电容式传感器 课件
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电容式传感器的工作原理和结构课件
精度和稳定性
提高传感器的精度和稳定性是当 前面临的主要技术挑战，通过材 料创新、工艺优化等手段可有效
解决。
交叉敏感问题
对于多参数测量，电容式传感器可 能存在交叉敏感问题，采用特殊的 结构设计或信号处理方法可降低交 叉敏感的影响。
温度影响
温度变化对电容式传感器的性能产 生影响，通过温度补偿技术可有效 减小温度对传感器的影响。
温度稳定性是衡量传感器可靠性和稳定性的重要指标。
频率响应
频率响应是指传感器对不同频率输入信号的响应能力。 高频率响应的传感器能够快速响应高频信号，适用于快速变化的测量场合。
频率响应与传感器结构、材料、工艺等因素有关。
04
电容式传感器的优缺点
优点
高灵敏度
电容式传感器具有较高的灵敏度，能 够检测微小的变化，因此适用于精确 测量和检测。
灵敏度
01
灵敏度是指电容式传感器在单位输入变化量下 输出的电容变化量。
02
灵敏度反映了传感器对输入变化的响应程度， 灵敏度越高，输出信号越大，测量精度越高。
03
灵敏度受传感器结构、材料、工艺等因素影响 。
线性范围
01
线性范围是指传感器输 出电容变化量与输入变 化量保持线性关系的范
围。
02
在线性范围内，传感器 输出信号与输入信号成 正比，便于测量和数据
信号处理单元的性能直接影响 传感器的输出质量和应用范围 。
防护外壳
防护外壳用于保护传感器内部元 件免受外部环境的影响，如温度
、湿度、尘埃和机械冲击等。
它通常由金属、塑料或陶瓷等材 料制成，具有良好的密封性和稳
定性。
防护外壳的设计和制造质量对传 感器的长期稳定性和可靠性有重
提高传感器的精度和稳定性是当 前面临的主要技术挑战，通过材 料创新、工艺优化等手段可有效
解决。
交叉敏感问题
对于多参数测量，电容式传感器可 能存在交叉敏感问题，采用特殊的 结构设计或信号处理方法可降低交 叉敏感的影响。
温度影响
温度变化对电容式传感器的性能产 生影响，通过温度补偿技术可有效 减小温度对传感器的影响。
温度稳定性是衡量传感器可靠性和稳定性的重要指标。
频率响应
频率响应是指传感器对不同频率输入信号的响应能力。 高频率响应的传感器能够快速响应高频信号，适用于快速变化的测量场合。
频率响应与传感器结构、材料、工艺等因素有关。
04
电容式传感器的优缺点
优点
高灵敏度
电容式传感器具有较高的灵敏度，能 够检测微小的变化，因此适用于精确 测量和检测。
灵敏度
01
灵敏度是指电容式传感器在单位输入变化量下 输出的电容变化量。
02
灵敏度反映了传感器对输入变化的响应程度， 灵敏度越高，输出信号越大，测量精度越高。
03
灵敏度受传感器结构、材料、工艺等因素影响 。
线性范围
01
线性范围是指传感器输 出电容变化量与输入变 化量保持线性关系的范
围。
02
在线性范围内，传感器 输出信号与输入信号成 正比，便于测量和数据
信号处理单元的性能直接影响 传感器的输出质量和应用范围 。
防护外壳
防护外壳用于保护传感器内部元 件免受外部环境的影响，如温度
、湿度、尘埃和机械冲击等。
它通常由金属、塑料或陶瓷等材 料制成，具有良好的密封性和稳
定性。
防护外壳的设计和制造质量对传 感器的长期稳定性和可靠性有重
电容式传感器PPT课件
l1
C 22 (l l1) 21l1
d
ln( D ) ln( D )
D
d
d
ε1—被测液体介电常数 ε2—空气的介电常数 D、d—两同心圆柱的直径
l—柱体的有效总长度 l1——浸入液体的实际高度
C
2
ln( D
)
(1
2
)l1
d
K C 2 (1 2 )
l1 ln( D d )
第二节 电容传感器测量电路
5、新型电容式指纹传感器
FPS110电容式指纹传感器表面集合了300×300个电容器， 其外面是绝缘表面，当用户的手指放在上面时，由皮肤来组成 电容阵列的另一面。电容器的电容值由于导体间的距离而降低， 这里指的是脊（近的）和谷（远的）相对于另一极之间的距离。 通过读取充、放电之后的电容差值，来获取指纹图像。该传感 器的生产采用标准CMOS技术，大小为15×15mm2，获取 的图像大小为300×300，分辨率为500DPI。FPS110提供有 与8位微处理器相连的接口，并且内置有8位高速A/D转换器， 可直接输出8位灰度图像。FPS110指纹传感器整个芯片的功 耗很低（<200mw），价格也比较便宜（人民币600元以 下）。下图为利用FPS110获取的指纹图象
5、新型电容式指纹传感器
电容传感器系列 创新应用
第五章小结
1、变极距型电容传感器 输出呈非线性关系，灵敏度与极距平方成反比， 适合检测微小位移。
2、变面积型电容传感器
输出与被测量呈线性关系，适合检测较大的位移。 3、变介质型电容传感器
输出与被测量呈线性关系，典型应用是检测液位。 4、检测电路
运算放大器检测电路和电桥检测电路
剂固定两个截面为T型的绝缘体，
电容式传感器原理及其应用PPT课件
2.1 变面积式电容传感器
变面积式电容式传感器通常分为线位移型 和角位移型两大类。
〔1〕线位移变面积型
常用的线位移变面积型电容式传感器可分 为平面线位移型和柱面线位移型两种结 构。
➢ 对于平板状结构，在图4-2〔a〕中，两极板有效覆盖面积就发生变化，电容 量也随之改变，其值为：
