0131.气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM)
质量流量控制器原理及选型教程 (1)
1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖面结构图见图1。
气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图2所示。
流量显示仪质量流量计分流器通道传感器入口I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显示100.0(0 ~ +5.00V)setout 放大器比较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出口-15V清洗关闭0 电 平流量检测设 定质量流量 控制器图1. 质量流量控制器结构图 图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？气体质量流量单位一般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。
0131.气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM)
气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
气体质量流量控制器和流量计工作原理
气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
左图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图：（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里）控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。
满量程检测输出电压为5VDC。
气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度（量程比为50：1），流量分辨率为0.1%满刻度。
注意:气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。
这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。
需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。
清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量增大、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。
2、气体质量流量计和气体质量流量控制器结构（将该地址复制粘贴到网叶地址栏里）气体质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。
增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。
3、气体质量流量控制器和气体质量流量计的应用范围MFC和MFM可广泛地应用于石油化工、半导体和集成电路、特种材料学科、医药、环保和真空等多种领域的科学研究和生产中，其典型应用有：电子工艺设备，如氧化、CVD、扩散、外延、等离子蚀刻、离子注入和溅射，以及微反应装置、配气和混气系统、镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪以及其它分析仪器。
应用对象：质量流量控制器应用系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、特殊气体厂商、真空元件供应商、真空系统集成商、电池系统集成商、生化系统集成商、气体装配流水线集成商、大学实验室、气体公司、研。
气体质量流量控制器和流量计工作原理
气体质量流量控制器和流量计工作原理气体质量流量控制器是一种用于实时控制气体流量的仪器设备。
它通常用于实验室、工业生产等领域中的气体流量控制和调节。
而流量计是用于测量和监测气体的流量的仪器设备。
下面将详细介绍气体质量流量控制器和流量计的工作原理。
1.热膜传感器：热膜传感器是气体质量流量控制器中的关键部件，它由一个薄膜状的感温器件组成。
当气体流过传感器时，传感器表面的薄膜受到热冷交换的影响，导致传感器温度发生变化。
2.热冷交换：热膜传感器的表面会通过热冷交换与气体发生热量的交换。
当气体流过传感器时，如果气体的质量流量增加，传感器表面的热量散失也会增加，导致传感器温度下降。
反之，如果气体质量流量减小，传感器温度则会上升。
3.电路反馈：气体质量流量控制器会通过电路来测量传感器的温度变化，并根据测量结果进行反馈控制。
当气体流量增加时，控制器会减小控制阀的开度，以降低气体质量流量，使传感器温度保持稳定；当气体流量减小时，控制器会增大控制阀的开度，以增加气体质量流量，使传感器温度保持稳定。
流量计的工作原理：流量计主要根据不同的测量原理可以分为多种类型，例如差压式流量计、涡街流量计、电磁流量计等。
这里以差压式流量计为例，介绍流量计的工作原理：1.差压原理：差压式流量计是基于伯努利定律和流体连续性方程的原理工作的，它通过测量流体通过流量计前后的压差来计算流量。
根据伯努利定律，当流体通过管道流动时，流体的动能、位能和压力之间存在关联关系；而流体连续性方程则说明了流入和流出相同截面的流体质量与速度之间的关系。
2.测压装置：差压式流量计中的测压装置通常由压力传感器和差压计组成。
压力传感器用于测量流体通过流量计前后的压力值，差压计用于计算由于流体通过流量计而产生的压差。
3.计算流量：根据测得的差压值和流体的密度，可以利用伯努利定律和流体连续性方程的公式来计算流体的流量。
具体的计算方法会根据差压计的类型而有所不同。
4.输出信号：流量计通常会输出经过处理的电信号，以便用户读取和使用。
质量流量计
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08 系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接。
质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID 控制电路就构成了质量流量控制器。
19A 型质量流量控制器, 打开外罩后的结构如图2 所示。
工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与之配套的D08 系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3 位半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
本控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图3 所示。
控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V。
质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S（量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S。
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
(0～1,2,3,5,10,20,30,50)
SLM
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30)
SLM
±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)
±0.5% F.S.
±0.2% F.S.
