EP_AP_BA_等级简介
AP BA EP MP管
AP管-Annealed and Pickled Pipe固溶酸洗管AP即酸洗处理Acid Pickling 利用硝酸与亚氟酸等酸性溶液来除去钢管的氧化层。
便宜快速但容易造成晶界腐蚀且内外表面较粗糙易有悬浮杂质附着。
AP从字面意思来说是酸洗表面，在洁净级产品的范畴里面来说是酸洗表面+禁油清洗MP管-Mechanically Polished Pipe机械抛光管MP: 即机械抛光 Mechanical polishing 常用于钢管表面的氧化层、孔洞与刮痕其亮度与效果则取决于加工方式的种类。
另外机械抛光后虽较美观但也会降低抗蚀性所以当用在腐蚀环境下需再经过钝化处理。
而且钢管表面常有抛光材料残留BA管-Bright Annealed Pipe光亮退火管BA即光辉退火Bright Annealing)钢管在抽制的过程中一定会需油脂润滑而晶粒也会因加工而变形。
为了避免这个油脂残留在钢管中,除了要清洗钢管外,尚可利用高温在高温退火以消除变形时,以氩气充当炉内气氛,借由氩与钢管表面的碳氧结合燃烧进一步清洁钢管的表面产生亮面的效果故这种利用纯氩气退火加热并快速冷却以亮化光面的方式叫光辉退火虽然利用此种方式来亮化表面可保钢管充分干净无任何外来污染。
但这种表面的明亮度若与其他抛光方式相较机械、化学、电解会有交雾面的感觉。
当然其效果也与氩气的含量与加热的次数有关。
EP管-ElectroPolished Pipe电解抛光管EP即电解抛光Electro Polishing)电解抛光是利用阳极处理的方式借由电化学的原理适当地调整电压、电流、酸液组成、以及抛光时间不但可使表面达到明亮、顺滑、洁净的效果更可提升表面的抗蚀性故是最佳的亮化表面方法当然其成本与技术也提高。
不过因为电解抛光会凸显钢管表面的原始状态所以若钢管表面有严重刮伤、孔洞酸洗(Ra≤2.5μm)、机械抛光(Ra≤0.4μm)、光亮退火(Ra≤0.3μm)、电解抛光(Ra≤0.2μm)。
CDA系统及管材介绍
SUS304 （18Cr-8Ni ） 材料特性
作为一种用途广泛的钢，具有良好的耐蚀性，耐热性， 低温强度和机械特性。冲压、弯曲等热加工性好，无热处 理硬化现象（无磁性，使用温度-196℃~800℃）
SUS304L （18Cr-8Ni 低碳）
材料特性 作为低C的304钢，在一般状态下，其耐蚀性与304钢相似， 但在焊接后或者消除应力后，其抗晶界腐蚀能力优秀。在 未进行热处理的情况下，亦能保持良好的耐蚀性，一般在 400以下使用（无磁性，使用温度-196℃~800℃）
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
2. CDA閥件材質為SUS304L PTFE GASKET，三片式球塞閥，200A以下 (含200A)使用對焊 2.1操作壓力：0~10㎏/㎝2。 2.2 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 2.3 油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 2.4包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 2.5標記(MARK)：請註明如何標記。 2.6環境：無塵室包裝環境。 3. 廠牌：KUTZ、OHNO、HABONIM、IHARA。 使用Ball Valve(禁油處理、進口品)。
不锈钢检测
合金分析仪 （专业）
工作原理：采用X射线荧光（XRF）技术进行多元素分析
分析元素：Ti V Cr Mn Fe Co Ni Cu Zn Zr Nb Mo Ag Pd Sn Hf Ta W Re Pb Bi Se Sb 应用范围：各种高低合金钢、不锈钢、工具钢、铬/钼钢、镍合金、钴 合金、镍/钴耐热合金、钛合金、铜合金、青铜、锌合金、钨合金等； 可通过对其它合金元素的测定，实现对铝、镁轻合金的牌号鉴定。
大宗气体及纯水相关的知识
HOOK UP 乃是藉由连接以传输 UTILITIES 使机台达到预期的功能。HOOK
UTILITIES ( 如 水,电,气,化学品等),经由预留之 UTILITIES 连接点( PORT OR STICK),藉由管路及电 缆线连接至机台及其附属设备( SUBUNITS)。 机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃 物( 如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。HOOK UP 项目主要包括∶CAD，MOVE IN ，CORE DRILL，SEISMIC ，VACUUM，GAS， CHEMICAL D.I ,PCW,CW,EXHAUST,ELECTRIC, DRAIN. 二、 GAS HOOK-UP 专业知识的基本认识 ，
* 腐蚀性气体
Corrosive Gas Heat Gas
* 低压性/保温气体 * 惰性气体 Inert Gas
1. 特殊气体特性简介 * 易燃性气体 : 燃点低, 一泄漏与其他气体相混,便易引起爆炸及燃烧 如 SIH4 , PH3 , H2 ,…. 危害人体功能 , 如 CO, NO,CLF3,…. * 腐蚀性气体 : 易与水份起反应而产生酸性物质,有刺鼻,腐蚀,破坏人体的危险性 * 毒性气体 : 反应性极强,强烈