➢
➢ 式中，
，为初始电容值。
➢ 当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化， 也会引起电容量发生变化。
➢ 变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实 现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化 反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如 下图。
〔a〕柱式
〔b〕平板式
变介电常数式电容传感器
➢ 变介电常数式电容传感器的两极板间假设存在导电 物质，还应该在极板外表涂上绝缘层，防止极板短 路，如涂上聚四氟乙烯薄膜。
➢ 电桥的输出电压为：
2.2 变压器电桥电路
电容式传感器接入变压器电桥测量电路如下图，它可 分为单臂接法和差动接法两种。
〔a〕单臂接法
〔b〕差动接法
〔1〕单臂接法
图4-8(a)所示为单臂接法的变压器桥式测量电路，高 频电源经变压器接到电容桥的一个对角线上，电容 构成电桥的四个臂，其中 为电容传感器。
〔a〕电容器的边缘效应
〔b〕带有等位环的平板式电容器
图4-14 等位环消除电容边缘效应原理图
〔2〕保证绝缘材料的绝缘性能 ① 温度、湿度等环境的变化是影响传感器中绝缘材料
性能的主要因素。 ②传感器的电极外表不便清洗，应加以密封，可防尘、
防潮。 ③ 尽量采用空气、云母等介电常数的温度系数几乎为
零的电介质作为电容式传感器的电介质。 ④ 传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装配。
电容式传感器教学课件
电容式传感器的工作原理
电容式传感器是通过改变电容值 来实现测量的。
电容式传感器的结构和特点
本节将介绍电容式传感器的结构、特点以及它们的应用场景。
1
结构
电容式传感器由两块带电极板组成，并以介电常数介质隔开。
2
特点
电容式传感器具有分辨率高、体积小、响应速度快、精度高等特点。
3
应用
电容式传感器广泛应用于车载电气控制、机器人和自动化设备、航空航天等领域。
电容式温度传感器
4
等领域。
主要用于高精度的温度检测，例如航天 器、机器人、汽车和电子计量器等。
电容式传感器的使用和维护
本节将介绍电容式传感器的使用注意事项以及维护方法。
1 使用注意事项
避免机械撞击、电击和磁场干扰；安装时请 注意方向和距离。
2 维护方法
保持传感器的清洁和干燥；注意传感器的电 气性能；定期更换较老的传感器；合理使用 传感器。
电容式传感器的分类
本节将介绍电容式传感器的常见分类，以及每种传感器的使用场景。
1
电容式加速度传感器
广泛应用于振动感应器、地震检测和军
电容式气压传感器
2
用电子设备等领域。
广泛用于空气压力测量、液体水平测量、
气囊系统和锅炉测量等领域。
3
电容式湿度传感器
广泛应用于湿度测量和温度测量，并广
泛用于农业、化学、医疗、环境和气象
电容式传感器教学课件 PPT
本教学课件将详细介绍电容式传感器的原理、种类、结构和应用。通过本课 件，你将深入了解电容式传感器，掌握其使用和维护方法，了解电容式传感 器的发展前景。
引言
电容式传感器是一种非常常见的传感器，广泛应用于各个领域。本节将介绍电容式传感器的概念 以及电容式传感器的种类。
电容式传感器课件
电容式传感器课件
欢迎来到电容式传感器课件！在本课程中，您将学习电容原理、电容式传感 器的工作原理、分类、应用领域、设计与制造、系统集成，以及它们的现状 和未来趋势。让我们开始吧！
导言
1 课程简介
2 学习目标
3 先修知识
本节简要介绍课程的主 要内容及它们的重要性。
我们将列出本课程的主 要学习目标，帮助您了 解本课程的结构和内容。
本节将介绍电容式传感器的主要分类，如单端 式电容传感器、差分式电容传感器、互补式电 容传感器等。
电容式传感器应用
应用领域
本节将介绍电容式传感器在机 器人、测量、环保等方面的应 用。
性能与特点
优缺点
本节将探讨电容式传感器的性 能和特点，如精度、响应速度、 抗干扰能力等。
本节将总结电容式传感器的优 缺点，以便于对它的应用有一 个全面的了解。
为从事电容式传感器的 工作，我们需要掌握一 些基本的电子、电路和 数学知识。
电容传感器基础
什么是电容式传感器 电容原理简介 电容式传感器的工作原理 电容式传感器的分类
本节将介绍电容式传感器的基本概念及其功能。
本节将详解电容及其原理，阐述电容量与介质、 电极、距离的关系等基本概念。
本节将详细解释电容式传感器的工作原理，包 括精度、线性度等性能指标。
本节将介绍电容式传感器技术的发展历程和现状。
2
电容式传感器未来发展趋势
本节将探讨电容式传感器将如何应对新技术带来的挑战。
3
课程结论
本节将对本课程进行总结，并展望电容式传感器在未来的应用前景。
电容式传感器的设计与制造
结构设计与参数计 算
本节将介绍电容式传感器结 构设计的主要原则，并讲述 电容式传感器电容值计算的 方法。
欢迎来到电容式传感器课件！在本课程中，您将学习电容原理、电容式传感 器的工作原理、分类、应用领域、设计与制造、系统集成，以及它们的现状 和未来趋势。让我们开始吧！
导言
1 课程简介
2 学习目标
