真空系统
真空系统原理图
真空系统原理图真空系统是一种用于实现真空环境的系统，它在许多领域都有着广泛的应用，包括半导体制造、光学涂层、化学加工和实验室研究等。
真空系统的原理图是真空系统设计和构建的重要参考依据，它展示了真空系统的各个组成部分之间的连接关系和工作原理。
本文将详细介绍真空系统原理图的构成和作用，帮助读者更好地理解和应用真空系统。
首先，真空系统原理图主要包括真空泵、真空室、阀门、仪表和管道等组成部分。
真空泵是真空系统的核心设备，它通过不同的工作原理实现对气体的抽取，从而形成真空环境。
真空室是容纳被抽取气体的空间，它的大小和形状会根据具体的应用需求而有所不同。
阀门用于控制气体的流动方向和流量，起到调节和分流的作用。
仪表则用于监测和记录真空系统的压力、温度和流量等参数，确保系统的正常运行。
管道则连接各个组成部分，形成气体流动的通道。
其次，真空系统原理图的作用主要体现在以下几个方面。
首先，它可以帮助工程师和技术人员清晰地了解真空系统的结构和工作原理，有助于系统的设计和改进。
其次，它可以作为真空系统的施工和维护指导，帮助施工人员正确地安装和连接各个设备和管道。
再次，它可以作为故障排查和维修的参考依据，帮助技术人员快速找到问题所在，并进行修复。
最后，它还可以作为真空系统的培训教材，帮助新手快速掌握真空技术的知识和技能。
总之，真空系统原理图是真空技术领域中的重要工具，它对于真空系统的设计、施工、维护和培训都具有重要意义。
通过深入了解和应用真空系统原理图，我们可以更好地掌握真空技术，提高系统的性能和可靠性，推动真空技术的发展和应用。
希望本文能够帮助读者更好地理解和应用真空系统原理图，促进真空技术的发展和应用。
同时也欢迎读者对本文提出宝贵意见和建议，共同探讨真空技术的发展方向和应用前景。
真空系统的组成
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
真空系统的组成
12.1真空系统的形式
真空系统是由真空容器和获得真空、测量真空、控制真 空等组件组成。
一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空 机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、 其他真空元件及电气控制系统构成。，经过精心组装而 成的。
真空系统的分类
按工作压力分：
12.3典型真空系统
1、粗真空系统 用粗真空泵（如 水蒸汽喷射或水 环泵）直接从大 气压下为真空室 排气，组成的真 空系统极为粗真 空系统。该系统 是最简单的真空 系统。
2、低真空系统
用低真空泵（如油封式机械泵）给真空室排气，即可组成 低真空系统。
3、中真空系统
中真空系统一般是有两个以上的真 空泵串联组成的 （1）油增压泵串联油封机械泵组成 的真空系统。该系统的工作压力范 围为1.33~1.33×10-1Pa。其优点是 系统简单，抽气能力大，振动小， 工作稳定可靠，维修方便。缺点是 预抽时间比罗茨泵系统长。 （2）罗茨泵串联油封机械泵的真空 系统。该系统的工作电压范围为 1.33~1333Pa.优点是抽气能力大， 启动快，预抽时间短。缺点是工作 时噪声较大。右图为典型示意图 （3）罗茨泵串联小型罗茨泵（中间泵），再串联机械泵的真空系统。系统 的工作压力范围为0.33~1333Pa.该系统不但具备了罗茨泵系统的特点，而 且加宽了工作压力范围和最佳压力缩比。 （4）罗茨泵串联水环泵的真空系统。该系统适合于排除灰尘较多的应用设 备上。
真空系统操作与维护方法
真空系统操作与维护方法真空系统是一种用于控制和维持低压条件的技术，广泛应用于科学实验、制造工艺以及各种工业领域。
正确的操作和维护真空系统对于保持系统性能的稳定和可靠至关重要。
本文将介绍一些常见的真空系统操作和维护方法。
第一，操作的正确性是保持真空系统正常运行的关键。
首先，操作者在进行任何操作之前，应该具备相关的培训和知识背景。
他们应该了解真空系统的基本原理和组成，以及各个部件的作用和操作方法。
此外，他们应该熟悉真空系统的安全操作规程，包括安全设备的使用和紧急情况的处理。
只有操作者具备足够的技能和知识，才能保证真空系统的正常运行。
其次，操作者应该按照正确的操作顺序进行操作。
在启动真空系统之前，应检查所有阀门、接头和连接件是否牢固密封。
然后，按照指定的程序依次打开真空泵和各个阀门，以确保系统可以正常运行。
在操作过程中，应密切关注真空系统的运行状态和参数变化，及时采取措施以保持系统的稳定。
第二，维护真空系统的方法也至关重要。
首先，定期检查和维护真空系统的各个组件和部件，以确保它们的正常运行。
例如，检查真空泵的运行状况和润滑油的状态，以及各个阀门和接头的密封性。
必要时，进行清洗、更换或修理。
此外，保持真空系统的卫生和整洁。
及时清理系统中的杂质和污垢，以防止其对系统性能的影响。
对于长时间不使用的真空系统，应定期进行保养和保护，以防止其受到外界因素的影响。
其次，及时处理真空系统中的故障和问题，以减小损失并保证系统的正常运行。
例如，检测和处理泄漏问题，以确保真空系统的密封性。
此外，注意系统中的压力和温度变化，及时调整和维护系统的参数。
对于无法解决的故障和问题，应及时寻求专业的技术支持和维修服务。
在操作和维护真空系统时，应遵循一些基本原则。
首先，要保持系统的清洁和干燥，以防止污染和腐蚀。
其次，要避免突然的压力变化和过度的负载，以防止系统的破裂或损坏。
此外，要避免使用不符合规范的材料和润滑剂，以免对系统产生不利影响。
真空系统原理
真空系统原理
