单晶硅片减重变化与反射率关系变化

单晶硅片减重变化与反射率关系变化

目的

调查单晶硅片减重变化、结合减重变化测量反射率变化趋势。

方案

通过逐步降低制绒槽温度来降低减重，观察减重随温度变化的趋势，将实验硅片测量其反射率，初步观察反射率随减重的变化。

过程及分析

片源为峨嵋海润切，选用2号制绒机，逐步降低制绒槽温度后测量减重与相应硅片的反射率。四个制绒槽全部使用，每个槽取了18篮，温度由86度逐步降

至80度。下表是具体数据。

图1.横坐标为第1至18篮，左边纵坐标为四个槽的减重，右边为相应的反射率。

从图1结合表格可以看出，温度在86至84变化时，减重变化不大，但是在82 度及以下变化明显，但是，伴随着减重的下降，反射率并没有表现出大的波动，整体表现处于平稳状态。可见，从本次实验可以看出，减重小并不意味着反射率

降低。

结论及下一步计划

从从本次实验数据可以看出，减重小并不意味着反射率降低，下一步继续观

察重复性与其他片源的表现。