3 先修知识
本节简要介绍课程的主 要内容及它们的重要性。
我们将列出本课程的主 要学习目标，帮助您了 解本课程的结构和内容。
本节将介绍电容式传感器的主要分类，如单端 式电容传感器、差分式电容传感器、互补式电 容传感器等。
电容式传感器应用
应用领域
本节将介绍电容式传感器在机 器人、测量、环保等方面的应 用。
性能与特点
优缺点
本节将探讨电容式传感器的性 能和特点，如精度、响应速度、 抗干扰能力等。
本节将总结电容式传感器的优 缺点，以便于对它的应用有一 个全面的了解。
为从事电容式传感器的 工作，我们需要掌握一 些基本的电子、电路和 数学知识。
电容传感器基础
什么是电容式传感器 电容原理简介 电容式传感器的工作原理 电容式传感器的分类
本节将介绍电容式传感器的基本概念及其功能。
本节将详解电容及其原理，阐述电容量与介质、 电极、距离的关系等基本概念。
本节将详细解释电容式传感器的工作原理，包 括精度、线性度等性能指标。
本节将介绍电容式传感器技术的发展历程和现状。
2
电容式传感器未来发展趋势
本节将探讨电容式传感器将如何应对新技术带来的挑战。
3
课程结论
本节将对本课程进行总结，并展望电容式传感器在未来的应用前景。
电容式传感器的设计与制造
结构设计与参数计 算
本节将介绍电容式传感器结 构设计的主要原则，并讲述 电容式传感器电容值计算的 方法。
电容式传感器资料课件
软件校准
通过修改传感器的软件算 法，如补偿算法、滤波算 法等，来提高传感器的测 量精度。
综合校准
结合硬件和软件两种方式 ，对传感器进行全面校准 。
电容式传感器的标定实验及数据处理
实验设计
根据传感器的工作原理和实际应用场景，设 计标定实验方案。
数据采集
在实验过程中，采集传感器在不同条件下的 输出数据。
电容式传感器在温度测量中的应用
总结词
高精度、快速响应、稳定性好
详细描述
电容式传感器可将温度变化转化为电容量的变化，从而实现 对温度的精确测量。具有高精度、快速响应、稳定性好等优 点，适用于各种需要温度测量的场合，如环境监测、医疗设 备、工业生产等。
05
电容式传感器的校准与标 定
电容式传感器的误差来源及影响分析
展望电容式传感器的未来发展方向
高性能化 随着科技的不断进步，电容式传 感器的性能将不断提高，测量精 度和灵敏度将得到进一步提升。
微型化 随着微纳制造技术的发展，未来 的电容式传感器将更加微型化， 能够应用于更小的空间和更复杂 的场景。
智能化 未来的电容式传感器将更加智能 化，具备自校准、自补偿、自诊 断等功能，能够更好地适应复杂 环境下的测量需求。
电容式传感器所面临的挑战与对策
温度影响
电容式传感器的电容值会随温度变化而变化，给测量带来误差。为了减小温度影响，需要 采用温度补偿技术、选用具有良好温度特性的材料以及优化传感器结构设计等措施。
交叉灵敏
交叉灵敏是指电容式传感器对不同方向的干扰敏感，导致测量误差。为了减小交叉灵敏影 响，需要优化传感器结构设计、选用具有良好方向特性的材料以及采用信号处理技术等措 施。
电极材料
根据应用场景和敏感材料 选择电极材料，如金、银 、不锈钢等。
电容式传感器 课件
Cx是传感器电容 C是固定电容 u0是输出电压信号
uC
u0
S
d
式中“负号”表示输出电压的 相位与电源电压反相。
上式说明 u 0与d成线性关系
脉冲宽度调制电路
脉冲宽度调制电路（PWM）是利用传感器的电容充放 电使电路输出脉冲的占空比随电容式传感器的电容量 变化而变化，然后通过低通滤波器得到对应于被测量 变化的直流信号。
变，导致两极板间的电容量发生变化
当 0 时
C0
A0
d
当 0 时
C
A0
(1
)
d
C0 (1
)
推导过程
电容与角位移成线性关系。其灵敏度为
K dC A d d
变面积式电容传感器的输出是线性的，灵敏度K是一 常数。
3 变介电常数型电容式传感器
极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的平方成正比， 极距越小灵敏度越高。但极距过小，容易引起电容器击 穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云 母、塑料膜等）作介质。
原理上的非线性 ，要修正。
2 变面积式电容传感器
面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等 保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生 改变。
特点：运算式电路的原理较为简单，灵敏度和精度最 高。但一般需用“驱动电缆”技术来消除电缆电容的 影响，电路较为复杂且调整困难
2020/1/17
28
C ～u
Cx
A
由运算放大器工作原理可知
u0
1 / ( jCx ) 1 / ( jC)
u
C Cx
uC
u0
S
d
式中“负号”表示输出电压的 相位与电源电压反相。
上式说明 u 0与d成线性关系
脉冲宽度调制电路
脉冲宽度调制电路（PWM）是利用传感器的电容充放 电使电路输出脉冲的占空比随电容式传感器的电容量 变化而变化，然后通过低通滤波器得到对应于被测量 变化的直流信号。
变，导致两极板间的电容量发生变化
当 0 时
C0
A0
d
当 0 时
C
A0
(1
)
d
C0 (1
)