真空系统是指通过减低气体压力将环境中的气体抽除，从而形成一定程度的真空环境的一种设备。
其工作原理主要涉及气体流动、分子运动和压力平衡等基本物理原理。
首先，真空系统中的气体流动是通过气体压力差驱动的。
在真空系统中，一端的气体被抽除，形成一定的负压，而在另一端则是相对较高的环境气体压力。
通过这种压力差，气体会从高压区域流向低压区域，直到两者达到压力平衡。
其次，真空系统中的气体流动也受到分子运动速度的影响。
在气体压力较高的情况下，气体分子的平均自由程较短，分子之间的碰撞较频繁，使得气体流动较为活跃。
而当气体压力减低至一定程度时，分子之间的碰撞频率减小，气体流动变得较为稀疏。
最后，真空系统的关键是维持一定的压力平衡。
在系统中，抽气装置通过机械或物理方式将气体抽出，从而降低系统内部的气体压力。
同时，通过排气阀门等控制装置，可以控制气体的流动速度和压力。
通过这种方式，系统可以达到一定的真空程度。
综上所述，真空系统的工作原理涉及气体流动、分子运动和压力平衡等物理原理。
通过对气体压力的调控和流动的控制，真空系统能够实现一定程度的真空环境，满足不同领域的需求。
气动真空系统介绍及应用(二)
气动真空系统介绍及应用（二）引言概述：气动真空系统是一种通过气压差实现吸引物体或产生真空环境的系统。
它在工业生产过程中起着重要的作用，广泛应用于各个领域。
本文将介绍气动真空系统的工作原理、组成结构、操作流程以及应用案例。
正文：一、工作原理1.1 负压原理：介绍气动真空系统通过减小一侧气压来产生负压的基本原理。
1.2 气动吸盘原理：说明气动真空系统中气动吸盘如何利用负压力将物体吸附的工作原理。
1.3 定向控制原理：介绍气动真空系统中的定向控制部件如何通过控制气体流向来实现吸盘的开关和吸放操作。
二、组成结构2.1 气源装置：介绍气动真空系统中的压缩机和气缸等气源装置的作用和结构。
2.2 气动执行器：阐述气动真空系统中的气动执行器如吸盘、气缸等的结构和功能。
2.3 控制系统：说明气动真空系统中的控制系统如定向控制阀、压力开关等的作用和原理。
三、操作流程3.1 吸附操作：说明气动真空系统在吸附物体时的操作流程，包括气缸伸出、吸盘接触、负压产生等。
3.2 放置操作：介绍气动真空系统在将物体放置到目标位置时的操作流程，包括气缸缩回、吸盘脱离、正压释放等。
四、应用案例4.1 自动化装配：阐述气动真空系统在自动化装配线上的应用，如对小零件的吸附、定位等操作。
4.2 搬运输送：介绍气动真空系统在搬运输送物料过程中的应用，如对轻型板件的吸附和转运等。
4.3 输送包装：说明气动真空系统在包装行业中的应用，如对纸箱的吸附、封口等操作。
五、总结通过对气动真空系统的介绍，我们了解到它的工作原理、组成结构和操作流程。
同时，它在自动化装配、搬运输送和包装等领域有着广泛的应用。
随着工业生产的不断发展，气动真空系统的应用将会越来越广泛，为我们的生产带来更多的便利和效益。
真空系统的组成.
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（3）高真空抽气机组
高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比， 其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速 大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛 升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因 此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组 性能。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
真空系统特点和原理
真空系统特点和原理什么是真空系统？真空系统指的是在一个封闭的设备中，通过吸气装置将其中的气体抽出，使得设备内部压力低于大气压的一种工艺。
真空技术在许多领域中起着重要的作用，比如电子学、化学、材料科学等。
在电子学领域中，真空技术可用于制备集成电路、真空管、显示器等器件，同时还可用于飞行器、地下管道等设备的维护和测试。
特点1. 稳定性真空系统可以在非常稳定的环境下工作。
由于内部压力较低，因此可以避免许多热扰动和气动扰动。
这意味着在真空环境中，实验和测试结果非常准确。
2. 洁净在真空系统中，几乎没有任何气体和其他成分，因此可以避免许多杂质和污染物对实验和测试结果的干扰，使得实验数据更准确。
另外，在真空环境下，材料受到的氧化和腐蚀也大大降低，可以延长设备寿命。
3. 透明度真空环境对于电子束和光线具有很好的透明度，这使得在真空环境下进行的实验和测试能够获得更清晰和可靠的结果。
4. 可调性真空系统可以根据不同需求进行调整，比如通过控制内部压力，可以在不同的真空下进行实验和测试。
原理真空系统的原理基于“气体流动动力学”和“分子动力学”等理论，主要分为两个步骤：1. 抽气抽气装置通过机械或者电子的方式，可以将设备内包含的气体抽出，形成低压和高真空区域。
在真空板中，可以使用各种设计的吸气装置，如机械泵、扩散泵、离子泵、涡流泵等。
其中，在低真空区域下(几千帕到几十帕)，常使用机械泵，高真空区(1×10(-1)帕到1×10(-5)帕)则使用扩散泵等。
在超高真空区域(1×10^(-5)帕及以下)，则需要使用离子泵和涡流泵等。
2. 测量和控制一旦设备中的气体被抽出，真空系统的下一步是测量和控制设备内的压力。
