误差卫星导航系统是高精度导航的重要组成部分,但其信号在传播过程中会受到多种因素的影响。

例如,大气折射会使卫星信号的传播速度发生变化,导致测量误差;卫星钟差和星历误差也会对定位精度产生影响。

(二)接收机误差接收机本身的性能和质量也会引入误差。

接收机的热噪声、量化误差以及通道间的不一致性等,都可能导致测量结果的不准确。

(三)多路径效应当卫星信号在传播过程中遇到障碍物时,会产生反射和散射,接收机可能会同时接收到直射信号和多个反射信号,从而造成多路径效应。

这会使测量值产生偏差,尤其在城市峡谷等复杂环境中更为明显。

(四)惯性导航系统误差惯性导航系统依靠测量加速度和角速度来推算位置和姿态,但传感器的测量误差会随着时间积累,导致导航精度逐渐下降。

(五)地球物理因素地球的自转、重力场异常等地球物理现象也会对导航系统产生影响。

例如,地球的自转速度并非恒定不变,这会影响到导航系统的参考坐标系。

二、误差分析方法为了准确评估和理解这些误差的影响,需要采用一系列的分析方法。

(一)统计学方法通过对大量的测量数据进行统计分析,计算误差的均值、方差、标准差等统计量,以评估误差的大小和分布特征。

(二)频谱分析将误差信号转换到频域进行分析,可以揭示误差的频率成分,帮助我们了解误差的来源和变化规律。

(三)蒙特卡罗模拟通过随机模拟的方式生成大量的可能情况,以评估误差在不同条件下对导航系统性能的影响。

(四)模型分析建立导航系统的数学模型,通过理论推导和分析,研究误差的传播和积累规律。

高精密转台技术指标

高精密转台技术指标

高精密转台技术指标转台技术在现代工业和科研领域中扮演着重要的角色,尤其在精密加工、测量和实验研究等领域中的应用越来越广泛。

为了满足不同应用需求,高精密转台技术的提升和发展成为了研究的热点。

本文将介绍高精密转台技术的几个关键指标,以期帮助读者更好地了解和选择适合自己需求的转台设备。

首先,转台的定位精度是衡量转台技术性能的一个重要指标。

定位精度是指转台在旋转过程中的位置控制误差,一般以角度为单位。

高精密转台的定位精度要求较高,一般在几个角秒到几个角分的范围内。

这要求转台具备稳定的控制系统、高精度的编码器和准确的位置反馈机制。

其次,转台的重复定位精度也是一个重要的技术指标。

重复定位精度是指转台在多次旋转中,返回同一个位置的能力。

高精密转台的重复定位精度要求较高,一般在几个角秒的范围内。

这要求转台具备良好的稳定性和抗干扰性能,以及高精度的位置反馈和控制算法。

另外,转台的速度范围和速度稳定性也是需要考虑的指标。

转台的速度范围是指转台能够达到的最大旋转速度和最小旋转速度之间的范围。

速度稳定性是指转台在旋转过程中能够保持稳定的旋转速度。

高精密转台一般要求有较宽的速度范围和较高的速度稳定性,以适应不同的应用需求。

此外,转台的载荷能力也是一个重要的指标。

载荷能力是指转台能够承受的最大负荷,一般以质量为单位。

高精密转台要求具备较高的载荷能力,可以承受较大的工件或测量装置。

这要求转台具备坚固的结构设计和稳定的驱动系统。

最后,转台的机械稳定性和抗干扰性也是需要关注的指标。

机械稳定性是指转台在旋转过程中能够保持稳定的结构和运动状态。

抗干扰性是指转台能够抵抗外界震动、振动和其他干扰因素的能力。

高精密转台要求具备较好的机械稳定性和抗干扰性,以确保准确的定位和稳定的运动。

综上所述,高精密转台技术指标包括定位精度、重复定位精度、速度范围和速度稳定性、载荷能力以及机械稳定性和抗干扰性。

在选择转台设备时,需要根据具体应用需求来衡量这些指标,并选择适合的转台设备。

基于数字式二维自准直仪的转台角位置误差校准时的影响因素分析

基于数字式二维自准直仪的转台角位置误差校准时的影响因素分析

重 要 环节

SM
R)