推导过程
电容与角位移成线性关系。其灵敏度为
K dC A d d
变面积式电容传感器的输出是线性的，灵敏度K是一 常数。
3 变介电常数型电容式传感器
极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的平方成正比， 极距越小灵敏度越高。但极距过小，容易引起电容器击 穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云 母、塑料膜等）作介质。
原理上的非线性 ，要修正。
2 变面积式电容传感器
面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等 保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生 改变。
特点：运算式电路的原理较为简单，灵敏度和精度最 高。但一般需用“驱动电缆”技术来消除电缆电容的 影响，电路较为复杂且调整困难
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C ～u
Cx
A
由运算放大器工作原理可知
u0
1 / ( jCx ) 1 / ( jC)
u
C Cx
电容式传感器PPT课件
20
CA0CCB0C0 r R2r2a
0
CAC 0 CBC 0 R 0rlrra
A B C
21
5.1.3变介质型电容传感器
这种电容传感器有较多的结构型式，可以用来测量纸 张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、 木材或煤等非导电固体物质的湿度。
图中两平行极板固定不动，极距为 0 ，相对介电常数
现以变极距型为例，设定极板厚度为 g 0 ，绝缘件厚
度 b 0 ，动极板至绝缘底部的壳体长为a 0 ，各零件材料的
线膨胀系数分别为aa、ab、ag。当温度由t0 变化 Δt 后,极
间隙将由δ0=a0-b0-g0变为δt由此一起的温度误差为
35
e t0 t t0 a 0 a a a 0 a a b 0 a b b 0 a bg 0 a g g 0 a gt t
对变化量为 1 ＝ 0 － ， 2 ＝ 0 ＋
16
C C 0 C 1C 0 C 22 0 1 0 2 0 4
略去高次项，可得近似得线性关系
C 2
C0
0
相对非线性误差
e
f
为
ef2 2 //00310% 0/0210% 0
上式与前几式比较可知，差动式比单级式灵敏 度提高一倍，且误差大大减小。
29
5.2.3静电引力
电容式传感器两极板间因存在静电场，而作用 有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间 的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常 这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹 性敏感元件情况下，须考虑因静电引力造成的 测量误差。查阅相关手册得到各种电容传 感 器静电引力的计算公式。
由此可见，消除温度误差的条件为： a0aab0abg0ag0
或者满足条件
CA0CCB0C0 r R2r2a
0
CAC 0 CBC 0 R 0rlrra
A B C
21
5.1.3变介质型电容传感器
这种电容传感器有较多的结构型式，可以用来测量纸 张、绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、 木材或煤等非导电固体物质的湿度。
图中两平行极板固定不动，极距为 0 ，相对介电常数
现以变极距型为例，设定极板厚度为 g 0 ，绝缘件厚
度 b 0 ，动极板至绝缘底部的壳体长为a 0 ，各零件材料的
线膨胀系数分别为aa、ab、ag。当温度由t0 变化 Δt 后,极
间隙将由δ0=a0-b0-g0变为δt由此一起的温度误差为
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e t0 t t0 a 0 a a a 0 a a b 0 a b b 0 a bg 0 a g g 0 a gt t
对变化量为 1 ＝ 0 － ， 2 ＝ 0 ＋
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C C 0 C 1C 0 C 22 0 1 0 2 0 4
略去高次项，可得近似得线性关系
C 2
C0
0
相对非线性误差
e
f
为
ef2 2 //00310% 0/0210% 0
上式与前几式比较可知，差动式比单级式灵敏 度提高一倍，且误差大大减小。
29
5.2.3静电引力
电容式传感器两极板间因存在静电场，而作用 有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间 的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常 这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹 性敏感元件情况下，须考虑因静电引力造成的 测量误差。查阅相关手册得到各种电容传 感 器静电引力的计算公式。