为了保持内部压力达到所需水平，通常需要在真空系统中加入排气阀和调压阀等器件。
这些器件通过对真空系统的气体流量进行控制来保持内部压力。
结论真空技术在现代科学中起着非常重要的作用。
通过抽取气体并控制压力，真空系统可以提供一个干净，稳定和透明的实验环境，而这些特点不仅使得许多领域的实验更加准确和可靠，也使得许多现代技术得以应用和发展。
真空系统的工艺设计
真空系统的工艺设计
真空系统的工艺设计是一个复杂的过程，涉及到多个学科的知识，包括流体力学、热力学、材料科学、机械工程等。
以下是一些基本的步骤：
1. 确定系统需求：首先，需要明确真空系统的应用目标，例如是用于半导体制造、真空镀膜、粒子加速器等。
这将决定系统的最大工作压力、工作温度、抽气速率等参数。
2. 选择真空泵：根据系统需求，选择合适的真空泵。
常见的真空泵类型有旋片泵、滑阀泵、扩散泵、离子泵等。
每种泵都有其特定的工作压力范围和抽气速率。
3. 设计真空室：真空室的设计需要考虑工作压力、工作温度、材料选择等因素。
一般来说，真空室应该尽可能小，以减少气体负荷。
4. 设计抽气管道：抽气管道的设计需要考虑管道直径、长度、形状等因素，以保证在工作压力下能够达到所需的抽气速率。
5. 安装和调试：在安装和调试过程中，需要检查所有部件的工作情况，确保系统能够在预定的工作条件下稳定运行。
6. 系统优化：在实际运行过程中，可能需要对系统进行优化，例如改变工作参数、更换部件等，以提高系统的性能和可靠性。
总的来说，真空系统的工艺设计需要综合考虑多种因素，需要有丰富的经验和专业知识。
真空系统的操作维护与故障排除指南
真空系统的操作维护与故障排除指南在各种实验室和工业环境中，真空系统是一个至关重要的组成部分。
它广泛应用于半导体制造、材料科学、化学工程等领域。
一个高效稳定的真空系统是保证实验和工艺顺利进行的关键。
然而，由于各种原因，真空系统可能出现故障，影响正常运行。
本文将探讨真空系统的操作维护与故障排除指南，帮助读者更好地了解和解决真空系统问题。
1. 维护操作1.1 定期保养定期保养是保持真空系统正常运行的基础。
保养包括清洁真空室、检查密封件和阀门的磨损程度，以及更换需要更换的部件等。
经常性的保养可以延长真空系统的使用寿命，并提高其性能。
1.2 注意真空泵的使用真空泵是真空系统的核心设备之一。
在使用真空泵时，要注意检查和更换油封和滤芯，保持泵的正常工作状态。
此外，定期清洗真空泵的内部部件也是必要的。
1.3 谨慎操作真空系统操作真空系统时要小心谨慎，避免因误操作导致系统故障。
避免过高的压力和温度，遵守正确的操作程序，同时注意操作的安全性。
2. 故障排除2.1 泄漏问题真空系统中最常见的问题之一是泄漏。
当真空系统无法达到所需的真空度时，首先需要检查是否存在泄漏。
检查所有连接部件、密封件和阀门，使用氦气或氮气进行泄漏测试。
一旦发现泄漏，立即修复或更换受损部件。
2.2 气体污染在真空系统中，气体污染可能导致实验或工艺的失败。
对于实验室来说，有时会发现实验结果与预期不符，可能是由于气体污染造成的。
解决这个问题的方法是使用高纯度的气体，并定期清洁真空系统，去除可能存在的杂质。
2.3 露点问题在低真空系统中，露点是一个关键的参数。
当真空系统的温度低于气体饱和时，水分会凝结并造成问题。
避免这种情况的发生，需要控制温度、加热真空室以保持露点较低，或者使用干燥剂吸附水分。
2.4 阀门和传感器故障阀门和传感器是真空系统中常见的故障点。
故障的阀门可能导致真空度下降，传感器故障可能导致错误的数据。
解决这些问题的方法是进行定期的检查和维修，确保阀门和传感器正常工作。
真空系统定义
真空系统定义好的，以下是为您生成的关于“真空系统定义”的文章：---【真空系统定义】**开场白**你有没有好奇过，为什么有些食品能长时间保存不变质？或者为什么一些电子元件在制造过程中能达到极高的精度？其实，这背后都有真空系统的功劳。
今天，咱们就来好好聊聊这个看似神秘的真空系统。
**什么是真空系统？**其实，真空系统就是一套能够创造并维持一定真空环境的设备组合。
简单来说，就好比是给一个特定的空间“抽空气”，让里面的气压变得很低很低。
比如说，家里的那种真空压缩袋，把空气抽掉让袋子变得扁扁的，这就是一个很简单的制造局部真空的例子。
但真空系统可比这复杂和强大得多啦！要注意的是，有些人可能会认为真空就是完全没有任何物质的空间，这是个错误的理解哦！实际上，真空只是气压低于大气压的状态，还是会有少量的气体分子存在的。
**关键点解析**3.1 核心特征或要素第一个要素是真空泵，这可是真空系统的“心脏”，负责把气体抽出来。
就像家里的吸尘器，不停地把脏东西吸走。
常见的真空泵有机械泵、扩散泵等。
第二个要素是真空容器，这是容纳被抽真空的物体或空间的地方。
比如在实验室里的真空反应釜，就是一个专门的真空容器。
第三个要素是真空测量装置，得知道真空度到底达到了多少呀，就像我们量体温知道发烧的程度一样。
3.2 容易混淆的概念真空系统和通风系统可不一样。
通风系统是让空气流动起来，而真空系统是把空气抽走。
通风系统就像给房间开窗透气，而真空系统则是把房间里的空气几乎都抽光。
还有，真空系统也不是单纯的抽气设备。
抽气设备可能只是简单地抽气，而真空系统要能精确控制真空度，并且保持这个状态的稳定。
**起源与发展**真空系统的历史可以追溯到很久以前。
早在 17 世纪，人们就开始尝试制造简单的真空装置。
随着工业革命的推进，对真空技术的需求越来越大，真空系统也不断发展和完善。
到了现代，真空系统在很多领域都发挥着至关重要的作用。