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
1.3 安全注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担。
a）请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或 维修的时候必须保证安全标签完好无损。
b）请联络专业工作人员为您服务 使用时勿擅自更换零部件，任何技术支持都必须由本公司授权的专业技术人员来为您服 务。
c）使用危险气体时请特别注意 如果使用危险气体，请做好预防措施，条件允许请完全吹洗仪器。如果危险气体潮湿， 须确保潮湿的危险气体不会和仪器以及密封材料产生化学反应。 d）吹洗仪器时特别注意 在从气路上拆卸仪器之前和安装仪器后都要对整个系统进行吹洗，用干燥气体吹洗通道 内剩余气体的残渣。 e）请遵照合适的步骤吹洗 产品必须在通风保护罩下进行吹洗，并且操作人员必须带上手套进行保护。 f）请勿在爆炸性环境下使用本产品 为了避免产生爆炸，不要在爆炸性环境下使用本产品，除非本产品获得有效认证 。 g）请使用合适的接头并按照相关的紧固规程来操作 所有仪器的接头都必须和产品说明书上的型号相符，且与仪器所使用的接头相一致且与 仪器所使用的接头相配套。拧紧接头的时候请按照产品操作指导说明书来操作。 h）请检查产品接头处是否漏气 请仔细的检查所有的零部件接口以确保在安装过后没有漏气。
CS200A使用手册
REV. 2.2CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2012.07目录控制方式 (18)第一部分产品说明 3.21.1 声明...................................................1 3.3 调零 (18)1.2使用须知............................................2 3.4 软启动.. (18)1.3安全注意事项....................................2 3.5 延迟 (19)1.4 概述...................................................3 3.6 阀控制.. (19)1.5 技术指标...........................................4 3.7 阀类型.. (19)1.6 标定...................................................5 3.8 多气体多量程.. (19)1.6.1 标准状况........................................5 3.9 累积流量. (19)1.6.2 制造环境........................................5 3.10 报警. (20)1.6.3 精度调节........................................5 3.11 LED指示灯. (20)第二部分安装第四部分维护2.1 概述...................................................6 4.1 概述 (20)2.2 打开包装...........................................6 4.2 注意事项. (21)2.3 机械安装...........................................6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................6 4.2.2 阀口密封问题.. (21)2.3.2 安装................................................11第五部分故障诊断2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............11 5.1 初步检查. (21)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法.............12 5.2 故障检查. (21)2.4 电气安装...........................................12第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................12 6.1 七星电子有限保证 (23)2.4.2 连接................................................13 6.2 产品保证. (23)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例........15 6.3 服务 (24)2.5 工作检查...........................................18 6.4 免责声明. (24)第三部分功能介绍附录Ⅰ (25)3.1 概述...................................................18附录Ⅱ (28)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第1页 共30页气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器说明书
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器产品名称气体质量流量控制器 MFC 流量传感器公司名称北京堀场汇博隆精密仪器有限公司价格8000.00/个规格参数建议零售价:¥8000.00加工定制:否品牌:HORIBAMETRON/堀场汇博隆公司地址北京市朝阳区北苑路40号23号、25号联系电话010-******** 130********产品详情提示：以下模板中任意文字及图片均可执行修改、复制、删除的操作，添加更多的图片和文字描述有助于增加产品对买家的吸引力。