由此可见，消除温度误差的条件为： a0aab0abg0ag0
或者满足条件
电容式传感器的工作原理及结构形式课件
新技术
引入新型制造工艺、纳米技术等，优化传感器结构和制造过程，降低成本和提高产量。
05
电容式传感器与其他传 感器的比较
电容式传感器与电阻式传感器的比较
总结词
电阻式传感器通过测量电阻的变化来检测物理量，而 电容式传感器则是通过测量电容量变化来实现。
详细描述
电阻式传感器利用电阻随环境变化（如温度、压力、湿 度等）的特性，通过测量电阻值的变化来检测物理量。 而电容式传感器则是利用电容器极板间电介质的变化， 改变电容器极板间的距离或相对面积，从而引起电容量 的变化，实现对物理量的检测。
加速度测量
电容式传感器通过测量加速度对电容器极板 的影响，从而检测加速度的变化。这种传感 器广泛应用于汽车安全气囊、碰撞测试等领 域。
其他应用领域
温度测量
电容式传感器通过测量温度对电容器极板的 影响，从而检测温度的变化。这种传感器广 泛应用于温度控制和监测领域。
湿度测量
电容式传感器通过测量湿度对电容器极板的 影响，从而检测湿度的变化。这种传感器广
平行板型电容传感器
总结词
平行板型电容传感器是最基本的电容式传感器，其结构简单 ，易于制造，灵敏度高，适用于测量微小位移和压力等参数 。
详细描述
平行板型电容传感器由两个平行、相对的金属板组成，其间 保持恒定的距离。当被测物体靠近或插入两金属板之间时， 传感器的电容值会发生变化，通过测量这个电容值的变化， 可以获得被测物体的位移或压力等信息。
电容式传感器与霍尔传感器的比较
总结词
霍尔传感器通过测量霍尔电压的变化来 检测物理量，而电容式传感器则是通过 测量电容量变化来实现。
VS
详细描述
霍尔传感器利用霍尔效应，通过测量磁场 变化引起的霍尔电压变化来检测物理量（ 如磁场、电流等）。而电容式传感器则是 利用电容器极板间电介质的变化，改变电 容器极板间的距离或相对面积，从而引起 电容量的变化，实现对物理量的检测。
引入新型制造工艺、纳米技术等，优化传感器结构和制造过程，降低成本和提高产量。
05
电容式传感器与其他传 感器的比较
电容式传感器与电阻式传感器的比较
总结词
电阻式传感器通过测量电阻的变化来检测物理量，而 电容式传感器则是通过测量电容量变化来实现。
详细描述
电阻式传感器利用电阻随环境变化（如温度、压力、湿 度等）的特性，通过测量电阻值的变化来检测物理量。 而电容式传感器则是利用电容器极板间电介质的变化， 改变电容器极板间的距离或相对面积，从而引起电容量 的变化，实现对物理量的检测。
加速度测量
电容式传感器通过测量加速度对电容器极板 的影响，从而检测加速度的变化。这种传感 器广泛应用于汽车安全气囊、碰撞测试等领 域。
其他应用领域
温度测量
电容式传感器通过测量温度对电容器极板的 影响，从而检测温度的变化。这种传感器广 泛应用于温度控制和监测领域。
湿度测量
电容式传感器通过测量湿度对电容器极板的 影响，从而检测湿度的变化。这种传感器广
平行板型电容传感器
总结词
平行板型电容传感器是最基本的电容式传感器，其结构简单 ，易于制造，灵敏度高，适用于测量微小位移和压力等参数 。
详细描述
平行板型电容传感器由两个平行、相对的金属板组成，其间 保持恒定的距离。当被测物体靠近或插入两金属板之间时， 传感器的电容值会发生变化，通过测量这个电容值的变化， 可以获得被测物体的位移或压力等信息。
电容式传感器与霍尔传感器的比较
总结词
霍尔传感器通过测量霍尔电压的变化来 检测物理量，而电容式传感器则是通过 测量电容量变化来实现。
VS
详细描述
霍尔传感器利用霍尔效应，通过测量磁场 变化引起的霍尔电压变化来检测物理量（ 如磁场、电流等）。而电容式传感器则是 利用电容器极板间电介质的变化，改变电 容器极板间的距离或相对面积，从而引起 电容量的变化，实现对物理量的检测。
电容式传感器的应用PPT课件
CH 相当于当前膜片位置与平直位置间的电容CA和C0的串联；而 C0又可看成是膜片上部电容CL与的CA串联。
6
1. 电容式差压变送器
3.4 电容式传感器的应用
CA
PL
CL
dx
d0
C0
CL CA CA C0
CH
C0
PH
CH
等效电路
即：C0
CACL CA CL
CL
CAC0 CA C0
;
CH
CAC0 CA C0
(1) 半导体压感式传感器
其表面的顶层是具有弹性的压 感介质材料,它们依照指纹的外表 地形(凹凸)转化为相应的电子信号,
并进一步产生具有灰度级的指纹 图像。
(3) 硅电容指纹图像传感器
(2) 半导体温度感应传感器 它通过感应压在设备上的脊
和远离设备的谷温度的不同就可 以获得指纹图像。
这是最常见的半导体指纹传感器,它通过电子度量来捕捉指纹。在半导体金属阵
环形二极管电路
Cx
2 hx
ln D
d
I f E(Cx Cd )
f ECx
ΔE=E2-E1；
f=1/T0，为方波的频率；
在方波频率和幅值一定的情况 下，输出电流的变化与液位成 正比。
3.4 电容式传感器的应用
d
ε0
hx
ε
D
测定电极 绝缘层 水
E2
E1
T1 T2
A e
V D4
V
D1
Cx B
V
D2
i1
电容C与液位h1之间呈线性关系. 15
3. 电容式液位计
3.4 电容式传感器的应用
(1)安装形式
电容式液位计的安装形式因被