激 光 跟 踪 仪 发 射 的 激光 经


标反 射镜返 回 到


激 光 跟踪 仪



标 反 射 镜跟 随转 台 转 动 时



HJ

仪 可 跟 随 进 行连 续 测 量


测 量得到 的 数据经过拟 合计


前转 台 角 位 置 误 差 校 准 的 主 要 方 法 有


影响 因 素

中 图 分类号
T B9 2 2 文
献标 识 码
A 文 章 编 号

6 7 4


79 5

20







00 2 0

03


言 体 来 进 行 测 量


测 量 方法 同


准 直 仪法类 似

转台是 位置

种 专 用 测 试设备



备有

二 等 或三 等 正

23
面棱 体


分 辨力 不 低 于



的 在 塔 差
则会 出现转 台 转 动 中

棱 体 工作面 没有 办

自 准 直仪
以 及 配 套 的 工 装 等 法 反 射


准直 仪 发 出 的 平 行 光

金刚石飞切二维转鼓加工精密转台定位精度分析

金刚石飞切二维转鼓加工精密转台定位精度分析

tr n h r li g n ' a p i t n a d t e p p lr a in Th l a p e iin f i g c t n wo dme s n ld u p o e sn emie t e ma ma i g p l a i n h o u a i t . s c o z o e ut r cs l n u t g t - i n i a r m r c s ig, r o y i o b c u e o h h p ft e d u i c mp e n h c u a y r q ie n s hg e a s ft e s a e o h r m s o lx a d t e a c r c e ur me ti ih,i o ain e up n s p st nn c u a y o t lc t q ime t o ii ig a c r c f s o o
q ai ,t i a t l a p id t ep e iin p st n n n lssf ra ay i p e i o u n a l ,e t b i e h o i o ig p e i o — u l y h s ri e p l h rcso o i o i g a ay i o n lss r cs n t r tb e sa l h d t ep st n n rcs n a t c e i i s i i n l s d 1 Th o r ia e c n e so ft r tb e i c l ltd b i lt n o h r cs n t r tb e r t t n a c r c ,fo ay i mo e s . e c o dn t o v r in o u n a l s ac a e y smua i ft e p e i o u n a l o a i c u a y r m u o i o

二维数控精密转台精度计算与分析

二维数控精密转台精度计算与分析

二维数控精密转台精度计算与分析作者:周锐琦史国权胡明亮来源:《中国新技术新产品》2014年第04期摘要:根据二维转鼓的生产要求和提出的技术指标,对二维数控精密转台进行了精度计算和分析。

介绍了对转台精度起主要影响作用的各项误差,得到二维数控精密转台的指向误差,并对指向误差进行分配,得出二维数控精密转台三类误差指标。

关键词:二维数控;转台精度;指向误差中图分类号:V216 文献标识码:A1 概述针对非规则(二维)光学转鼓在扫描探测器中的广泛应用和产量需求,自主研发能够和Ultraform250超精密切削机床配套使用的二维数控精密转台夹具。

由于二维数控精密转台是针对非规则光学转鼓的高效、高质量飞切加工的,在加工过程中,产生加工误差的因素很多。

如果对转鼓规定一系列技术指标,那么转台的有关误差对转鼓的技术指标的影响是很大的。

因此,要尽可能设法减少这些误差,所占的比重越大,留给补偿其他各类误差的空间就越小。

其结果不是降低零件的加工精度,就是增加加工难度。

根据所生产转鼓的技术指标:平行度误差15角秒,倾角误差20角秒,转角误差20角秒,对转台结构的精度进行逆推,经过计算得出转台各主要误差指标。

2 转台的系统误差由于转台的结构是二维数控工艺装置夹具结构,对静态条件下的转台性能指标要求比较高,下面对转台精度起主要影响作用的各项误差给出定义:回转误差是指各轴在进行转动时,轴端的运动轨迹所形成的包络线摆动范围的最小圆锥角度。

它能够直接影响轴的空间指向。

垂直度误差是指转台空间直角坐标系中两轴轴线之间的实际空间夹角与90°角的差值。

位置误差是指在静止状态下,转台的实际位置和理想位置的差值。

3 二维数控精密转台的指向误差3.1 指向误差的定义(见图1)转台的指向误差指的是在横滚轴上确定一个单位向量λ0,当转台转动一定的角度后,转台的理想指向λ1与实际指向λ2之间的角度偏差。

指向误差实际上是一种空间角度误差,能够直接反应出转台的定位精度。

提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

收稿日期:2020-12-16提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究徐品烈1,田利忠2,种宝春1,常亮1,赵玉民1,孙莉莉1(1.中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;2.中国电科电子装备集团有限公司,北京100176)摘要:通过测量二维工作台XY 轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精度。

关键词:水平分割法;误差补偿;定位精度中图分类号:TH161+.2文献标志码:B文章编号:1004-4507(2021)01-0038-04Study on Error Compensation Method to Improve PositioningPrecision of 2D StageXU Pinlie 1,TIAN Lizhong 2,CHONG Baochun 1,CHANG Liang 1,ZHAO Yumin 1,SUN Lili 1(1.The 45th Research Institute of CETC,Beijing 100176,China ;2.CETC Electronics Equipment Group Co.,Ltd.,Beijing 100176,China )Abstract:By measuring linearity error ,verticality error and positioning error of the XY axis of 2D stage ,horizontal division method is used to fit the error linearization ,and the influence of each error on positioning precision of the single axis and the related axis is analyzed ,the error compensation method is able to improve positioning precision of 2D stage effectively.Key words:Horizontal segmentation ;Error compensation ;Positioning precision二维工作台是半导体专用设备中最常见的结构部件。