产品介绍产品信息重量： 2.8kg毛重： 2.8kg 产地： 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司流量规格流量规格： （100,150,200)l/min 调节阀类型：电磁调节阀 调节阀静止状态： 常闭 准确度： ± 1.0%f.s. 线性： ±0.5%f.s.重复性精度： ±0.2%f.s.响应时间：2s（t98）产品性能简介企业介绍北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理，中日双方共同协作的国际化团队，是由全球顶级热式质量流量控制器（mfc）制造商——horiba stec与中国知名热式质量流量控制器(mfc)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立，是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。
力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
企业证书购买须知1、货源说明厂家一手货源，公司生产周期短、产品品质有保证2、关于尺码与使用手册里尺寸一致，以收到实物为准3、关于颜色本店产品均为实物拍摄， 与实物平铺图最为接近，收到实物与图片颜色不一致的，可能与电脑显示器的色彩对比度和色温等因素有关4、关于客服如您的提问未能及时回复，可能是因为咨询量过大或系统故障5、关于售后6、关于发货合作快递 中通、德邦本产品的建议零售价是¥8000.00，加工定制是否，品牌是HORIBAMETRON/堀场汇博隆，型号是S4828，类型是质量流量计，测量范围是12（m3/h），精度等级是1.0%，适用介质是气体，工作压力是3（MPa ），工作温度是5~45（℃），产品属性是仪器仪表。
质量流量计(MFC)原理
质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。
上海凯撒控制 230A 型气体质量流量控制器 质量流量计 使用手册说明书
CS系列230A型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录第一部分产品说明 3.2 控制方式 (19)1.1 声明................................................... 1 3.3 调零 (19)1.2使用须知............................................ 2 3.4 软启动 .. (19)1.3安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟 (20)1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制 .. (20)1.5 技术指标........................................... 3 3.7 阀类型 .. (20)1.6 标定................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (20)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (20)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (20)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (21)第二部分安装第四部分维护2.1 概述................................................... 5 4.1 概述 (21)2.2 打开包装........................................... 6 4.2 注意事项 . (21)2.3 机械安装........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (22)2.3.2 安装................................................ 12 第五部分故障诊断2.3.2.1 1/2″VCR接头安装方法............ 12 5.1 初步检查 . (22)2.3.2.2 双卡套接头安装方法 ................. 12 5.2 故障检查 . (22)2.4 电气安装........................................... 13 第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................ 13 6.1 七星电子有限保证 (24)2.4.2 连接................................................ 13 6.2 产品保证 . (24)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 16 6.3 服务 (25)2.5 工作检查........................................... 19 6.4 免责声明 . (25)第三部分功能介绍附录Ⅰ (26)3.1 概述................................................... 19 附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册 第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
什么是质量流量计,质量流量控制器
什么是质量流量计，质量流量控制器？1什么是质量流量计：质量流量计，英文Mass Flow Meter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。
这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。
2质量流量计可获得哪些参数：易度质量流流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。
3质量流量计的单位：一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为101.325KPa和25℃。
4质量流量计的构成：易度层流质量流量计主要由层流元件、压差传感器、压力传感器、温度传感器、电路设计、软件算法六部分组成。
5层流压差式质量流量计的工作原理：层流压差原理，基于哈根泊肃叶定律设计的在温度、管径等参数一定的情况下，气体是层流状态时，通过获取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，然后通过温度、压力等参数的修正，获得标准体积流量。