GAS YP
Produced on-site O O O -
Storage tank O O O -
Container O O
Trailer O O
Bundle O O
Compress or O -
DA
N2
O2
Ar
H2
He
Bulk Gas Supply System before Fab
CDA系统及管材介绍
使用方法例：
将该分析测定夜滴一滴于钢表面，用9V电池，正 极搭钢，负极搭测定液珠上面，通电氧化后呈红 色，则证明它的含镍量≥7%，若不呈红色则证明 该不锈钢中含镍量小于7% 一般药水有：Ni低、Ni2、Ni4、Ni6、Ni7.5、 Ni8、Ni10、Ni14、Ni20、Ni40、Ni60、Ni80、 Mo2、Cr13-17、Cr18-23、Ti微、Ti合金、硫酸 铜等
施工机具
焊接式
先拆卸一端封套，并连接氩气。 拆卸要焊接端封套，并冲吹干净。
焊接式
连接后将一端之管帽钻小孔使之成出气端。
焊接式
开始点焊及全接口式的焊接。
焊接注意事项
1.电源 a.使用前确认电压 b.使用220V的场合要确认结线。 c.接地线要用熔接机单独使用者。 2.氩气 氩气纯度达99.999以上才予使用。 原则上使用液化氩气。 熔接时氧化膜无法去除时要更换气体。 3.钨Tungsten 研磨时不能偏颇。 产生熔接联珠或蛇行是钨研偏所致，要重磨。研 磨时使用研磨专用机。
若使用SUS304时，如为卡套接管则厚度需为SCH10S以上
CDA 潔淨管路材料規範
一.管材、管件、閥件規格： 1.CDA管材、管件材質為SUS304L APS管內焊道需經清潔、脫 脂＆洗淨及包裝，5S 無縫(自動焊)。 1.1材質基準SUS304L，JIS G3459 / ASTM A312 GR，規範要求 較嚴格者以規範為主。 1.2操作壓力：0~10㎏/㎝2。 1.3 PARTICLE測定：≦ 5 PCS / FT3大於(等於)0.3μｍ(10 MIN)。 1.4油份測定：MAX 0.1㎎/FT2(禁油處理) 1.5包裝：請註明如何包裝(防止管材變形) 1.6標記(MARK)：請註明如何標記。 1.7尺寸：JIS A SIZE。 1.8環境：無塵室包裝環境。 1.9油份紅外線光譜儀或GC/MSD。 1.10貨品必要時再送公家單位抽驗。
EP_AP_BA_等级简介
管材的选用
使用范围 ⑴ EP 级别管道-高纯度气体（5N&6N以上）， 毒性（PH3 AsH3 SiH2Cl2)，腐蚀性（HCl NH3)，易燃易爆（SiH4)气体。 ⑵ BA 一般性气体 N2 O2 H2 Ar CDA ⑶ AP 压缩气体，双套管外管
管材的规格
依材质分类 管材可分为： (1) SUS 304 (2) SUS 316 (3) SUS 316L 以上都是不锈钢管材 其中L表示为低碳
Rmax定义： 于粗度曲线取二平行直线，测定其量测范围间两平行直线之最大高度。 Rmax=Rp+Rv
Y
Rmax Rp
L
Rmax之量測長度
Rmax之範圍 0.025~0.10 0.10~0.50 0.50~10.0 10.0~50.0 50.0~200.0 量測長度(mm) 0.4 1.25 4 12.5 40
管材简介
一、抛光主力方式 二、管材的制程 三、管材的选用 四、管材的规格 五、表面处理 六、品质检查
分类：抛光处理方式
AP (Annealing & Pickled）酸洗钝化 BA (Bright Annealing) 光亮烧钝 EP (Electro-Polished) 电解抛光
AP (Annealing Pickled）
管材品质检查
管內外目视检查
检查率 : 100% 检查項目:管內不得有水痕，是否脏污或研磨不均，或电解不良查项目: Ra / Rmax < 规定值
白布实验
通管检查率 : 100% 检查项目: 通过管內白布不得脏污，或油脂残留
纯水阻抗测定
检查率 : 10% 检查项目: 管末端纯水阻值>17.5MΩ.cm
EPBAAP管道洁净等级含义完整版
E P B A A P管道洁净等级含义集团标准化办公室：[VV986T-J682P28-JP266L8-68PNN]不锈钢管不锈钢管EP、BA&AP管材等级EP级（Ele Ctrolytic Polished）电解抛光BA级（Bright-annealed ）光辉退火AP级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化管材选用尺寸英制规格：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"......4"公制规格：3mm、6mm、8mm、10mm、12mm具体使用场合：石油化工、微电子、光电子、医药、食品、高纯度流体配管（超高纯度气体、纯水、疫苗-----）等。
不锈钢管材入门handsets 发表于: 2007-4-05 17:40 来源:管材认识一．管件A. 依材质分类管材可分为：(1) SUS 304(2) SUS 316(3) SUS316L较低的含碳量过于自动焊接（orbital welding），因钢材在高温熔合过程中碳的析出较少，可确保材质不脆化（参考表1-1）。
