镀膜玻璃耐候性的分析

候性也是产品一个非常重要的性能，使用时间越长、衰 减越小，产品的性价比越高。国内很多企业需要认识到 清洗的重要性，成分清洁的表面是成膜牢固的充分但不 必要条件。板块清洗好了之后，在进入镀膜腔体也需
要保证不会被污染。镀膜之后的处理也很重要，可能很 多厂家在镀膜之后，板块往往就开始进行后道工艺处理， 实际上镀膜之后的热处理非常有必要，当然对于不同板 材和镀膜材料来说，热处理温度不尽相同。现在对
于镀膜玻璃需求，市场空间很大，但是我们希望企业做 出来的产品性能优越，至少在寿命上能达到数十年，否 则对于整个行业的发展也是不利的。
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膜层结构是一种多层膜结构，基底上依次镀上金属膜、 金属-陶瓷吸收膜和减反射膜。金属镀膜非常容易，而镀 金属陶瓷吸收膜和减反射膜，对设备和工艺都有特定的 要求。以平板为例，目前市场上存在两种产品：蓝
钛(TiON)和黑镍、铬(CrNiON)。个人认为蓝钛产品耐候性 会更好点，源自文库与材料有关，因为CrO热稳定性相对比较差。 对于这些氮氧化物的镀膜，往往是通入Ar/O/N三种气体， 其中Ar起到溅射
出粒子的作用，而N/O气体起到与溅射出来的粒子反应作 用，生成需要的氮氧化物吸收层。对于蓝钛镀膜来说， 这种靶材比较容易中毒，使得沉积工艺不稳定。这与腔 体内部通入气体和抽出气体有关，如果气氛不均
匀、不稳定，那无法保证整个平板镀膜均匀性，另外工 艺上很多厂家对气氛输入的大小和比例，也没有进行充 分的优化，使得膜层性能相对较低。一般来讲膜层在确 定材料之后，与膜层的厚度和化学元素比例有关。耐
镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金 属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定 要求。与国外95%以上吸收率和5%以下发射率相比，虽 然国内很多公司号称吸收率可以做到93%发射
率可以做到7%以下，但是从我与一些企业合作过程中发 现，这些性能仅限于他们的最高指标，且镀膜过程稳定 性不好。究其原因，我想从设备和工艺两方面谈谈对光 学性能的影响，探讨下耐候性问题。镀膜玻璃，其