易度质量流量计结构示意图：6质量流量计的通讯：易度质量流量计可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行介质切换、标况定义更改、参数显示等操作。
1什么是质量流量控制器：质量流量控制器，英文Mass Flow Controller（简称MFC），用来快速、精确、稳定控制过程气体的流量大小，是高端自动化设备中的气路控制核心部件。
质量流量控制器主要应用于控制低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。
小流量MFM MFC 产品介绍
Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: MFM/MFC IntroductionSierra 微管式质量流量计/质量流量控制器的介绍及学习本篇文章主要目的是为帮助SIERRA 代理及客户更好地了解MFM/MFC 和在选购产品时要注意些什么问题.如何正确使用SIERRA 质量流量计/质量流量控制器产品.下面详细通过有关工作原理和应用工况方面的问题一一讨论.如有错漏之处.恳请各代理商或朋友指正. 1. 质量流量计/质量流量控制器的含义Sierra Instruments Inc.美国斯亚乐仪表公司一直秉承 The mass flow company 的口号致力于质量流量计/质量流量控制器的研究开发.新推出的Max-trak 获得了2006 Gases & Technology Product Innovation Awards(气体控制类产品革新奖)英文Mass flow meter (缩写MFM),中文翻译为质量流量计.是一种精确测量气体质量流量的仪表.其测量值不因压力或温度的波动而失准.是一种直接质量流量测量原理的流量计.英文Mass flow controller (缩写MFC),中文翻译为质量流量控制器.它可自动控制气体的流量.用户可以根据自己的需要进行流量的设定.控制器的电磁阀自动控制输出恒定的质量的气体.即使系统压力或环境温度变化也不会使其偏离设定的值.Sierra 810和C100 都可进行内部或外Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 部设定,C100还可以通过手操器设定.当有用户需求对气体流量进行稳定控制时,质量流量控制器就是他的一个很好的选择. 2. 质量流量计/控制器的工作原理质量流量计/控制器主要是由微管传感器,线性层流器(LFE);放大输出电路;显示电路(带显示系列);自动电磁控制阀(带控制功能系列)组成.请参考Sierra 840剖面结构图.卡式或D 型输入/输出接口.主层流通道的一体设计使流量成比例内置的常闭电磁阀可在不同压力下准确控制内部316不锈钢表面经过电抛光处理 SIERR 直型大微管道可清洁专利传感器大直径的阀门孔可防止堵塞两端带方便拆卸的清洁密封头Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 图中的铂传感器采用毛细管温差法原理测量气体的质量流量.将传感器加热电桥测量的流量信号放大再送到处理电路.处理后的信号可以直接输出到用户的检测系统或通过电位检测直接在本地显示上输出质量流量的读数.同时放大后的流量信号.与设定信号相比较,再将差值信号放大后去控制电磁调节阀闭环控制流过控制器的流量与设定流量相等.3. 怎么理解质量流量计/控制器的单位?国际上MFM/MFC 气体质量流量计通常使用的单位一般以sccm(standard Cubic Centimeter per minute)标准立方毫升每分钟. S 标准状态规定为压力101.325Kpa(760毫米汞柱);温度0℃ (32℉)状态下气体的流量.这是MFM/MFC 与其他体积型流量计的重要区别.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 对多数用户而言,体积流量计的表示方法很符合习惯,便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过的气体的质量(如Kg/min 或克/分钟).这个要求很容易实现.因为在标准状态下的气体.压力和温度都是固定的.那么气体的密度也就是一个常数.我们可以通过数据表查出密度值.只需做一个简单的乘法就可以求得以克每分钟为单位的流量值.所以在标准状态下的体积流量值是等同于质量流量的.同时SLPM 是被全世界质量流量计/控制器厂商共同采用的单位.符合国际半导体协会制定的SEMI 国际标准可参考SMEI E12. 4. 什么时候用MFM,什么时候用MFC?一般而言,只需要对气体流量进行检测测量时,用MFM;需要对气体流量进行控制时使用MFC.合理选取MFM/MFC 很重要.有些用户认为MFC 也可以当作MFM 使用.只要把MFC 的阀门状态设定为Purge(清洗或清洁功能.该功能是把阀门全打开.)就可以当作MFM 使用.但在该功能使用时测量低值部分很容易造成阀门过热.测量精度降低.所以在MFM/MFC 选用时要让客户了解自己需要的是什么.正确选取MFM/MFC. 5. MFM/MFC 的主要优点是什么.(1) 测量或控制的流量值不因温度或压力的波动而失准.对于大多数体积型的流量测量而言,很难避免系统的压力波动和环境及介质温度Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 变化的影响.并且会导致较大的误差.而对MFM/MFC 一般则可忽略不计.(2) 测量控制的自动化. MFM/MFC 可以将流量测量值以标准的电信号输出.这样很容易实现对流量数字显示;累计;数据采集;计算机管理.MFC 更是可以自动控制恒定流量.通常的模拟MFM/MFC 输出信号都为0-5V 或4-20mA.还有0-10V 可选.数字式的MFM/MFC 如Sierra 的Smart-Trak 系列带RS-232串行通信.能结合Sierra 的软件非常方便地与计算机连接进行自动控制.(3) 精确稳定的流量控制.MFC 可以精确控制气体的给定量,这对很多工艺处理过程相当重要.对于不同气体的比例控制或比例混合特别适用(4) 适用范围广.MFM/MFC 可使用于绝大部份与316L 不锈钢兼容的气体(包括一些腐蚀性气体.如H2S;HCL;HF 等. 具体参考本公司800系列和100系列的气体数据表. 注:强腐蚀性气体测量或控制时必需注意泄漏和是否干燥.某些气体与水气结合后形成强酸, 腐蚀不锈钢.