B．依规格分类（参考表1-2）（1）日规（JIS）：PIPE SIZE（2）美规（ASTM）：TUBE SIZE其中须注意（i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为34.4mm，在TUBE SIZE其OD为 25.4mm（ii）在PIPE SIZE中：25A又称1”50A又称2”80A又称3”100A又称4”（iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管），常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”C．依表面处理方法分类：一般分为三种（I） AP级（素管）：表面不做任何处理（II） BA级：光辉烧钝（III） EP级：电解抛光MP级注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP ＞BA＞AP。
ba级和ep级管道规格尺寸
ba级和ep级管道规格尺寸管道是工业生产中常见的设备之一，用于输送液体、气体和固体颗粒等物质。
在管道设计中，管道规格尺寸是非常重要的参数，它直接影响着管道的输送能力和使用效果。
本文将介绍ba级和ep级管道规格尺寸的相关知识。
首先，我们来了解一下ba级管道规格尺寸。
ba级管道是指按照国际标准制造的管道，它的尺寸通常采用英寸（inch）作为单位。
常见的ba级管道尺寸有1/2英寸、3/4英寸、1英寸、1-1/2英寸、2英寸等。
这些尺寸是根据管道内径来确定的，内径越大，管道的输送能力就越大。
在选择ba级管道时，需要根据具体的使用需求和工艺要求来确定合适的尺寸。
除了ba级管道，还有ep级管道。
ep级管道是指按照欧洲标准制造的管道，它的尺寸通常采用毫米（mm）作为单位。
常见的ep级管道尺寸有20mm、25mm、32mm、40mm、50mm等。
与ba级管道相比，ep级管道的尺寸更加细致，能够满足更多不同场景下的使用需求。
在选择管道规格尺寸时，需要考虑多个因素。
首先是流体的输送量和压力要求，这直接决定了管道的尺寸大小。
如果流体输送量较大或压力较高，就需要选择较大尺寸的管道。
其次是管道材质和耐腐蚀性能，不同材质的管道在不同环境下有不同的适用性。
另外还需要考虑工艺要求和安装条件等因素。
除了尺寸之外，管道规格还包括壁厚和长度等参数。
壁厚是指管道壁的厚度，一般采用标准壁厚，也可以根据具体需求选择非标准壁厚。
长度是指管道的长短，一般标准长度为6米或12米，也可以根据具体情况定制非标准长度。
在实际应用中，不同行业和领域对于管道规格尺寸有不同的要求。
例如，在石油化工行业中，常用的管道规格尺寸为4英寸、6英寸、8英寸等；而在建筑行业中，常用的管道规格尺寸为50mm、75mm、110mm等。
因此，在选择管道规格尺寸时，需要结合具体行业和应用场景来确定。
总结起来，ba级和ep级管道规格尺寸是根据国际标准和欧洲标准制定的，ba级采用英寸作为单位，ep级采用毫米作为单位。
AP MP BA EP不锈钢管的区别
T
MP/BA/EP
BA
1/4
+0.1
-0.00
±0.30
1.00
+0.05
-0.00
+0.05
-0.00
±0.30
3/8
1.00
1/2
1.24
+0.01
-0.15
±0.1
3/4
1.65
1
±0.1
1.65
6
+0.1
-0.00
1.00
+0.05
-0.00
+0.05
-0.00
10
1.00
12
1.00
+0.01
外径 Outside Diameter
壁厚 Wall Thickness
Tube
Pipe
MP/BA/EP
AP
Tube(mm)
Pipe 管表号5S
Pipe Schedule 5S
Pipe 管表号10S
Pipe Schedule 10S
英寸
Inch
米制
Metric
A
英寸
Inch
T
MP/EP
BA
AP
T
MP/BA/EP
Inspection Items
油脂成分测试
Oil Content Measurement
纯水阻抗测试
Liquid Registivity Measurement
离子分析
Ion Charomatography Analysis
露点测试
Dew Point Measurement
AP
0.1mg/ft²或最低（or lowest）
ep、ba、ap、mp管道管的加工工艺
ep、ba、ap、mp管道管的加工工艺
EP、BA、AP、MP是四种不同的管道加工工艺，具体如下：
EP（电解抛光）：利用阳极处理的方式，借由电化学的原理适当地调整电压、电流、酸液组成以及抛光时间，对管道进行抛光处理。
这种工艺可以有效地提高管道的光洁度，同时去除管道表面的氧化层和微小杂质。
BA（光亮退火）：钢管在制造过程中，为了避免油脂残留在钢管中，在退火时利用高温以氩气充当炉内气氛。
借由氩气与钢管表面的碳氧结合燃烧，进一步清洁钢管的表面以产生亮面效果。
这种利用纯氩气退火加热并快速冷却以亮化光面的方式叫做光亮退火。
虽然利用此种方式来亮化表面可保钢管充分干净无任何外来污染，但这种表面的明亮度若与其他抛光方式相较（如机械抛光），会显得稍暗，有雾面的感觉。
AP（酸洗处理）：利用硝酸与亚氟酸等酸性溶液来除去钢管的氧化层，使管道表面更加光滑、干净。