高精度测绘技术的误差分析与控制方法

高精度测绘技术的误差分析与控制方法

高精度测绘技术的误差分析与控制方法引言:高精度测绘技术在现代社会的发展中起到了至关重要的作用。

然而,由于各种因素的干扰,测绘结果往往会存在一定的误差。

因此,本文将就高精度测绘技术的误差分析与控制方法展开探讨。

一、误差来源分析在进行测绘工作时,误差的来源主要可以归纳为人为因素和自然因素两个方面。

1. 人为因素人为因素是指操作人员的技术水平、仪器的使用状况和数据处理的方法等对测绘结果所造成的误差。

操作人员的错误操作、不良习惯以及技术水平的参差不齐都会导致测绘结果的误差增加。

而仪器的使用状况则涉及到仪器的校准是否准确、使用寿命是否过长等问题。

数据处理的方法则是在采集到原始数据后进行的处理过程,其中的算法选择、参数设定等都会对结果产生重要影响。

2. 自然因素自然因素是指地质、气候以及测量环境等因素对测绘结果产生的影响。

比如地壳运动、大气湍流以及测量地点的地理环境等因素都会对测绘结果的精度造成较大的影响。

二、误差的分类根据误差的性质和产生原因,我们可以将误差分为系统误差和随机误差两类。

1. 系统误差系统误差又称为偏差,是指由于测量仪器或测量方法存在的固有缺陷而引起的误差。

系统误差在重复测量中是一致的,并且会导致测量结果有所偏离真实值。

系统误差的大小和方向常常难以确定,因此在测绘工作中需要采取一定的控制和补偿措施来减小其影响。

2. 随机误差随机误差是指由于各种不确定因素所引起的误差,其大小和方向是随机的,并且在重复测量中呈现出一定的随机性。

随机误差对测量结果的影响主要表现为数据的离散程度和稳定性。

通过重复测量和统计分析可以降低随机误差的影响。

三、误差控制方法为了保证高精度测绘结果的准确性,我们需要采取一系列的误差控制方法。

这些方法主要包括以下几个方面:1. 仪器的选用和校准在进行测绘工作前,我们需要选择合适的仪器设备,并且对其进行校准。

校准可以通过仪器厂家提供的校准方法进行,也可以通过与已知数据进行对比的方式来确定误差大小并进行补偿。

二维转台指标范文

二维转台指标范文

二维转台指标范文二维转台指标,也称为二维转动台控制指标,是指在二维转动台控制系统中用于评估和量化台面运动性能的参数。

二维转动台是一种能够实现在水平和垂直两个方向上旋转的运动平台,主要应用于航天、导弹、船舶、飞机等领域的测试和研究。

在设计和使用二维转动台时,通过对台面运动性能的评估可以确保台面满足特定的控制要求,从而实现精确的测试和研究。

以下是几个常用的二维转台指标:1.跟踪误差:跟踪误差是指实际台面运动与期望运动之间的差异。

对于一个理想的二维转动台来说,跟踪误差应该为零,即实际台面运动与期望运动完全一致。

跟踪误差是评估转动台控制精度的重要指标,通常以角度或位移来表示。

2.动态性能:动态性能是指二维转动台在进行快速运动时的能力。

它通常包括转动台的最大速度、加速度和加速时间等参数。

较好的动态性能可以提高转动台的响应速度和稳定性,以适应不同的测试和研究需求。

3.平滑度:平滑度是指转动台运动过程中的平稳性和连续性。

一个平滑的运动可以减少机械振动和冲击,从而有利于提高测试的准确性和可靠性。

在转动台设计和控制中,常用的评估平滑度的指标包括加速度、加速度变化率、速度变化率等。

4.稳定性:稳定性是指转动台在运动过程中保持稳定性的能力。

一个稳定的转动台可以降低运动过程中的波动和震动,从而提高测试和研究的精度和可靠性。

稳定性的评估可以从台面的角度稳定性和位置稳定性两个方面来考虑,通常使用方差、标准差等统计指标来评估。

5.重复性:重复性是指转动台在多次进行相同运动时的一致性。

一个具有较好重复性的转动台可以保证不同时间点的测量结果是一致的,从而提高测试的可重复性和可比性。

重复性通常使用标准差、百分比误差等指标来评估。

总结起来,二维转动台指标是评估和量化台面运动性能的参数,包括跟踪误差、动态性能、平滑度、稳定性和重复性等。

这些指标可以帮助设计和调试二维转动台控制系统,提高测试和研究的准确性和可靠性。

旋转长基线干涉仪的二维测向偏差分析

旋转长基线干涉仪的二维测向偏差分析

A b s t r a c t : A s t h e m u l t i p l e b a s e l i n e i n t e r f e r o m e t e r ( MB I )f o r t w o d i m e n s i o n a l d i r e c t i o n i f n d i n g
a r r a y wa y o f LBI ,i f t he s u m o f b a s e l i n e v e c t o r e q u a l s t o z e r o,t h e e f f e c t o f i n c o n s i s t e n c y o f a m—
2 0 1 4年 第 2期
2 01 4, No . 2
Байду номын сангаас




总第 1 5 5期
S e r i e s N o . 1 5 5
EL EC TR0NI C W ARF ARE
旋 转 长 基 线 干 涉 仪 的 二 维 测 向偏 差 分 析
郭福 成 张 敏 姜 文利
( 国防科技 大学 电子科 学 与工程 学 院 , 长沙 4 1 0 0 7 3 )
Gu o F u c h e n g Z h a n g Mi n J i a n g We n l i
( S c h o o l o f E l e c t r o n i c S c i e n c e a n d E n g i n e e r i n g , N a t i o n a l U n i v e r s i t y o f D e f e n e e T e c h n o l o g y , C h a n g s h a 4 1 0 0 7 3 , C h i n a )