6
1. 电容式差压变送器
3.4 电容式传感器的应用
CA
PL
CL
dx
d0
C0
CL CA CA C0
CH
C0
PH
CH
等效电路
即：C0
CACL CA CL
CL
CAC0 CA C0
;
CH
CAC0 CA C0
(1) 半导体压感式传感器
其表面的顶层是具有弹性的压 感介质材料,它们依照指纹的外表 地形(凹凸)转化为相应的电子信号,
并进一步产生具有灰度级的指纹 图像。
(3) 硅电容指纹图像传感器
(2) 半导体温度感应传感器 它通过感应压在设备上的脊
和远离设备的谷温度的不同就可 以获得指纹图像。
这是最常见的半导体指纹传感器,它通过电子度量来捕捉指纹。在半导体金属阵
环形二极管电路
Cx
2 hx
ln D
d
I f E(Cx Cd )
f ECx
ΔE=E2-E1；
f=1/T0，为方波的频率；
在方波频率和幅值一定的情况 下，输出电流的变化与液位成 正比。
3.4 电容式传感器的应用
d
ε0
hx
ε
D
测定电极 绝缘层 水
E2
E1
T1 T2
A e
V D4
V
D1
Cx B
V
D2
i1
电容C与液位h1之间呈线性关系. 15
3. 电容式液位计
3.4 电容式传感器的应用
(1)安装形式
电容式液位计的安装形式因被
电容式传感器教学课件
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电容式传感器在物联网领域的应用前景
01
02
03
智能家居
用于监测家庭环境参数， 如温度、湿度、空气质量 等，实现智能家居的自动 化控制。
医疗健康
用于监测人体生理参数， 如心率、血压、呼吸等， 为医疗诊断和治疗提供数 据支持。
工业自动化
用于监测工业设备的运行 状态和工作参数，提高设 备的可靠性和安全性。
。
电容式传感器的制造工艺流程
绝缘层制作
阐述如何制备电容传感器的绝 缘层，包括材料选择、涂覆工 艺和加工方法。
敏感层制作
阐述如何制备电容传感器的敏 感层，包括材料选择、涂覆工 艺和热处理方法。
制造工艺流程概述
介绍电容式传感器的制造工艺 流程及各环节的主要内容。
电极制作
介绍如何制备电容传感器的电 极，包括材料选择、加工方法 和焊接工艺。
电容式传感器教学课件
目录
• 电容式传感器概述 • 电容式传感器的设计与制造 • 电容式传感器的性能测试与校准 • 电容式传感器的应用实例 • 电容式传感器的未来发展与挑战
01
电容式传感器概述
电容式传感器的定义与工作原理
定义
电容式传感器是一种利用电容原 理检测物理量变化的传感器。
工作原理
通过改变电容器极板间距、面积 或介电常数等参数，使得电容值 发生变化，从而检测被测量物体 的变化。
阶跃响应
测量电容式传感器在阶跃输入下的输出响应 ，以评估其动态响应速度和稳定性。
动态范围
测量电容式传感器在不同动态范围内的输出 响应，以评估其动态测量范围。
电容式传感器的校准方法与步骤
校准前的准备工作
检查电容式传感器的 外观、连接线路和电 源等是否正常。
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变，导致两极板间的电容量发生变化
当 0 时
C0
A0
d
当 0 时
C
A0
(1
)
d
C0 (1
)
推导过程
电容与角位移成线性关系。其灵敏度为
K dC A d d
变面积式电容传感器的输出是线性的，灵敏度K是一 常数。
3 变介电常数型电容式传感器
A
d0
当动极板2移动x值后，
Cx
A
d0 x
C0 1 x
x
C0 (1
d0
) x
d0
分析
当 （ x d0 ） 时
Cx
C0 (1
x d0
)
电容与x 近似线性关系，但量程缩小很多，变极距 式电容传感器的灵敏度为
K
dC dx
C0 d0
A
d02
结论
极距变化型电容传感器可实现动态非接触测量，动态响 应特性好，灵敏度和精度极高（可达nm级），适应于较 小位移（1nm～1 m）的精度测量。但传感器存在原理 上的非线性误差，线路杂散电容（如电缆电容、分布电 容等）的影响显著，为改善这些问题而需配合使用的电 子电路比较复杂
设两个相同极板的长为b，宽为a，极板间距离 为d，当动极板移动x后，电容Cx也随之改变。
Cx
(a - x)b
d
ab
d
-
xb
d
C0
- C
电容的相对变化量和灵敏度为
C x C0 a
K C b
x d
圆柱形线位移传感器
角位移形式的电容传感器
当动极板有一角位移时，两极板的相对面积A也发生改
2019/9/10
23
交流电桥
将电容传感器的两个电容作为交流电桥的两个桥臂， 通过电桥把电容的变化转换成电桥输出电压的变化。 电桥通常采用由电阻-电容、电感-电容组成的交流电 桥，图为电感-电容电桥。
2019/9/10
24
分析
变压器的两个二次绕组L1、L2与差动电容传感器的两 个电容C1、C2作为电桥的4个桥臂，由高频稳幅的交
极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的平方成正比， 极距越小灵敏度越高。但极距过小，容易引起电容器击 穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云 母、塑料膜等）作介质。
原理上的非线性 ，要修正。
2 变面积式电容传感器