比如在半导体制造中，超高真空环境能保证芯片的质量和性能；在航天领域，真空模拟环境用于测试航天器的可靠性。
真空系统的作用
真空系统的作用
真空系统是一种用于在封闭空间中创造和维持真空条件的技术。
它在工业生产、实验室研究和其他领域中发挥着重要作用。
以下是真空系统的一些主要作用：
1. 真空腔体的创造：真空系统可以创建低压或高度抽气的环境，以在实验室和
工业生产过程中提供必要的空间。
这种真空环境可以有效地控制、观察和测试物质在低压条件下的行为。
在材料科学、化学、物理学和许多其他科学领域，真空腔体也被用于清洁和处理材料表面。
2. 加工和制造过程的控制：许多工艺过程需要在真空条件下进行，以避免不利
的化学反应、杂质污染或使产品遭受大气中的腐蚀。
真空系统在半导体制造、电子工业、玻璃制造、各种涂层和表面处理过程中发挥着关键作用。
通过利用真空环境，可以改善材料的性能、减少气泡的产生，并实现高质量的产品。
3. 负压环境的研究：真空系统还被用于各种物理实验和研究中，特别是在微重
力条件下的科学研究中。
在太空探索、粒子物理学、核磁共振等领域，真空系统的应用非常广泛。
它们可以帮助科学家们模拟和研究高度稀疏的空间环境，以及实验中需要创建特殊条件的情况。
4. 真空绝缘：真空系统中的真空腔和真空管道具有出色的绝缘性能，可以防止
热传导和能量损失。
这使得真空系统在高温或低温环境下广泛应用，例如制冷设备、太阳能热水器、真空隔热材料等。
总结起来，真空系统是一种功能强大的技术，可在许多领域中发挥作用。
它在
实验室研究、工业生产和科学研究中扮演着重要角色，帮助控制环境条件，改善产品质量，并推动前沿科学的发展。
真空系统介绍
压强关系图
点相对压强
点绝对压强值
一个大气压
点真空度 点绝对压强值
绝对真空
4、真空常用单位：
Torr mmHg InHg 换算关系：
２、安装真空缓冲罐还可以防止泵倒吸后水 进入反应设备中。
3 、为体系多提供一个卸压点；（卸压） 4 、可以干燥,冷却进入泵的气体 ；（干燥冷
却）
5、减少真空泵损耗（通过PLC控制，当真空 泵将罐抽到极限真空时候就可以停下真空泵， 等真空度不够时再次启动，降低能耗，）
真空缓冲灌
四、管道阀门及其工法介绍
1、PV管路使用材質
200A (含)以上為鍍鋅管,以下為 PVC-SCH 80
PVC (PolyVinvlChloride,聚氯乙烯) 是统称，包括： UPVC - Unplasticised Polyvinvl Chloride 未塑化聚氯乙烯 PPVC - Plasticised Polyvinvl Chloride 塑化聚氯乙烯 CPVC - Chorinated Polyvinyl Chloride 氯化聚氯乙烯
2）动量传输泵
这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量 传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的 入口传输到出口。
1.2.2、气体捕集泵
这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表 面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽 气目的的真空泵，有以下几种型式。
1）吸附泵
它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的 物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
真空系统用途
真空系统用途真空系统是一种设备，用于在封闭空间内创建低压环境。
它广泛应用于各种科学研究、工业生产和日常生活中。
真空系统的用途是多样的，下面将详细介绍其在不同领域中的应用。
首先，在科学研究领域中，真空系统被广泛用于物理学、化学、生物学、医学和天文学等各个领域。
在物理学中，真空系统可以用于制备高纯度的材料和材料表面的处理，以便研究材料的物理性质。
在化学领域，真空系统可用于真空蒸馏、蒸发和干燥等化学实验。
在生物学和医学领域，真空系统通常用于细胞培养、组织切片和药物输送等实验。
在天文学中，真空系统可用于模拟太空环境，以便进行宇宙射线的研究。
其次，在工业生产中，真空系统也有着重要的应用。
在制造业中，真空系统通常用于气体抽除、真空封装和真空热处理等工艺。
在半导体制造业中，真空系统被用于制造芯片和集成电路等微型器件。
在航天航空领域，真空系统被用于模拟太空环境、测试航天器件和进行航天实验。
在医疗器械制造业中，真空系统通常用于医用包装、生物制品的加工和医用器械的灭菌等工艺。
此外，在日常生活中，真空系统也有着一些应用。
例如，真空保温杯可以有效地保持饮料的温度，真空保鲜盒可以延长食物的保鲜时间，真空吸尘器可以清洁地毯和地板等。
因此，可以说真空系统已经渗透到了我们生活的方方面面。
总的来说，真空系统的用途是非常广泛的，它在科学研究、工业生产和日常生活中都发挥着重要的作用。
正是由于真空系统的存在，才使得许多科学实验和工业生产过程成为可能。
因此，真空系统的发展和应用对于推动科学技术的进步、提高工业生产效率和改善人们的生活质量都具有重要的意义。
随着科技的不断进步，相信真空系统在未来将会有更加广阔的应用前景。
真空系统的分类
真空系统的分类真空系统可以根据其工作压力范围进行分类，主要包括以下几种：1．低真空系统：这种系统的极限真空度在低真空范围内，通常只需用机械泵给真空室排气，系统相对简单。