这种工艺可以有效地去除管道表面的锈蚀和氧化物，提高管道的质量和耐腐蚀性。
MP（机械抛光）：抛光轮或抛光带借助抛光剂中的磨料对不锈钢管表面进行抛磨加工，以促使不锈钢管面达到平滑抛光效果。
其亮度与效果则取决于加工方式的种类。
另外，虽然机械抛光后的钢管较美观，但其抗蚀性会降低，因此当用在腐蚀环境下需再经过钝化处理。
而且，钢管表面常有抛光材料残留。
这四种加工工艺各有特点，可以根据具体需求和管道材质选择合适的工艺。
EP、BA、AP管道洁净等级含义
不锈钢管•不锈钢管EP、BA&AP•管材等级EP级（Ele Ctrolytic Polished）电解抛光BA级（Bright-annealed ）光辉退火AP级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化•管材选用尺寸•英制规格：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"......4"•公制规格：3mm、6mm、8mm、10mm、12mm•具体使用场合：石油化工、微电子、光电子、医药、食品、高纯度流体配管（超高纯度气体、纯水、疫苗-----）等。
不锈钢管材入门handsets 发表于: 2007-4-05 17:40 来源: 半导体技术天地管材认识一．管件A. 依材质分类管材可分为：(1) SUS 304(2) SUS 316(3) SUS316L较低的含碳量过于自动焊接（orbitalλwelding），因钢材在高温熔合过程中碳的析出较少，可确保材质不脆化（参考表1-1）。
B．依规格分类（参考表1-2）（1）日规（JIS）：PIPE SIZE（2）美规（ASTM）：TUBE SIZE其中须注意（i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为34.4mm，在TUBE SIZE其OD为25.4mm（ii）在PIPE SIZE中：25A又称1”50A又称2”80A又称3”100A又称4”（iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管），常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”C．依表面处理方法分类：一般分为三种（I）AP级（素管）：表面不做任何处理（II）BA级：光辉烧钝（III）EP级：电解抛光MP级？注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP＞BA＞AP。
D．依厚度来区分：一般厚度之规格有SCH5S、SCH10S、SCH20S、SCH40S。
EP、BA、AP管道洁净等级含义
不锈钢管∙不锈钢管EP、BA&AP∙管材等级EP级（Ele Ctrolytic Polished）电解抛光∙∙BA级（Bright-annealed ）光辉退火∙∙AP级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化∙管材选用尺寸∙英制规格：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"......4"∙公制规格：3mm、6mm、8mm、10mm、12mm∙具体使用场合：石油化工、微电子、光电子、医药、食品、高纯度流体配管（超高纯度气体、纯水、疫苗-----）等。
不锈钢管材入门handsets 发表于: 2007-4-05 17:40 来源: 半导体技术天地管材认识一．管件A. 依材质分类管材可分为：(1) SUS 304(2) SUS 316(3) SUS316L较低的含碳量过于自动焊接（orbitalλ welding），因钢材在高温熔合过程中碳的析出较少，可确保材质不脆化（参考表1-1）。
B．依规格分类（参考表1-2）（1）日规（JIS）：PIPE SIZE（2）美规（ASTM）：TUBE SIZE其中须注意（i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为34.4mm，在TUBE SIZE其OD为25.4mm（ii）在PIPE SIZE中：25A又称1”50A又称2”80A又称3”100A又称4”（iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管），常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”C．依表面处理方法分类：一般分为三种（I）AP级（素管）：表面不做任何处理（II）BA级：光辉烧钝（III）EP级：电解抛光MP级？注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP＞BA＞AP。
D．依厚度来区分：一般厚度之规格有SCH5S、SCH10S、SCH20S、SCH40S。
金属管道简介
设备和管道的维护
1、清洁：设备内外清洁、无油污、各 部位不漏油、周围的杂物、赃物要 清扫干净。
2、整齐：工具摆放整齐，管道线路有
条理。 3、润滑良好：设备按时加油换油。 4、安全：安全装置齐全、可靠。
谢谢!