面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等 保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生 改变。
二、电容式传感器的分类及工作原理
分类：按工作方式分类 1.变极距型电容传感器 2.变面积型电容传感器 3.变介电常数型电容传感器
1 变极距型电容传感器
固定极板A
S
d
C S r0S
dd
保持其中两个参数不
ε
变，仅改变其中一个
活动极板B
参数，就可把该参数
S ——极板相对覆盖面；
的变化转换为电容量
C0
(1
d d
)
1 d 2
d
若△d/d<<1时，则上式可简化为:
非线性关系
d C C0 C0 d
最大位移应小于间距的1/10
差动式改善其非线性
两极板的有效作用面积及极板间的介质保持不变， 则电容量C随极距d按非线性关系变化，
分析
动极板2未动时传感器初始电容
C0
C
C1
C2
0b0
r1 (L0
L) r2 L
d0
当L=0时，传感器的初始电容
C0
0 r1L0b0
d0
0 L0b0
d0
当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为：
C C C0 ( r2 1)L 电容变化量与电介质移动量L呈线性关系
C0
C0
L0
结论
介质变化型电容传感器的极距、有效作用面积不变， 被测量的变化使其极板之间的介质情况发生变化。
主要用来测量两极板之间的介质的某些参数的变化， 如介质厚度、介质湿度、液位等。
传感器的灵敏度为常数，电容C理论上与液面h成线性 关系，只要测出传感器电容C的大小，就可得到液位h
。
d ——极板间距离；
的变化，通过测量电
εr——相对介电常数；
路就可转换为电量输
ε0——真空介电常数；
出。
ε ——电容极板间介质的介电常数。
固定极板A
S
初始电容:
C S r0S
dd
d
若极距缩小△d
活动极板B
ε
C C0
C
0 r s d d
C0 d
1 d
四·电容式传感器的转换电路
电容传感器将被测量的变化转换成电容的变化后，还 需由后接的转换电路将电容的变化进一步转换成电压 、电流或频率的变化。
2019/9/10
22
转换电路的组成部分
1．交流电桥 2．调频电路 3．运算放大式电路 4．脉冲宽度调制电路 5．二极管双T型交流电桥
三、电容的选择
常见的电容材料： 云母电容：用金属箔或者在云母片上喷涂银层做电极板，极
板和云母一层一层叠合后，再压铸在胶木粉或封固在环氧树 脂中制成。它的特点是介质损耗小，绝缘电阻大、温度系数 小，适宜用于高频电路。 陶瓷电容：用陶瓷做介质，在陶瓷基体两面喷涂银层，然后 烧成银质薄膜做极板制成。它的特点是体积小，耐热性好、 损耗小、绝缘电阻高，但容量小，适宜用于高频电路。 铁电陶瓷电容：容量较大，但是损耗和温度系数较大，适宜 用于低频电路。 薄膜电容：结构和纸介电容相同，介质是涤纶或者聚苯乙烯 。涤纶薄膜电容，介电常数较高，体积小，容量大，稳定性 较好，适宜做旁路电容。 聚苯乙烯薄膜电容，介质损耗小， 绝缘电阻高，但是温度系数大，可用于高频电路。
电容式传感器
一、电容传感器简介 二、电容传感器的分类及工作原理 三、电容的选择 四、放大电路
一、电容传感器简介
电容传感器是一种将被测非电量的变化转换 成电容式变化的传感器。电容式传感器具有灵敏 度高、稳定性好、结构简单、使用寿命长以及可 以进行非接触测量等特点，非常适合在高潮湿、 高尘埃及超高低温等恶劣环境下长期使用，广泛 应用于压力、差压、液压、振动、加速度、成分 含量等方面的测量。
变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定 不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为 动极板。
面积变化型电容传感器原理
当动极板相对于定极板沿着长度 方向平移时，其电容变化量化为
C
C0
C
0 r
(a d
x)b
0rab 0rxb
d
d
△C与△x间呈线性关系
平板形位移电容传感器
当 0 时
C0
A0
d
当 0 时
C
A0
(1
)
d
C0 (1
)
推导过程
电容与角位移成线性关系。其灵敏度为
K dC A d d
变面积式电容传感器的输出是线性的，灵敏度K是一 常数。
3 变介电常数型电容式传感器
A
d0
当动极板2移动x值后，
Cx
A
d0 x
C0 1 x
x
C0 (1
d0
) x
d0
分析
当 （ x d0 ） 时
Cx
C0 (1
x d0
)
电容与x 近似线性关系，但量程缩小很多，变极距 式电容传感器的灵敏度为
K
dC dx
C0 d0
A
d02
结论
极距变化型电容传感器可实现动态非接触测量，动态响 应特性好，灵敏度和精度极高（可达nm级），适应于较 小位移（1nm～1 m）的精度测量。但传感器存在原理 上的非线性误差，线路杂散电容（如电缆电容、分布电 容等）的影响显著，为改善这些问题而需配合使用的电 子电路比较复杂
设两个相同极板的长为b，宽为a，极板间距离 为d，当动极板移动x后，电容Cx也随之改变。
Cx
(a - x)b
d
ab
d
-
xb
d
C0
- C
电容的相对变化量和灵敏度为
C x C0 a
K C b