2．中真空系统：这种系统的工作压强范围通常在1.333-3×102 Pa之间，应用比较普遍，许多应用设备如自耗炉真空系统、感应炉真空系统、热处理炉真空系统等都采用这种系统。
中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。
3．高真空系统：高真空系统的工作压强范围通常在6.67×10-2-1.33×10-3 Pa之间，应用也比较广泛，如镀膜机、电子轰击炉和部分电阻炉等都采用高真空系统。
4．超高真空系统：超高真空主要用于表面研究、热核反应、高能加速器、半导体研究、空间模拟等科学领域中。
由于这些现代科学技术发展的需要，大大促进了超高真空技术的发展，目前超高真空实用真空度已达到10-12 Pa。
此外，真空系统还可以根据使用的泵的类型进行分类，主要包括以下几种：1．机械泵系统：这是实验室中最常见的真空系统之一，由一个机械泵和一些附属设备组成，可以将大气压力的空气排出，形成低压或高真空。
这种系统结构简单、使用方便、价格较低，常用于一些温和条件下的真空实验。
2．扩散泵系统：在扩散泵系统中，气体经过一个热扩散器被排出真空室。
这种系统有比机械泵更高的抽气速度，可以实现较高真空，但是设备比较复杂，需要不断补充工质。
3．离子泵系统：离子泵系统利用电场加速离子，并通过静电作用把气体气体分子排出真空室。
由于离子泵不能减压到大气压以下的真空度，常常要和机械泵等其他泵系统组合使用。
离子泵系统适用于需要较高真空度的实验室应用。
4．分子泵系统：分子泵系统可将气体分子从表面排出，从而实现非常高的真空度。
这种系统由一个分子泵和附属设备组成，能够实现超高真空环境，但是需要进行高度维护和清洁，防止污染气体。
真空系统组成PPT.
玻璃板的运输 2
电子管和电视显像管（电子束管），利用 绝热效果的不锈钢制的罐、杯、碗，真空 包装食品，真空下使之干燥的食品等为代 表的物品。
电子管
真空保温杯，保温饭盒
3
另一方面，直接利用真空的制品也有很多，真空 蒸发和真空涂层技术制作的透镜、玻璃、反射镜 、太阳能电池、LED照明、液晶显示、IC器件等 。
1916年
作者
Forest
科学技术
真空三极管
Coolidge 钨丝白炽灯，钨的粉末冶金
Gaede 发明旋片旋转泵（Gaede型泵）
Knudsen 气体分子流
Gaede 分子真空泵发明
Coolidge X射线管
Gaede 汞扩散泵发明S＝0.1～0.2L/s
Langmui 冷凝扩散泵发明S＝3～5L/s r
1879年 Edison 有正式的书面通知，需要应聘者对确认书认可之后签字寄回。 碳丝白炽灯
（5） 在食用黄花菜时，我们要怎么做？（可以在开水中烫一下，然后挤去水分再吃。）
1879年 Crookes 阴极射线管 (3) 烫伤后，衣服鞋袜不要强力撕胶，应先用剪刀剪开，然后慢慢揭脱，以免加剧创面损伤。
二、 谈话导入
Buckley 热阴极电离计
13
年 作者
1923年 Holweck 1923年 Gaede
1935年 Gaede
1936年 Hickman 1937年 Penning 1950年 Bayard和
Alpert 1953年 Schwartz 1953年 Herb等
科学技术
盘形分子泵
全金属三级汞扩散泵制造 S＝60L/s，20Torr 气镇真空泵，机械泵气镇原
1878年 W.Gaede 在德国诞生 三、课堂小结
真空系统工作原理
真空系统工作原理
真空系统是一种应用于不同领域的重要设备，其工作原理基于以下几个方面。
1. 抽气：真空系统利用泵进行抽气操作，将系统内的气体抽出，从而降低系统内的压力。
这可以通过不同类型的真空泵实现，如机械泵、扩散泵、分子泵等。
泵的运行产生负压，使气体从高压区域移动到低压区域，并最终排出系统。
2. 密封：真空系统需要确保系统内外的气体不会相互混合，因此需要采用高效的密封措施。
常见的密封方法包括橡胶垫圈、密封胶等。
密封的质量对于维持系统真空度至关重要。
3. 漏气控制：在真空系统中，漏气是系统真空度下降的主要原因之一。
因此，需要对系统进行严格的气密性检测，并采取相应的措施修复漏气点。
常见的漏气检测方法包括氦质谱检漏仪、气泡检测等。
4. 气体排除：真空系统中的气体排除是指将系统中残留的气体排出系统，以达到更高的真空度。
气体排除可以通过充氮、充氩等惰性气体来实现，也可以通过氮气冲洗或真空加热等方法加速气体的排出。
5. 真空度测量：真空系统中的真空度是指系统内的气体压力的大小。
为了控制和调节系统的真空度，需要使用真空度测量仪器进行实时监测。
常见的真空度测量仪器包括真空计、Pirani
计等。
通过以上几个方面的工作原理，真空系统能够在不同的领域中实现各种应用，如科学实验、工业生产、半导体制造等。
其稳定的抽气和密封性能，以及精确的真空度控制，对于确保系统的正常运行至关重要。
真空系统方案
真空系统方案引言真空系统在很多工业领域中都起着重要作用，例如半导体制造、航天航空、医疗设备等。
一个稳定、高效的真空系统方案能够确保设备的正常运行，并对产品质量和工艺流程起到关键影响。
本文将介绍一种高效稳定的真空系统方案，包括系统组成、关键技术以及应用案例。
系统组成一个典型的真空系统主要由以下几个组成部分构成：1.真空泵：真空泵是整个系统的核心部件，负责将系统中的气体抽出，形成真空状态。
根据抽气原理的不同，真空泵可以分为离心泵、根式泵、螺杆泵等多种类型，根据系统的需求选择适当的真空泵非常重要。
2.阀门：阀门用于控制系统中的气体流动和压力调节。
常见的阀门类型有截止阀、调节阀、截断阀等，不同的阀门可以实现不同的控制功能。