二维微动工作台的定位误差补偿实验

二维微动工作台的定位误差补偿实验

二维微动工作 台的定位误差补偿实验
林 杰俊 ,李 东升 ,沈小燕
( 中 国计 量 学 院计 量测 试 工程 学 院 ,浙 江杭 州 3 1 0 0 1 8 )
摘要 :随着科学技术 的发展 ,超精密定位技术在各领 域得 到了广泛应用 ,它的研究对 ME MS技术 的发 展具有重要 的意 义 。对具有纳米定位 精度的二维微动工作 台的定位误 差进行研究 。首先 ,对分 辨率为 0 . 1 5 n m的双频激光 干涉仪进行 了测
量误差分析 ,其标定 二维微动工作 台时 的测量精度 为 1 4 . 4 n m;利用该 激光干涉 仪标定 时温漂 的近线性 关系去 除 了定 位误
差 中的综合误差 ,采用反相补偿法对定位误差 中的系统误差进行 了补偿 。测得 该工 作台补偿 前 的定 位误 差在 2 5 0— 3 0 0 n m 之 间,在空气 弹簧 隔振平 台上进行 了误差补偿实 验 ,测得 补偿 后两轴的定位误差分 别为 2 0 n m和 2 5 n m左右 。实验证 明了 该种方法用 于补偿 纳米定位系统 的可行性 。
n o l o y .T g h e r e s e a r c h o n c o mp e n s a t i o n o f p o s i t i o n i n g e ro s r f o r t wo — d i me n s i o n mi c r o d i s p l a c e me n t s t a g e w i t h n a n o — p o s i t i o n i n g a c c u r a c y w a s a i me d a t .F i r s t l y ,t h e me a s u r e me n t e r r o r o f t wo — f r e q u e n c y l a s e r i n t e r f e o me r t e r w i t h r e s o l u t i o n a t 0 . 1 5 n m w a s a n a l y z e d,a n d t h e me a s u i r n g a c c u r a c y wa s a t 1 4 . 4 n m w h e n i t wa s c li a b r a t i n g t h e t w o — d i me n s i o n mi c r o d i s p l a c e me n t s t a g e .Th e s y n t h e t i c e ro r i n p o s i t i o ・ n i n g e r r o r s b y t h e a p p r o x i ma t e l y l i n e a r r e l a t i o n s h i p o f t e mp e r a t u r e d i r t f w h e n c a l i b r a t i n g b y u s i n g i t wa s r e mo v e d ,a n d t h e s y s t e ma t i c e r —

二维工作台控制系统设计及精度分析

二维工作台控制系统设计及精度分析

二维工作台控制系统设计及精度分析陈昌华;许瑛【摘要】对二维工作台控制系统进行了研究,采用滚珠丝杆副和直线滚动导轨副的传动方式,选用直线光栅尺作为工作台的反馈元件,控制系统的核心为工控机和运动控制卡,利用固高GE400运动控制卡发出脉冲信号控制伺服驱动器对工作台机械部分进行实时的操控.在VC++6.0设计环境下开发工作台的控制软件,实现了多轴控制.使用双频激光仪获得工作台的系统误差曲线,采取水平分割的方法对误差曲线进行分割,获得各区间的误差补偿数据,通过软件控制对工作台各行程区间进行误差补偿,通过理论计算和实验测得补偿后的数据对比,验证了该补偿方法的可靠性,对于提升二维工作台的精度具有积极的意义.【期刊名称】《机械工程师》【年(卷),期】2014(000)004【总页数】4页(P1-4)【关键词】二维工作台;控制系统;误差补偿【作者】陈昌华;许瑛【作者单位】南昌航空大学飞行器工程学院,南昌330063;南昌航空大学飞行器工程学院,南昌330063【正文语种】中文【中图分类】TP202二维工作台是手机外壳检测设备中不可或缺的自动化检测仪器。

近年来,随着我国手机行业迅速发展和手机性能多元化需求的不断提高,对二维工作台的检测精度和效率提出了更高的要求。

由于早期的工作台采用的是硬件式控制方式,数控装置中的输入、运算、插补运算以及控制功能均由集成电路或晶体管等器件组成[1],这样的控制方式柔性差,通用性低。

笔者采用软件式控制方式,工作台的主要功能可通过软件来实现。

本文首先对X-Y工作台硬件结构进行了设计和选型,在VC++6.0设计环境下编写了软件模块,着重分析了二维工作台的各种误差来源,利用软件式控制的优越性,提出了一种对误差曲线进行水平分割来实现误差补偿的方法;同时设计了工作台的精度测试实验,通过理论分析结果与实验结果对比,验证了逆向误差数值补偿的正确性,为同类二维工作台今后的设计提供参考。

1.1 系统整体结构二维工作台通过定制模具将手机外壳真空吸附在其上,检测时,垂直于二维工作台的检测邦头会向下运动到略高于产品底部的位置,邦头上附有传感器,二维工作台会先后在X和Y方向做直线运动,检测邦头上的传感器会接收到反馈信号,软件会记录此时安装在X、Y方向光栅尺的数据,邦头在整个检测过程中是不运动的,所以产品尺寸主要是通过测量二维工作台控制模具在X、Y方向上的移动距离而达到的,从而检验产品是否达到精度标准。