金属管材简介
BA 管 - Bright Annealed Pipe 光亮退火管 不锈钢管经过光亮退火工艺，使管壁达到光亮效果。 粗糙度：Ra≤0.3μm
EP 管 - Electro Polished Pipe 电抛光管 通过化学电解抛光，使管壁达到明亮、滑顺、洁净效 果，能提升表面抗腐蚀性。 粗糙度：Ra：季磊
2010.02.20
不锈钢的定义
不锈钢是不锈钢和耐酸钢的总称。 不锈钢之所以不锈，是因为不锈钢的钝 化特性（主加元素铬含量大于12%以上） 所决定的。
PV/HV用管道、CCSS用管道和CDA用 管道简介
各房间用管道材质为SUS304、 SUS316L等，其中以AP、BA、 EP管居多。
I型坡口、Y型坡口、双Y型坡口、带 钝边U型坡口、带钝边的双U型坡口。
焊接简介
6、常用焊接方法比较
1）手工电弧焊：设备简单、操作灵活、可以对不同焊接位置、不同接头 形式焊缝进行焊接。
2）埋弧自动焊：与手工电弧焊相比，生产率高，焊丝利用率高，焊接工
艺参数稳定，焊接质量好且稳定，适合焊接直缝和环缝，适合工厂成 批生产的平焊。
金属管材简介
AP管 - Annealed and Pickled Pipe 酸洗、禁油管，一般管材通过酸洗、禁油处理，达到去除油垢，污 渍后保持管壁清洁状态。 粗糙度：Ra≤2.5μm
MP管 - Mechanically Polished Pipe
机械抛光管 ，一般禁油管经过机械抛光加工，使其管壁表面粗糙度 降低，达到光滑，清洁效果。 粗糙度：Ra≤0.4μm
AP ,BA与EPTube & Pipe的尺寸及流量
Ra≤0.8μm （Above 6",Ra≤1.0μm)
SS316L EP Ra≤0.25μm 0~10kg/cm Double Package
最大流量
2
0~10kg/cm 3 0.3mm 10個以下/ ft 最大流量 最大流量
0.56 0.89 0.89 1.24 1.24 1.65 1.65
2
最大流量
AP Tube & Pipe
等级 SS304 AP 内表面 Oil Free、Clean 操作压力 0~10kg/cm2 壁厚要求 Size≤150A,Sch5s;Size≥200A,Sch10s ASTM A269/270 Size 1/4" 3/8" 1/2" 5/8" 3/4" 1"
6.35 9.53 12.70 15.88 19.05 25.40 OD(mm) 25A 32A 40A 50A 65A 80A 100A 125A 150A 200A 250A 300A 34.00 42.70 48.60 60.50 76.30 89.10 114.30 139.80 165.20 216.30 267.40 318.50 0.035" 0.035" 0.049" 0.049" 0.065" 0.065" Sch5S 1.65 1.65 1.65 1.65 2.10 2.10 2.10 2.80 2.80 2.80 3.40 3.40 0.89 0.89 1.24 1.24 1.65 1.65 Sch10S 2.80 2.80 2.80 2.80 3.00 3.00 3.00 3.40 3.40 4.00 OD(mm)
M3/H Max.
四版人民币冠大全
四版人民冠号大全一、一角8001已见发行514种冠号（其中补号29种）第一大组（90种JY为样票）AP、AQ、AR、AS、AT、——AX、AY、AZ BP、BQ、BR、BS、BT、BU、BW、BX、BY、BZ CP、CQ、CR、CS、CT、CU、CW、CX、CY、CZ DP、DQ、DR、DS、DT、DU、DW、DX、——EP、EQ、ER、ES、ET、EU、EW、EX、EY、EZ ———FS、FT、FU、FW、FX、FY、FZGP、GQ、GR、GS、GT、GU、GW、GX、GY、GZ HP、HQ、HR、HS、HT、HU、— HX、HY、HZ IP、IQ、IR、IS、IT、IU、IW、IX、IY、IZ JP、JQ、JR、— JT、JU、JW、JX — JZ其中补号5种JT、JU、JW、JX、JZ第二大组（99种）PA、PB、PC、PD、PE、PF、PG、PH、PI、PJ QA、QB、QC、QD、QE、QF、QG、QH、QI、QJ RA、RB、RC、RD、RE、RF、RG、RH、RI、RJ SA、SB、SC、SD、SE、SF、SG、SH、SI、SJ TA、TB — TD、TE、TF、TG、TH、TI、TJ UA、UB、UC、UD、UE、UF、UG、UH、UI、UJ WA、WB、WC、WD、WE、WF、WG、WH、WI、WJ XA、XB、XC、XD、XE、XF、XG、XH、XI、XJ YA、YB、YC、YD、YE、YF、YG、YH、YI、YJ ZA、ZB、ZC、ZD、ZE、ZF、ZG、ZH、ZI、ZJ 其中补号3种ZH ZI ZJ第三大组（50种）PK、PL、PM、PN、PO QK、QL、QM、QN、QORK、RL、RM、RN、RO SK、SL、SM、SN、SOTK、TL、TM、TN、TO UK、UL、UM、UN、UOWK、WL、WM、WN、WO XK、XL、XM、XN、XOYK、YL、YM、YN、YO ZK、ZL、ZM、ZN、ZO其中补号3种ZM ZN ZO第四大组（50种）其中补号2种JN JOAK、AL、AM、AN、AO BK、BL、BM、BN、BOCK、CL、CM、CN、CO DK、DL、DM、DN、DOEK、EL、EM、EN、EO FK、FL、FM、FN、FOGK、GL、GM、GN、GO HK、HL、HM、HN、HOIK、IL、IM、IN、IO JK、JL、JM、JN、JO第五大组（50种）其中补号2种NY NZKP、KQ、KR、KS、KT、KU、KW、KX、KY、KZ LP、LQ、LR、LS、LT、LU、LW、LX、LY、LZ MP、MQ、MR、MS、MT、MU、MW、MX、MY、MZ NP、NQ、NR、NS、NT、NU、NW、NX、NY、NZ OP、OQ、OR、OS、OT、OU、OW、OX、OY、OZ第六大组（95种）其中补号7种JA ** JC JG JH JI JJAA、AB、AC、AD、AE、AF、AG、AH、AI、AJ BA、BB、BC、BD、BE、BF、BG、BH、BI —CA、CB、CC、CD、CE、CF、CG、CH、CI、CJ DA — DC、DD、DE、DF、DG、DH、DI、DJ EA、EB、EC、ED —— EG、EH、EI、EJ FA、FB、FC、FD、FE、FF、FG、FH、FI、FJ GA、GB、GC、GD、GE、GF、GG、GH、GI、GJ HA、HB、HC、HD、HE、HF、HG、HH、HI、HJ IA、IB、IC、ID、IE、IF、IG、IH、II、IJ JA ** JC — JE、JF、JG、JH、JI、JJ第七大组（12种）其中补号1种NJKA、KB、KC、KD、KE、KF、KG、KH、KI、KJ —— MC ———————————————— NJ第八大组（68种）其中补号6种ZT ZU ZW ZX ZY ZZPP、PQ、PR、PS、PT、PU、PW、PX、PY、PZ QP、QQ、QR ———— QX、QY、QZRP、RQ、RR、RS、RT、RU、RW、RX、RY、RZ SP、—— SS — SU、SW、SX、SY —TP、TQ、TR、TS、TT、TU、TW、TX、TY、TZ US、UUWP、WQ — WS、WT、WU、WW、WX、WY ——— XR、XZYP — YR、YS ——— YX — YZ ZP、ZQ、ZR — ZT、ZU、ZW、ZX、ZY、ZZ 注：8001冠号仍在陆续发行中。
EP、BA、AP管道洁净等级含义教学文稿
E P、B A、A P管道洁净等级含义不锈钢管•不锈钢管EP、BA&AP•管材等级EP级（Ele Ctrolytic Polished）电解抛光••BA级（Bright-annealed ）光辉退火•• AP级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化•管材选用尺寸•英制规格：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"......4"•公制规格：3mm、6mm、8mm、10mm、12mm•具体使用场合：石油化工、微电子、光电子、医药、食品、高纯度流体配管（超高纯度气体、纯水、疫苗-----）等。
不锈钢管材入门handsets 发表于: 2007-4-05 17:40 来源: 半导体技术天地管材认识一．管件A. 依材质分类管材可分为：(1) SUS 304(2) SUS 316(3) SUS316L较低的含碳量过于自动焊接（orbitalλ welding），因钢材在高温熔合过程中碳的析出较少，可确保材质不脆化（参考表1-1）。
B．依规格分类（参考表1-2）（1）日规（JIS）：PIPE SIZE（2）美规（ASTM）：TUBE SIZE其中须注意（i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为34.4mm，在TUBE SIZE其OD为 25.4mm（ii）在PIPE SIZE中：25A又称1”50A又称2”80A又称3”100A又称4”（iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管），常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”C．依表面处理方法分类：一般分为三种（I） AP级（素管）：表面不做任何处理（II） BA级：光辉烧钝（III） EP级：电解抛光MP级？注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP ＞BA＞AP。
各种阀门及配件
一、大宗气体的制造： (1)二、大宗气体在半导体厂中的用途 (2)三、特气/Specialty Gas (2)四、半导体配管材料及阀件简介 (2)1. 管材 (2)2. 配件 (4)5) 焊接管件接头（焊接三通，弯头，变径管等） (4)6) VCR接头 (6)7) 卡套接头 (6)3. 阀件 (7)8) 球阀 (7)9) 隔膜阀 (8)10) 波纹管阀 (9)11) 针阀 (10)4. 调压阀 (11)5. 压力表及传感器 (12)6. 过滤器 (13)7. 流量控制元件 (14)8. 选用材料依据 (14)9. 二次阀盘组之形式： (15)对HOOK-UP专业知识的基本认识 (16)一、大宗气体的制造：1)CDA/ICA(Clean Dry Air)洁净干燥空气：CDA之来源取之于大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及碳氢化合物以供给无尘室CDA/ZCD。
CDA System:空气压缩机→缓衡储存槽→冷却干燥机→过滤器→CDA2)GN2：利用压缩机压缩冷却气体成液态气体。
经触媒转化器，将CO反应成CO2，将H2反应成H2O，再由分筛吸附CO2、H2O，再经分溜分离O2&CnHm。
N2=-195.6°C，O2=-183°C3)PN2：将GN2经由纯化器(Purifier)纯化处理，产生高纯度的N2。
一般液态原氮的纯度为99.9999%，经纯化器纯化过的氮的纯度为99.9999999%4)PO2：经压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99%以上纯度之O2，再除去N2、Ar、CnHm。
另外可由电解方式解离H2&O25)Par：经压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0%以上纯度之氩气。
因Ar在空气中含量仅0.93%。
生产成本相对较高。
6)PH2：经压缩机压缩冷却气体成液态气体，经二次分溜获得99.0%以上纯度之H2。
另外可由H2O电解解离H2&O2。
EP、BA、AP管道洁净等级含义[精品文档]