3.传感器：传感器用于监测系统中的真空度、气体流动速度等参数。
常见的真空传感器有热导式传感器、冷阴极离子化传感器等，准确的传感器能够提供可靠的监测数据，保证系统的稳定性。
4.管道系统：管道系统负责连接各个组件，将气体从一个地方传输到另一个地方。
管道材料需要具备良好的密封性和耐腐蚀性能，以确保气体不泄漏，同时要避免对气体流动的过多阻力。
5.控制系统：控制系统依靠电子设备，对真空系统的各个组件进行监控和控制。
它可以自动调整真空泵的工作状态，控制阀门的开关和流量，同时通过传感器获取数据，实现对真空度的精确控制。
关键技术一个高效稳定的真空系统方案需要充分考虑以下几个关键技术：1.泵速和泵油选择：根据系统所需抽气速度和泄漏率，选择合适的泵速和泵油是保证真空度的关键。
如果抽气速度过大，有可能带来过高的泄漏率；而抽气速度过低，则无法满足系统的需求。
2.管道设计和材料选择：管道的设计要充分考虑气体流动的阻力和泄漏的可能性。
合理选择管道的直径和长度，使用高质量的密封材料，可以减少能量损失和气体泄漏，提高系统效率。
3.控制策略和算法：控制系统采用合适的策略和算法可以提高系统的稳定性和响应速度。
例如，采用PID控制算法可以实现对真空度的精确控制，提高系统的稳定性。
真空系统介绍
真空系统介绍真空系统介绍⒈引言此文档旨在介绍真空系统，包括其基本原理、组成部分以及应用领域。
真空系统是一种利用各种技术手段将气体流动控制在低压环境下的系统。
它在科研实验室、工业生产以及医疗设备等领域广泛应用。
⒉基本原理真空系统的基本原理是通过减压手段将系统内的气体流动减少到一个较低的压力水平。
常用的减压手段包括机械泵、说服泵以及分子泵等。
通过减压，真空系统可以实现可控的低气压环境。
⒊组成部分⑴减压装置真空系统的减压装置起到降低压力的作用。
常用的减压装置包括机械泵、说服泵、分子泵以及涡轮分子泵等。
每种减压装置都有其适用的压力范围和工作原理。
⑵气体收集系统真空系统需要收集和处理流出的气体。
气体收集系统通常包括气体收集罐、冷凝器以及其他处理设备。
这些设备可以分离、回收和处置气体，以满足不同的需求。
⑶控制系统真空系统的控制系统用于监测和控制系统内的压力、温度和流量等参数。
控制系统通常包括传感器、阀门、计量仪表和计算机控制等部分，以实现对真空系统的精确控制和调节。
⒋应用领域⑴科研实验室真空系统在科研实验室中广泛应用，用于制备样品、实现特定的气氛条件以及模拟极端气候环境等。
它在物理学、化学、材料科学等领域起到重要作用。
⑵工业生产真空系统在工业生产中常用于处理、包装和干燥等工艺。
例如，在食品包装行业中，真空系统可以将氧气抽出，延长食品的保鲜期。
⑶医疗设备真空系统在医疗设备中起到关键作用。
例如，真空系统可用于医疗器械的消毒和干燥，以及操作室和手术室的气氛控制等。
⒌附件本文档没有涉及附件内容。
⒍法律名词及注释⑴真空度：衡量真空系统状态的参数，通常用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）表示。
⑵减压装置：用于降低真空系统内气体压力的装置，包括机械泵、说服泵、分子泵等。
⑶气体收集系统：用于收集和处理真空系统流出气体的系统，通常包括气体收集罐、冷凝器等设备。
⑷控制系统：监测和控制真空系统参数的系统，包括传感器、阀门、计量仪表、计算机控制等。
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3.进气口连续畅通大气运转不得超过一分种。 3.进气口连续畅通大气运转不得超过一分种。 4.不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学 4.不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学 反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的， 有爆炸性的，有毒的气体。
旋片真空泵的使用
1、使用前，应仔细阅读产品使用说明书，按要求安装， 接线，试转向。 2、为防止因返油与反转而喷油，应先开启泵口，按规 定转向把泵内存油盘到油箱中。同时查看油位，应在油 标中心以上，但不要满油标，多了要放出。 3、判断转向的辅助方法。把护套倒放在泵口上，如开 泵后被吸住，是正向，被吹落，是反向。声音正常是正 向，声音异常是反向。 4、如在泵口配装带充气电磁阀，一般应横装，并与泵 同时动作。
4．检查旋片式真空泵的极限真空以压缩式水银 真空计为准，如计经充分预抽校验，泵温达到 稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将 稳定，泵口与计直接接通，运转30分钟内，将 达到极限真空。总压强计测得之值与泵油和真 空计、规管误差有关，有时误差甚至可很大， 只能作参考。 5．如相对湿度较高，或被抽气体含较多可凝性 蒸汽，接通被抽容器后，宜打开气镇阀，运转 20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇 20～40分钟后关闭气镇阀。停泵前，可开气镇 阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。 阀空载运动30分钟，以延长泵油寿命。
1-泵体;2-旋片;3-转子; 4-弹簧;5-排气阀