正交度对高精度二维转台测量精度的影响

正交度对高精度二维转台测量精度的影响
Hi g h- - a c c u r a c y Two - — d i me ns i o na l Tur n t a bl e
WANG J i a ny o ng ZHANG Che ny a n g ZHAO We n f e n g CUI S hi c h e n g


针 对 二 维 跟踪 测 量 转 台方位 轴 和俯 仰 轴 _ Y a 交度 对 角度 测 量精 度 的影 响 ,基 于球 面三 角计 算
方法和 向量运 算方法 ,文章分别推导获得 转 台不正交时角度测量误差的计 算公式,分析上述公式获得正
交度 及 其 测 量误 差 对 转 台测 角精 度 的影 响 规 律 。 结果 表 明 ,二 维 转 台俯 仰 运 动 范 围 大于 l 0 。 时 ,转 台方
航 天返 回与遥 感
94
第3 8卷 第 3 期
2 0 1 7年 6月
S P ACECRA FT REC0VERY & REM OTE S EN S I NG
正交 度对高精 度二维 转 台测量精 度 的影 响
王建永 张晨 阳 赵 文峰 崔世程
( 北 京 空 间 机 电研 究所 ,北 京 1 0 0 0 9 4)
o  ̄ h o g o n a l i t y b e we t e n t h e a z i mu t h a x i s a n d p i t c h a x i s h a s g r e a t e f f e c t s o n t h e me a s u r i n g p r e c i s i o n o f t h e a z i mu t h
绍 了转 台旋 转 轴正 交度 的 两种 测 量 方 法及 其 测 量误 差 主要 来 源。研 究结 果对 通 用 二 维跟 踪 测 量转 台测 角 精 度指 标 的合 理分 解 具有 一 定的 指 导 意义 。

转台工作面角位置测量装置误差分析与补偿-仪器仪表学报

转台工作面角位置测量装置误差分析与补偿-仪器仪表学报
, 2 杨华晖1 , 冯伟利3, 刘㊀福2, 周㊀军3, 马 ㊀ 征4
( 1 .军械工程学院导弹工程系㊀石家庄㊀0 5 0 0 0 3 ; 2 .军械技术研究所㊀石家庄㊀0 5 0 0 0 3 ; 3 .北京航天计量测试技术研究所㊀北京㊀1 0 0 0 7 6 ; 4 .陆军驻长治地区军代室㊀长治㊀0 4 6 0 1 2 ) 摘㊀要: 针对特定转台轴端角位置检测误差不能反映实际产品工作面空间角位置的问题, 介绍了一种以圆光栅和水平电容传感 器作为测角元件的转台工作面空间角位置定位测量装置。以提高空间测角精度为目的, 重点对装置各项误差因素进行归类分 析。除光栅和传感器分别存在的分系统测角误差外, 测量装置还存在转轴与测量基面不平行、 传感器敏感轴与测量基面不平行 等误差项。为修正测角系统误差, 根据圆光栅旋转面、 传感器敏感轴、 转轴轴系、 测量基面的空间几何关系建立数学模型, 分析 系统误差影响因素。最后利用分度误差在 0 . 3ᵡ 高精度转台对校准装置进行标定, 并利用径向基函数( R B F ) 神经网络建立误差 补偿模型, 对系统测角精度进行修正, 使系统最大误差值由 1 3 . 7 5ᵡ 下降至 2 . 9ᵡ , 满足了 3ᵡ 以内的测角精度需求。 关键词:角位置; 圆光栅; 水平电容传感器; 误差补偿; 神经网络 中图分类号:T H 7 1 2 ㊀㊀㊀文献标识码:A ㊀㊀国家标准学科分类代码: 4 6 0 . 4 0 3 0
1 , 2 3 2 3 4 Y a n gH u a h u i , F e n gWe i l i , L i uF u , Z h o uJ u n , M aZ h e n g
( 1 . O r d n a n c e E n g i n e e r i n gC o l l e g e ,S h i j i a z h u a n g0 5 0 0 0 3 ,C h i n a ; 2 . O r d n a n c e T e c h n o l o g i c a l R e s e a r c hI n s t i t u t e , S h i j i a z h u a n g0 5 0 0 0 3 ,C h i n a ; 3 . B e i j i n gA e r o s p a c e I n s t i t u t e f o r M e t r o l o g ya n dM e a s u r e m e n t T e c h n o l o g y ,B e i j i n g1 0 0 0 7 6 ,C h i n a ; 4 .A r m yR e p r e s e n t a t i v e s O f f i c e i nC h a n g z h i ,C h a n g z h i 0 4 6 0 1 2 ,C h i n a ) A b s t r a c t : T h ed e t e c t i o no f a n g u l a r p o s i t i o n i n ge r r o r o ns p e c i f i ct u r n t a b l es h a f t e n dc a n n o t r e f l e c t i t sa c t u a l s p a c ea n g u l a r p o s i t i o no f w o r k i n gs u r f a c e .T h u s ,as p a c ea n g u l a r p o s i t i o nm e a s u r i n gd e v i c eo f t u r n t a b l ew o r k i n gs u r f a c ei si n t r o d u c e dw i t hc i r c u l a r g r a t i n ga n d h o r i z o n t a l c a p a c i t a n c es e n s o r a s i t s a n g l em e a s u r i n gc o m p o n e n t s .T h ee r r o r f a c t o r s o f t h em e a s u r i n gd e v i c ea r ee s p e c i a l l yc l a s s i f i e da n d a n a l y z e di no r d e r t o i m p r o v e s p a t i a l a n g l e m e a s u r e m e n t a c c u r a c y .B e s i d e s t h e a n g l e m e a s u r i n g e r r o r o f s u b s y s t e m ,t h e m e a s u r i n g d e v i c e h a s e r r o r t h a t t h e s h a f t i n g o r t h e s e n s i t i v e d i r e c t i o no f h o r i z o n t a l c a p a c i t a n c e s e n s o r i s n o t p a r a l l e l t o t h e r e f e r e n c e p l a n e f o r m e a s u r e m e n t a n do t h e r s e r r o r t e r m s . T h e m a t h e m a t i c a l m o d e l i s e s t a b l i s h e dt o a n a l y z e t h e f a c t o r s o f s y s t e m a t i c e r r o r s a n dc o r r e c t t h e ma c c o r d i n g t o t h e s p a t i a l g e o m e t r i c a l r e l a t i o n s o f g r a t i n gr o t a r ys u r f a c e ,s e n s i t i v ed i r e c t i o no f s e n s o r ,r o t a t i o na x i sa n dr e f e r e n c ep l a n ef o r m e a s u r e m e n t . T h e nt h em e a s u r i n g d e v i c e i s c a l i b r a t e db y u s i n g h i g h p r e c i s i o nt u r n t a b l e w i t h 0 . 3 ᵡ i n d e x i n g e r r o r .A n dt h e m a t h e m a t i c a l m o d e l o f e r r o r R B F )n e u r a l n e t w o r kt oi m p r o v ep r e c i s i o nw i t ht h em a x i m u me r r o r v a l u e c o m p e n s a t i o ni s e s t a b l i s h e db a s e do nr a d i a l b a s i sf u n c t i o n( d e c r e a s e dt o 2 . 9ᵡ f r o m1 3 . 7 5ᵡ t os a t i s f ya n g u l a r m e a s u r i n ga c c u r a c yw i t h i n3ᵡ d e m a n d . K e y w o r d s : a n g u l a r p o s i t i o n ;c i r c u l a r g r a t i n g ;h o r i z o n t a l c a p a c i t a n c es e n s o r ;e r r o r c o m p e n s a t i o n ;n e u r a l n e t w o r k