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不锈钢管材入门handsets 发表于: 2007-4-05 17:40 来源: 半导体技术天地管材认识一．管件A. 依材质分类管材可分为：(1) SUS 304(2) SUS 316(3) SUS316L较低的含碳量过于自动焊接（orbital λ welding ），因钢材在高温熔合过程中碳的析出较少，可确保材质不脆化（参考表1-1）。
B ．依规格分类（参考表1-2）（1）日规（JIS ）：PIPE SIZE（2）美规（ASTM ）：TUBE SIZE其中须注意（i ）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A ，其外径OD 为34.4mm ，在TUBE SIZE 其OD 为 25.4mm（ii ）在PIPE SIZE 中：25A 又称1”50A 又称2”80A 又称3”100A 又称4”不锈钢管∙不锈钢管EP 、BA&AP ∙ 管材等级 EP 级（Ele Ctrolytic Polished ）电解抛光BA 级（Bright-annealed ）光辉退火AP 级（Annealed and Pickled ）酸洗钝化∙管材选用尺寸 ∙英制规格：1/8"、1/4"、3/8"、1/2"、3/4"......4" ∙公制规格：3mm 、6mm 、8mm 、10mm 、12mm ∙ 具体使用场合：石油化工、微电子、光电子、医药、食品、高纯度流体配管（超高纯度气体、纯水、疫苗-----）等。
（iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管），常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、1”C．依表面处理方法分类：一般分为三种（I）AP级（素管）：表面不做任何处理（II）BA级：光辉烧钝（III）EP级：电解抛光MP级？注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP＞BA＞AP。
不锈钢管级别中BA级、EP级、AP级、MP级都是什么意思,分别用在什么地方？
不锈钢管级别中BA级、EP级、AP级、MP级都是什么意思，分别用在什么地方？不锈钢管级别中BA级、EP级、AP级、MP级都是什么意思，分别用在什么地方,不锈钢BA管――Bright Annealed tube(真空光亮退火管)，它是气氛保护热处理(Bright Annealed)的简称，又叫:不锈钢BA管，洁净管，光亮退火管，无缝管，气路管，高纯气路管线，卡套管材质:304,316L标准:ASTM A249, A269, A270, 3A and BPE standard, JIS G3447. G3459,成型:以多辊冷轧为主，尺寸精度可以达到0.2,，内表面光洁度Ra< 0.45 um. 特征;尺寸精确，表面光滑，整体洁净，内表面不抛光胜于抛光的光洁度原料;满足ASTM A269标准，特别要求可以采用两次熔炉钢锭制造:采用冷轧+精拉，尺寸精度达到0.05mm左右，内表面Ra0.4微米左右热处理:在还原性气氛保护下光亮固溶(退火)清洗:用SC2286清洗剂进行超声波Ultrasonic清洗。
也就是一定要做脱脂去油处理检验:涡流无探伤+水压等方式精整:矫直+定尺+抛光包装:喷码+PE袋+带帽+减震包装+戈尘包装+防护保护用途:特殊气体或者液体输送，同时是EP管的母材适用行业:生物制药，电子洁净车间厂区，高纯气体，高要求洁净实验室，液晶显示，太阳能光伏，多晶硅等领域。
半导体行业、液晶行业、药品行业、仪表系统、压缩空气、超高纯气体、化学品系统、WFI系统和其他有高纯和超高纯要求的气体管道系统或无尘室或者设备方面。
EP工艺:在优质BA管基础上对内表面做电化学抛光，然后用高纯水做净化处理，充氮气包装。
直径控制:公差?0.02mm(0.1%);长度控制:公差?0.05mm;直线度:不大于0.1mm/m;表面粗糙度:EP管Ra?0.15μm;同心度控制:公差?0.01mm;力学性能控制:可对硬度HRB(75~580)、强度δ和延伸率Ψ进行调整控制; b 热处理:还原性气氛下固熔处理。
特殊管路EP-AP-BA区别
Ra & Rmax 定义
Ra之定义：
Ra 1
L
f ( x) dx
L0
Y
L：测定长度 x：粗度曲线之中心线
Y轴：纵倍率方向 Y＝f(x) ：粗度曲线
X L
Ra 取样长度
Ra范围
测量长度(mm)
0.006~0.02
0.4
0.02~0.1
1.25
0.1~2.0
4
2.0~10.0
4
10.0~50.0
12.5
50.0~200.0
40
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电解抛光优点与缺点
优点：
超平滑，去除表面浅层缺陷，减少总表面积 流道与管向平行，降低微尘累积 适用于非平面加工物件形 状 重组良好的钝化层，减少流体与管壁的反应，提高管件抗蚀性 无机械抛光不均匀现象 更易吹扫、清洗
缺点：
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EP管
点解研磨 Electro polish
BA管
管材的选用
使用范围 ⑴ EP 级别管道-高纯度气体（5N&6N以上）， 毒性（PH3 AsH3 SiH2Cl2)，腐蚀性（HCl NH3)，易燃易爆（SiH4)气体。 ⑵ BA 一般性气体 N2 O2 H2 Ar CDA ⑶ AP 压缩气体，双套管外管
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管材的规格
依表面处理方法分类： 一般分为三种
（I） AP级（素管）：表面不做任何处理 （II）BA级：光辉烧钝 （III）EP级：电解抛光 注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因 素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP ＞BA＞AP。