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的 月牙型空间分隔成A 月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转 子按图示方向旋转时，与吸气口相通的空间 A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降 的容积不断地增大，A 低，当A 低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压 强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体 不断地被抽进吸气腔A 不断地被抽进吸气腔A，此时正处于吸气过 程。B 程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不 断地增大，此时正处于压缩过程。
热电偶真空计校准曲线
热偶真空计在使用前应按照管壳上记录的 加热电流进行校正，长时间使用使用后， 必须进行重新校对 热偶真空计工作范围在1 热偶真空计工作范围在1-10-3乇之间，要 预防热丝氧化，必须先让系统的真空度达 到一定（大约用旋片泵抽半小时后，达到 粗真空）才能使用 如果气压太低，则热辐射和引线传热起主 要作用，热端温度随气体压强变化不显著， 这时应采用真空电离计来测量
双级泵
双级旋片式真空泵由两个工作室组 成，两室前后串联，同向等速旋转， Ⅰ室是低真空级，Ⅱ室是高真空级， 室是低真空级，Ⅱ 被抽气体由进气口进入Ⅱ 被抽气体由进气口进入Ⅱ室，当进 入的气体压力较高时，气体经Ⅱ 入的气体压力较高时，气体经Ⅱ室 压缩，压强急速增大，被压缩的气 体不仅从高级排气阀排出，而且经 过中壁通道，进入Ⅰ室，在Ⅰ 过中壁通道，进入Ⅰ室，在Ⅰ室被 压缩，从低级排气阀排出；当进入 Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室 室的气体压力较低时，虽经Ⅱ 的压缩，也推不开高级排气阀排出， 气体全部经中壁通道进入Ⅰ 气体全部经中壁通道进入Ⅰ室，经 Ⅰ室的继续压缩，由低级排气阀排 出，因此双级旋片式真空泵比单级 旋片式真空泵的极限真空高。
气镇法是防止蒸汽凝结从而避免油污染的有效方 法。这种方法是将室温干燥的空气经气镇孔进入 泵的压缩腔中与被抽气体相混合。当把这种混合 气体压缩到排气压力时，由于掺气作用使得其中 的蒸汽分压能保持在泵温状态的饱和蒸气压以下， 因而蒸汽不会凝结而与其它气体一起被排至泵外。 被抽气体中蒸汽的含量越多，掺入的干燥气体量 就需越多。
真空的度量
p=nkT n-m3, T-K, T度量单位： 标准大气压＝1.01325× 标准大气压＝1.01325×105 Pa 一个标准大气压的1/760＝ 一个标准大气压的1/760＝1乇 1乇＝1.333224 ×102 Pa 乇＝1.333224 p-Pa =N/m2 （帕斯卡） p-
真空度的划分
气镇阀工作原理
由于大气中都含有一定量的水蒸气，所以泵工作时所 抽除的气体多是某些可凝性气体和永久性气体的混合 物。这种混合气体在泵内被压缩排气的过程中，如果 可凝性气体的分压力超过了泵温下的饱和蒸气压，那 么它们就会凝结并与泵油混合，随油一起循环。当它 们返回到高真空端时又重新蒸发变成蒸汽。随着泵的 运转，凝结物不断增加，使泵的极限真空和抽速降低。 当抽除的气体中湿度较大时，泵油的污染更加严重， 使泵的密封、润滑和冷却性能变差，以至于经常更换 新油。
旋片泵的用途及使用范围
1. 旋片泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。 它可单独作用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等 的前级泵，维持泵，钛泵的预抽泵用。可用于电真空 器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制 冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、 质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。 2.在环境温度540范围内，进气口压强小于1.3X103 2.在环境温度540范围内，进气口压强小于1.3X103 帕的条件下允许长期连续运转，被抽气体相对湿度大 于90%时，应开气镇阀。 90%时，应开气镇阀。
粗真空 760-10乇 760-10乇 低真空 10-10-3乇 10高真空 10-3-10-8乇 超高真空 10-8-10-12乇 极高真空 <10-12乇
不同真空度下的测量方法
在低真空时采用热偶真空计 热偶真空计是以铁－康铜，铜－康铜或康铜 －镍鉻等材料组成 热丝加恒定的电流（mA级）热平衡时具有 热丝加恒定的电流（mA级）热平衡时具有 确定的温度，热电偶产生相应的电动势， 热电偶的热端温度与热丝周围散热情况有 关，在低真空下以气体热传导为主，因此 热端温度与气体压强有关，当气压增大， 热传导能力强，使热端温度降低，热电动 势小，反之，热电动势增大，由此测定真 空度高低
5、相对湿度较高或被抽气体中含水汽等可凝性蒸汽时， 应使用气镇阀。 6、按说明书推荐选用真空泵油。注意酯类真空泵油 不可与矿物油型真空泵油和其他油类混用，必须严格 清洗后才能换入酯类真空泵油。 7、检查泵的极限压力以压缩式水银真空计为准。全 压力计应注意做好计与规管的配对校准和备用比对规 管。建议在规管与被测泵之间装一球阀。不测时关阀， 可延长规管使用时间。
