无尘室管理规定

目录

1.0 无尘车间管理的目的

2.0 无尘车间管理的原则

3.0 适用范围

4.0 术语

5.0 管理程序

5．1 无尘室施工管理制度

5．2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准

5．3 无尘室人员管理制度

5．4 无尘室洁净服管理制度

5．5 无尘室物流/洁净室内设备及工器具管理制度

5．6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理

5．7 无尘室洁净室安全管理

6.0 版本更改记录

1．0 无尘车间管理的目的

半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

2．0 无尘车间管理的原则

2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。

2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。

2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。

2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。

2.5 洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。

3．0 适用范围

半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。

4．0 术语

洁净生产区是洁净厂房的主要部分，对洁净级别有明确规定的区域。

洁净辅助间是洁净厂房不可缺少的必备房间。洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切，对洁净厂房的建造带来影响

和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或交叉污染至关重要。

管理区是洁净厂房内的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。

设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房的重要组成部分。

5．0 管理程序

5．1 无尘车间洁净室施工管理制度

5．1．1 背景

5．1．1．1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。

5．1．1．2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。5．1．1．3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。

5．1．2 责任与义务

5．1．2．1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。

5．1．2．2 承包商负责执行洁净室草案。他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。

5．1．2．3 承包商建造区域入口并对其进行管理。他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。他将对在洁净区域工作的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。

5．1．2．4 开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安排有人员）以确保本规则和程序的执行。

5．1．2．5重复违反规则和程序的人员将被开除。没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。

5．1．3 草案细则

洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一个过程。施工接近完工阶段，不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。

5．1．3．1第一部分

"第一部分主要针对直到主要施工完成后。包括屋顶，覆层，门和窗户。所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。所有工人进入必须保持鞋子干净。不允许穿奇特的服装，工人的衣服应该保持适当的干净。现场安全规则必须时刻遵守。

所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不允许有碎片掉下。"

施工现场内不允许吃东西，吸烟，喝酒。"

"每班结束时，必须清走所有垃圾和废旧物品。总之，整个施工现场每天必须保持干净。

5．1．3．2第二部分

"第二部分主要针对直到gridline B西边洁净区域的内墙完成。此时，只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。其他供应商如果要进入洁净区域，必须提前向承包商提出申请，得到允许后方可进入。工人、设备和材料的入口是经过威世半导体(西安)有限公司管理人员同意的。

gridlines 1和2之间的通向成品仓库的外门。⌝

gridlines 15和16之间的通向原料仓库的外门。⌝

"其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。进如洁净区域之前，材料和设备不允许有脏物或由掉下，并且应该用干净的干布擦拭干净。

"任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。这包括砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何可能的方法预防污染。

装好的地板必须用PVC板包装保护。"

第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。"

第二部分草案执行期间，洁净区域必须每天吸尘。"

5．1．3．3 第三部分

第三部分主要针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。"

"进入的工人穿鞋套和工作服。

所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。"

"在第三部分草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。

5．1．4 洁净安装

必须采取洁净措施保持安装洁净。"

"各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。内部表面应该用IPA和水的混合物擦拭。

"洁净安装过程中，必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。5．1．5 最后洁净

"洁净区域的所有安装完成后，要进行最后洁净。洁净要用IPA和水的混合物擦拭。先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。

"最后洁净完成后，gridline B东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。以前的原料成品仓库入口将被保护。"最后洁净完成后，任何进入的人都必须通过威世半导体(西安)有限公司现场经理的批准。

5.1.6 设备、物品进入洁净室规定

5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准

5.2.1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室内的洁净度进行检测。

5.2.2 检测测试设备：激光粒子记数器

5.2.3 检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测

5.2.4 检测条件：静态洁净度测试

5.2.5 数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。

5.2.6 各洁净区域洁净级别标准：按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。

区域、系统名称洁净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别

K-1系统划片区域

静态1万级

K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7

CLASS 8 CLASS 7

CLASS 8

K-2系统包封区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3

K-3系统搪锡区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3