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不锈钢的表面处理
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Ra & Rmax 定义
Ra之定义：
1 Ra L
Y
L
0
f ( x ) dx
L：测定长度 x：粗度曲线之中心线
Y轴：纵倍率方向 Y＝f(x) ：粗度曲线
X L
Ra 取样长度
Ra范围 0.006~0.02 0.02~0.1 0.1~2.0 2.0~10.0 10.0~80.0 测量长度(mm) 0.4 1.25 4 12.5 40
管材的选用
使用范围 ⑴ EP 级别管道-高纯度气体（5N&6N以上）， 毒性（PH3 AsH3 SiH2Cl2)，腐蚀性（HCl NH3)，易燃易爆（SiH4)气体。 ⑵ BA 一般性气体 N2 O2 H2 Ar CDA ⑶ AP 压缩气体，双套管外管
管材的规格
依材质分类 管材可分为： (1) SUS 304 (2) SUS 316 (3) SUS 316L 以上都是不锈钢管材 其中L表示为低碳
管材的规格
依表面处理方法分类： 一般分为三种 （I） AP级（素管）：表面不做任何处理 （II）BA级：光辉烧钝 （III）EP级：电解抛光 注意：影响管子价格之因素为最重要之决定因 素在表面处理之方法，其价格之高低顺序EP ＞BA＞AP。
不锈钢的表面处理
AP & BA & EP 表面
氧化铬层封闭保护，中立于介质 消除内部应力 改善结构形态，减少能量水平 提高了表面粗糙度 表面积缩小，降低风险 残留能量最下 更易吹扫、清洗
管材的规格
依规格分类 （1）日规（JIS）：PIPE SIZE （2）美规（ASTM）：TUBE SIZE 其中须注意 （i）1”之尺寸在PIPE SIZE=25A，其外径OD为 34.4mm，在TUBE SIZE其OD为 25.4mm （ii）在PIPE SIZE中：25A又称1” 50A又称2” 80A 又称3” 100A又称4” （iii）TUBE SIZE（一般使用在1“以下之GAS配管）， 常用尺寸为1/8”（一分）、2/8“（二分）、3/8”（三 分）、4/8“（四分）、5/8”（五分）、6/8“（六分）、 1”4
EP（Electro-Polished)
电解抛光 通过电化学抛光，可以极大的提高表面形态及 及结构，使表层面积得到极大的程度的减少。 表面是一层封闭的、厚厚的氧化铬膜，能量接 近合金的正常水平，同事介质数量也会降为最 少。 微电子、光电子和生物制药等行业对传输敏感 或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都采 用光亮烧钝（BA）、电解抛光（EP）产 : 100% 检查項目:管內不得有水痕，是否脏污或研磨不均，或电解不良、变色
表面粗度量检测
检查率 : 10% 检查项目: Ra / Rmax < 规定值
白布实验
通管检查率 : 100% 检查项目: 通过管內白布不得脏污，或油脂残留
纯水阻抗测定
检查率 : 10% 检查项目: 管末端纯水阻值>17.5MΩ.cm
Rmax定义： 于粗度曲线取二平行直线，测定其量测范围间两平行直线之最大高度。 Rmax=Rp+Rv
Y
Rmax Rp
L
Rmax之量測長度
Rmax之範圍 0.025~0.10 0.10~0.50 0.50~10.0 10.0~50.0 50.0~200.0 量測長度(mm) 0.4 1.25 4 12.5 40
酸洗或钝化 管道经过酸洗或钝化，不会提高表面粗糙度， 单可以去除残存的颗粒，降低能量水平，但不 会减少介层数量
BA (Bright Annealing)
光亮烧钝 在加氢或真空状态高温热处理，一方面消除内 应力，另一方面在管道表面形成一层钝化膜， 以改善形态结构，减少能量水平，但不会提高 表面粗糙度。
不会提高表面粗糙度，单可以去 除残存的颗粒，降低能量水平， 但不会减少介层数量
酸洗钝化， Ra值不变 表面更平整，颗粒减少
光亮退火， Ra=0.3μm 放大200倍
电解抛光， Ra=0.19μm 放大500倍
Rmax
AP: annealed & pickled Rmax 20~50μm (经过酸洗处理，素管) BA：bright anneal treatment , Rmax 3~8 μm (光辉锻造，抛光) EP:electro polish, Rmax 0.3~0.8 μm (电解抛光)
AP管的制程
管胚
热挤压 Hot extrusion
冷加工 Cold draw
AP管
酸洗钝化 Annealing Pickled
热处理 Heat treatment
BA&EP 制程介绍
AP管
冷加工 Cold draw
EP管
点解研磨 Electro polish 光辉烧结 Bright annealing BA管
管材简介
一、抛光主力方式 二、管材的制程 三、管材的选用 四、管材的规格 五、表面处理 六、品质检查
分类：抛光处理方式
AP (Annealing & Pickled）酸洗钝化 BA (Bright Annealing) 光亮烧钝 EP (Electro-Polished) 电解抛光
AP (Annealing Pickled）
Rv
X
电解抛光优点与缺点
优点：
超平滑，去除表面浅层缺陷，减少总表面积 流道与管向平行，降低微尘累积 适用于非平面加工物件形 状 重组良好的钝化层，减少流体与管壁的反应，提高管件抗蚀性 无机械抛光不均匀现象 更易吹扫、清洗
缺点：
电解抛光属于表面溶解方式平坦化，速度 遇底材状况不良时，（如热抽管或大尺寸冷抽管 仍需先机械抛光前处理
Particle残留測定
检查率 : 1% 检查项目:每 ft3 中Particle < 规定值
管內油份残留测定
纯水注入，封口，摇晃震荡，靜置蒸馏淬取残留油脂，计算残留量 检查率 : 1% 标准值 : < 0.1 mg/ft2