在高真空（低于10 在高真空（低于10-3乇）采用电离真空计 利用气体分子收电子碰撞而电离，用一个 离子收集极将这些离子收集起来，产生的 离子数目与气体密度成比例
真空的测量
电离真空计实物图
真空的获得
使用真空泵获得真空 真空泵的类型：压缩型、捕获型 压缩型：机械泵（包括涡轮分子泵）、扩散泵 捕获型：吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低 温泵
真空泵的工作参数
旋片泵：10 旋片泵：10－3乇（单级），10-4乇（双级） （单级），10 吸附泵： 10-5乇 涡轮分子泵： 10-4乇－10-9乇 乇－10 油扩散泵： 10-4乇－ 10-8乇 溅射离子泵＋钛升华泵 < 10-10乇 污染
旋片泵
旋片泵的应用
旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零 件组成。其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子 （转子的外圆与定子的内表面相切两者之间的间隙 非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力 紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终 沿定子的内壁滑动。 工作原理：定子腔内高速旋转的偏心转子，使进气 腔容积周期性扩大而吸气，排气腔的容积周期性缩 小而压缩气体，并借助压缩气体的压力推开排气阀 门，使待抽容器的气压下降
而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C 而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间 的压强进一步的升高，当气体的压强大于排气压强时， 被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油 箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中， 不断地进行着吸气、压缩、排气过程，从而达到连续 抽气的目的。 排气阀浸在油里以防止大气流入泵中，油通过泵体 上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运 动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封， 同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真 空的影响。
操作须知
1．查看油位，以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不 能起油封作用，影响真空度。过高，可能会引起通大气起动时 喷油。运转时，油位有所升高，属正常现象。油采用规定牌号 的清洁真空泵油，从加油孔加入。加油毕后，应旋一上螺塞。 油宜经过滤，以免杂物进入，堵塞油孔。 2．可在通大气或任何真空度下一次起动。泵口如装接电磁阀， 应与泵同时动作。 3．环境温度过高时，油的温度升高，粘度下降，饱和蒸汽压会 增大，会引起极限真空有所下降，特别是用热偶计测得的全压 强。如加强通风散热，或改善泵油性能，极限真空可得到改善。
典型双级旋片泵性能参数
型号 2XZ2XZ-0.25 2XZ-0.5 2XZ2XZ-1 2XZ-2 2XZ2XZ2XZ2XZ-4 2XZ-8 2XZ形式 直联双级串联旋片式 抽气速率 0.25 0.5 1 2 4 8 极限真空 Pa 6×10-1 6× 6×10-2 转速 转/分 1400 进气口直经 mm Φ10 Φ13 Φ13 Φ19 0.3 0.42 0.4 Φ19 Φ32用油量 Φ32用油量 MI 0.48 0.55 0.7泵油温升 0.7泵油温升 ℃ 40 40 40 45 45 60 电机功率 kW 0.12 0.18 0.25 0.37 0.55 0.75重量 0.75重量 Kg 15 18 19 27 30 35 噪音 分贝 64 64 66 68 70 74
现代实验技术
内容与目的
介绍各种与光电微电子有关的实验技术的 基本原理 通过实验，掌握使用相关的实验技术，进行 科研训练，达到培养创新思维和动手能力
第一章：真空技术
低于正常大气压的气体状态的特定空间，称为 真空 特点： 1、真空容器内外存在气压差 2、气体分子之间或分子与其他质点之间的碰撞 很少（气体的密度n 很少（气体的密度n很低）
(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10(1)一般情况下，凡希望总压强在6X10-2帕以上的 应用上海产的高速真空泵油。4 应用上海产的高速真空泵油。4升/秒以下小泵也可 用1号真空油泵代，8升/秒以上直联泵可用3#扩散 号真空油泵代，8 秒以上直联泵可用3#扩散 泵油代。 (2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁， (2)如果对真空度要求不高，且油的污染更换频繁， 真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。 真空泵油供应困难，可采用50号机械油代替。 (3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不 (3)如果环境温度低，起动困难，极限真空要求不 高，可采用粘度较上略低的真宅泵油或机械油