背散射电子衍射

背散射电子衍射仪结构图
样品（倾斜 70）; (CCD) 录像相机; SEM控制部件、接口; 控制 EBSD 实验的计算机及软件.
背散射电子衍射原理
背散射电子衍射花样的采集与标定
菊池带的自动识别原理
• 手工：繁重 • 自动识别问题：有效的定出程度较弱的菊 池带→Hough变换（霍夫变换） • Hough变换：原始菊池花样上的一个点（ XiYi）按 ( ) X i cos Yi sin 变成Hough空间 的一条正选弦曲线，原始图中同一条直线 上的不同点在Hough空间相交于同一点，原 始图上的一条直线对应Hough空间一个点， 菊池带的强度大幅度提高。一条菊池带变 换后为一对最亮和最暗的点，间距为菊池 带的宽度p。计算机按前5条最强的菊池带 位置，夹角定出晶面指数和晶带轴指数并 计算出取向。
背散射电子衍射的应用 1. 织构分析； 2. 晶粒间取向差分析； 3. 物相鉴定及含量测定； 4. 晶粒尺寸测定； 5. 应变分析。
背散射电子衍射
Electron Back-Scatter(ed) Diffraction
（EBSD）
朱强
背散射电子衍射技术
• 基于扫描电镜（SEM）中电子束在倾斜样 品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析 从而确定晶体结构、取向及相关信息的方 法。
• EBSD改变了以往织构分析的方法（X-ray
衍射仪法）,并形成了全新的科学领域,称为 “显微织构”———将显微组织和晶体学 分析相结合