对于该类型气体保用期只有三个月.)量程比宽也是MFM/MFC 的一大特点.最小流量一般为0~10sccm 可特殊定制0-4sccm.MFM/MFC 最大流量0~5600 slpm.控制器范围可对2%~100%.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 6. MFM/MFC 优缺点及使用的注意事项. 相对于廉价的转子流量计来说.MFM/MFC 价格比较昂贵.在使用过程中主要注意的四个问题. 1). 粉尘;通常在测量过程中都要求客户加装过滤器.因为如果粉尘或大颗粒物进入传感器可能会造成堵塞.误差增大.而SIERRA 800系列可清洁型;大直径传感器和入口过滤网很大程度上减少了粉尘造成的测量误差.一般的少量粉尘对测量的影响不大.2). 潮湿或带油污带水的气体对测量影响很大.潮湿的腐蚀性气体会腐蚀内部的不锈钢部件或密封圈.所以在测量强酸或强腐蚀性气体时必须要求用户对气体进行干燥处理再进行测量或控制.同时要求用户格外注意气体的泄漏.普通的气体尽可能干燥.湿度太大会造成测量误差增大.正确使用,安全操作,对每的用户都是最重要的.7. MFM/MFC 的压力损耗和压差需求.流体经过MFM 的层流器和传感器势必造成压力损耗.具体的压力损耗值请查看特定型号产品数据表.某些客户在压力损耗要求上很严格,要求压力损耗很小.这时我们就考虑选择合适的型号或特殊定做尽可能减小压力损耗以满足客户要求.在MFC 选用时也要考虑进出口压力差是否能满足要求.压力差太小.控制流量有可能将达不到要求的控制点.造成阀门过热.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 8. MFM/MFC 在高压气源下的使用. 要在高压条件下正常使用需要注意三点.第一,选择耐压符合要求的MFM/MFC;第二;尽可能挑选工作压力高的系列产品如不锈钢表体的产品.第三,要在MFC 气路前加减压阀,稳定入口气压.在出口也加稳压.这样就可以较稳定地控制MFC 的压力差.让MFC 更稳定高精度地安全工作.9 如何为MFM/MFC 选择合适的O-Ring(密封圈)MFM/MFC 可以用于各种气体的测量与控制.但要注意的是对于腐蚀性或特殊气体,需要选择恰当的型号和密封圈.用户在定货时.都必需正确填些Sierra 提供的ADS(应用数据表) 它包含产品型号;气体种类和具体的应用条件.这样制造商厂方的工程人员就可以再次核实该型号是否适合该应用条件.以免因为选型或错误选择O-ring 造成不必要的损失或危险. Sierra 提供的O-Ring 材料有Viton 橡胶;Neoprene 橡胶;Kalrez 橡胶及Teflon.材质;具体何种气体应使用何种O-ring.请查看800和100系列的气体数据表.和查找相关气体兼容性数据. 11.产品定货时应当注意的问题.这一点关系到客户和代理商的切身利益.涉及到的问题或细节也比较多.因而代理商尽可能向用户详尽客观地向用户说明SIERRA 产品的用途及Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 注意事项.责任.避免不必要的误解.把前面的工作做得细致些会避免我们后期的大堆麻烦. (1).选择正确的量程.第一:将用户提供的测量流量范围转换为标准状态下的流量(是质量流量).第二:根据Sierra 提供的气体间流量转换系数,将用户所测量气体的质量流量大小换算成相对N2流量大小的流量值.便于正确选择型号.各种气体相对N2的流量值大小可以从Sierra 800或100系列K 系数表查找.如有混合气体的.也可以通过100型号的混合气体K 系数计算软件求得作微管MFM/MFC 参考K 值.(注:现国际上几大著名MFM/MFC 厂商都有各自的K 系数表.会有些小的差别.但基本值都是很接近的.)第三:确定所需标准量程.由于Sierra 所有产品都是根据用户要求量身定做.量程范围避免过大或过小.因为通常MFM/MFC 的误差指示都是满量程的百分比规定的.(%FS),如果实际流量值很小而满量程值选取过大,则测量值的相对误差就会增大.(2)正确选择过程压力和MFC 的压力差;尽可能准确地了解清楚用户测量管道中的压力.和MFC 的压力差.Sierra 将会在标定时进行压力补偿标定.使得产品安装到用户管道时更能精确测量控制.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (3)关于MFM/MFC 三大指标的说明准确度;线性;重复性是MFM/MFC 三大重要指标.其中重复性在很多场合应用很重要. Sierra 基本产品精度为1%满量程;820及810系列产品精度为1.5%满量程. Sierra 独特的LFE 技术.800系列对不同流量范围的的测量配备各种LFE.以达到流量与输出信号线性度更好.输出成正比例关系.Sierra 的100型号蝶片式LFE 技术使得单个仪表可以同时测量多种气体.同时由于线性度极好实现了两点标定即可满足测量精度要求.传感器对输出型号及流量关系.所取值范围是小方框内线性较好的区域.以下为几种主要LFE 种类参考图片:822尼龙Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 826/827铝表体LEF822S 不锈钢系列小流量822S 不锈钢系列中流量822S 不锈钢系列高流量Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 100系列LFE重复性方面100型号标准值为千份之二. 830/840标准值为千分之一点五.820系列稍差些为千份之五. (4)客户对响应时间的选择.有些客户对MFM/MFC 的响应时间有较高的要求.因为要监控跳变或波动较大的气体流量.标100系列准值为300毫秒.两秒内基本接近新的设定点.800系列为800毫秒.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (5) 对安装位置的要求.对于Sierra 800系列产品.由于用的是大直径可清洁型传感器.在用户订购产品时.填写应用数据表(ADS)时要求注明安装的方向.是平衡或垂直向上,垂直向下. 但是对于己于100 Smart-trak 系列由于传感器直径相当小,只有0.25毫米.任何安装方向对它的影响都可以忽略不计. (6) 注意进出口连接头的大小和方式从1/8”到两寸大小接头.从Swagelok 卡套式;VCR;VCO;螺纹.注意流量大小选择合适的接头.一般流量小的可选择小口径接头.流量大的要选择大口径接头.具体查看价格表或选型表中的接口流量要求.