高精度转台的分析与设计

高精度转台的分析与设计

高精度转台的分析与设计苏芬平;崔伟【摘要】设计了一种高精度转台,选用力矩电机直接驱动负载,既消除了齿隙回差又缩短了传动链,使机械结构简单紧凑,使控制系统具有反应速度快、线性度好,共振频率高等优点,提高了系统的稳定性及静态、动态控制精度.高精度转盘轴承和力矩电机配合使用,提高了转台的承载能力,并使转台结构简化.采用电磁制动器和齿轮副进行方位轴和俯仰轴的制动,起到断电制动作用.对转台的限位、自锁、报警等安全性和防护性能进行详细设计介绍.并通过有限元分析验证主要零部件的结构强度及计算谐振频率.【期刊名称】《传感器世界》【年(卷),期】2018(024)007【总页数】6页(P19-24)【关键词】转台;高精度;力矩电机;转盘轴承【作者】苏芬平;崔伟【作者单位】北京航天科颐技术有限公司,北京 100091;中国航天科工集团第二研究院206所,北京 100854【正文语种】中文【中图分类】TH115;TH12一、引言转台被广泛应用在航空航天等领域,比如对雷达的方位角与俯仰角的控制;模拟各种载体的偏航、俯仰、横滚等姿态。

转台的综合性能直接影响到设备测试结果的可靠性和精确性,对航空航天产品和武器装备的系统性能以及运行精度起到了至关重要的作用[1]。

本文以某高精度二维转台为工程背景,对高精度直驱转台进行了设计和研究。

在高精度转台设计中,首先考虑在机械结构上减小传动机构对轴系精度的影响,其次在伺服控制中运用先进的控制方法,提高系统的整体精度。

在本转台设计中选用力矩电机直接驱动负载的方案,既消除了齿隙回差(无回差),又缩短了传动链,使机械结构简单紧凑,使控制系统具有反应速度快、线性度好、共振频率高等优点,因而提高了系统的稳定性及静态、动态控制精度。

