金属纳米多层膜力学性能研究进展

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关键词：纳米多层膜；界面结构；力学性能；塑性变形；纳米压痕
中图分类号：Ｔ３Ｂｌ
文献标识码：Ａ
文章编号：１７３６（０１１６４— ９２２１】０—０００１—１３
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第３０卷
第１０期
中国材料进展
ＭＡＴＥＲＩＡＬＳＣＨＩＮＡ
Ｖｏ．０Ｎｏ１１３．０
０ｃ．Ｏ１ｔ２１
２１０１年１０月
金属纳米多层膜力学性能研究进展
朱备再制造工程系，北京１０７）００２（２．清华大学材料科学与工程系先进材料教育部重点实验室，北京１０８）００４
摘要：新型功能材料及器件向小型化，集成化和复合化发展的趋势，使得尺寸在纳米尺度的层状材料和柔性多层器件在使
用过程中的服役行为成为其发展的关键科学问题。本文结合作者近几年对Ａ／系列和Ｃ／系列多层膜力学性能的研究工ｇＭｕＭ作，对金属纳米多层膜的微结构特征及其对力学性能的影响进予了回顾和总结，主要包括多层膜的晶粒形貌对其强化机制和了塑性变形行为的影响，组元强度错配对多层膜硬化行为的影响，界面结构与其强度极值的关系、不对称界面结构引起的异常弹性模量增强和多层膜的室温蠕变机制及界面结构埘蠕变性能的影响等几个方面，并对多层膜的力学性能研究进行了展望