借口类型根据用户要求和具体气体应用选择不同的接口.VCR 更适合一些高端要求的应用.腐蚀气体的应用.同时在国内很多用户使用的都是公制尺寸的连接头.这时需要购买一些转接头进行转换连接.Swagelok 压垫密封式连接Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: VCR 连接方式及介绍Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: VCO 连接图介绍Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: (7) 电气连接的方式.以下列举Sierra MFM/MFC 常用的信号及电源接口方式.型号 822/824/826/827Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 用户可安装上图购买购买九针的D 型串口接头.该接头在一般电脑配件或电子市场都可以找到.可以从D 型接头上供电源.也可以从下面的3.0规格插孔供电.注意是内正外负.在国内购买电源后如果有条件.测量一下其输出电压及波型.防止电压过高或过低.影响仪表测量精度.甚至损坏仪表.810系列Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 810系列只能通过双排十五针D 型口供电.注意最新的D 型口接线方式.以跟随说明书为准.同时设定点的来源有内设和外设.可通过810内部DIP 小开关转换. 注意: 第六个小开关是不使用的.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 830/840卡式连接.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 830/840 D 形头连接.Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 100 smart-trak 三排D 型连接Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 180 Max-Trak 内部双排连接座Corporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: 以上仅为Sierra MFM/MFC 特点和使用的使用上的一些介绍.更多详细的资料请查看各型号的操作说明书. 如有任何意见或建议请来电或email.下面再提供一篇文章做参考.不过关于K 系数.使用Sierra 的K 系数表或100混合气体K 系数计算器就可以得到结果.How do you calculate a gas correction factor if you flow a mixture of gases?For gas mixtures, the calculated mass flow controller (MFC) gas correction factor (GCF) is not simply the weighted average of each component's GCF. Instead, the GCF (relative to nitrogen) is calculated by the following equation (for n gases):Here, a 1 through a n are the fractional flows of gas 1 through n; s 1 through s n are the molecular structure factors; d 1 through d n are the standard densities; and c p1 through c pn are the specific temperatures. Values for s, d, and c p are available for most gases; many are listed in our MFC manuals. The values for a 1 through a n will depend upon the application. (Remember that a 1 through a n must add up to 1.0.) Molecular Structure correction factor(s):• 1.030 for monoatomic gases • 1.000 for diatomic gases • .941 for triatomic gases• .880 for polyatomic gases (four or more atoms)Example:Gas 1 = argon at 150 sccm Gas 2 = nitrogen at 50 sccmCorporate Headquarters 5 Harris Court, Building L Monterey, CA 93940 (831)373-0200 Tel: (800)866-0200Bijlmansweid 21934 RE Egmond a/d Hoef The Netherlands +31 72 5071400Tel: +31 (0)72-5071400Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122 Tel: 86-21-5879-8521/8522 Fax: 86-21-5879-8586 SIERRA INST. ASIA ·Rm.618, Tomson Centre Building A, 188 Zhangyang Rd., Pudong New District, Shanghai,P.R.China 200122美国斯亚乐仪表有限公司亚太区办事处 ·上海浦东新区张扬路188号汤臣中心A 座618室，中国 200122 Tel: 8621-58798521/8522 Fax: 8621-58798586 Email: info@ Web: GCF=1.302上式中的d=为密度值Cp=气体的定压比热S=气体份子构成系数. 