x d
圆柱形线位移传感器
角位移形式的电容传感器
当动极板有一角位移时，两极板的相对面积A也发生改
2019/9/10
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交流电桥
将电容传感器的两个电容作为交流电桥的两个桥臂， 通过电桥把电容的变化转换成电桥输出电压的变化。 电桥通常采用由电阻-电容、电感-电容组成的交流电 桥，图为电感-电容电桥。
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分析
变压器的两个二次绕组L1、L2与差动电容传感器的两 个电容C1、C2作为电桥的4个桥臂，由高频稳幅的交
极距变化型电容传感器的灵敏度与极距的平方成正比， 极距越小灵敏度越高。但极距过小，容易引起电容器击 穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云 母、塑料膜等）作介质。
原理上的非线性 ，要修正。
2 变面积式电容传感器
面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等 保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生 改变。
二、电容式传感器的分类及工作原理
分类：按工作方式分类 1.变极距型电容传感器 2.变面积型电容传感器 3.变介电常数型电容传感器
1 变极距型电容传感器
固定极板A
S
d
C S r0S
dd
保持其中两个参数不
ε
变，仅改变其中一个
活动极板B
参数，就可把该参数
S ——极板相对覆盖面；
的变化转换为电容量
C0
(1
d d
)
1 d 2
d
若△d/d<<1时，则上式可简化为:
非线性关系
d C C0 C0 d
最大位移应小于间距的1/10
差动式改善其非线性
两极板的有效作用面积及极板间的介质保持不变， 则电容量C随极距d按非线性关系变化，
分析
动极板2未动时传感器初始电容
C0
C
C1
C2
0b0
r1 (L0
L) r2 L
d0
当L=0时，传感器的初始电容
C0
0 r1L0b0
d0
0 L0b0
d0
当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为：
C C C0 ( r2 1)L 电容变化量与电介质移动量L呈线性关系
C0
C0
L0
结论
介质变化型电容传感器的极距、有效作用面积不变， 被测量的变化使其极板之间的介质情况发生变化。
主要用来测量两极板之间的介质的某些参数的变化， 如介质厚度、介质湿度、液位等。
传感器的灵敏度为常数，电容C理论上与液面h成线性 关系，只要测出传感器电容C的大小，就可得到液位h
。
d ——极板间距离；
的变化，通过测量电
εr——相对介电常数；
路就可转换为电量输
ε0——真空介电常数；
出。
ε ——电容极板间介质的介电常数。
固定极板A
S
初始电容:
C S r0S
dd
d
若极距缩小△d
活动极板B
ε
C C0
C
0 r s d d
C0 d
1 d
四·电容式传感器的转换电路
电容传感器将被测量的变化转换成电容的变化后，还 需由后接的转换电路将电容的变化进一步转换成电压 、电流或频率的变化。
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22
转换电路的组成部分
1．交流电桥 2．调频电路 3．运算放大式电路 4．脉冲宽度调制电路 5．二极管双T型交流电桥
三、电容的选择
常见的电容材料： 云母电容：用金属箔或者在云母片上喷涂银层做电极板，极
板和云母一层一层叠合后，再压铸在胶木粉或封固在环氧树 脂中制成。它的特点是介质损耗小，绝缘电阻大、温度系数 小，适宜用于高频电路。 陶瓷电容：用陶瓷做介质，在陶瓷基体两面喷涂银层，然后 烧成银质薄膜做极板制成。它的特点是体积小，耐热性好、 损耗小、绝缘电阻高，但容量小，适宜用于高频电路。 铁电陶瓷电容：容量较大，但是损耗和温度系数较大，适宜 用于低频电路。 薄膜电容：结构和纸介电容相同，介质是涤纶或者聚苯乙烯 。涤纶薄膜电容，介电常数较高，体积小，容量大，稳定性 较好，适宜做旁路电容。 聚苯乙烯薄膜电容，介质损耗小， 绝缘电阻高，但是温度系数大，可用于高频电路。
电容式传感器
一、电容传感器简介 二、电容传感器的分类及工作原理 三、电容的选择 四、放大电路
一、电容传感器简介
电容传感器是一种将被测非电量的变化转换 成电容式变化的传感器。电容式传感器具有灵敏 度高、稳定性好、结构简单、使用寿命长以及可 以进行非接触测量等特点，非常适合在高潮湿、 高尘埃及超高低温等恶劣环境下长期使用，广泛 应用于压力、差压、液压、振动、加速度、成分 含量等方面的测量。
变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定 不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为 动极板。
面积变化型电容传感器原理
当动极板相对于定极板沿着长度 方向平移时，其电容变化量化为
C
C0
C
0 r
(a d
x)b
0rab 0rxb
d
d
△C与△x间呈线性关系
平板形位移电容传感器