二、转台整体方案转台主要有俯仰轴系、方位轴系、底座组成,转台总体的结构形式如图1所示。

三、方位轴系设计方位轴系主要承载俯仰部分及负载,带动俯仰部分及负载实现360°连续转动。

超精密二维测量定位系统评定及误差分析

超精密二维测量定位系统评定及误差分析
Ab s t r a c t : T h e u l t r a - p r e c i s i o n me a s u i r n g a n d p o s i t i o n i n g i s a n i mp o r t a n t p a r t o f t h e u l t r a - p r e c i s i o n ma c h i n i n g . B a s e d o n t h e
ma c r o — mi c r o u l t r a - p r e c i s i o n t w o — d i me n s i o n a l p o s i t i o n i n g p l a f t o r m, t h i s p a p e r b u i l t n a u l t r a - p r e c i s i o n t wo — d i me n s i o n a l me a s u i r n g nd a p o s i t i o n i n g s y s t e m w i t h a c o n f o c a l c hs e n s o r , a n d i n t r o d u c e d i t s c o mp o s i t i o n a n d f u n c t i o n . I n e x p e i r me n t s , t h e
h i g h - g r a d e g a u g e b l o c k w a s u s e d t O c a l i b r a t e t h e s y s t e m. a n d t h e s y s t e m w a s e mp l o y e d t o me a s u r e t h e t wo — d i me n s i o n a l s i z e . A t f e r na a l y z i n g t h e me a s u r e me n t e r r o r , t h e p a p e r e v a l u a t e d t h e me su a r e me n t u n c e ta r i n t y o f t h e s y s t e m, a n d g o t t h e r e s u l t o f t h e me a s u r e - me n t u n c e r t a i n t y i n X— d i r e c t i o n a n d Y - d i r e c t i o n W s a s e p a r a t e l y 8 9 n m a n d 8 7 n m. T h e s t u d y s h o ws t h a t t h e u l t r a - p r e c i s i o n t wo — d i —
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V o _ 3 No. l3 4
A u .2 2 g O1
高 精 度 二维 转 台指 向误 差 分 析
张 西龙 , 孙 宝玉 , 孙 建 伟 , 刘铁 军
( 春 工 业 大 学 机 电工 程 学 院 , 林 长春 1 0 1 ) 长 吉 3 02
摘 要 : 据二 维转 台 的结构特 点 , 立 了它 的空 间坐标 系。基 于 多体 系统运 动 学理 论 , 立 根 建 建 了转 台的数 学模 型 , 并推 导 出它在静 止和 运 动两种 状 态 时 的 4 ×4变 换矩 阵, 而 计算 出转 台 从 设 备轴 的理论 指 向和 实际指 向之 间 的误 差 。最后 , 用逆 分 析 的 方法 分 析 了转 台在 静 止 时 的 采 误 差补偿 问题 , 对提 高 转 台设 备 的指 向精度具 有 一定 的意义 。
量;
俯仰 ) 转 动 角加 速 度 1 0/ 包 括 方 位 和 俯 仰 ) , 0 。s (
的技 术要 求 。 为 了能够 清 晰地 表 达 转 台结 构 , 而 便 于建 从
立 空间 坐标 系 , 象 出转 台结构 , 规定 图示 的初 抽 并
始 位 置 转 台 的 结 构 , 图 2所 示 。 如
关 键词 :空 间坐标 系 ;多体 系统运 动学 ;数 学模 型 ;变换 矩阵 ;逆分 析 ;误 差补偿 中图分 类号 : 1 TH 1 5 文献标 志码 : A 文 章编 号 :1 7 —3 4 2 1 )40 7 -6 6 41 7 (0 2 0 —3 70
Po n ig erora alss f i h a c r c D u n a e itn r n y i ora hg c u a y 2 t r t bl
1 1 二 维 转 台 描 述 .
以某型号 高 精 度二 维 转 台 为例 , 究 转 台 的 研 指 向误 差 , 台 的实物 图如 图 1 转 所示 。
坐标 系_ 。为 了方 便 , 中建 立 的坐 标 系均 为 右 1 ] 文
手笛 卡尔坐 标 系 。3个 坐标 系 之 间 的联 系 如 图 3
为:
,—— M点在 坐标 系 0 的位 置矢 量 。 因此 , 间 内 点 “在 坐 标 系 0 空 中 的 表 达 式
f — q+ U — P+ p e+ s s U 十 e+
由上 面分 析可 以得到 转 台各 刚体 之 间坐标 系 的关 系 , 了使 坐标 系之 间的空 间位置 清 晰简 洁 , 为
系, 1 第 个是 在无 误差 状态 下 的理 想 坐标 系 ; 2 第
个是 转 台在 静止 时 , 由于 几何 误 差 和 装 配误 差 的 影响 , 需要建 立静 态误差 坐标 系 ; 3个 是 由轴 的 第 回转误 差等 引起 的动态 误 差 , 要 建 立运 动 误 差 需
1 多体 系统 描 述
运 动速 度方 面保证 转动 角速度 2 。s包括 方位 和 0/ (
p , —— 分别 为 0 0 的位 置误 差 矢 量和 es e ,
运动 误差矢 量 ;
“—— 空间 内任一点 ; u—— 点在运 动坐标 系下 的位 置矢 量 ; q—— 坐 标 系 0 在 坐 标 系 0 中 的位 置 矢