单原子分子与多原子份子的值是有差别的.What is an sccm?Sccm stands for Standard Cubic Centimeters per Minute. Where "Standard" means referenced to 0 degrees Celsius and 760 Torr.What gcf do I use if flowing a gas that is different than the gas that the MFC was calibrated for? Take the gcf of the gas that you are flowing and divide that by the gcf of the gas that the MFC was calibrated for. Example: the MFC is calibrated for 100 sccm of Argon (gcf 1.39) and you are flowing CO2 (gcf = 0.7) the resulting effective gcf would be 0.7/1.39 = 0.50. Therefore the 100 sccm Argon instrument will be flowing 50 sccm of CO2 at full scale.What should the gcf (gas correction factor) be if I am flowing the gas that the instrument is calibrated for?The gcf would be 1.。
气体质量流量控制器的结构和工作原理
气体质量流量控制器的结构和工作原理集团文件版本号：（M928-T898-M248-WU2669-I2896-DQ586-M1988）气体质量流量计/控制器的结构和工作原理气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制；气体质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM）用于对于气体的质量流量进行精密测量。
扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。
并广泛用于石油化工，冶金，制药等。
特点：精度高，重复性好。
1、结构MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行测量；在MFM基础上加上调节阀构成MFC，既可以对气体质量流量进行测量，也能对流量进行控制。
2、工作原理气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道，其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。
由于分流器通道的特殊结构，可以实现这两部分气体流量成正比例关系。
传感器经过预热加温，里面的温度高于进入的气流温度，此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。
用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响，将传感器测得的流量检测信号输入电路板，经过放大后输出，就完成了MFM的功能。
将电路板中加入PID闭环自动控制功能，把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较，以此为基础控制调节阀，使得流量检测信号与设定信号相等，这样便实现了MFC 的功能。
北京华旭世纪科技有限公司是一家集设计、生产、销售机电设备、仪器仪表、实验室设备为一体的综合性技术企业。
北京华旭世纪科技有限公司自主研发的MFC、MFM具有稳定可靠，响应时间短，标定精度和重复精度高等特点，安装方便，无安装位置和直管段要求，操作简单，可配合流量显示仪或其他显示仪表使用，也可配合计算机使用。
质量流量计介绍MFC
=1SLM× =1.41SLM
1.410
1.000
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CF的换算的注意点
利用CF系数计算得出的流量，是丌能保证的 分子量差异比较大的气体间换算时，阀门流 量控制有可能发生问题
举例：H2 100SCCM 的MFC 用作N2使用时
H2 密度 CF 0.09 1.010
N2 1.25 1.000
小流量，精密控制 FC-DR980系列
弹簧 气体流向 膜片 基础原件
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气体以及CF值
① 转换系数是指？
② CF换算 ③ 气体特性
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气体转换系数
以N2为基准（1.000）流量转换系数
根据丌同气体的比热和密度计算 气体分子热交换程度表示值 定义->MFC相同输出时的流量比
气体的流量控制
半导体应用过程的化学反应
->化学反应以mol单位进行 例：2H2+O2=2H2O ->要求以mol单位进行流量控制 ->需要高性能流量控制器对应
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质量流量控制器的特点
MFC=Mass Flow Controller a) 稳定的流量供给丌受温度、压力变化影响 b) 低压条件下也可使用
蒸发系统
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温度系统设计
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蒸发系统
产品系列 ● AS50、AS50C TEOS\HCD
● AS60C H2O ● AS90C/90AC/91C/92C TEOS AS100S TEOS\HCD\TiCL4\SICL4…
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质量流量计和质量流量控制器可测控的最小流量是多少？
质量流量计和质量流量控制器可测控的最小流量是多少？
气体质量流量计与质量流量控制器是指主要适用小微流量（从0.000001m³/小时到300m³/小时，对应管径从直径3mm到65mm）气体测量和控制的传感器和自动化设备。
按原理分类主要有两种：1、层流压差原理的气体质量流量计与质量流量控制器；2、热式原理的气体质量流量计与气体质量流量控制器。
层流压差原理图
层流压差原理的质量流量计和流量控制器，因其原理特点，只需检测到气体压差、压力和温度，即可测控气体流量。
易度自主设计的传感器可检测到极微小流量下产生的压力、压差，因此易度质量流量计和质量流量控制器可测控极微小气体流量，标准型最小测控量程0.5sccm（更小量程可定制）。