Ab tac :Sp c o r na es s e i ita c r n o t t u t r lf a u e he hi — c u a y 2 sr t a e q o di t y t m s bu l c o di g t he s r c u a e t r soft gh a c r c D t nt bl. Ba e n he m u t— y t m n ma is t o y,t t ma ia ur a e sdo t lis s e ki e tc he r he ma he tc lmod lo he t n a e i e f t ur t bl S e t bls d,a na i— r e s a ihe nd De v t Ha t nbe g t a f ma i t i s d d e t b t he d a c a t tc r r nsor ton ma rx i e uc d a o h t yn mi nd s a i s a e or c l u a i h i i e r . W ih n e s n l s s m e ho t t s f a c l tng t e po ntng r or t i v r e a a y i t d,we a l z he s a i r or na y e t t tc e r c m p n a i n f r t e t n a e t mpr ve t i tn c ur c o e s to o h ur t bl o i o he po n i g a c a y. Key wo d r s:s a e c o di a e;m u t— y t m n ma is;m a he tc 1m o l r nsor to a rx; p c o r n t lis s e ki e tc t ma ia de ;t a f ma i n m t i
轴 承
此处 只建 立 每 个 刚 体 在 静 态 误 差 时 的静 态 坐标
系, 坐标 系之 间的空 间位置 关 系如 图 4所 示 。 图 4中 , 坐标 系 X。 o o的 原点 e YZ 。建立 在
转 台基座平 面 的 中心 , 。为平 行 于纸 面 的水 平 直 y 线 ,。 Z 为平 行 于纸 面且 与 y。 直 的 铅 垂 线 , 垂 x。
0 , 0 —— 分别 为 0 0 的参 考系 ; , PS , —— 分 别 为 0 0 位 置 矢 量 和 运 动 矢 ,
量;
二 维转 台通 过 力矩 电机 实 现方 位 、 仰 方 向 俯 的功 能 , 在规定 的转 动 角度 范 围 内完 成 所 要求 的
动作 , 保设备 指 向的精 确性 。它 的工作 范 围为 : 确 方 位角 一 1 0 ~ +1 0 , 仰 角 一 3 。 + 6 。从 8。 8。俯 5~ 0;
i e s na y i e r o pe — a i . nv r e a l ss; r orc m n s ton
0 引 言
二 维转 台 因其体 积小 和重量 轻而 被广 泛用 于
跟踪 、 测量 及仿 真等 场合 中 , 的性 能主要 受到误 它
动之后 , 备 的理 想 指 向和 实 际 指 向之 间 存 在 的 设 角度偏 差 。这 种偏 差 是 一 种 空 间角 度 误 差 , 志 标 着设 备 的定 位精 度 , 也就是 转 台的指 向误差 _ 。 2 ]
图 2 转 台 的结 构 示 意 图
同时垂直 于 y 和 Z 。 。于 , 坐 标 系为 系 统 的总 此
第 4期
张 西 龙 ,等 : 精 度 二 维 转 台 指 向误 差 分 析 高
39 7
体 坐标 系 ; 坐标 系 eX。 的原 点 e 立 在 方 。 YZ 建 位 轴 的平均轴 线 1 1和俯 仰 轴 的平 均轴 线 2 2的 — — 公 垂 线 优 上 , 交 于 1 1线 , 轴 与 1 1重 且 — Z —
C AM/ AE方 向研 究 , — i wd s y 1 3 c r. C E ma : y b. 6 . o l @ n
3 8 7
长 春 工 业 大 学 学 报( 自然 科 学 版 )
第 3 的基座 为 0体 , 后利用 然
1 2 坐 标 系 的 建 立 .
Z HANG Xio g S a —u S inwe, L U ejn — n , UN B oy , UN Ja — i l I Ti u -
( c o l f M e ha r n c En i e rng,Ch n c u i e st fTe h o o y,Ch n c u 3 0 2,Chi a S h o c t o i g n e i o a g h n Un v r iy o c n l g a gh n1 0 1 n)
空 间几何 关系 , 而 更全 面地 掌 握 和 预测 各 个 参 从
数对 系统 精 度 的影 响 。对 于 转 台系统 , 以看 成 可
起来 表现 在设备 的指 向不 准 确上 , 转 台经 过 转 是
收稿 日期 :2 1 - 2 2 0 11—5
基 金 项 目 :国 家 自然科 学 基 金 资 助 项 目( 1 0 0 4 5154) 作 者 简 介 :张 西龙 ( 9 9 ) 男 , 族 , 东 嘉 祥 人 , 春 工 业 大 学 硕 士 研 究 生 , 要 从 事 C 18 一 , 汉 山 长 主 AD/ AM/ AE 方 向 研 究 , — i C C Emal : zh n xln 1 6cr. *联 系 人 : 宝 玉 ( 9 1 ) 女 , 族 , 林 长 春 人 , 春 工 业 大 学 教 授 , 士 , 要 从 事 C / za g i @ 2 . o o n 孙 17~ , 汉 吉 长 博 主 AD
齐次 坐标 变换 的 方法 建 立 低 序 体阵 列 , 可 以得 便
由于转 台在工 作时 静态误 差 和运动 误差 同时
到多 体 系统 中任一个 体在 以基 座为参 考系 中 的位
置关 系 , 进而得 到转 台 的误差模 型 。
存在 , 因此 , 要 在 每 一个 刚体 上 建立 3个 坐 标 需
所示 。
图 3 3个 坐 标 系 之 I 司的 关 系
图 中 : ——相 邻低 序体 的理想 坐标 系 ; 0
0 , —典 型体 的理想 坐标 系 ; 0—
0 O —— 分 别 为 典 型 体 的 静 态 坐 标 系 和 ,s e
运动 坐标 系 ;
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