那么0.5sccm是个什么概念？
易度层流压差流量计
0.5sccm是标准状况下0.5ml/min（毫升每分钟），
也就是500uL/min（微升每分钟），
按正常量程比：100:1来算，其实际测控范围是5uL/min~500uL/min，
最小测控流量5uL/min是什么概念?
83nL/s（纳升每分钟）。
这个流量有多小？
举例来说：一瓶矿泉水通常容积为550mL，如果给矿泉水空瓶充满气体到标况温度和压力下，大约需要110000分钟，1833个小时，76天。
易度极微小层流质量流量计和流量控制器完全满足极微小流量测控需求，非常适合在泄漏测试、气密性测试、微通道反应系统等行业场景下使用。
泄漏测试-医药行业包装气密性测试-燃料电池电堆
气密型测试设备微通道反应系统。
质量流量计介绍MFC
->约30%程度丌能流动
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气体的特性
① 温度特性
Байду номын сангаас
② 压力特性 （压缩系数） ③ 故障例
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温度特性（比热、0.1Mpa）
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压力特性（体积、300K）
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流量的标定
气体流量的标定方法
PVTt法 或称 增进法
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盘片式ByPass
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电磁阀
线圈 提升阀
特点：高速应答 提升阀距离长适用 大流量，精密控制 FC-R7700、7800 PRA7800、780HT系列
弹簧垫片 阀头
气体流向
内径
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压电阀
特点：高速应答
调节螺母
压电原件
适用于高供给压
安装方向
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有关压力的条件
通常动作压差0.5-2.8KgfD
耐压10Kgfg
低压式样可对应（液体材料控制） 高密度气体（SF6、C4F8等），低压供给 避免发生震荡
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有关温度的条件
使用环境温度
-通常式样->0 ~ 45 ℃
- 高温式样->0 ~ 80℃ 温度持续稳定（避免对传感器干扰） 流路气体温度和环境气体无差异性
HITACHI METALS产品集合
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MFC 技术交流会
1. 质量流量控制器（MFC）的特点
2. MFC的构造和原理 3. 气体及其CF值 4. MFC的使用条件（温度、压力） 5. 液体材料的控制
七星电子流量计 CS200产品使用手册(A,C,D)(+profibus+0-20ma)(su)
北京七星华创电子股份有限公司
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1.2 使Leabharlann 须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 CS 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。 本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标 志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。 本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
1.3 安全注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司 不予承担。
a）请勿替换产品零部件或者改动产品
不要替换产品的任何零部件或者对仪器进行任何未授权的改动。在返厂进行重新标定或 维修的时候必须保证安全标签完好无损。
≤ 1sec
≤ 0.8sec
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM
＜0.02 MPa
零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM
气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识
气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识1、什么是气体质量流量计?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
2、什么是气体质量流量控制器?质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
3、气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。
通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V 或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达0~1500 slm。
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气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）
MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温
度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
直接式质量流量计直接式质量流量计有多种类型，如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。